可替換齒部的齒輪結(jié)構及應用該齒輪結(jié)構的薄膜沉積系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明有關于一種可替換齒部的齒輪結(jié)構及應用該齒輪結(jié)構的薄膜沉積系統(tǒng)，可替換齒部的齒輪結(jié)構尤指一種應用該齒輪結(jié)構的薄膜沉積裝置。齒輪結(jié)構主要包括一主體部及多個齒部，其中主體部的外緣設置有多個連接座，并可將齒部的連接端耦合至主體部的連接座，以固定齒部于主體部上。本發(fā)明所述的齒輪結(jié)構可用以取代一般的齒輪，此外當齒輪結(jié)構上部分的齒部損壞時，僅需要進行損壞的齒部的更換，便可繼續(xù)使用齒輪結(jié)構，以降低更換及維修齒輪結(jié)構所花費的成本。
【專利說明】可替換齒部的齒輪結(jié)構及應用該齒輪結(jié)構的薄膜沉積系統(tǒng)
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種齒輪結(jié)構，特別涉及一種可替換齒部的齒輪結(jié)構。
【背景技術】
[0002]齒輪是機械結(jié)構中經(jīng)常使用的零件，齒輪可通過齒部帶動其它的齒狀機械元件，并具有改變轉(zhuǎn)速、扭矩及運動方向等功能。此外由于齒輪還具有傳動效率高及傳動比準確等優(yōu)點，使得齒輪被廣泛的應用在工業(yè)產(chǎn)品上，而齒輪的設計與制造將會直接影響到工業(yè)廣品的品質(zhì)。
[0003]請參閱圖1，為現(xiàn)有行星齒輪裝置的前側(cè)示圖?，F(xiàn)有的行星齒輪裝置10包括有一輸入軸11、一中央齒輪13、多個行星齒輪15及一齒輪架17。中央齒輪13、行星齒輪15及齒輪架17分別包括有多個齒部131、齒部151及齒部171，其中行星齒輪15環(huán)設于中央齒輪13的周圍，且行星齒輪15的齒部151分別與中央齒輪13的齒部131及齒輪架17的齒部171相互嚙合。
[0004]當連接中央齒輪13的輸入軸11轉(zhuǎn)動時，將會驅(qū)動中央齒輪13轉(zhuǎn)動，而中央齒輪13的齒部131則將力傳送至行星齒輪15的齒部151，并驅(qū)動行星齒輪15轉(zhuǎn)動，其中行星齒輪15在自轉(zhuǎn)的同時也會環(huán)繞中央齒輪13公轉(zhuǎn)。
[0005]齒輪主要是通過齒部帶動相鄰的齒輪或構件，例如中央齒輪13通過齒部131將力傳遞至行星齒輪15的齒部151，以使得行星齒輪15轉(zhuǎn)動。在經(jīng)過一段時間的使用后，往往會造成齒輪13/15上部分的齒部131/151損壞，導致齒輪13/15無法繼續(xù)使用。此時便需要進行整個齒輪13/15的更換，并造成使用及維修成本的增加。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的一目的，在于提供一種可替換齒部的齒輪結(jié)構，其中齒部設置于齒輪結(jié)構的主體部的外緣，并可相對于主體部進行拆卸或組合。當齒輪結(jié)構上部分的齒部損壞時，可直接更換損壞的齒部，以省去更換整個齒輪所花費的成本。
[0007]本發(fā)明的又一目的，在于提供一種應用上述齒輪結(jié)構的薄膜沉積系統(tǒng)。薄膜沉積系統(tǒng)的中央齒輪及/或行星齒輪為可替換齒部的齒輪結(jié)構，當中央齒輪及/或行星齒輪的齒部損壞時，僅需要更換損壞的齒部，并可降低薄膜沉積系統(tǒng)的使用及維修成本。
[0008]為達上述目的，本發(fā)明提供一種可替換齒部的齒輪結(jié)構，包括:一主體部，包括多個連接座，連接座位于主體部的外緣；及多個齒部，包括一連接端，通過連接端耦合至連接座，每一齒部可固定于主體部上或可相對于主體部進行拆卸。
