專利名稱：一種晶體材料磨削機構(gòu)的制作方法
一種晶體材料磨削機構(gòu)
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種晶體材料的加工設(shè)備，具體涉及一種晶體材料磨削機構(gòu)。背景技術(shù)：
在使用西門子法生產(chǎn)多晶硅的過程中，硅芯搭接技術(shù)是非常重要的一個環(huán)節(jié)，它主要應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)的還原反應(yīng)過程。這個環(huán)節(jié)的還原反應(yīng)過程的原理是所述還原反應(yīng)是在一個密閉的還原爐中進行的，在裝爐前先在還原爐內(nèi)用硅芯搭接成若干個閉合回路，也就是行話中的“搭橋”;每個閉合回路都由兩根豎硅芯和一根橫硅芯組成；每一個閉合回路的兩個豎硅芯分別接在爐底上的兩個電極上，兩個電極分別連接直流電源的正負極， 向密閉的還原爐內(nèi)通入氫氣和三氯氫硅，然后對硅芯進行加熱，加熱中一組搭接好的硅芯相當(dāng)于一個大電阻，進行還原反應(yīng)；這樣，所需的多晶硅就會在硅芯表面生成。實現(xiàn)上述技術(shù)時，通過搭橋技術(shù)使一根橫硅芯和兩根豎硅芯進行聯(lián)通，本發(fā)明人在先申請的中國專利公開了一種可有效提高接觸面積和減小電阻的孔式硅芯搭接方法， 該專利提出了一種圓球形硅芯的搭接方法，它是通過在橫硅芯兩端分別設(shè)置硅芯圓球體， 并在兩個硅芯圓球體的下部分別設(shè)置插孔，由豎硅芯上端的插柱與插孔吻配連接，形成提高接觸面積和減少電阻的連接方式；但是，在實際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)在橫硅芯圓球體上鉆孔時往往會造成橫硅芯圓球體產(chǎn)生裂紋，甚至發(fā)生斷裂，成品率相對較低，使得加工成本增加；且在橫硅芯兩端拉制圓球體也是一個工藝較為復(fù)雜且成本較高的工藝過程，這個過程不僅工藝復(fù)雜，而且在拉制橫硅芯圓球體時一不小心便會出現(xiàn)高頻線圈與硅芯接觸造成打火現(xiàn)象的發(fā)生，甚至造成高頻線圈報廢，并且影響工藝的進行，必須得停止拉制過程，通過更換高頻線圈來進行下一次的拉制過程，這其中停工中的再次開啟設(shè)備時為防止原料棒在拉制過程中發(fā)生氧化，還必須重新更換新的籽晶，同時還要重新對硅芯爐進行抽真空、沖入保護性氣體、加熱等工藝步驟；所以有必要對于硅芯的搭接方式及其設(shè)備進行改進。參考文獻中國專利；專利名稱、可有效提高接觸面積和減小電阻的孔式硅芯搭接方法，公開號、CN101570890A，
公開日、2009 年 11 月 4 日。

發(fā)明內(nèi)容為克服背景技術(shù)中的不足，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種晶體材料磨削機構(gòu)，本發(fā)明所述的晶體材料磨削機構(gòu)實現(xiàn)了穩(wěn)固的磨削晶棒的目的，有效地提高了晶棒加工的機械化程度，克服了現(xiàn)有技術(shù)必須拉制硅芯圓球體的弊端。為了實現(xiàn)所述發(fā)明目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種晶體材料磨削機構(gòu)，包括用于固定晶棒的晶體夾持機構(gòu)；用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)；用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)；用于晶體夾持機構(gòu)或橫、豎磨削機構(gòu)的進給機構(gòu)； 所述用于固定晶棒的夾持機構(gòu)設(shè)置在磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)和用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)的一側(cè)；所述用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)設(shè)置有軸套，所述軸套通過軸套固定座A固定在磨頭固定板上部面的一邊，在軸套的一端設(shè)置有磨輪，在軸套的另一端設(shè)置有動力機構(gòu)， 所述磨輪的外緣對應(yīng)晶棒的軸向中心線，形成晶棒端部面的“U”型切口的結(jié)構(gòu)設(shè)置；所述用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)設(shè)置有軸套，所述軸套通過軸套固定座B固定在磨頭固定板上部面的另一邊，在軸套的一端設(shè)置有磨輪，在軸套的另一端設(shè)置有動力機構(gòu)，所述磨輪外緣垂直于晶棒的軸向中心線；所述用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)和磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)及進給機構(gòu)外接控制系統(tǒng)。