專利名稱：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于太陽(yáng)能電池制備技術(shù)領(lǐng)域，涉及等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積(PECVD)系統(tǒng)的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，尤其涉及驅(qū)動(dòng)裝置采用兩組直線行程電動(dòng)執(zhí)行器的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置。
背景技術(shù)：
隨著太陽(yáng)能技術(shù)的快速發(fā)展和推廣，將太陽(yáng)能轉(zhuǎn)換為電能的太陽(yáng)電池被大規(guī)模地 制備。通常地，太陽(yáng)電池是基于太陽(yáng)電池襯底經(jīng)過(guò)多道半導(dǎo)體エ藝后制備形成，因此，其中必不可少地包括PECVD步驟，例如，利用PECVD系統(tǒng)在太陽(yáng)電池襯底上沉積減反射薄膜。在大規(guī)模地PECVD制備時(shí)，必然地要求對(duì)PECVD系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下料以提高生產(chǎn)效率。通常地，多片用于制備太陽(yáng)電池的太陽(yáng)電池襯底置于太陽(yáng)電池襯底容納裝置(例如，石墨舟)中，通過(guò)太陽(yáng)電池襯底上下料裝置實(shí)現(xiàn)PECVD生產(chǎn)的上下料過(guò)程。圖I所示為現(xiàn)有技術(shù)的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖I所示，太陽(yáng)電池襯底上下料裝置10用于對(duì)石墨舟900實(shí)現(xiàn)上下料。具體地，太陽(yáng)電池襯底上下料裝置10包括垂直框體110，在垂直框體110上水平固定設(shè)置ー對(duì)水平支架121a和121b，水平支架121a和121b相互平行地設(shè)置，水平支架121a和121b上均設(shè)置有第一直線導(dǎo)軌141，一對(duì)第二直線導(dǎo)軌143a和143b分別通過(guò)第一滑塊(圖中未示出)連接于第一直線導(dǎo)軌141上，第二直線導(dǎo)軌143a和143b上也分別設(shè)置有第二滑塊173a和173b，裝有太陽(yáng)電池襯底的石墨舟800的兩端分別通過(guò)掛鉤800a和800b掛置于第二滑塊173a和173b上；ー對(duì)第一直線導(dǎo)軌141的末端之間設(shè)置有第一同步連接桿161，第二直線導(dǎo)軌143a和143b的末端之間也設(shè)置有第二同步連接桿163。該太陽(yáng)電池襯底上下料裝置10的驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)，繼續(xù)如圖I所示，第一伺服電機(jī)131可以通過(guò)同步帶(圖中未示出)驅(qū)動(dòng)第一滑塊在第一直線導(dǎo)軌141上運(yùn)動(dòng)，同時(shí)，同步帶通過(guò)第一連軸器151帶動(dòng)第一同步連接桿161、進(jìn)而帶動(dòng)水平支架121b上的同步帶(圖中未示出)以使水平支架121b端的第一滑塊同步地水平運(yùn)動(dòng)，從而可以使第一滑塊之間同步地水平運(yùn)動(dòng)或使第二直線導(dǎo)軌143a和143b兩者同步地水平運(yùn)動(dòng)。第二伺服電機(jī)133同樣地可以通過(guò)同步帶(圖中未示出)驅(qū)動(dòng)第二滑塊173a在第二直線導(dǎo)軌143a上運(yùn)動(dòng)，同時(shí)同步帶通過(guò)第二連軸器153帶動(dòng)第二同步連接桿163、進(jìn)而帶動(dòng)水平支架121b端的同步帶以使第二滑塊173b與第二滑塊173a同步地水平運(yùn)動(dòng)。因此，第一滑塊可以相對(duì)第一直線導(dǎo)軌141同步地水平運(yùn)動(dòng)，第二直線導(dǎo)軌143a和143b兩者也可以相對(duì)于第一直線導(dǎo)軌141同步地水平運(yùn)動(dòng)，第二滑塊173a和173b兩者可以同步地相對(duì)于第二直線導(dǎo)軌水平運(yùn)動(dòng)(X方向)，進(jìn)而水平掛置的石墨舟900也可以在X方向水平地大范圍運(yùn)動(dòng)，方便地自動(dòng)化實(shí)現(xiàn)石墨舟900的上下料過(guò)程。但是，圖I所示的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置10中，在實(shí)際應(yīng)用中具有以下缺點(diǎn)。第一，應(yīng)用伺服電機(jī)(131和133)、同步帶輪(圖中未示出)、同步帶(圖中未示出)組合驅(qū)動(dòng)，并且還安裝有連軸器(151和153)、同步連接桿(161和163)以達(dá)到左右兩邊結(jié)構(gòu)的同步水平運(yùn)動(dòng)，零部件多且整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高。第二，采用以上所述的傳動(dòng)系統(tǒng)吋，通過(guò)同步連接桿等實(shí)現(xiàn)同步水平運(yùn)動(dòng)，在上下料過(guò)程中同步性較差。第三，伺服電機(jī)的電氣控制線(圖中未示出)通常較多，布線困難的同時(shí)容易在上下料過(guò)程中存在安全隱患。第四，伺服電機(jī)無(wú)零點(diǎn)位，在多次執(zhí)行上下料后難以找到調(diào)試基準(zhǔn)，走位校準(zhǔn)困難。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的之ー在于，提高太陽(yáng)電池襯底上下料裝置的同步性。本實(shí)用新型的又一目的在于，簡(jiǎn)化太陽(yáng)電池襯底上下料裝置的結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的還ー目的在于，易于實(shí)現(xiàn)太陽(yáng)電池襯底上下料裝置的走位校準(zhǔn)。本實(shí)用新型的再一目的在于，提高太陽(yáng)電池襯底上下料裝置的可靠性。