高效石墨舟的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及真空鍍膜設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是一種高效石墨舟。其包括舟體、舟片、支腳、上電極和下電極，舟片設(shè)置在舟體內(nèi)，支腳安裝在舟體底部，上電極和下電極分別位于舟體的上部和下部，舟體由基座和副座組合而成。將舟體設(shè)計成由基座和副座連接而成的組合體，可大大適應(yīng)沉淀室的結(jié)構(gòu)，充分利用空間，擴大舟體的容量，并根據(jù)需要做出多種組合，從而大大提高生產(chǎn)效率。
【專利說明】高效石墨舟
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空鍍膜設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是一種高效石墨舟。
【背景技術(shù)】
[0002]PECVD是等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)的簡稱，其原理是利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜。石墨舟是其中的重要部件，直接影響到電場的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)等?，F(xiàn)有的石墨舟由于石墨舟片數(shù)量有限，而使得石墨舟的載片量受到限制，生產(chǎn)效率低下。

【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]為了克服現(xiàn)有的石墨舟載片少，生產(chǎn)效率低的不足，本發(fā)明提供了一種高效石墨舟。
[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所米用的技術(shù)方案是:一種聞效石墨舟，包括舟體、舟片、支腳、上電極和下電極，舟片設(shè)置在舟體內(nèi)，支腳安裝在舟體底部，上電極和下電極分別位于舟體的上部和下部，舟體由基座和副座組合而成。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，進一步包括基座為長方體，副座為半圓柱體。
[0006]根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，進一步包括副座通過螺絲連接在基座上部，組合成拱形。
[0007]本發(fā)明的有益效果是，將舟體設(shè)計成由基座和副座連接而成的組合體，可大大適應(yīng)沉淀室的結(jié)構(gòu)，充分利用空間，擴大舟體的容量，并可根據(jù)需要做出多種組合，從而大大提聞生廣效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。
[0009]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中1.舟體，2.舟片，3.支腳，4.上電極，5.下電極，6.基座，7.副座?！揪唧w實施方式】
[0011]如圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，一種高效石墨舟，包括舟體1、舟片2、支腳3、上電極4和下電極5，舟片2設(shè)置在舟體I內(nèi)，支腳3安裝在舟體I底部，上電極4和下電極5分別位于舟體I的上部和下部，舟體I由基座6和副座7組合而成?；?為長方體，副座7為半圓柱體。副座7通過螺絲連接在基座6上部，組合成拱形。
[0012]將舟體I設(shè)計成由基座6和副座7連接而成的組合體，可大大適應(yīng)沉淀室的結(jié)構(gòu)，充分利用空間，擴大舟體I的容量，增加舟片2的數(shù)量，并可根據(jù)需要做出多種裝配組合，從而大大提1?生廣效率。`
【權(quán)利要求】
1.一種高效石墨舟，包括舟體(1)、舟片(2)、支腳(3)、上電極(4)和下電極(5)，舟片(2)設(shè)置在舟體(1)內(nèi)，支腳(3)安裝在舟體(1)底部，上電極(4)和下電極(5)分別位于舟體(1)的上部和下部，其特征是，舟體(1)由基座(6)和副座(7)組合而成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效石墨舟，其特征是，基座(6)為長方體，副座(7)為半圓柱體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效石墨舟，其特征是，副座(7)通過螺絲連接在基座(6)上部，組合成拱形。`
【文檔編號】C23C16/50GK103510077SQ201210217097
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2012年6月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月28日
【發(fā)明者】沈文偉 申請人:沈文偉