一種蒸汽輸送mo源連續(xù)供應系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應系統(tǒng)，設置MO源儲存罐往MO源鋼瓶充MO源氣，兩個裝置都有液位探頭，MO源儲存罐加熱，MO源鋼瓶恒溫，MO源儲罐溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可，不需要精確控溫；當MO源鋼瓶液位高時，便直接從MO源鋼瓶內(nèi)輸出MO源；當MO源鋼瓶處于低液位時，便采用MO源儲存罐向MO源鋼瓶輸送MO源，再從MO源鋼瓶輸出MO源，可連續(xù)使用；本系統(tǒng)通過在MO源儲存罐和MO源鋼瓶增加液位探頭，滿足了MO源監(jiān)控計量問題；通過MO源鋼瓶可以有效控制MO源蒸汽濃度，因此MO源儲罐溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可，整個過程只需要根據(jù)MO源鋼瓶液位控制切換使用模式，適用于MO源供應中。
【專利說明】
【技術(shù)領域】
[0001] 本實用新型涉及M0源的供應領域，尤其涉及一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應系統(tǒng)。 一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應系統(tǒng)

【背景技術(shù)】
[0002] M0源為高純金屬有機化合物，或叫化合物半導體微結(jié)構(gòu)材料，是先進的金屬有機 化學氣相沉積（簡稱M0CVD)、金屬有機分子束外延（簡稱Μ0ΜΒΕ)等技術(shù)生長半導體微結(jié) 構(gòu)材料的支撐材料，其優(yōu)異的電學、光學和磁學等性能，可將半導體和集成電路推向更高的 頻率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。半導體微結(jié)構(gòu)材料技術(shù)的發(fā)展狀況是衡量一 個國家電子信息技術(shù)發(fā)展水平的重要標志。在我國M0源已被大量用于LED、太陽能電池、 航空航天技術(shù)等多個領域，是一項高新材料生產(chǎn)技術(shù)。隨著M0CVD (金屬有機化學氣相沉積 技術(shù)）外延技術(shù)發(fā)展，設備大型化已經(jīng)成為必然趨勢，隨之而來的原材料供應問題越來越突 出。M0源（金屬有機化合物）作為其中最重要的原材料，持續(xù)穩(wěn)定的M0供應是提高M0CVD 設備使用效率的重要手段。
[0003] 現(xiàn)如今的M0源使用方法：M0源在使用時需要保持恒溫（±0. 1 °C )，恒壓 (±ltorr)，穩(wěn)定氣體流量（±lsccm)，M0源存儲在鋼瓶(一般稱為鼓泡器）中，惰性氣體(一 般用氫氣或者氮氣）通過深入鋼瓶內(nèi)部的管道進入鼓泡器中，經(jīng)過M0源時產(chǎn)生鼓泡效應， M0源在鼓泡過程中大量蒸發(fā)，形成M0源的飽和蒸汽與惰性氣體混合輸送出來，這樣的供應 方式在鼓泡器中M0源消耗完后，需要將鼓泡器拆卸并更換1個新的鼓泡器。由于M0源具 有可燃性和遇空氣自燃的特性，因此鼓泡器拆裝過程需要對管道系統(tǒng)進行充分置換，并且 需要對管道接頭進行氦質(zhì)譜檢漏。操作過程繁瑣，持續(xù)時間較長，且操作不當會有著火等風 險；更換新的鼓泡器后，需要在恒溫水浴槽中進行充分的熱交換，需要較長時間才能夠使鼓 泡器的溫度達到恒定，鼓泡器中M0源沒有計量和監(jiān)控設備，無法準確判斷殘余量。因此解 決上述問題就顯得十分必要了。 實用新型內(nèi)容
[0004] 本實用新型提供一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應系統(tǒng)，通過設置M0源儲存罐往M0源 鋼瓶充M0源氣，兩個裝置都設置有液位探頭，M0源儲存罐加熱，M0源鋼瓶恒溫，M0源儲罐 溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可，不需要精確控溫；當M0源鋼瓶液位高時，便直接從M0 源鋼瓶內(nèi)輸出M0源；當M0源鋼瓶處于低液位時，便采用M0源儲存罐向M0源鋼瓶輸送M0 源，再從M0源鋼瓶輸出M0源，可連續(xù)使用，解決了【背景技術(shù)】中出現(xiàn)的問題。
