一種蒸汽輸送mo源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，設(shè)置MO源儲存罐往MO源鋼瓶充MO源氣，兩個裝置都有液位探頭，MO源儲存罐加熱，MO源鋼瓶恒溫，MO源儲罐溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可；當(dāng)MO源鋼瓶液位高時，便直接從MO源鋼瓶內(nèi)輸出MO源；當(dāng)MO源鋼瓶處于低液位時，便采用MO源儲存罐向MO源鋼瓶輸送MO源，再從MO源鋼瓶輸出MO源，可連續(xù)使用；本系統(tǒng)通過在MO源儲存罐和MO源鋼瓶增加液位探頭，滿足了MO源監(jiān)控計量問題；通過MO源鋼瓶可以有效控制MO源蒸汽濃度，因此MO源儲罐溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可，不需要精確控溫，整個過程只需要根據(jù)MO源鋼瓶液位控制切換使用模式，適用于MO源供應(yīng)中。
【專利說明】一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及MO源的供應(yīng)領(lǐng)域，尤其涉及一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]MO源為高純金屬有機(jī)化合物，或叫化合物半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料，是先進(jìn)的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(簡稱M0CVD)、金屬有機(jī)分子束外延(簡稱Μ0ΜΒΕ)等技術(shù)生長半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料的支撐材料，其優(yōu)異的電學(xué)、光學(xué)和磁學(xué)等性能，可將半導(dǎo)體和集成電路推向更高的頻率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r是衡量一個國家電子信息技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。在我國MO源已被大量用于LED、太陽能電池、航空航天技術(shù)等多個領(lǐng)域，是一項高新材料生產(chǎn)技術(shù)。隨著MOCVD (金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積技術(shù))外延技術(shù)發(fā)展，設(shè)備大型化已經(jīng)成為必然趨勢，隨之而來的原材料供應(yīng)問題越來越突出。MO源(金屬有機(jī)化合物)作為其中最重要的原材料，持續(xù)穩(wěn)定的MO供應(yīng)是提高M(jìn)OCVD設(shè)備使用效率的重要手段。 [0003]現(xiàn)如今的MO源使用方法:MO源在使用時需要保持恒溫(±0.1 0C )，恒壓(± Itorr),穩(wěn)定氣體流量(± Isccm), MO源存儲在鋼瓶(一般稱為鼓泡器)中，惰性氣體(一般用氫氣或者氮?dú)?通過深入鋼瓶內(nèi)部的管道進(jìn)入鼓泡器中，經(jīng)過MO源時產(chǎn)生鼓泡效應(yīng)，MO源在鼓泡過程中大量蒸發(fā)，形成MO源的飽和蒸汽與惰性氣體混合輸送出來，這樣的供應(yīng)方式在鼓泡器中MO源消耗完后，需要將鼓泡器拆卸并更換I個新的鼓泡器。由于MO源具有可燃性和遇空氣自燃的特性，因此鼓泡器拆裝過程需要對管道系統(tǒng)進(jìn)行充分置換，并且需要對管道接頭進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏。操作過程繁瑣，持續(xù)時間較長，且操作不當(dāng)會有著火等風(fēng)險；更換新的鼓泡器后，需要在恒溫水浴槽中進(jìn)行充分的熱交換，需要較長時間才能夠使鼓泡器的溫度達(dá)到恒定，鼓泡器中MO源沒有計量和監(jiān)控設(shè)備，無法準(zhǔn)確判斷殘余量。因此解決上述問題就顯得十分必要了。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，通過設(shè)置MO源儲存罐往MO源鋼瓶充MO源氣，兩個裝置都設(shè)置有液位探頭，MO源儲存罐加熱，MO源鋼瓶恒溫，MO源儲罐溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可，不需要精確控溫；當(dāng)MO源鋼瓶液位高時，便直接從MO源鋼瓶內(nèi)輸出MO源；當(dāng)MO源鋼瓶處于低液位時，便采用MO源儲存罐向MO源鋼瓶輸送MO源，再從MO源鋼瓶輸出MO源，可連續(xù)使用，解決了【背景技術(shù)】中出現(xiàn)的問題。