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述用于晶體夾持機構(gòu)或橫、豎磨削機構(gòu)的進給機構(gòu)包括橫向進給機構(gòu)和縱向進給機構(gòu)；所述橫向進給機構(gòu)和縱向進給機構(gòu)設(shè)置在磨頭固定板或者固定晶棒的夾持機構(gòu)的下部面。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)包括軸套、磨輪、電機、電機安裝座、聯(lián)軸器A、軸承、軸、軸承壓蓋和軸套固定座A，所述軸套的一端通過電機安裝座固定有電機，在軸套的內(nèi)部設(shè)置有軸，所述軸的一端通過聯(lián)軸器A與電機連接，在軸的兩端緊配有軸承，所述軸承的外圈固定在軸套內(nèi)部的兩端，在軸套的另一端設(shè)置有軸承壓蓋和磨輪，所述軸套通過焊接或者鉸接的形式固定在軸套固定座A的側(cè)邊。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)包括軸套、磨輪、電機、電機安裝座、聯(lián)軸器A、軸承、軸、軸承壓蓋和軸套固定座B，所述軸套的一端通過電機安裝座固定有電機，在軸套的內(nèi)部設(shè)置有軸，所述軸的一端通過聯(lián)軸器A與電機連接，在軸的兩端緊配有軸承，所述軸承的外圈固定在軸套內(nèi)部的兩端，在軸套的另一端設(shè)置有軸承壓蓋和磨輪，所述軸套通過焊接或者鉸接的形式固定在軸套固定座B的上部面。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述用于晶體夾持機構(gòu)或橫、豎磨削機構(gòu)的橫向進給機構(gòu)包括大安裝底板、電機、電機安裝座、滑軌、滑軌安裝座、軸承座、絲杠、滑塊、擋板、減速機、絲母、減速器軸、減速器軸鎖緊螺母和聯(lián)軸器B，所述大安裝底板的上部面上設(shè)置有至少兩個相互平行的滑軌安裝座，在滑軌安裝座的上部面設(shè)置有滑軌，所述滑軌的一端設(shè)置有擋板，滑軌與滑塊滑配，形成橫向進給機構(gòu)，在滑塊的上部面設(shè)置有中托盤，在中托盤的下部設(shè)置有絲母，所述絲母通過設(shè)置在大安裝底板上部面的絲杠形成絲接連接，所述絲杠的兩端通過軸承座固定在大安裝底板上部面，在絲杠的一端設(shè)置有減速機，所述減速機安裝孔內(nèi)安裝有減速器軸，所述減速器軸通過減速器軸鎖緊螺母固定在減速機上，減速器軸的一端通過聯(lián)軸器B與絲杠連接。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述用于晶體夾持機構(gòu)或橫、豎磨削機構(gòu)的縱向進給機構(gòu)包括電機、電機安裝座、滑軌、滑軌安裝座、軸承座、絲杠、滑塊、減速機、絲母、減速器軸、減速器軸鎖緊螺母和聯(lián)軸器B，所述至少兩個滑軌安裝座固定在中托盤的上部面，在滑軌安裝座的上部面設(shè)置有滑軌，所述滑軌與滑塊滑配，形成縱向進給機構(gòu)，在滑塊的上部面設(shè)置有磨頭固定板或晶體夾持機構(gòu)，在磨頭固定板或晶體夾持機構(gòu)的下部面設(shè)置有絲母， 所述絲母通過設(shè)置在中托盤上部面的絲杠形成絲接連接，所述絲杠的兩端通過軸承座固定在大安裝底板上部面，在絲杠的一端設(shè)置有減速機，所述減速機安裝孔內(nèi)安裝有減速器軸， 所述減速器軸通過減速器軸鎖緊螺母固定在減速機上，減速器軸的一端通過聯(lián)軸器B與絲杠連接。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述大安裝底板的下部面連接有至少四個支撐座，在支撐座的下部面連接有機架，在機架的一側(cè)設(shè)置有穿線孔。
