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可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)及應(yīng)用該齒輪結(jié)構(gòu)的薄膜沉積系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3284892

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本發(fā)明有關(guān)于一種可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)及應(yīng)用該齒輪結(jié)構(gòu)的薄膜沉積系統(tǒng),可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)尤指一種應(yīng)用該齒輪結(jié)構(gòu)的薄膜沉積裝置。齒輪結(jié)構(gòu)主要包括一主體部及多個(gè)齒部,其中主體部的外緣設(shè)置有多個(gè)連接座,并可將齒部的連接端耦合至主體部的連接座,以固定齒部于主體部上。本發(fā)明所述的齒輪結(jié)構(gòu)可用以取代一般的齒輪,此外當(dāng)齒輪結(jié)構(gòu)上部分的齒部損壞時(shí),僅需要進(jìn)行損壞的齒部的更換,便可繼續(xù)使用齒輪結(jié)構(gòu),以降低更換及維修齒輪結(jié)構(gòu)所花費(fèi)的成本。專利說明可替換齒部的齒輪結(jié)構(gòu)及應(yīng)用該齒...
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