[0009]本發(fā)明還提供一種薄膜沉積系統(tǒng)，包括:一載盤，可繞一第一軸旋轉(zhuǎn)；一中央齒輪，其中心位于第一軸上；及多個行星齒輪，以供放置至少一被沉積物，位于載盤上并圍繞中央齒輪，并與中央齒輪相互嚙合，使得每一行星齒輪可繞一第二軸旋轉(zhuǎn)，且第一軸不同于該第二軸。其中，中央齒輪及/或行星齒輪包括一主體部及多個齒部，且主體部的外緣設置多個連接座，每一齒部包括有一連接端，通過連接端耦合至連接座，每一齒部可固定于主體部上或可相對于主體部進行拆卸。
[0010]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明進行詳細描述，但不作為對本發(fā)明的限定?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0011]圖1為現(xiàn)有行星齒輪裝置的前側(cè)示圖；
[0012]圖2為本發(fā)明第一實施例的可替換齒部的齒輪結(jié)構的剖視示意圖；
[0013]圖3為本發(fā)明第二實施例的可替換齒部的齒輪結(jié)構的剖視示意圖；
[0014]圖4為本發(fā)明第三實施例的可替換齒部的齒輪結(jié)構的分解示意圖；
[0015]圖5為本發(fā)明第四實施例的可替換齒部的齒輪結(jié)構的分解示意圖；
[0016]圖6為本發(fā)明第五實施例的可替換齒部的齒輪結(jié)構的立體示意圖；
[0017]圖7為本發(fā)明第六實施例的可替換齒部的齒輪結(jié)構的分解示意圖；
[0018]圖8為本發(fā)明應用齒輪結(jié)構的薄膜沉積系統(tǒng)一實施例的分解示意圖；
[0019]圖9為本發(fā)明薄膜沉積系統(tǒng)的部分構件的剖視圖；
[0020]圖10為本發(fā)明應用齒輪結(jié)構的薄膜沉積系統(tǒng)又一實施例的分解示意圖。
[0021]雖然已通過舉例方式在附圖中描述了本發(fā)明的【具體實施方式】，并在本文中對其作了詳細的說明，但是本發(fā)明還允許有各種修改和替換形式。本發(fā)明的附圖內(nèi)容可為不等比例，附圖及其詳細的描述僅為特定型式的揭露，并不為本發(fā)明的限制，相反的，依據(jù)專利范圍的精神和范圍內(nèi)進行修改、均等構件及其置換均為本發(fā)明所涵蓋的范圍。
[0022]其中，附圖標記
[0023]10行星齒輪裝置11輸入軸
[0024]13中央齒輪131齒部
[0025]15行星齒輪151齒部
[0026]17齒輪架171齒部
[0027]20齒輪結(jié)構21主體部
[0028]211連接座213第一^^合部
[0029]23齒部231連接端
[0030]233第二卡合部
[0031]30齒輪結(jié)構31主體部
[0032]311連接座313第二凹槽
[0033]315穿孔317軸孔
[0034]33齒部331連接端
[0035]333第一凹槽335齒牙
[0036]3351 齒頂3353 齒面
[0037]35固定單元
[0038]40齒輪結(jié)構41主體部
[0039]411連接座43齒部
[0040]431連接端
[0041]50齒輪結(jié)構51主體部
[0042]52檔部53齒部[0043]60齒輪結(jié)構61主體部
[0044]611第一盤體6111連接座
[0045]6113固定端613第二盤體
[0046]62穿孔63齒部
[0047]631連接端633凹槽
[0048]70薄膜沉積系統(tǒng) 71中央齒輪
[0049]711主體部713齒部
[0050]72被沉積物73行星齒輪
[0051]731主體部733齒部
[0052]75載盤77供氣裝置
[0053]771連接單元781第二齒輪
[0054]783驅(qū)動軸785驅(qū)動馬達