[0005] 本實用新型的目的是提供一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應系統(tǒng)，包括兩個M0源儲存 罐，一個正常使用、另一個備用，還有M0源鋼瓶，在兩個M0源儲存罐上左側(cè)設置帶有進氣閥 門的進氣管、右側(cè)設置帶有出氣閥門的出氣管；在兩個M0源儲存罐內(nèi)都設置有液位探頭探 測液位、外部都設置有有加熱包對M0源儲存罐進行加熱；同時還在兩個M0源儲存罐的進氣 管上還設置有總進氣管，出氣管上設置有總出氣管，在總出氣管上設置有至少3個分支氣 管連接在底部外設置有恒溫水浴槽M0源鋼瓶上，M0源鋼瓶頂部也設置有液位探頭探測液 位；MO源鋼瓶頂部右側(cè)設置有出源管。
[0006] 進一步改進在于：在分支氣管上設置有流量控制器控制氣體流量，出源管上設置 壓力控制器控制壓力。
[0007] 進一步改進在于：在總進氣管上第一分支氣管的左側(cè)設置第二分支氣管進高純載 氣，第二分支氣管連接在第一分支氣管上，流量控制器在，第二分支氣管的后面，在第一分 支氣管和第二分支氣管上均設置有控制閥門控制閥門的開啟進氣。
[0008] 進一步改進在于：在第一分支氣管上流量控制器下的右側(cè)設置有第三分支氣管， 第三分支氣管連接在出源管上，這樣第一分支氣管和第二分支氣管來的氣體直接出去，第 三分支氣管上設置有控制閥門。
[0009] 進一步改進在于：在第一分支氣管上位于第三分支氣管下從上到下依次設置有控 制閥門和支管進氣閥門，出源管上位于第三分支氣管下設置有兩個出源閥門。
[0010] 進一步改進在于：在M0源鋼瓶上的液位探頭以及控制閥門均連接有PLC控制器控 制它們的開啟關(guān)閉。
[0011] 本實用新型的有益效果：本系統(tǒng)通過在M0源儲存罐和M0源鋼瓶增加液位探頭，滿 足了 M0源監(jiān)控計量問題，客戶可以直觀的了解到M0源的使用現(xiàn)狀；通過設備自帶的M0源 鋼瓶(低溫恒溫鼓泡器）可以有效控制M0源蒸汽濃度，因此M0源儲罐溫度只要高于低溫鼓 泡器溫度即可，不需要精確控溫，整個過程只需要根據(jù)M0源鋼瓶(低溫恒溫鼓泡器）液位控 制切換使用模式，結(jié)構(gòu)簡單，整個生產(chǎn)過程一直保持持續(xù)供源，因此沒有M0源恒溫的問題， 適用于M0源供應中。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012] 圖1是本實用新型的示意圖。
[0013] 其中：1_第一 M0源儲存罐，2-第二M0源儲存罐，3-M0源鋼瓶，4-高純載氣進氣 管，5-高純載氣出氣管，6-進氣閥門，7-出氣閥門，8-液位探頭，9-加熱包，10-總進氣管， 11-總出氣管，12-第一分支氣管，13-恒溫水浴槽，14-出源管，15-流量控制器，16-壓力控 制器，17-第二分支氣管，18-控制閥門，19-第三分支氣管，20-支管進氣閥門，21-出源閥 門，22-PLC控制器。

【具體實施方式】
[0014] 為了加深對本實用新型的理解，下面將結(jié)合實施例對本實用新型作進一步詳述， 該實施例僅用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型保護范圍的限定。
[0015] 如圖1所示，本實施例提供一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應系統(tǒng)，包括有兩個儲存M0 源的第一 M0源儲存罐1和第二M0源儲存罐2,其中一個使用、另一個備用，還包括有M0源 鋼瓶3,在兩個M0源儲存罐上左側(cè)設置帶有進氣閥門6的高純載氣進氣管4、右側(cè)設置帶有 出氣閥門7的高純載氣出氣管5 ;在兩個M0源儲存罐內(nèi)都設置有液位探頭8探測液位、外部 都設置有有加熱包9對M0源儲存罐進行加熱；同時還在兩個M0源儲存罐的高純載氣進氣 管4上還設置有總進氣管10,高純載氣出氣管5上設置有總出氣管11，在總出氣管11上設 置有3個第一分支氣管12連接在底部外設置有恒溫水浴槽13的M0源鋼瓶3上，M0源從 總出氣管11出來往M0源鋼瓶3內(nèi)輸送M0源，M0源鋼瓶3頂部也設置有液位探頭8探測 液位；MO源鋼瓶3頂部右側(cè)設置有出源管14, MO源從MO源鋼瓶3出來往MOCVD設備中輸 送；在第一分支氣管12上設置有流量控制器15控制氣體流量，出源管14上設置壓力控制 器16控制壓力。在總進氣管11上第一分支氣管12的左側(cè)設置第二分支氣管17直接進高 純載氣，第二分支氣管17連接在第一分支氣管12上，流量控制器15在第二分支氣管17的 后面，在第一分支氣管12和第二分支氣管17上均設置有控制閥門18控制氣體的進氣。在 第一分支氣管12上流量控制器15下的右側(cè)設置有第三分支氣管19,第三分支氣管19連接 在出源管14上，這樣第一分支氣管12和第二分支氣管17來的氣體直接出去，在第三分支 氣管19上設置有控制閥門18。