1.一種氧化物濺射靶材，其特征在于，其金屬成分具有如下組成：含有20～50原子％的Sn、余量由Zn和不可避免的雜質組成，22℃～400℃下的斷裂彎曲應變?yōu)?.24％以上。
2.根據權利要求1所述的氧化物濺射靶材，其特征在于，200℃下的斷裂彎曲應變?yōu)?.25％以上。
3.一種氧化物濺射靶材，其特征在于，其金屬成分具有如下組成：含有20～50原子％的Sn、余量由Zn和不可避免的雜質組成，200℃下的抗彎強度為130MPa以上。
4.根據權利要求3所述的氧化物濺射靶材，其特征在于，300℃下的抗彎強度為130MPa以上。
5.根據權利要求1～權利要求4中任一項所述的氧化物濺射靶材，其特征在于，相對于金屬成分整體，含有總計0.005～4.000原子％的Al、Si、Ga、Mo和W中的1種以上。
6.根據權利要求1～權利要求5中任一項所述的氧化物濺射靶材，其特征在于，相對密度的平均值為98.5％以上。
7.根據權利要求6所述的氧化物濺射靶材，其特征在于，所述相對密度的離散度[(最大值-最小值)/平均值]×100(％)為0.3％以下。