一種旋轉(zhuǎn)陰極磁棒裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種大面積平板玻璃鍍膜生產(chǎn)系統(tǒng)中的旋轉(zhuǎn)陰極磁棒裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]已知磁控濺射鍍膜是指利用磁場(chǎng)與電場(chǎng)交互作用，使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行，從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)的作用下撞向靶材表面從而濺射出靶材，沉積在玻璃基片上形成薄膜。
[0003]已知現(xiàn)有的平面陰極有利用率較低，往往只能達(dá)到20%_30%。為了提高靶材的利用率，旋轉(zhuǎn)靶材逐步被市場(chǎng)使用起來。但旋轉(zhuǎn)靶材鍍膜的均勻性并不好，內(nèi)部的磁棒起到了決定性的作用。
[0004]已知鍍膜玻璃的均勻性對(duì)玻璃的品質(zhì)起到至關(guān)重要的作用。而在生產(chǎn)過程中均勻性的調(diào)節(jié)一直是困饒生產(chǎn)的一大難題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]在本發(fā)明中解決的任務(wù)是提供一種滿足提供磁控濺射所需要的高強(qiáng)穩(wěn)定的磁場(chǎng)且磁場(chǎng)強(qiáng)度可簡(jiǎn)易調(diào)節(jié)，符合生產(chǎn)需求的旋轉(zhuǎn)陰極磁棒裝置。
[0006]為解決上述問題，本發(fā)明是按以下方式實(shí)現(xiàn)的:一種旋轉(zhuǎn)陰極磁棒裝置，包括主軸、支撐腳、調(diào)節(jié)墊片、磁鐵背板、高強(qiáng)磁鐵五個(gè)部分;所述高強(qiáng)磁鐵與所述磁鐵背板用膠粘接，所述高強(qiáng)磁鐵均勻分布在所述磁鐵背板上;所述磁鐵背板通過所述支撐腳與所述主軸通過螺栓連接，且連接處設(shè)置若干調(diào)節(jié)墊片調(diào)節(jié)磁場(chǎng)強(qiáng)度，所述磁鐵背板邊部安裝導(dǎo)向輪支撐磁棒在旋轉(zhuǎn)陰極內(nèi)部保持中間位置同時(shí)也方便磁棒裝入旋轉(zhuǎn)陰極時(shí)對(duì)旋轉(zhuǎn)陰極接口密封面的保護(hù)。
[0007]本發(fā)明的積極效果是:在鍍膜玻璃生產(chǎn)過程中，旋轉(zhuǎn)陰極的選用是市場(chǎng)的發(fā)展趨勢(shì)，這種陰極對(duì)于濺射能更高的提高濺射效率，這種旋轉(zhuǎn)陰極磁棒裝置為旋轉(zhuǎn)陰極磁控濺射提供了磁場(chǎng)需求，且可調(diào)節(jié)磁場(chǎng)強(qiáng)度的裝置更符合目前的生產(chǎn)工藝需求，不但提高了生廣效率更提尚了廣品的質(zhì)量。
【附圖說明】
[0008]圖1為本發(fā)明所述一種旋轉(zhuǎn)陰極磁棒裝置的主視圖。
[0009]圖2為本發(fā)明所述一種旋轉(zhuǎn)陰極磁棒裝置的原理圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的工作原理作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0011]如圖1所示的一種旋轉(zhuǎn)陰極磁棒裝置，包括主軸1、支撐腳2、調(diào)節(jié)墊片3、磁鐵背板