為實(shí)現(xiàn)以上目的或者其他目的，本實(shí)用新型提供ー種PECVD系統(tǒng)的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，包括垂直框體、平行地固定于所述垂直框體上的ー對(duì)水平支架；還包括ー對(duì)第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器，其分別相應(yīng)地固定于所述ー對(duì)水平支架上；ー對(duì)第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器，其分別相應(yīng)地設(shè)置于所述ー對(duì)第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器上并相對(duì)所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器可直線運(yùn)動(dòng)；以及太陽(yáng)電池襯底容納裝置，其兩端分別掛置于兩個(gè)所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器上；其中，一對(duì)所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間同步地傳動(dòng)，一對(duì)所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間同步地傳動(dòng)。按照本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，其中，一對(duì)所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間固定設(shè)置第一橫梁。在之前所述實(shí)施例的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置中，優(yōu)選地，一對(duì)所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間固定設(shè)置第二橫梁。按照本實(shí)用新型又一優(yōu)選實(shí)施例的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，其中，每個(gè)第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器相應(yīng)連接ー個(gè)第一控制器，每個(gè)第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器相應(yīng)連接ー個(gè)第二控制器；其中，第一控制器用于控制一對(duì)所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間同步地傳動(dòng)；第二控制器用于控制一對(duì)所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間同步地傳動(dòng)。在之前所述實(shí)施例的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置中，優(yōu)選地，第一控制器與所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間通過(guò)控制線纜連接，第二控制器與所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間通過(guò)控制線纜連接。在之前所述實(shí)施例的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置中，優(yōu)選地，所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器和/或所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器為滾珠絲桿式。在之前所述實(shí)施例的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置中，優(yōu)選地，所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器設(shè)置于所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器的滑塊上。在之前所述實(shí)施例的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置中，優(yōu)選地，其特征在于，所述太陽(yáng)電池襯底容納裝置的兩端分別通過(guò)掛鉤相應(yīng)掛置于ー對(duì)所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器的滑塊上。在之前所述實(shí)施例的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置中，優(yōu)選地，所述太陽(yáng)電池襯底容納裝置為石墨舟。在之前所述實(shí)施例的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置中，優(yōu)選地，所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器與所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器相同。在之前所述實(shí)施例的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置中，優(yōu)選地，所述PECVD系統(tǒng)為管式PECVD系統(tǒng)。本實(shí)用新型的技術(shù)效果是，用兩組直線行程電動(dòng)執(zhí)行器替代兩對(duì)伺服電機(jī)作為驅(qū)動(dòng)裝置，使太陽(yáng)電池襯底上下料裝置具有以下優(yōu)點(diǎn)(一)零部件變少，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便，且易于降低整體重量；(ニ)，傳動(dòng)更為精確，運(yùn)動(dòng)的同步性好；(三)電氣控制線的布置可以大大減少，使其可靠性提高；(四)避免了調(diào)試無(wú)基準(zhǔn)的問(wèn)題，容易實(shí)現(xiàn)走位校準(zhǔn)。

從結(jié)合附圖的以下詳細(xì)說(shuō)明中，將會(huì)使本實(shí)用新型的上述和其他目的及優(yōu)點(diǎn)更加完全清楚，其中，相同或相似的要素采用相同的標(biāo)號(hào)表示。圖I是現(xiàn)有技術(shù)的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是按照本實(shí)用新型實(shí)施例提供的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面介紹的是本實(shí)用新型的多個(gè)可能實(shí)施例中的ー些，g在提供對(duì)本實(shí)用新型的基本了解，并不g在確認(rèn)本實(shí)用新型的關(guān)鍵或決定性的要素或限定所要保護(hù)的范圍。容易理解，根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案，在不變更本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)精神下，本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員可以提出可相互替換的其他實(shí)現(xiàn)方式。因此，以下具體實(shí)施方式
