專利名稱：一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及真空鍍膜設備領域，尤其是涉及通過電子束蒸發(fā)鍍膜的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架。
背景技術：
在真空鍍膜領域，為了形成一定厚度規(guī)格的鍍層薄膜，在批量鍍膜之前，需要通過對鍍膜的膜厚測試來對真空鍍膜工藝參數進行測試調整，為此，必須使用鍍膜測試樣品進行測試薄膜樣品制作，并且測量鍍膜測試樣品的實際膜厚，進而調整鍍膜工藝。特別是在等離子電視機適用的等離子顯示屏測試和制造過程中，必須對等離子顯示屏的金屬氧化物如氧化鎂導電薄膜的膜厚進行精確測試，以調整真空鍍膜設備的鍍膜工藝參數，減少鍍膜成品的不良率，提聞廣品質量。目前，真空鍍膜領域中常用的是電子束蒸發(fā)鍍膜，該方法是依靠皮爾斯電子槍發(fā)射的高能電子束流轟擊靶材，使靶材受熱瞬間蒸發(fā)，最終沉積到相對位置的基片上，從而在基片上形成一層鍍膜。對于薄膜厚度控制中的膜厚測試項目，傳統(tǒng)的膜厚測試方法分為兩種:第一種，直接使用玻璃基板(母板)進行鍍膜，然后切割成樣片，再用掃面電子顯微鏡進行截面表征，測量出膜層厚度。該測試方法所需的樣品制作復雜，測試成本高，并且玻璃母板容易發(fā)生破碎，不宜量產應用。第二種，使用高溫膠帶將載玻片貼附在玻璃基板(母板)上進行鍍膜，然后用臺階儀測量膜層厚度。該測試方法由于仍然必須使用玻璃母板作為載體，測試成本依然比較高，并且仍然存在玻璃母板破碎風險，同樣不適宜量產應用。

實用新型內容本實用新型的目的在于:針對現有技術存在的問題，提供一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，利用該支架制成的鍍膜測試樣品進行膜厚測試，在保證測試精準度的前提下，降低測試成本，減少測試作業(yè)量，并且避免玻璃基板破碎風險，不影響量產設備稼動率。本實用新型的目的通過以下技術方案來實現:一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，主要包括支架加強板、樣品托板和樣品放置口。所述的支架加強板與樣品托板之間緊固連接，所述的樣品放置口設置在樣品托板上。所述的支架加強板呈細長矩形狀，其厚度為所述的樣品托板厚度的兩倍至四倍之間；所述的支架加強板共有兩條，并且以樣品托板長邊對稱軸為中心對稱分布在樣品托板的兩側邊緣；所述的支架加強板的長邊方向設置有若干個通孔，所有的通孔均沿著支架加強板長邊對稱軸呈“一”字型均勻分布。所述的樣品托板是一個扁平矩形板，在托板上設置有若干個樣品放置口和若干個螺紋孔。所述的樣品放置口呈“十”字型，中部是矩形通孔，上下端是矩形沉頭槽；所有的樣品放置口均沿著樣品托板長邊對稱軸呈“一”字型均勻分布，所有的螺紋孔以樣品托板長邊對稱軸為中心對稱均勻分布在樣品托板的兩側邊緣，并且與所述的支架加強板上的若干個通孔順序一一對應。所述的支架加強板、樣品托板和緊固螺釘均采用不銹鋼制成。與現有技術相比，本實用新型一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，采用不銹鋼制成的鍍膜支架代替?zhèn)鹘y(tǒng)的玻璃基板(母板)，以載玻片為樣品，將載玻片放置于支架上，再進入鍍膜設備進行薄膜制備，然后對其膜厚進行測量。使用本實用新型進行膜厚測試，過程簡單，測試成本低廉，測試數據準確，并且沒有玻璃基板(母板)破碎風險。

圖1為本實用新型一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架的俯視圖。圖2為本實用新型一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架的正視圖。圖3為本實用新型一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架的側視圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型進行詳細說明。如圖1 圖3所示，一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，主要包括支架加強板1、樣品托板2和樣品放置口 3。所述的支架加強板I呈細長矩形狀，其厚度為所述的樣品托板2厚度的兩倍至四倍之間；所述的支架加強板I的數量共有兩條，并且以樣品托板2長邊對稱軸為中心對稱分布在樣品托板2的兩側邊緣；在所述的支架加強板I的長邊方向設置有若干個通孔，所有的通孔均沿著支架加強板I長邊對稱軸呈“一”字型均勻分布；所述的支架加強板I與樣品托板2之間均采用緊固螺釘4緊固連接。所述的樣品托板2是一個扁平矩形板，其上設置有若干個樣品放置口 3和若干個螺紋孔；所述的樣品放置口 3呈“十”字型，中部是矩形通孔，上下端是矩形沉頭槽；所有的樣品放置口 3均沿著樣品托板2長邊對稱軸呈“一”字型均勻分布，所有的螺紋孔以樣品托板2長邊對稱軸為中心對稱均勻分布在樣品托板2的兩側邊緣，并且與所述的支架加強板I上的若干個通孔順序一一對應。作為具體實施例，本實用新型一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，首先，必須根據所測量的鍍膜設備的托盤實際尺寸來具體確定出支架的總體尺寸，然后再根據所選取的載玻片規(guī)格來具體確認出樣品放置口 3的尺寸規(guī)格，本實施例采20個樣品放置口 3，其相鄰距離為105mm，所述的支架加強板I與樣品托板2之間均采用Φ 10緊固螺釘4緊固連接。