專利名稱：晶圓鍍膜的加熱平臺(tái)的水平微調(diào)及紀(jì)錄裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種晶圓鍍膜的加熱平臺(tái)的水平微調(diào)及紀(jì)錄裝置，其主要利用調(diào)整裝置的極精細(xì)微調(diào)，以控制調(diào)整臺(tái)兩端的水平距離，促使固定板能保持在最佳的水平角度，提升晶圓的鍍膜質(zhì)量。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的晶圓鍍膜平臺(tái)請(qǐng)參閱圖1所示，其主要由加熱平臺(tái)10、加熱器11及調(diào)整臺(tái)12所組成，該加熱器11貫穿設(shè)于調(diào)整臺(tái)12，并于加熱器11上方設(shè)置一加熱平臺(tái)10，因此當(dāng)調(diào)整臺(tái)12進(jìn)行水平微調(diào)時(shí)，能同步微調(diào)加熱平臺(tái)10的水平。其次，位于調(diào)整臺(tái)12的端邊設(shè)置有調(diào)整裝置13，其由定位桿130及調(diào)整螺帽131所組成，該定位桿130固設(shè)于調(diào)整臺(tái)12上，再將調(diào)整螺帽131由定位桿130下方螺入，而定位于調(diào)整臺(tái)12下方，供使用者旋轉(zhuǎn)調(diào)整螺帽131以進(jìn)行調(diào)整臺(tái)12的水平微調(diào)。當(dāng)晶圓進(jìn)行鍍膜時(shí)，需將晶圓放置于加熱平臺(tái)10上(圖中未顯示)，再啟動(dòng)加熱器11使加熱平臺(tái)10能導(dǎo)熱以進(jìn)行晶圓表面鍍膜，然而該加熱平臺(tái)10容易受晶圓的重量不平均或熱脹冷縮的影響，導(dǎo)致晶圓受熱不均勻，而造成鍍膜質(zhì)量不佳。因此，鍍膜前必須憑借轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整螺帽131，以調(diào)整加熱平臺(tái)10的水平距離，確保晶圓能均勻受熱，但調(diào)整時(shí)需非常精細(xì)，否則容易造成滑片的風(fēng)險(xiǎn)，且每次調(diào)整僅憑使用者的先前經(jīng)驗(yàn)，因此相當(dāng)耗時(shí)費(fèi)力，尤其每次調(diào)整前都無(wú)法了解先前調(diào)整數(shù)據(jù)，完全無(wú)法掌控調(diào)整數(shù)據(jù)，因此每次調(diào)整都必須不斷的測(cè)試、調(diào)整再修正，導(dǎo)致每次調(diào)整都相當(dāng)耗時(shí)費(fèi)力，且成效不明顯，影響晶圓的鍍膜質(zhì)量。實(shí)用新型設(shè)計(jì)人有鑒于傳統(tǒng)水平微調(diào)的缺失，乃極力苦思解決的道，并憑借本身的專業(yè)及多年來(lái)的工作經(jīng)驗(yàn)，終于在歷經(jīng)數(shù)次的修正、試驗(yàn)與改進(jìn)后，首創(chuàng)出一種能測(cè)量及紀(jì)錄水平微調(diào)的調(diào)整裝置。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型涉及一種晶圓鍍膜的加熱平臺(tái)的水平微調(diào)及紀(jì)錄裝置，能精密微調(diào)晶圓鍍膜平臺(tái)的水平裝置，使晶圓能均勻受熱，以降低產(chǎn)品的不合格率，同時(shí)能紀(jì)錄微調(diào)數(shù)據(jù)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種晶圓鍍膜的加熱平臺(tái)的水平微調(diào)及紀(jì)錄裝置，其特征在于:主要由固定板、調(diào)整臺(tái)、調(diào)整裝置及數(shù)字千分表所組成，該固定板的端邊開(kāi)設(shè)有通孔，定位桿插置于通孔以連結(jié)固定板與調(diào)整臺(tái)，使固定板能隨著調(diào)整臺(tái)的調(diào)整而同步移動(dòng)，該調(diào)整裝置的調(diào)整桿套入調(diào)整臺(tái)的調(diào)整通孔，圓頭墊圈、差動(dòng)螺帽、微調(diào)手輪及固定螺帽依序套入該調(diào)整桿內(nèi)，該調(diào)整裝置設(shè)有能夠通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)控制調(diào)整臺(tái)兩端的水平距離的差動(dòng)螺帽及微調(diào)手輪，在調(diào)整臺(tái)的側(cè)邊對(duì)應(yīng)于該差動(dòng)螺帽處設(shè)置有定位板，在調(diào)整臺(tái)的端邊設(shè)置有該數(shù)字千分表。