以及附圖僅是對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案的示例性說(shuō)明，而不應(yīng)當(dāng)視為本實(shí)用新型的全部或者視為對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案的限定或限制。本文中，方位術(shù)語(yǔ)是相對(duì)于附圖中的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置正常置放方位來(lái)定義的，其中，xy方向所在平面為水平面，z方向垂直于水平面并且其平行于垂直框體的方向，X方向水平支架的方向也即石墨舟的運(yùn)動(dòng)方向，y方向?yàn)榇怪庇赬方向的方向。應(yīng)當(dāng)理解到，這些方向性術(shù)語(yǔ)是相対的概念，它們用于相對(duì)于的描述和澄清，其可以根據(jù)太陽(yáng)電池襯底上下料裝置所放置的方位的變化而相應(yīng)地發(fā)生變化。圖2所示為按照本實(shí)用新型實(shí)施例提供的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。在該實(shí)施例中，太陽(yáng)電池襯底上下料裝置20用于PECVD的自動(dòng)上下料過(guò)程中，并且優(yōu)選但不是限制性地，太陽(yáng)電池襯底上下料裝置20用于管式PECVD的上下料過(guò)程中。同樣地，太陽(yáng)電池襯底上下料裝置20的框架支撐體包括垂直框體210以及ー對(duì)水平支架220a和220b，水平支架220a和220b相互基本平行并基本地設(shè)置在同一平面上，在該實(shí)例中，水平支架220a和220b分別固定在垂直框體210的兩個(gè)豎直桿上。繼續(xù)如圖2所示，在該實(shí)用新型中，采用了兩組直線行程電動(dòng)執(zhí)行器作為太陽(yáng)電池襯底上下料裝置20的驅(qū)動(dòng)裝置，直線行程電動(dòng)執(zhí)行器共設(shè)置有四個(gè)，其中，第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a和230b設(shè)置為ー組，其分別相應(yīng)地固定于水平支架220a和220b上；第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240a和240b設(shè)置為ー組，其分別相應(yīng)地設(shè)置在第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a和230b上。優(yōu)選地但不是限制性的，第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a和230b采用滾珠絲桿式的直線行程電 動(dòng)執(zhí)行器，并且/或者第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240a和240b采用滾珠絲桿式的直線行程電動(dòng)執(zhí)行器；這種電動(dòng)執(zhí)行器結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單并且傳動(dòng)精確，能更好地保證二者之間的同步傳動(dòng)性。進(jìn)ー步優(yōu)選地，第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a和230b與二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240a和240b可以采用相同型號(hào)的電動(dòng)執(zhí)行器(即采用相同的電動(dòng)執(zhí)行器)，例如，同為L(zhǎng)EFS32B-450R56N型號(hào)的電動(dòng)執(zhí)行器。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器和/或第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器還可以選擇地采用其他種類的電動(dòng)執(zhí)行器。滾珠絲桿式的直線行程電動(dòng)執(zhí)行器一般地包括絲桿、導(dǎo)軌、滑塊、電機(jī)驅(qū)動(dòng)器等，在該實(shí)施例中，第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a和230b的導(dǎo)軌長(zhǎng)度基本等于水平支架121a和121b的長(zhǎng)度(在X方向的長(zhǎng)度)，當(dāng)然，第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a和230b的導(dǎo)軌長(zhǎng)度、第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240a和240b的導(dǎo)軌長(zhǎng)度具體可以根據(jù)石墨舟900的水平行程要求來(lái)設(shè)置。在該實(shí)施例中，第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240a通過(guò)第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a的滑塊231a設(shè)置在第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a上，第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240b通過(guò)第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a的滑塊231b設(shè)置在第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230b上。通過(guò)第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器的傳動(dòng)，其滑塊231a和231b分別可以相對(duì)水平支架220a和220b在x方向運(yùn)動(dòng)；通過(guò)第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器的傳動(dòng)，第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240a和240b分別可以相對(duì)滑塊231a和231b在x方向運(yùn)動(dòng)。