所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述控制系統(tǒng)包括控制盒、連接桿和連接桿固定座，所述控制盒通過接桿和連接桿固定座固定在大安裝底板的一側(cè)。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述大安裝底板的一側(cè)邊安裝有水管、水管固定座和傳感器固定座，所述傳感器固定座上固定有測量機構(gòu)。由于采用上述技術(shù)方案，本發(fā)明具有如下有益效果所述的晶體材料磨削機構(gòu)，通過晶棒夾持機構(gòu)將晶棒穩(wěn)固的固定在晶棒夾持機構(gòu)上，利用晶棒的磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)和磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)進行精確地磨削，在磨削過程中由晶體夾持機構(gòu)或橫、豎磨削機構(gòu)的進給機構(gòu)使晶棒在加工中的漸進磨削；本發(fā)明實現(xiàn)了穩(wěn)固的磨削晶棒的目的，有效地提高了晶棒加工的機械化程度，克服了現(xiàn)有技術(shù)必須拉制硅芯圓球體的弊端。

圖1是本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明的另一角度立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本發(fā)明的磨頭裝置裝配關(guān)系示意圖。圖4是本發(fā)明的磨頭裝置另一角度裝配關(guān)系示意圖。圖5是圖1的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、控制盒；2、連接桿；3、軸套；4、磨輪；5、晶體加持機構(gòu)；6、晶體支撐機構(gòu)； 7、晶棒；8、大安裝底板；9、支撐座；10、機架；11、穿線孔；12、電機；13、電機安裝座；14、磨頭固定板；15、滑軌；16、滑軌安裝座；17、軸承座18、絲杠；19、滑塊；20、擋板；21、減速機； 22、水管；23、水管固定座；24、傳感器固定座；25、連接桿固定座；26、擋水板；27、托板；28、 聯(lián)軸器A ;29、軸承；30、鎖緊螺母；31、軸；32、軸承壓蓋；33、軸套固定座A ;34、軸套固定座 B ；35、絲母；36、防護罩；37、減速器軸；38、減速器軸鎖緊螺母；39、聯(lián)軸器B。
具體實施方式
參考下面實施例，可以更詳細的解釋本發(fā)明，但是本發(fā)明并不局限于這些實施例的組合方式。結(jié)合附圖1 5中所述的晶體材料磨削機構(gòu)，包括用于固定晶棒的晶體夾持機構(gòu) 5 ；在晶體夾持機構(gòu)5的一側(cè)設(shè)置有晶體支撐機構(gòu)6，用于托扶晶棒7用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)；用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)；用于晶體夾持機構(gòu)5或橫、豎磨削機構(gòu)的進給機構(gòu)； 所述用于固定晶棒的夾持機構(gòu)5設(shè)置在磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)和用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)的一側(cè)；所述用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)設(shè)置有軸套3，所述軸套3通過軸套固定座 A33固定在磨頭固定板14上部面的一邊，在軸套3的一端設(shè)置有磨輪4，磨輪4通過鎖緊螺母30固定在軸31的一端，在軸套3的另一端設(shè)置有動力機構(gòu)，所述磨輪4的外緣對應(yīng)晶棒 7的軸向中心線，形成晶棒7端部面的“U”型切口的結(jié)構(gòu)設(shè)置；所述用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)設(shè)置有軸套3，所述軸套3通過軸套固定座B34固定在磨頭固定板14上部面的另一邊， 在軸套3的一端設(shè)置有磨輪4，磨輪4通過鎖緊螺母30固定在軸31的一端，在軸套3的另一端設(shè)置有動力機構(gòu)，所述磨輪4外緣垂直于晶棒7的軸向中心線，形成對晶棒7端部的端面磨削，保證晶棒7在磨削“U”型槽時端面是平齊的；所述用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)和磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)及進給機構(gòu)外接控制系統(tǒng)。