所述晶圓鍍膜的加熱平臺(tái)的水平微調(diào)及紀(jì)錄裝置，其中:該微調(diào)手輪底端設(shè)置一歸零螺帽。所述晶圓鍍膜的加熱平臺(tái)的水平微調(diào)及紀(jì)錄裝置，其中:該數(shù)字千分表能紀(jì)錄每次微調(diào)數(shù)據(jù)并自動(dòng)關(guān)電。與現(xiàn)有技術(shù)相比較，采用上述技術(shù)方案的本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)在于:利用調(diào)整裝置的差動(dòng)螺帽、微調(diào)手輪、固定螺帽及歸零螺帽進(jìn)行極精細(xì)的微調(diào)，以控制調(diào)整臺(tái)兩端的水平距離，使固定板能同步隨之調(diào)整，帶動(dòng)固定板上的加熱平臺(tái)產(chǎn)生極細(xì)微的水平調(diào)整，促使加熱平臺(tái)能控制在理想的水平角度，使位于加熱平臺(tái)上的晶圓達(dá)到均勻受熱的目的，以提升晶圓鍍膜的質(zhì)量，且當(dāng)將調(diào)整臺(tái)水平微調(diào)后，能憑借數(shù)字千分表以紀(jì)錄微調(diào)數(shù)據(jù)，供下次調(diào)整的參考，以節(jié)省進(jìn)行調(diào)整的困擾，甚為省時(shí)省力，而能提高工作效能。

圖1是現(xiàn)有加熱裝置的立體圖；圖2是本實(shí)用新型的立體分解圖；圖3是本實(shí)用新型的立體圖；圖4是本實(shí)用新型加熱機(jī)臺(tái)的示意圖；圖5是本實(shí)用新型使用的示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明:加熱平臺(tái)10 ;加熱器11 ;調(diào)整臺(tái)12 ;調(diào)整裝置13 ;定位桿130 ;調(diào)整螺帽131 ;機(jī)臺(tái)2 ;固定板21 ;通孔210 ;定位桿211 ;調(diào)整臺(tái)22 ;調(diào)整通孔220 ;定位板221 ;螺孔2210 ;調(diào)整裝置23 ;調(diào)整桿230 ;差動(dòng)螺帽231 ;微調(diào)手輪232 ;固定螺帽233 ;歸零螺帽234 ;圓頭墊圈235 ;數(shù)字千分表24 ;調(diào)整鍵240 ;加熱裝置25 ;加熱平臺(tái)250。
具體實(shí)施方式
首先，請(qǐng)參閱圖2所示，是本實(shí)用新型的立體分解圖，其主要由固定板21、調(diào)整臺(tái)22、調(diào)整裝置23及數(shù)字千分表24所組成，該固定板21的端邊開(kāi)設(shè)有通孔210，而能插設(shè)定位桿211以連結(jié)調(diào)整臺(tái)22，使固定板21能隨著調(diào)整臺(tái)22的水平調(diào)整而同步移動(dòng)，位于調(diào)整臺(tái)22的端邊則設(shè)置有調(diào)整裝置23及數(shù)字千分表24，該調(diào)整裝置23由差動(dòng)螺帽231、微調(diào)手輪232、固定螺帽233及歸零螺帽234所組成，而于調(diào)整臺(tái)22對(duì)應(yīng)于差動(dòng)螺帽231的側(cè)邊設(shè)置有定位板221，以固定差動(dòng)螺帽231，防止差動(dòng)螺帽231滑移而造成調(diào)整臺(tái)22水平距離偏差的風(fēng)險(xiǎn)。