[0055]79旋轉(zhuǎn)殼體791第一齒輪
[0056]80薄膜沉積系統(tǒng) 81中央齒輪
[0057]83行星齒輪85載盤
[0058]87驅(qū)動軸
【具體實施方式】
[0059]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的結(jié)構原理和工作原理作具體的描述:
[0060]請參閱圖2，為本發(fā)明可替換齒部的齒輪結(jié)構一實施例的剖視示意圖。如圖所示，可替換齒部的齒輪結(jié)構20包括有一主體部21及多個齒部23，其中主體部21的外緣設置有多個連接座211，而齒部23則包括有一連接端231。通過連接端231耦合至連接座211，齒部23可固定于主體部21上或可相對于主體部21進行拆卸，經(jīng)過組合的主體部21及齒部23具有一般齒輪的外型及功效，并可用以取代一般的齒輪。
[0061]主體部21的連接座211內(nèi)設置有至少一第一^^合部213，而齒部23的連接端231上設置有至少一第二卡合部233。齒部23的連接端231在插入主體部21的連接座211后，連接座211上的第一卡合部213將與連接端231上的第二卡合部233相互卡合，使得齒部23固定在主體部21的外緣。
[0062]在本發(fā)明一實施例中，位于主體部21的第一卡合部213的數(shù)量可為兩個或兩個以上，而位于齒部23的第二卡合部233的數(shù)量與第一卡合部213的數(shù)量相同，并可為兩個或兩個以上。第一卡合部213可為設置于連接座211內(nèi)部的凹槽，而第二卡合部233則為設置于連接端231上的凸出單元。齒部23的連接端231在插入連接座211時，第二卡合部233將會受到連接座211的作用而向內(nèi)縮，直到第二卡合部233到達第一卡合部213的位置后才會向外彈出，使得第二卡合部233卡合在第一^^合部213內(nèi)。
[0063]在不同實施例中，如圖3所示，主體部21的第一^^合部213的數(shù)量可為一個，而位于齒部23的第二卡合部233的數(shù)量也為一個。此外第一卡合部213可為設置于連接座211內(nèi)部的凸出單元，而第二卡合部233則為設置于連接端231上的凹槽。齒部23的連接端231與連接座211內(nèi)的第一卡合部213接觸時，第一卡合部213將會受到連接端231的作用而向內(nèi)縮，直到第二卡合部233到達第—^合部213的位置后,第—^合部213才會向外彈出，使得第—^合部213卡合在第二卡合部233內(nèi)。
[0064]本發(fā)明所述的齒輪結(jié)構20的主體部21及齒部23可任意組合或分解，例如當齒輪結(jié)構20上部分的齒部23損毀時，可以新的齒部23替換損壞的齒部23，而經(jīng)過置換齒部23的齒輪結(jié)構20將可繼續(xù)進行使用。如此一來將不用進行整個齒輪結(jié)構20的更換，并有利于減低更換或維修齒輪結(jié)構20所花費的成本。
[0065]在本發(fā)明一實施例中，任意兩個相鄰的連接座211之間的距離為固定，而插設于連接座211的任意兩個相鄰的齒部23的距離也為固定。在不同實施例中任意兩個相鄰的連接座211及齒部23的距離也可不相同，端視齒輪結(jié)構20使用的狀況決定。
[0066]請參閱圖4，為本發(fā)明可替換齒部的齒輪結(jié)構又一實施例的分解圖。如圖所示，可替換齒部的齒輪結(jié)構30包括有一主體部31及多個齒部33，其中主體部31外緣的側(cè)邊設置有多個連接座311，而齒部33則包括有一連接端331。齒部33的連接端331插設在主體部31的連接座311上，使得經(jīng)過組合的主體部31及齒部33具有一般齒輪的外型及功效，并可用以取代一般的齒輪。