在實際測試過程中，首先將欲進行鍍膜膜厚測試的載玻片放置在支架上的樣品放置口 3，具體放置數量及位置隨測試要求而定；再將支架整體放置在鍍膜設備的托盤上，并隨托盤進入鍍膜腔室；載玻片樣品在隨著本支架進入鍍膜設備的蒸鍍腔室后，按照具體測試要求，依據預先設置的工藝參數完成鍍膜制備過程，并形成膜厚測試樣品；在鍍膜完成后，取出支架整體，并取下載玻片，即得到鍍膜樣品，最后使用臺階儀測量鍍膜的實際膜厚，并對鍍膜樣品進行相關特性檢測，根據檢測結果可以分析出最合適的最優(yōu)化鍍膜操作工藝參數，提高鍍膜質量。由于本實用新型的支架加強板1、樣品托板2和緊固螺釘4均采用不銹鋼制成，而且所述的支架加強板I的厚度為所述的樣品托板2厚度的兩倍至四倍之間，可以確保在鍍膜操作的高溫環(huán)境中保持原狀而不變形，使鍍膜載玻片始終保持水平狀態(tài)，從而保證鍍膜均勻，膜厚一致，因此所測得膜厚數據準確度很高；設置多個樣品放置口 3可以一次性地獲取多個鍍膜測試樣品，方便膜厚測試數據的累積綜合分析，大大降低了多次反復測試導致的測試成本，而且使用本實用新型也沒有傳統(tǒng)測試方法可能導致的玻璃基板破碎的風險。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，應當指出的是，凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，其特征在于:所述的支架包括支架加強板(I)、樣品托板(2)和樣品放置口(3)，所述的支架加強板(I)與樣品托板(2)之間緊固連接，所述的樣品放置口(3)設置在樣品托板(2)上。
2.根據權利要求1所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，其特征在于:所述的支架加強板(I)的數量是兩條，并且是以樣品托板(2)長邊對稱軸為中心對稱分布在樣品托板(2)的兩側邊緣。
3.根據權利要求1或者2所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，其特征在于:單條所述的支架加強板(I)呈細長矩形狀，其厚度為所述的樣品托板(2)厚度的兩倍至四倍之間。
4.根據權利要求1或者2所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，其特征在于:所述的支架加強板(I)的長邊方向設置有若干個通孔，所有的通孔均沿著支架加強板(I)長邊對稱軸呈“一”字型均勻分布。
5.根據權利要求1或者2所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，其特征在于:所述的樣品托板(2)是一個扁平矩形板，在所述的樣品托板(2)上設置有若干個樣品放置口(3)和若干個螺紋孔。
6.根據權利要求5所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，其特征在于:所述的若干個樣品放置口(3)均沿著樣品托板(2)長邊對稱軸呈“一”字型均勻分布。
7.根據權利要求5所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，其特征在于:所述的樣品托板(2)上的若干個螺紋孔是以樣品托板(2)長邊對稱軸為中心對稱均勻分布在樣品托板(2)的兩側邊緣，并且與所述的支架加強板(I)上的若干個通孔順序一一對應。
8.根據權利要求1所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，其特征在于:所述的樣品放置口(3)呈“十”字型，中部是矩形通孔，上下端是矩形沉頭槽。
9.根據權利要求1所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，其特征在于:所述的支架加強板(I)與樣品托板(2)采用緊固螺釘(4)緊固連接。
10.根據權利要求1或者9所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，其特征在于:所述的支架加強板(I)、樣品托板(2)和緊固螺釘(4)均采用不銹鋼制成。
專利摘要本實用新型提供一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架，主要包括支架加強板(1)、樣品托板(2)和樣品放置口(3)。所述的支架加強板(1)與樣品托板(2)之間均采用緊固螺釘(4)緊固連接；所述的支架加強板(1)厚度為所述的樣品托板(2)厚度的兩倍至四倍之間；所述的樣品托板(2)上均勻設置有若干個樣品放置口(3)和若干個螺紋孔；所述的樣品放置口(3)呈“十”字型，中部是矩形通孔，上下端是矩形沉頭槽；所述的支架加強板(1)、樣品托板(2)和緊固螺釘(4)均采用不銹鋼制成。利用本實用新型所制得的膜厚測試樣品，鍍膜均勻，鍍膜效率高，成本低廉，測試數據準確，并且沒有傳統(tǒng)的玻璃基板破碎風險。
文檔編號C23C14/30GK202968684SQ20122064855
公開日2013年6月5日 申請日期2012年11月30日 優(yōu)先權日2012年11月30日
發(fā)明者李凱, 段冰, 彭開燁 申請人:四川虹歐顯示器件有限公司