組裝時(shí)，請(qǐng)仍然參閱圖2并配合圖3所示，該調(diào)整臺(tái)22對(duì)應(yīng)連結(jié)于固定板21下方，并使固定板21能隨著調(diào)整臺(tái)22的調(diào)整而移動(dòng)，再將調(diào)整桿230套入調(diào)整臺(tái)22的調(diào)整通孔220，然后依序?qū)A頭墊圈235、差動(dòng)螺帽231、微調(diào)手輪232及固定螺帽233套入調(diào)整桿230內(nèi)，而能憑借旋轉(zhuǎn)差動(dòng)螺帽231及微調(diào)手輪232使調(diào)整桿230產(chǎn)生極細(xì)微的上升或下降，以控制調(diào)整臺(tái)22兩端的水平距離，再利用定位板221固定差動(dòng)螺帽231，防止差動(dòng)螺帽231偏移而影響水平距離，然后再將固定螺帽233螺固于微調(diào)手輪232下方，以穩(wěn)固調(diào)整裝置23，且于微調(diào)手輪232底端設(shè)置有歸零螺帽234，而能將微調(diào)手輪232歸零，避免混淆調(diào)整數(shù)據(jù)，至于數(shù)字千分表24則設(shè)置于調(diào)整臺(tái)22的側(cè)邊，供顯示及紀(jì)錄調(diào)整裝置23的調(diào)整數(shù)據(jù)。使用時(shí)，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖4所示，該機(jī)臺(tái)2設(shè)置有加熱裝置25，并于加熱裝置25頂端設(shè)置一加熱平臺(tái)250，且令加熱平臺(tái)250穿設(shè)于固定板21上，而該加熱平臺(tái)250依據(jù)固定板21兩端的水平距離設(shè)置。因此，當(dāng)晶圓進(jìn)行鍍膜時(shí)，先啟動(dòng)加熱裝置25，再將晶圓放置于加熱平臺(tái)250上(圖中未顯示)，使位于加熱平臺(tái)250上的晶圓能均勻受熱，才能達(dá)到使晶圓表面均勻鍍膜，否則一旦晶圓受熱不均，容易產(chǎn)生瑕疵，所以需利用調(diào)整臺(tái)22的調(diào)整裝置23進(jìn)行微調(diào)，使加熱平臺(tái)250能平均受熱，以提升鍍膜的成功率。調(diào)整時(shí)，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D5所示，先粗調(diào)差動(dòng)螺絲231使調(diào)整臺(tái)22兩端的水平角度達(dá)到理想的受熱范圍，然后將螺絲螺入定位板221的螺孔2210(圖中未顯示)，而能將差動(dòng)螺絲231與定位板221螺固，避免調(diào)整臺(tái)22偏移，接著再旋轉(zhuǎn)微調(diào)手輪232，以進(jìn)行極精密的微調(diào)，該微調(diào)手輪232轉(zhuǎn)一圈約產(chǎn)生6mil的齒距，而微調(diào)手輪232共具有24個(gè)刻度，因此每一刻度約為0.25mil齒距，使用上非常精細(xì)，當(dāng)微調(diào)手輪232旋轉(zhuǎn)后，即能配合數(shù)字千分表24做紀(jì)錄，尤其數(shù)字千分表24會(huì)自動(dòng)記憶調(diào)整紀(jì)錄，供作為下次調(diào)整的參考依據(jù)。當(dāng)調(diào)整完成后，可將微調(diào)手輪232歸零，然后鎖緊歸零螺帽234，防止微調(diào)手輪232轉(zhuǎn)動(dòng)，接著再按壓數(shù)字千分表24的調(diào)整鍵240，而能將合數(shù)字千分表24歸零，以免混淆使用數(shù)據(jù)，且當(dāng)任一側(cè)的數(shù)字千分表24的數(shù)據(jù)顯示不同時(shí)，能實(shí)時(shí)方便的調(diào)整，最后再將微調(diào)手輪232下方的固定螺帽233螺緊固定，避免微調(diào)手輪232轉(zhuǎn)動(dòng)而產(chǎn)生誤差，且該數(shù)字千分表24會(huì)自動(dòng)關(guān)電，而當(dāng)無(wú)通電進(jìn)行調(diào)整時(shí)，也能保持紀(jì)錄狀態(tài)，相當(dāng)實(shí)用。