一種真空鍍膜線真空腔室的側(cè)冷卻裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及連續(xù)式真空磁控濺射鍍膜玻璃生產(chǎn)線，具體涉及一種連續(xù)式真空磁控濺射鍍膜玻璃生產(chǎn)線的真空腔室側(cè)壁上安裝的冷卻裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]連續(xù)式真空磁控濺射鍍膜玻璃生產(chǎn)線，工作時(shí)真空腔室內(nèi)陰極等離子放電會產(chǎn)生大量的熱幅射，為了保證溫度不過高，真空腔室內(nèi)都要安裝冷卻裝置。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，真空腔室的側(cè)壁上安裝的冷卻裝置是一種無氧銅板內(nèi)通水的冷卻裝置。該現(xiàn)有冷卻裝置存在以下不足:
[0004]1、銅板冷卻裝置加工成本高；
[0005]2、銅板質(zhì)量較大；
[0006]3、銅板的整體平面度不易保證。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本實(shí)用新型目的是提供一種真空鍍膜線真空腔室的側(cè)冷卻裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)存在的加工成本、質(zhì)量以及整體平面度的問題。
[0008]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種真空鍍膜線真空腔室的側(cè)冷卻裝置，包括:
[0009]—主體，該主體為拉制工藝制作的鋁型材，該主體內(nèi)設(shè)有相互平行的沿長度方向的第一冷卻水通道和第二冷卻水通道；以及
[0010]一第一端板，封設(shè)于所述主體的一端，該第一端板內(nèi)設(shè)通道將所述第一冷卻水通道和第二冷卻水通道連通。
[0011]上述方案中，所述側(cè)冷卻裝置還包括一第二端板，該第二端板相對于第一端板設(shè)于所述主體的另一端，所述第二端板上各對應(yīng)第一冷卻水通道和第二冷卻水通道設(shè)有與之相通的管接頭。
[0012]上述方案中，所述主體上均勻開設(shè)有若干個(gè)沿厚度方向的腰型孔，且腰型孔位于所述第一冷卻水通道和第二冷卻水通道之間的位置。
[0013]上述方案中，所述主體上設(shè)有若干個(gè)沿厚度方向的銷孔。
[0014]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)原理以及效果:
[0015]1、由于本實(shí)用新型主要由一鋁型材主體和第一端板組成，質(zhì)輕，為檢修、安裝、搬運(yùn)等提供了方便，進(jìn)而提高了生產(chǎn)效率；
[0016]2、由于本實(shí)用新型主要由一鋁型材主體和第一端板組成，主體是一次成型，可以有效保證表面的平整性，從而保證該裝置與真空腔室的側(cè)壁完全貼合，最大程度地起到冷卻效果；
[0017]3、由于本實(shí)用新型主要由一鋁型材主體和第一端板組成，鋁型材較現(xiàn)有銅板冷卻裝置，更利于成本的降低。
【附圖說明】
[0018]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例結(jié)構(gòu)主視示意圖；
[0019]圖2為圖1的俯視不意圖；
[0020]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例主體的斷面示意圖；
[0021]圖4為圖1的A-A示意圖。
[0022]以上附圖中:1、主體；11、第一冷卻水通道；12、第二冷卻水通道；13、腰型孔；14、銷孔；2、第一端板；3、第二端板；31、管接頭。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0024]實(shí)施例:參見圖1-4所示:
[0025]—種真空鍍膜線真空腔室的側(cè)冷卻裝置，參見圖1、圖2所示，包括主體1、第一端板2以及第二端板3。
[0026]參見圖1、圖2所示，所述主體I為拉制工藝制作的鋁型材，該主體I內(nèi)設(shè)有相互平行的沿長度方向的第一冷卻水通道11和第二冷卻水通道12。主體I的斷面形狀如圖3所示，為一矩形，第一冷卻水通道11和第二冷卻水通道12的截面形狀均為圓形。