[0067]位于主體部31外緣的連接座311為形狀與齒部33的連接端331相似的凹槽，并可用以容置齒部33的連接端331。在本發(fā)明一實施例中，齒部33的連接端331設置有至少一第一凹槽333，而主體部31的連接座311內(nèi)則設置有至少一第二凹槽313。當齒部33的連接端331插入主體部31的連接座311后，第一凹槽333會與第二凹槽313重合，形成一容置空間。至少一固定單元35可插設在第一凹槽333及第二凹槽313所形成的容置空間內(nèi)，使得齒部33固定在主體部31的外緣，其中固定單元35的功能如一般的插銷。
[0068]為了方便將固定單元35插設在第一凹槽333及第二凹槽313內(nèi)，主體部31的表面設置有多個穿孔315，固定單元35可穿過主體部31表面的穿孔315，并插設在第一凹槽333及第二凹槽313內(nèi)。`
[0069]主體部31表面的中心位置還設置有一軸孔317，在實際應用時可將一驅(qū)動軸37插設在軸孔317內(nèi)，并以驅(qū)動軸37驅(qū)動齒輪結(jié)構30轉(zhuǎn)動。
[0070]本發(fā)明所述的齒部33包括有一齒牙335及一連接端331，其中連接端331為柱狀體，且連接端331的剖視可為任意的幾何形狀，如圖4所示的齒部33的連接端331為方形的柱狀體，而主體部31的連接座311則為方形的凹槽。如圖5所示，齒輪構造40的齒部43的連接端431則為圓柱狀，而主體部41的連接座411則為圓形的凹槽。
[0071]在本發(fā)明一實施例中，齒牙335可為錐狀，并包括有一齒頂(top land)3351及多個齒面(tooth face) 3353，其中齒頂3351的形狀可為平面或弧面，而齒面3353的形狀則為平面、向內(nèi)凹的曲面或向外凸的曲面。
[0072]在本發(fā)明一實施例中，如圖6所示，齒輪結(jié)構50的主體部51的邊緣設置至少一檔部52，其中檔部52由主體部51的邊緣向外延伸，并位于齒部53的側(cè)邊，例如由主體部51向外延伸的檔部52的高度H2可大于或等于齒部53的高度Hl。通過檔部52的設置，不僅有利于齒輪結(jié)構50的齒部53與其它齒輪的齒部進行對位，也可進一步保護齒輪結(jié)構50的齒部53，以降低齒部53損壞的機率。
[0073]請參閱圖7，為本發(fā)明可替換齒部的齒輪結(jié)構又一實施例的分解圖。如圖所示，可替換齒部的齒輪結(jié)構60包括有一主體部61、多個齒部63及多個固定單元35。主體部61包括有一第一盤體611及一第二盤體613,其中第一盤體611與第二盤體613疊合,并于兩者之間形成間隙。固定單元35位于間隙中且鄰近第一盤體611與第二盤體613的外緣，每一固定單元35的兩端分別可用以連接第一盤體611與第二盤體613，以形成多個連接座6111。齒部63的連接端631可設置在主體部61外緣的連接座6111內(nèi)，結(jié)合后的齒部63及主體部61具有一般齒輪的外觀及功能。
[0074]在本發(fā)明一實施例中，齒部63的連接端631上設置有至少一凹槽633，并且齒部63的連接端631可設置于第一盤體611與第二盤體613之間的間隙。通過固定單元35設置于連接端631的凹槽633內(nèi)，可用以將齒部63固定在主體部61上。
[0075]在本發(fā)明一實施例中，第一盤體611包括有至少一固定端6113，第一盤體611可通過固定端6113與第二盤體613連接,并形成主體部61。在本發(fā)明一較佳實施例中，固定端6113可位于第一盤體611表面的中心位置，當齒部63設置在第一盤體611與第二盤體613之間的間隙時，齒部63的連接端631將會與第一盤體611的固定端6113接觸，以確認齒部63已位于定位。