[0005]本發(fā)明的目的是提供一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，包括兩個MO源儲存罐，一個正常使用、另一個備用，還有MO源鋼瓶，在兩個MO源儲存罐上左側(cè)設(shè)置帶有進(jìn)氣閥門的進(jìn)氣管、右側(cè)設(shè)置帶有出氣閥門的出氣管；在兩個MO源儲存罐內(nèi)都設(shè)置有液位探頭探測液位、外部都設(shè)置有有加熱包對MO源儲存罐進(jìn)行加熱；同時還在兩個MO源儲存罐的進(jìn)氣管上還設(shè)置有總進(jìn)氣管，出氣管上設(shè)置有總出氣管，在總出氣管上設(shè)置有至少3個分支氣管連接在底部外設(shè)置有恒溫水浴槽MO源鋼瓶上，MO源鋼瓶頂部也設(shè)置有液位探頭探測液位；MO源鋼瓶頂部右側(cè)設(shè)置有出源管。
[0006]進(jìn)一步改進(jìn)在于:在分支氣管上設(shè)置有流量控制器控制氣體流量，出源管上設(shè)置壓力控制器控制壓力。
[0007]進(jìn)一步改進(jìn)在于:在總進(jìn)氣管上第一分支氣管的左側(cè)設(shè)置第二分支氣管進(jìn)高純載氣，第二分支氣管連接在第一分支氣管上，流量控制器在，第二分支氣管的后面，在第一分支氣管和第二分支氣管上均設(shè)置有控制閥門控制閥門的開啟進(jìn)氣。
[0008]進(jìn)一步改進(jìn)在于:在第一分支氣管上流量控制器下的右側(cè)設(shè)置有第三分支氣管，第三分支氣管連接在出源管上，這樣第一分支氣管和第二分支氣管來的氣體直接出去，第三分支氣管上設(shè)置有控制閥門。
[0009]進(jìn)一步改進(jìn)在于:在第一分支氣管上位于第三分支氣管下從上到下依次設(shè)置有控制閥門和支管進(jìn)氣閥門，出源管上位于第三分支氣管下設(shè)置有兩個出源閥門。
[0010]進(jìn)一步改進(jìn)在于:在MO源鋼瓶上的液位探頭以及控制閥門均連接有PLC控制器控制它們的開啟關(guān)閉。
[0011]本發(fā)明的有益效果:本系統(tǒng)通過在MO源儲存罐和MO源鋼瓶增加液位探頭，滿足了MO源監(jiān)控計量問題，客戶可以直觀的了解到MO源的使用現(xiàn)狀；通過設(shè)備自帶的MO源鋼瓶(低溫恒溫鼓泡器)可以有效控制MO源蒸汽濃度，因此MO源儲罐溫度只要高于低溫鼓泡器溫度即可，不需要精確控溫，整個過程只需要根據(jù)MO源鋼瓶(低溫恒溫鼓泡器)液位控制切換使用模式，結(jié)構(gòu)簡單 ，整個生產(chǎn)過程一直保持持續(xù)供源，因此沒有MO源恒溫的問題，適用于MO源供應(yīng)中。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本發(fā)明的示意圖。
[0013]其中:1_第一 MO源儲存罐，2-第二 MO源儲存罐，3-M0源鋼瓶，4-高純載氣進(jìn)氣管，5-高純載氣出氣管，6-進(jìn)氣閥門，7-出氣閥門，8-液位探頭，9-加熱包，10-總進(jìn)氣管，
11-總出氣管，12-第一分支氣管，13-恒溫水浴槽，14-出源管，15-流量控制器，16-壓力控制器，17-第二分支氣管，18-控制閥門，19-第三分支氣管，20-支管進(jìn)氣閥門，21-出源閥門，22-PLC控制器。
【具體實施方式】
[0014]為了加深對本發(fā)明的理解，下面將結(jié)合實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳述，該實施例僅用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明保護(hù)范圍的限定。
[0015]如圖1所示，本實施例提供一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，包括有兩個儲存MO源的第一 MO源儲存罐I和第二 MO源儲存罐2，其中一個使用、另一個備用，還包括有MO源鋼瓶3，在兩個MO源儲存罐上左側(cè)設(shè)置帶有進(jìn)氣閥門6的高純載氣進(jìn)氣管4、右側(cè)設(shè)置帶有出氣閥門7的高純載氣出氣管5 ;在兩個MO源儲存罐內(nèi)都設(shè)置有液位探頭8探測液位、外部都設(shè)置有有加熱包9對MO源儲存罐進(jìn)行加熱；同時還在兩個MO源儲存罐的高純載氣進(jìn)氣管4上還設(shè)置有總進(jìn)氣管10，高純載氣出氣管5上設(shè)置有總出氣管11，在總出氣管11上設(shè)置有3個第一分支氣管12連接在底部外設(shè)置有恒溫水浴槽13的MO源鋼瓶3上，MO源從總出氣管11出來往MO源鋼瓶3內(nèi)輸送MO源，MO源鋼瓶3頂部也設(shè)置有液位探頭8探測液位；M0源鋼瓶3頂部右側(cè)設(shè)置有出源管14，MO源從MO源鋼瓶3出來往MOCVD設(shè)備中輸送；在第一分支氣管12上設(shè)置有流量控制器15控制氣體流量，出源管14上設(shè)置壓力控制器16控制壓力。在總進(jìn)氣管11上第一分支氣管12的左側(cè)設(shè)置第二分支氣管17直接進(jìn)高純載氣，第二分支氣管17連接在第一分支氣管12上，流量控制器15在第二分支氣管17的后面，在第一分支氣管12和第二分支氣管17上均設(shè)置有控制閥門18控制氣體的進(jìn)氣。