因此，憑借調(diào)整裝置23進(jìn)行極精細(xì)的微調(diào)，能避免過(guò)度調(diào)整造成滑片風(fēng)險(xiǎn)，且使調(diào)整臺(tái)22的水平距離產(chǎn)生極細(xì)微的變化，而能同步調(diào)整固定板21，并促使固定板21—起微距調(diào)整水平角度，使位于固定板21上方的加熱平臺(tái)250 (請(qǐng)回顧圖4所示)能均勻受熱，令位于加熱平臺(tái)250上放置的晶圓能平均受熱(圖中未顯示)，有效降低晶圓鍍膜的不合格率，以提升晶圓鍍膜的質(zhì)量，且不必花費(fèi)太多時(shí)間進(jìn)行水平調(diào)整，并能同時(shí)紀(jì)錄該次調(diào)整數(shù)據(jù)，更可實(shí)時(shí)做校正歸零，確實(shí)掌握調(diào)整資料，以作為下次調(diào)整的參考，非常省時(shí)省力。綜上所述，本實(shí)用新型于固定板下方設(shè)置調(diào)整臺(tái)及調(diào)整裝置，而能進(jìn)行極細(xì)微的水平微調(diào)，同時(shí)能紀(jì)錄微調(diào)數(shù)據(jù)，不僅加快調(diào)整速度，更能將該次調(diào)整數(shù)據(jù)紀(jì)錄于數(shù)字千分表內(nèi)，供作為調(diào)整水平的參考，更有效提升晶圓鍍膜的質(zhì)量。
權(quán)利要求1.一種晶圓鍍膜的加熱平臺(tái)的水平微調(diào)及紀(jì)錄裝置，其特征在于:主要由固定板、調(diào)整臺(tái)、調(diào)整裝置及數(shù)字千分表所組成，該固定板的端邊開(kāi)設(shè)有通孔，定位桿插置于通孔以連結(jié)固定板與調(diào)整臺(tái)，使固定板能隨著調(diào)整臺(tái)的調(diào)整而同步移動(dòng)，該調(diào)整裝置的調(diào)整桿套入調(diào)整臺(tái)的調(diào)整通孔，圓頭墊圈、差動(dòng)螺帽、微調(diào)手輪及固定螺帽依序套入該調(diào)整桿內(nèi)，該調(diào)整裝置設(shè)有能夠通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)控制調(diào)整臺(tái)兩端的水平距離的差動(dòng)螺帽及微調(diào)手輪，在調(diào)整臺(tái)的側(cè)邊對(duì)應(yīng)于該差動(dòng)螺帽處設(shè)置有定位板，在調(diào)整臺(tái)的端邊設(shè)置有該數(shù)字千分表。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述晶圓鍍膜的加熱平臺(tái)的水平微調(diào)及紀(jì)錄裝置，其特征在于:該微調(diào)手輪底端設(shè)置一歸零螺帽。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種晶圓鍍膜的加熱平臺(tái)的水平微調(diào)及紀(jì)錄裝置，特別是指一種能精密微調(diào)晶圓鍍膜平臺(tái)的水平裝置，使晶圓能均勻受熱，以降低產(chǎn)品的不合格率，同時(shí)能紀(jì)錄微調(diào)數(shù)據(jù)。其主要由固定板、調(diào)整臺(tái)、調(diào)整裝置及數(shù)字千分表所組成，而能利用調(diào)整裝置的極精細(xì)微調(diào)，以控制調(diào)整臺(tái)兩端的水平距離，使固定板能同步隨之調(diào)整，促使固定板上的加熱平臺(tái)能調(diào)整在理想的水平角度，使位于加熱平臺(tái)上的晶圓能均勻受熱，以提升晶圓鍍膜的質(zhì)量，且于水平調(diào)整后，能憑借數(shù)字千分表以紀(jì)錄微調(diào)數(shù)據(jù)，供下次調(diào)整的參考，相當(dāng)進(jìn)步且實(shí)用。
文檔編號(hào)C23C14/54GK202989276SQ20122059838
公開(kāi)日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2012年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月13日
發(fā)明者許慶豐 申請(qǐng)人:許慶豐