[0076]為了方便將固定單元35插設在凹槽633內(nèi)，第一盤體611及/或第二盤體613的表面設置有多個穿孔62。固定單元35可穿過第一盤體611及/或第二盤體613的穿孔62，并位于齒部63的連接端631的凹槽633內(nèi)，以固定齒部63于主體部61上。在本發(fā)明另一實施例中，第一盤體611及/或第二盤體613的穿孔62也可變換其型態(tài)為凹槽(未圖示)，且凹槽633位于第一盤體611及/或第二盤體613的內(nèi)表面，而固定單元35則位于第一盤體611及第二盤體613的凹槽內(nèi)，同樣可通過固定單元35將齒部63固定于主體部61上。
[0077]在本發(fā)明一實施例中，第一盤體611的面積及形狀均與第二盤體613相似，而在不同實施例中第一盤體611也可略大于第二盤體613，并在主體部61的邊緣位置形成如圖6所示的檔部52。
[0078]本發(fā)明上述實施例的齒輪結(jié)構20/30/40/50/60的主體部21/31/41/51/61可為一體成型的構件，也可為可拆解及組合的獨立構件。例如本發(fā)明實施例所述的第一盤體611及第二盤體613可為獨立的構件，并可相互分解或結(jié)合。在實際應用時第一盤體611及第二盤體613也可為一體成型的構件，且兩者不能分離或拆解成獨立的構件。
[0079]請參閱圖8，為本發(fā)明應用齒輪結(jié)構的薄膜沉積系統(tǒng)一實施例的分解圖。如圖所不，薄膜沉積系統(tǒng)70主要包括有一中央齒輪71、多個行星齒輪73、一載盤75、一供氣裝置77及一旋轉(zhuǎn)殼體79，其中行星齒輪73位于中央齒輪71的周圍，且中央齒輪71與行星齒輪73相嚙合。
[0080]在本發(fā)明實施例中，載盤75位于旋轉(zhuǎn)殼體79上，并以旋轉(zhuǎn)殼體79帶動載盤75轉(zhuǎn)動。載盤75可用以承載多個行星齒輪73，而供氣裝置77則連接中央齒輪71，例如供氣裝置77包括有一連接單元771，用以連接中央齒輪71，使得中央齒輪71固定在供氣裝置77上。其中，供氣裝置77也可整合于一蓋體中，使得中央齒輪71固定在蓋體上。
[0081]旋轉(zhuǎn)殼體79轉(zhuǎn)動時將會帶動載盤75，使得載盤75上的行星齒輪73隨之轉(zhuǎn)動，例如行星齒輪73以中央齒輪71為中心進行公轉(zhuǎn)。載盤75上的行星齒輪73與中央齒輪71相互嚙合，因此當載盤75帶動行星齒輪73以中央齒輪71為中心旋轉(zhuǎn)時，行星齒輪73也會自身的圓心為軸心轉(zhuǎn)動(自轉(zhuǎn))。
[0082]行星齒輪73可用以承載至少一被沉積物72，例如被沉積物72可為晶圓(圓片)或基板。在薄膜沉積的過程中，沉積室內(nèi)的氣體流動穩(wěn)定度或均勻度、通過被沉積物72表面的氣體流均勻度及/或溫度控制的精確度，都會對薄膜沉積的品質(zhì)造成直接的影響。本發(fā)明實施例所述的薄膜沉積系統(tǒng)70，主要使得承載被沉積物72的行星齒輪73環(huán)繞中央齒輪71轉(zhuǎn)動(公轉(zhuǎn))，并以自身的圓心為軸心轉(zhuǎn)動(自轉(zhuǎn))，以改善沉積室內(nèi)氣體流動穩(wěn)定度或均勻度及被沉積物72表面的氣體流均勻度，并提高被沉積物表面的薄膜沉積的品質(zhì)。
[0083]在本發(fā)明一實施例中，如圖9所不,旋轉(zhuǎn)殼體79內(nèi)設置有一第一齒輪791及一第二齒輪781，其中第一齒輪791與第二齒輪781相互嚙合，當?shù)诙X輪781轉(zhuǎn)動時將會經(jīng)由第一齒輪791帶動旋轉(zhuǎn)殼體79轉(zhuǎn)動。例如第一齒輪791可環(huán)設在旋轉(zhuǎn)殼體79內(nèi)部的邊緣，而第二齒輪781則連接驅(qū)動軸783，并以驅(qū)動馬達785經(jīng)由驅(qū)動軸783帶動第二齒輪781轉(zhuǎn)動。