[0027]參見圖1、圖2所示，第一端板2封設(shè)于所述主體I的一端，該第一端板2內(nèi)設(shè)通道將所述第一冷卻水通道11和第二冷卻水通道12連通，第二端板3相對于第一端板2設(shè)于主體I的另一端，所述第二端板3上各對應(yīng)第一冷卻水通道11和第二冷卻水通道12設(shè)有與之相通的管接頭31，具體管接頭31是螺紋接頭，方便與其他設(shè)備連接。
[0028]具體，第一端板2和第二端板3與主體I間設(shè)有密封圈密封連接，第一端板2和第二端板3與主體I間具體可通過若干個(gè)螺栓連接。
[0029]參見圖1、圖2所示，所述主體I上均勻開設(shè)有若干個(gè)沿厚度方向的腰型孔13，且腰型孔13位于所述第一冷卻水通道11和第二冷卻水通道12之間的位置。腰型孔13內(nèi)可設(shè)有內(nèi)螺紋段，便于通過螺紋與其他零部件(如蓋板)連接。
[0030]參見圖1、圖2所示，所述主體I上設(shè)有若干個(gè)沿厚度方向的銷孔14，這樣就可以在安裝本實(shí)施例側(cè)冷卻裝置時(shí)，通過銷來定位，從而準(zhǔn)確的安裝。
[0031]本實(shí)施例使用時(shí)，是安裝于真空腔室的側(cè)壁上，在本實(shí)施例上可再覆蓋安裝一蓋板保護(hù)，該蓋板即以螺栓經(jīng)腰型孔13與實(shí)施例的主體I固定連接。
[0032]本實(shí)施例制作成本低、質(zhì)輕，為檢修、安裝、搬運(yùn)等提供了方便，進(jìn)而提高了生產(chǎn)效率；并且，因主體I是一次成型，可以有效保證表面的平整性，從而保證該裝置與真空腔室的側(cè)壁完全貼合，最大程度地起到冷卻效果。
[0033]上述實(shí)施例只為說明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空鍍膜線真空腔室的側(cè)冷卻裝置，其特征在于:包括: 一主體(1)，該主體(I)為拉制工藝制作的鋁型材，該主體(I)內(nèi)設(shè)有相互平行的沿長度方向的第一冷卻水通道(11)和第二冷卻水通道(12);以及 一第一端板(2)，封設(shè)于所述主體(I)的一端，該第一端板(2)內(nèi)設(shè)通道將所述第一冷卻水通道(11)和第二冷卻水通道(12)連通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種真空鍍膜線真空腔室的側(cè)冷卻裝置，其特征在于:所述側(cè)冷卻裝置還包括一第二端板(3 )，該第二端板(3 )相對于第一端板(2 )設(shè)于所述主體(I)的另一端，所述第二端板(3)上各對應(yīng)第一冷卻水通道(11)和第二冷卻水通道(12)設(shè)有與之相通的管接頭(31)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種真空鍍膜線真空腔室的側(cè)冷卻裝置，其特征在于:所述主體(I)上均勻開設(shè)有若干個(gè)沿厚度方向的腰型孔(13)，且腰型孔(13)位于所述第一冷卻水通道(11)和第二冷卻水通道(12)之間的位置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種真空鍍膜線真空腔室的側(cè)冷卻裝置，其特征在于:所述主體(I)上設(shè)有若干個(gè)沿厚度方向的銷孔(14)。
【專利摘要】一種真空鍍膜線真空腔室的側(cè)冷卻裝置，其特征在于：包括：一主體（1），該主體（1）為拉制工藝制作的鋁型材，該主體（1）內(nèi)設(shè)有相互平行的沿長度方向的第一冷卻水通道（11）和第二冷卻水通道（12）；以及一第一端板（2），封設(shè)于所述主體（1）的一端，該第一端板（2）內(nèi)設(shè)通道將所述第一冷卻水通道（11）和第二冷卻水通道（12）連通。本實(shí)用新型制作成本低、質(zhì)輕，為檢修、安裝、搬運(yùn)等提供了方便，進(jìn)而提高了生產(chǎn)效率；并且，因主體是一次成型，可以有效保證表面的平整性，從而保證該裝置與真空腔室的側(cè)壁完全貼合，最大程度地起到冷卻效果。
【IPC分類】C23C14/35
【公開號】CN204849012
【申請?zhí)枴緾N201520509257
【發(fā)明人】郭慶, 李險(xiǎn)峰, 臧曉良, 黃琨, 凌晨
【申請人】中建材光電裝備（太倉）有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年7月15日