在第一分支氣管12上流量控制器15下的右側(cè)設(shè)置有第三分支氣管19，第三分支氣管19連接在出源管14上，這樣第一分支氣管12和第二分支氣管17來的氣體直接出去，在第三分支氣管19上設(shè)置有控制閥門18。在第一分支氣管12上位于第三分支氣管19下從上到下依次設(shè)置有控制閥門18和支管進(jìn)氣閥門20，出源管14上位于第三分支氣管19下設(shè)置有兩個出源閥門21。在MO源鋼瓶3上的液位探頭8以及控制閥門18均連接有PLC控制器22控制它們的開啟關(guān)閉。本系統(tǒng)當(dāng)MO源鋼瓶3液位高時，便直接從MO源鋼瓶3內(nèi)輸出MO源；當(dāng)MO源鋼瓶3處于低液位時，便采用MO源儲存罐向MO源鋼瓶3輸送MO源，再從MO源鋼瓶3輸出MO源，可連續(xù)使用；本系統(tǒng)通過在MO源儲存罐和MO源鋼瓶3增加液位探頭，滿足了MO源監(jiān)控計量問題，客戶可以直觀的了解到MO源的使用現(xiàn)狀；通過設(shè)備自帶的MO源鋼瓶3(低溫恒溫鼓泡器)可以有效控制MO源蒸汽濃度，因此MO源儲存罐溫度只要高于MO源鋼瓶
3 (低溫鼓泡器溫度)即可，不需要精確控溫，整個過程只需要根據(jù)MO源鋼瓶3 (低溫恒溫鼓泡器)液位控制切換使用模式，結(jié)構(gòu)簡單，整個生產(chǎn)過程一直保持持續(xù)供源，因此沒有MO源恒溫的問題，適用于MO源供應(yīng)中。
【權(quán)利要求】
1.一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，包括有第一 MO源儲存罐(I )、第二 MO源儲存罐(2)和MO源鋼瓶(3)，其特征在于:所述第一MO源儲存罐(I)和第二 MO源儲存罐(2)上左側(cè)垂直位置設(shè)置有高純載氣的進(jìn)氣管(4)、右側(cè)設(shè)置有高純載氣出氣管(5);高純載氣進(jìn)氣管(4)在進(jìn)口處設(shè)置有進(jìn)氣閥門(6 )，高純載氣出氣管(4)在出口處設(shè)置有出氣閥門(7 );第一 MO源儲存罐(I)和第二 MO源儲存罐(2)內(nèi)頂部均設(shè)置有液位探頭(8)、外部包有加熱包(9);所述第一MO源儲存罐(I)和第二 MO源儲存罐(2)的高純載氣進(jìn)氣管(4)上水平位置設(shè)置總進(jìn)氣管(10)，高純載氣出氣管(5)上水平位置設(shè)置有總出氣管(11);總出氣管(11)上設(shè)置有至少3個第一分支氣管(12)，第一分支氣管(12)連接著MO源鋼瓶(3)，MO源鋼瓶(3)底部外設(shè)置有恒溫水浴槽(13)、頂部也設(shè)置有液位探頭(8)；MO源鋼瓶(3)頂部右側(cè)設(shè)置有出源管(14)。
2.如權(quán)利要求1所述一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述第一分支氣管(12)上設(shè)置有流量控制器(15)，出源管(14)上末段設(shè)置有壓力控制器(16)。
3.如權(quán)利要求1所述一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述總進(jìn)氣管(10)上在第一分支氣管(12)的左側(cè)設(shè)置有第二分支氣管(17)，第二分支氣管(17)連接在位于流量控制器(15)前端的第一分支氣管(12)上，第一分支氣管(12)和第二分支氣管(17)上均設(shè)置有控制閥門(18)。
4.如權(quán)利要求2所述一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述第一分支氣管(12)上流量控制器(15)下的右側(cè)設(shè)置有第三分支氣管(19)，第三分支氣管(19)連接在出源管(14)上，第三分支氣管(19)上設(shè)置有控制閥門(18)。
5.如權(quán)利要求4所述一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述第一分支氣管(12)上位于第三分支氣管(19)下從上到下依次設(shè)置有控制閥門(18)和支管進(jìn)氣閥門(20)，出源管(14)上位于第三分支氣管(19)下設(shè)置有兩個出源閥門(21)。
6.如權(quán)利要求3或4或5所述一種蒸汽輸送MO源連續(xù)供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于:所述MO源鋼瓶(3)上的液位探頭(8)以及控制閥門(18)均連接有PLC控制器(22)。
【文檔編號】C23C16/448GK103924214SQ201410168891
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月25日
【發(fā)明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申請人:安徽亞格盛電子新材料有限公司