[0084]本發(fā)明實施例所述的中央齒輪71、行星齒輪73、第一齒輪791及/或第二齒輪781均可為本發(fā)明先前實施例所述的可替換齒部的齒輪結(jié)構20/30/40/50/60，并可于中央齒輪71、行星齒輪73、第一齒輪791及/或第二齒輪781的齒部損壞時進行更換,有利于降低薄膜沉積系統(tǒng)70的使用成本。例如中央齒輪71包括一主體部711及多個齒部713，其中主體部711的外緣設置多個連接座，而齒部713則設置于主體部711外緣的連接座，并可相對于主體部711進行拆卸或組合，或者是多個行星齒輪73包括一主體部731及多個齒部733，其中主體部731的外緣設置多個連接座，而齒部733則設置于主體部731外緣的連接座，并可相對于主體部731進行拆卸或組合。
[0085]請參閱圖10，為本發(fā)明應用齒輪結(jié)構的薄膜沉積系統(tǒng)又一實施例的分解圖。如圖所示，薄膜沉積系統(tǒng)80主要包括有一中央齒輪81、多個行星齒輪83、一載盤85及一驅(qū)動軸87，其中行星齒輪83位于中央齒輪81的周圍，且中央齒輪81與行星齒輪83相嚙合。中央齒輪81連接一驅(qū)動軸87，而行星齒輪83則位于載盤85上，當驅(qū)動軸87帶動中央齒輪81轉(zhuǎn)動時，中央齒輪81將會帶動行星齒輪83以中央齒輪81為中心在載盤85上轉(zhuǎn)動(公轉(zhuǎn))，行星齒輪83在公轉(zhuǎn)的同時也會以本身的圓心為軸心轉(zhuǎn)動(自轉(zhuǎn))。
[0086]行星齒輪83可用以承載至少一被沉積物72，例如被沉積物72可為晶圓或基板，通過本發(fā)明實施例所述的薄膜沉積系統(tǒng)80，可使得承載被沉積物72的行星齒輪83環(huán)繞中央齒輪81轉(zhuǎn)動(公轉(zhuǎn))，并以自身的圓心為軸心轉(zhuǎn)動(自轉(zhuǎn))，以提高沉積室內(nèi)氣體流動穩(wěn)定度或均勻度及被沉積物72表面的氣體流均勻度，并提高被沉積物表面的薄膜沉積的品質(zhì)。
[0087]本發(fā)明實施例所述的中央齒輪81及/或行星齒輪83均可為本發(fā)明先前實施例所述的可替換齒部的齒輪結(jié)構20/30/40/50/60，并可于中央齒輪81及/或行星齒輪83的齒部損壞時進行更換，有利于降低薄膜沉積系統(tǒng)80的使用成本。
[0088]在本發(fā)明中所述的耦合指的是一個或多個物體或構件之間的直接連接或者是間接連接，例如可在一個或多個物體或構件之間存在有一個或多個中間連接物。
[0089]說明書的系統(tǒng)中所描述的也許、必須及變化等字眼并非本發(fā)明的限制。說明書所使用的專業(yè)術語主要用以進行特定實施例的描述，并不為本發(fā)明的限制。說明書所使用的單數(shù)量詞(如一個及該個)也可為多個，除非在說明書的內(nèi)容有明確的說明。例如說明書所提及的一個裝置可包括有兩個或兩個以上的裝置的結(jié)合，而說明書所提的一物質(zhì)則可包括有多種物質(zhì)的混合。
[0090]當然，本發(fā)明還可有其他多種實施例，在不背離本發(fā)明精神及其實質(zhì)的情況下，熟悉本領域的技術人員當可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應的改變和變形，但這些相應的改變和變形都應屬于本發(fā)明所附的權利要求的保護范圍。
【權利要求】
1.一種可替換齒部的齒輪結(jié)構，其特征在于，包括: 一主體部,包括多個連接座,其中該多個連接座位于該主體部的外緣 '及多個齒部，每一該齒部包括一連接端，通過該連接端耦合至每一該連接座，每一該齒部能夠固定于該主體部上。