繼續(xù)如圖2所示，在該實(shí)施例中，石墨舟900的兩端(y方向的兩端)分別通過(guò)掛鉤相應(yīng)設(shè)置于第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器的滑塊241a和241b上。因此，石墨舟900可以相對(duì)第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240a和240b在x方向運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而在第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230ba和230b的共同作用下，可以相對(duì)水平支架220a和220b在x方向大范圍地運(yùn)動(dòng)。需要理解的是，石墨舟900僅為太陽(yáng)電池襯底上下料裝置20的太陽(yáng)電池襯底容納裝置的其中ー個(gè)示例，在其他實(shí)施例中，太陽(yáng)電池襯底容納裝置例如還可以為晶舟等。為使石墨舟900能夠在X方向同步地運(yùn)動(dòng)，也即石墨舟900的兩端的運(yùn)動(dòng)速度一致，必須使第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a和230b之間同步地傳動(dòng)，并且必須使第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240a和240b之間同步地傳動(dòng)。需要理解的是，在圖2中并未示出四個(gè)直線行程電動(dòng)執(zhí)行器的控制器，其中，第一對(duì)控制器分別用來(lái)控制第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a和230b之間的同步傳動(dòng)，第二對(duì)控制器分別用來(lái)控制第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240a和240b之間的同步傳動(dòng)；在控制的過(guò)程中，每個(gè)控制器控制執(zhí)行內(nèi)置的步速，具體的歩數(shù)通過(guò)PLC的10(輸入/輸出)點(diǎn)選擇實(shí)現(xiàn)。因此，第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a和230b與相應(yīng)的第一對(duì)控制器為ー組，第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240a和240b與相應(yīng)的第二對(duì)控制器為ー組，ニ組之間可以按順序地工作，以實(shí)現(xiàn)帶動(dòng)石墨舟900在X方向來(lái)回運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)管式PECVD系統(tǒng)的上下料。另外，具體地，四個(gè)控制器可以設(shè)置在電氣控制箱之中，每個(gè)控制器與每個(gè)直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間可以通過(guò)控制線纜(圖中未示出)連接?？傮w上，相比于圖I所示實(shí)施例中的伺服電機(jī)的控制，電氣控制線大大減少，減少了上下料工作過(guò)程中控制線的斷裂所導(dǎo)致的安全隱患，可靠性好。[0046]繼續(xù)如圖2所示，優(yōu)選地，在第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a和230b之間固定設(shè)置第一橫梁261,第一橫梁261在該實(shí)例中在y方向設(shè)置,其一方面方便布線,另一方面有利于第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器230a和230b之間的結(jié)構(gòu)保持穩(wěn)定并防止變形；可選地，還可以在第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240a和240b之間固定設(shè)置第二橫梁263，第二橫梁263在該實(shí)例中在y方向設(shè)置，其一方面方便布線，另一方面有利于第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器240a和240b之間的結(jié)構(gòu)保持穩(wěn)定并防止變形。因此，太陽(yáng)電池襯底上下料裝置20使用按對(duì)設(shè)置的直線行程電動(dòng)執(zhí)行器作為基本傳動(dòng)裝置后，容易實(shí)現(xiàn)石墨舟900的兩個(gè)掛持端的水平運(yùn)動(dòng)的同步性，同步運(yùn)動(dòng)性容易得到保證；并且，直線行程電動(dòng)執(zhí)行器容易模塊化實(shí)現(xiàn)，使太陽(yáng)電池襯底上下料裝置20的零部件大大減少，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)単，維護(hù)方便，且有利于減低成本并 減輕重量，降低了對(duì)垂直框體210的負(fù)載要求。進(jìn)ー步，直線行程電動(dòng)執(zhí)行器在運(yùn)行過(guò)程中容易記錄零點(diǎn)位，避免了調(diào)試無(wú)基準(zhǔn)的問(wèn)題，因此，在進(jìn)行一次或多次上下料過(guò)程后，容易實(shí)現(xiàn)走位校準(zhǔn)。需要理解的是，以上的描述中，為描述的清楚和簡(jiǎn)明，并沒有對(duì)圖中所示的所有多個(gè)部件進(jìn)行描述。附圖中示出了多個(gè)部件為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員提供本實(shí)用新型的完全能夠?qū)崿F(xiàn)的公開內(nèi)容。對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，許多部件的操作都是熟悉而且明顯的。以上例子主要說(shuō)明了本實(shí)用新型的PECVD系統(tǒng)的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置。盡管只對(duì)其中一些本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行了描述，但是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解，本實(shí)用新型可以在不偏離其主g與范圍內(nèi)以許多其他的形式實(shí)施。因此，所展示的例子與實(shí)施方式被視為示意性的而非限制性的，在不脫離如所附各權(quán)利要求所定義的本實(shí)用新型精神及范圍的情況下，本實(shí)用新型可能涵蓋各種的修改與替換。