4、高強(qiáng)磁鐵5五個(gè)部分。高強(qiáng)磁鐵5與磁鐵背板4用膠粘接，高強(qiáng)磁鐵5均勻分布在磁鐵背板4上。磁鐵背板4通過支撐腳2與主軸I通過螺栓連接，且連接處可適當(dāng)加放調(diào)節(jié)墊片3調(diào)節(jié)磁場(chǎng)強(qiáng)度，磁鐵背板4邊部安裝導(dǎo)向輪支撐磁棒在旋轉(zhuǎn)陰極內(nèi)部保持中間位置同時(shí)也方便磁棒裝入旋轉(zhuǎn)陰極時(shí)對(duì)旋轉(zhuǎn)陰極接口密封面的保護(hù)?？砂卜耪{(diào)整墊片機(jī)構(gòu)是整個(gè)裝置核心部分，通過增加或減少墊片的數(shù)量決定磁場(chǎng)靠近或遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)陰極靶材表面從而控制該部位磁控濺射的磁場(chǎng)強(qiáng)度。
[0012]如圖2所示，本發(fā)明的工作原理:在生產(chǎn)過程中，由于高強(qiáng)磁鐵的磁強(qiáng)存在差異，鍍膜腔體環(huán)境差異，供氣不均勻等情況出現(xiàn)時(shí)必然對(duì)鍍膜玻璃膜沉積的均勻性產(chǎn)生差異，這種情況下我們就可以同過這種旋轉(zhuǎn)陰極磁棒裝置來調(diào)節(jié)靶表面的磁場(chǎng)強(qiáng)度。當(dāng)產(chǎn)品左側(cè)沉積速率慢于右側(cè)沉積速率產(chǎn)生了左右顏色差異時(shí)，我們就可以把磁棒拿出調(diào)節(jié)左側(cè)調(diào)整墊片適當(dāng)增加，右側(cè)調(diào)整墊片適當(dāng)減少，然后再恢復(fù)生產(chǎn)調(diào)試測(cè)量左右鍍膜厚度，直至最優(yōu)。
[0013]本裝置應(yīng)用于大面積平板玻璃鍍膜設(shè)備旋轉(zhuǎn)陰極中，實(shí)現(xiàn)可調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)陰極可調(diào)節(jié)磁場(chǎng)強(qiáng)度，得到更好鍍膜玻璃均勻性。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種旋轉(zhuǎn)陰極磁棒裝置，其特征在于，包括主軸、支撐腳、調(diào)節(jié)墊片、磁鐵背板、高強(qiáng)磁鐵五個(gè)部分;所述高強(qiáng)磁鐵與所述磁鐵背板用膠粘接，所述高強(qiáng)磁鐵均勻分布在所述磁鐵背板上;所述磁鐵背板通過所述支撐腳與所述主軸通過螺栓連接，且連接處設(shè)置若干調(diào)節(jié)墊片調(diào)節(jié)磁場(chǎng)強(qiáng)度，所述磁鐵背板邊部安裝導(dǎo)向輪支撐磁棒在旋轉(zhuǎn)陰極內(nèi)部保持中間位置同時(shí)也方便磁棒裝入旋轉(zhuǎn)陰極時(shí)對(duì)旋轉(zhuǎn)陰極接口密封面的保護(hù)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)陰極磁棒裝置，其特征在于，增加或減少所述調(diào)節(jié)墊片的數(shù)量能夠決定磁場(chǎng)靠近或遠(yuǎn)離旋轉(zhuǎn)陰極靶材表面，從而控制該部位磁控濺射的磁場(chǎng)強(qiáng)度。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種旋轉(zhuǎn)陰極磁棒裝置，高強(qiáng)磁鐵與磁鐵背板用膠粘接，高強(qiáng)磁鐵均勻分布在磁鐵背板上；磁鐵背板通過支撐腳與主軸通過螺栓連接，且連接處設(shè)置若干調(diào)節(jié)墊片調(diào)節(jié)磁場(chǎng)強(qiáng)度，磁鐵背板邊部安裝導(dǎo)向輪支撐磁棒在旋轉(zhuǎn)陰極內(nèi)部保持中間位置同時(shí)也方便磁棒裝入旋轉(zhuǎn)陰極時(shí)對(duì)旋轉(zhuǎn)陰極接口密封面的保護(hù)。
【IPC分類】C23C14/35
【公開號(hào)】CN105714261
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610237800
【發(fā)明人】楊宏斌, 冷慶吉
【申請(qǐng)人】河北物華天寶鍍膜科技有限公司