石墨舟的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種PECVD設(shè)備的【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是一種石墨舟。其包括舟體、石墨片、插孔、硅片放置區(qū)和陶瓷棒，舟體上設(shè)有石墨片，石墨片上設(shè)有插孔和硅片放置區(qū)，插孔內(nèi)設(shè)有陶瓷棒，硅片放置區(qū)為鏤空型。這種石墨舟結(jié)構(gòu)簡單、緊湊并且合理，裝配方便快捷，連接可靠，提高了使用的安全性，鍍膜沉積快，提高了生產(chǎn)效率，同時提高了鍍膜的質(zhì)量，大大提高了石墨舟工作的可靠性，易于使用推廣。
【專利說明】石墨舟【技術(shù)領(lǐng)域】[0001]本發(fā)明涉及一種PECVD設(shè)備的【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是一種石墨舟?！颈尘凹夹g(shù)】[0002]現(xiàn)有的石墨舟使用的安全性比較低，減慢了鍍膜沉積的速度，降低了生產(chǎn)效率，同時降低了鍍膜的質(zhì)量，大大降低了石墨舟工作的可靠性，易于使用推廣。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]為了克服現(xiàn)有的石墨舟使用安全性低、鍍膜沉積慢、生產(chǎn)效率低以及鍍膜質(zhì)量低的不足，本發(fā)明提供了一種石墨舟。[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種石墨舟，包括舟體、石墨片、插孔、硅片放置區(qū)和陶瓷棒，舟體上設(shè)有石墨片，石墨片上設(shè)有插孔和硅片放置區(qū)，插孔內(nèi)設(shè)有陶瓷棒。[0005]根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例，進(jìn)一步包括硅片放置區(qū)為鏤空型。[0006]本發(fā)明的有益效果是，這種石墨舟結(jié)構(gòu)簡單、緊湊并且合理，裝配方便快捷，連接可靠，提高了使用的安全性，鍍膜沉積快，提高了生產(chǎn)效率，同時提高了鍍膜的質(zhì)量，大大提高了石墨舟工作的可靠性，易于使用推廣。【專利附圖】

【附圖說明】[0007]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。[0008]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。[0009]圖中1.舟體，2.石墨片，3.插孔，4.硅片放置區(qū)，5.陶瓷棒?！揪唧w實施方式】
[0010]如圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖，一種石墨舟，包括舟體1、石墨片2、插孔3、硅片放置區(qū)4和陶瓷棒5，舟體I上設(shè)有石墨片2，石墨片2上設(shè)有插孔3和硅片放置區(qū)4，插孔3 內(nèi)設(shè)有陶瓷棒5，硅片放置區(qū)4為鏤空型。[0011]使用時，舟體I上設(shè)有石墨片2，石墨片2四個角上開有插孔3，石墨片2中央設(shè)有硅片放置區(qū)4，陶瓷棒5插入插孔3內(nèi)，硅片放置區(qū)4為鏤空型。這種石墨舟結(jié)構(gòu)簡單、緊湊并且合理，裝配方便快捷，連接可靠，提高了使用的安全性，鍍膜沉積快，提高了生產(chǎn)效率， 同時提高了鍍膜的質(zhì)量，大大提高了石墨舟工作的可靠性，易于使用推廣。
【權(quán)利要求】
1.一種石墨舟，包括舟體(1)、石墨片(2)、插孔(3)、硅片放置區(qū)(4)和陶瓷棒(5)，其特征是，舟體(1)上設(shè)有石墨片(2)，石墨片(2)上設(shè)有插孔(3)和硅片放置區(qū)(4)，插孔(3) 內(nèi)設(shè)有陶瓷棒(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟，其特征是，硅片放置區(qū)(4)為鏤空型。
【文檔編號】C23C16/458GK103510075SQ201210217045
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2012年6月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月28日
【發(fā)明者】沈文偉 申請人:沈文偉