權(quán)利要求1.一種等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，包括垂直框體、平行地固定于所述垂直框體上的一對(duì)水平支架，其特征在于，還包括 一對(duì)第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器，其分別相應(yīng)地固定于所述一對(duì)水平支架上； 一對(duì)第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器，其分別相應(yīng)地設(shè)置于所述一對(duì)第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器上并相對(duì)所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器可直線運(yùn)動(dòng)；以及 太陽(yáng)電池襯底容納裝置，其兩端分別掛置于兩個(gè)所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器上； 其中，一對(duì)所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間同步地傳動(dòng)，一對(duì)所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間同步地傳動(dòng)。
2.如權(quán)利要求I所述的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，其特征在于，一對(duì)所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間固定設(shè)置第一橫梁。
3.如權(quán)利要求I或2所述的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，其特征在于，一對(duì)所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間固定設(shè)置第二橫梁。
4.如權(quán)利要求I所述的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，其特征在于，每個(gè)第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器相應(yīng)連接一個(gè)第一控制器，每個(gè)第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器相應(yīng)連接一個(gè)第二控制器； 其中，第一控制器用于控制一對(duì)所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間同步地傳動(dòng)； 第二控制器用于控制一對(duì)所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間同步地傳動(dòng)。
5.如權(quán)利要求4所述的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，其特征在于，第一控制器與所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間通過(guò)控制線纜連接，第二控制器與所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器之間通過(guò)控制線纜連接。
6.如權(quán)利要求I所述的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，其特征在于，所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器和/或所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器為滾珠絲桿式。
7.如權(quán)利要求I所述的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，其特征在于，所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器設(shè)置于所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器的滑塊上。
8.如權(quán)利要求I所述的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，其特征在于，所述太陽(yáng)電池襯底容納裝置的兩端分別通過(guò)掛鉤相應(yīng)掛置于一對(duì)所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器的滑塊上。
9.如權(quán)利要求I或2或4或5或6或7或8所述的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，其特征在于，所述太陽(yáng)電池襯底容納裝置為石墨舟。
10.如權(quán)利要求I所述的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，其特征在于，所述第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器與所述第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器相同。
11.如權(quán)利要求I或2或4或5或6或7或8或10所述的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，其特征在于，所述等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)為管式等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)的太陽(yáng)電池襯底上下料裝置，屬于太陽(yáng)能電池制備技術(shù)領(lǐng)域。該太陽(yáng)電池襯底上下料裝置包括一對(duì)同步地傳動(dòng)的第一直線行程電動(dòng)執(zhí)行器和一對(duì)同步地傳動(dòng)的第二直線行程電動(dòng)執(zhí)行器。該太陽(yáng)電池襯底上下料裝置具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、同步性好、可靠性高、容易實(shí)現(xiàn)走位校準(zhǔn)的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)C23C16/44GK202549895SQ201220031208
公開日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2012年1月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月12日
發(fā)明者吳曉松, 宋亮峰, 陶俊 申請(qǐng)人:無(wú)錫尚德太陽(yáng)能電力有限公司