在第一分支氣管12上位于第三分支氣管19下從上到下依 次設置有控制閥門18和支管進氣閥門20,出源管14上位于第三分支氣管19下設置有兩個 出源閥門21。在M0源鋼瓶3上的液位探頭8以及控制閥門18均連接有PLC控制器22控 制它們的開啟關(guān)閉。本系統(tǒng)當M0源鋼瓶3液位高時，便直接從M0源鋼瓶3內(nèi)輸出M0源； 當M0源鋼瓶3處于低液位時，便采用M0源儲存罐向M0源鋼瓶3輸送M0源，再從M0源鋼瓶 3輸出M0源，可連續(xù)使用；本系統(tǒng)通過在M0源儲存罐和M0源鋼瓶3增加液位探頭，滿足了 M0源監(jiān)控計量問題，客戶可以直觀的了解到M0源的使用現(xiàn)狀；通過設備自帶的M0源鋼瓶3 (低溫恒溫鼓泡器)可以有效控制M0源蒸汽濃度，因此M0源儲存罐溫度只要高于M0源鋼瓶 3 (低溫鼓泡器溫度)即可，不需要精確控溫，整個過程只需要根據(jù)M0源鋼瓶3 (低溫恒溫鼓 泡器）液位控制切換使用模式，結(jié)構(gòu)簡單，整個生產(chǎn)過程一直保持持續(xù)供源，因此沒有M0源 恒溫的問題，適用于M0源供應中。
【權(quán)利要求】
1. 一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應系統(tǒng)，包括有第一 MO源儲存罐（1 )、第二MO源儲存罐 (2) 和M0源鋼瓶（3)，其特征在于：所述第一 M0源儲存罐（1)和第二M0源儲存罐（2)上左 側(cè)垂直位置設置有高純載氣的進氣管（4)、右側(cè)設置有高純載氣出氣管（5);高純載氣進氣 管（4)在進口處設置有進氣閥門（6 )，高純載氣出氣管（4)在出口處設置有出氣閥門（7 );第 一 M0源儲存罐（1)和第二M0源儲存罐（2)內(nèi)頂部均設置有液位探頭（8)、外部包有加熱包 (9) ;所述第一 M0源儲存罐（1)和第二M0源儲存罐（2)的高純載氣進氣管（4)上水平位置 設置總進氣管（10)，高純載氣出氣管（5)上水平位置設置有總出氣管（11);總出氣管（11) 上設置有至少3個第一分支氣管（12)，第一分支氣管（12)連接著M0源鋼瓶（3)，M0源鋼瓶 (3) 底部外設置有恒溫水浴槽（13)、頂部也設置有液位探頭（8) ;M0源鋼瓶（3)頂部右側(cè)設 置有出源管（14)。
2. 如權(quán)利要求1所述一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應系統(tǒng)，其特征在于：所述第一分支氣 管（12)上設置有流量控制器（15)，出源管（14)上末段設置有壓力控制器（16)。
3. 如權(quán)利要求1所述一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應系統(tǒng)，其特征在于：所述總進氣管 (10) 上在第一分支氣管（12)的左側(cè)設置有第二分支氣管（17)，第二分支氣管（17)連接在 位于流量控制器（15)前端的第一分支氣管（12)上，第一分支氣管（12)和第二分支氣管 (17)上均設置有控制閥門（18)。
4. 如權(quán)利要求2所述一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應系統(tǒng)，其特征在于：所述第一分支氣 管（12)上流量控制器（15)下的右側(cè)設置有第三分支氣管（19)，第三分支氣管（19)連接在 出源管（14)上，第三分支氣管（19)上設置有控制閥門（18)。
5. 如權(quán)利要求4所述一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應系統(tǒng)，其特征在于：所述第一分支氣 管（12)上位于第三分支氣管（19)下從上到下依次設置有控制閥門（18)和支管進氣閥門 (20)，出源管（14)上位于第三分支氣管（19)下設置有兩個出源閥門（21)。
6. 如權(quán)利要求3或4或5所述一種蒸汽輸送M0源連續(xù)供應系統(tǒng)，其特征在于：所述M0 源鋼瓶（3)上的液位探頭（8)以及控制閥門（18)均連接有PLC控制器（22)。
【文檔編號】C23C16/448GK203846101SQ201420204340
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月25日
【發(fā)明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申請人:安徽亞格盛電子新材料有限公司