2.根據(jù)權利要求1所述的可替換齒部的齒輪結(jié)構，其特征在于，每一該連接座包括至少一第一卡合部，該連接端包括至少一第二卡合部，且該第一卡合部與該第二卡合部相互卡合。
3.根據(jù)權利要求1所述的可替換齒部的齒輪結(jié)構，其特征在于，還包括多個固定單元，且該連接端包括至少一第一凹槽，每一該連接座包括有至少一第二凹槽，其中該多個固定單元插設在該第一凹槽及該第二凹槽內(nèi)，使得每一該齒部固定在該主體部。
4.根據(jù)權利要求3所述的可替換齒部的齒輪結(jié)構，其特征在于，該主體部的表面包括多個穿孔，而該多個固定單元分別穿過該多個穿孔，并插設在該第一凹槽及該第二凹槽內(nèi)。
5.根據(jù)權利要求1所述的可替換齒部的齒輪結(jié)構，其特征在于，該主體部包括疊合的兩盤體，且該兩盤體之間具有一間隙。
6.根據(jù)權利要求5所述的可替換齒部的齒輪結(jié)構，其特征在于，還包括多個固定單元位于該間隙中且鄰近該兩盤體的外緣，每一該固定單元的兩端分別連接該兩盤體，以形成該多個連接座。
7.根據(jù)權利要求6所述的可替換齒部的齒輪結(jié)構，其特征在于，該連接端包括一凹槽，每一該固定單元可插設在該凹槽內(nèi)，以固定該多個齒部于該間隙中。
8.根據(jù)權利要求6所述的可替換`齒部的齒輪結(jié)構，其特征在于，該兩盤體的表面分別設置多個穿孔，每一該固定單元可穿過該多個穿孔以連接該兩盤體。
9.根據(jù)權利要求1所述的可替換齒部的齒輪結(jié)構，其特征在于，該主體部包括有至少一檔部，該檔部由該主體部的邊緣向外延伸，并位于該多個齒部的側(cè)邊。
10.根據(jù)權利要求1所述的可替換齒部的齒輪結(jié)構，其特征在于，每一該齒部包括有一齒頂及多個齒面，該齒頂?shù)男螤顬槠矫婊蚧∶?，而該多個齒面的形狀為平面、向內(nèi)凹的曲面或向外凸的曲面。
11.一種薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，包括: 一載盤，能夠繞一第一軸旋轉(zhuǎn)； 一中央齒輪，其中心位于該第一軸上，其中該中央齒輪包括一可替換齒部的齒輪結(jié)構；及 多個行星齒輪，位于該載盤上并圍繞該中央齒輪，并與該中央齒輪相互嚙合，使得每一該行星齒輪可繞一第二軸旋轉(zhuǎn)，且該第一軸不同于該第二軸，其中每一該行星齒輪上放置至少一被沉積物。
12.根據(jù)權利要求11所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，該可替換齒部的齒輪結(jié)構包括: 一主體部,包括多個連接座,其中該多個連接座位于該主體部的外緣 '及多個齒部，每一該齒部包括一連接端，通過該連接端耦合至每一該連接座，每一該齒部能夠固定于該主體部上。
13.根據(jù)權利要求12所述的薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，該多個行星齒輪包括該可替換齒部的齒輪結(jié)構。
14.一種薄膜沉積系統(tǒng)，其特征在于，包括: 一載盤，能夠繞一第一軸旋轉(zhuǎn)； 一中央齒輪，其中心位于該第一軸上；及 多個行星齒輪，以供放置至少一被沉積物，位于該載盤上并圍繞該中央齒輪，并與該中央齒輪相互哨合，使得每一該行星齒輪能夠繞一第二軸旋轉(zhuǎn)，且該第一軸不同于該第二軸，其中該多個行星齒輪包括一可替`換齒部的齒輪結(jié)構。
【文檔編號】C23C16/54GK103511587SQ201210213404
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2012年6月25日 優(yōu)先權日:2012年6月25日
【發(fā)明者】劉念慈, 呂承豐 申請人:綠種子材料科技股份有限公司