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述用于晶體夾持機構(gòu)5或橫、豎磨削機構(gòu)的進給機構(gòu)包括橫向進給機構(gòu)和縱向進給機構(gòu)；所述橫向進給機構(gòu)和縱向進給機構(gòu)設(shè)置在磨頭固定板14或者固定晶棒的夾持機構(gòu)的下部面，當(dāng)橫向進給機構(gòu)和縱向進給機構(gòu)設(shè)置在晶體夾持機構(gòu)5的下部面時，橫、豎磨削機構(gòu)固定不動，晶體夾持機構(gòu)5做橫向和縱向移動，以達到設(shè)計目的，當(dāng)橫向進給機構(gòu)和縱向進給機構(gòu)設(shè)置在橫、豎磨削機構(gòu)的下部面時，晶體夾持機構(gòu)5固定不動，橫、豎磨削機構(gòu)做橫向和縱向移動，以達到設(shè)計目的。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)包括軸套3、磨輪4、 電機12、電機安裝座13、聯(lián)軸器A^、軸承四、軸31、軸承壓蓋32和軸套固定座A33，所述軸套3的一端通過電機安裝座13固定有電機12，在軸套3的內(nèi)部設(shè)置有軸31，所述軸31的一端通過聯(lián)軸器A28與電機12連接，在軸31的兩端緊配有軸承四，所述軸承四的外圈固定在軸套3內(nèi)部的兩端，在軸套3的另一端設(shè)置有軸承壓蓋32和磨輪4，所述軸套3通過焊接或者鉸接的形式固定在軸套固定座A33的側(cè)邊。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)包括軸套3、磨輪4、 電機12、電機安裝座13、聯(lián)軸器A28、軸承四、軸31、軸承壓蓋32和軸套固定座B34，所述軸套3的一端通過電機安裝座13固定有電機12，在軸套3的內(nèi)部設(shè)置有軸31，所述軸31的一端通過聯(lián)軸器A28與電機12連接，在軸31的兩端緊配有軸承四，所述軸承四的外圈固定在軸套3內(nèi)部的兩端，在軸套3的另一端設(shè)置有軸承壓蓋32和磨輪4，所述軸套3通過焊接或者鉸接的形式固定在軸套固定座B34的上部面。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述用于晶體夾持機構(gòu)5或橫、豎磨削機構(gòu)的橫向進給機構(gòu)包括大安裝底板8、電機12、電機安裝座13、滑軌15、滑軌安裝座16、軸承座17、絲杠 18、滑塊19、擋板20、減速機21、絲母35、減速器軸37、減速器軸鎖緊螺母38和聯(lián)軸器B39， 所述大安裝底板8的上部面上設(shè)置有至少兩個相互平行的滑軌安裝座16，在滑軌安裝座16 的上部面設(shè)置有滑軌15，所述滑軌15的一端設(shè)置有擋板20，滑軌15與滑塊19滑配，形成橫向進給機構(gòu)，在滑塊19的上部面設(shè)置有中托盤，在中托盤的下部設(shè)置有絲母35，所述絲母35通過設(shè)置在大安裝底板8上部面的絲杠18形成絲接連接，所述絲杠18的兩端通過軸承座17固定在大安裝底板8上部面，在絲杠18的一端設(shè)置有減速機21，所述減速機21安裝孔內(nèi)安裝有減速器軸37，所述減速器軸37通過減速器軸鎖緊螺母38固定在減速機上，減速器軸37的一端通過聯(lián)軸器B39與絲杠18連接，為了防止在工作過程中電機12或減速機 21落入粉塵而影響精度，同時也為了增加磨機的美觀程度，可在其外圍設(shè)置防護罩36。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述用于晶體夾持機構(gòu)5或橫、豎磨削機構(gòu)的縱向進給機構(gòu)包括電機12、電機安裝座13、滑軌15、滑軌安裝座16、軸承座17、絲杠18、滑塊19、減速機21、絲母35、減速器軸37、減速器軸鎖緊螺母38和聯(lián)軸器B39，所述至少兩個滑軌安裝座16固定在中托盤的上部面，在滑軌安裝座16的上部面設(shè)置有滑軌15，所述滑軌15與滑塊19滑配，形成縱向進給機構(gòu)，在滑塊19的上部面設(shè)置有磨頭固定板14或晶體夾持機構(gòu) 5，在磨頭固定板14或晶體夾持機構(gòu)5的下部面設(shè)置有絲母35，所述絲母35通過設(shè)置在中托盤上部面的絲杠18形成絲接連接，所述絲杠18的兩端通過軸承座17固定在大安裝底板 8上部面，在絲杠18的一端設(shè)置有減速機21，所述減速機21安裝孔內(nèi)安裝有減速器軸37， 所述減速器軸37通過減速器軸鎖緊螺母38固定在減速機上，減速器軸37的一端通過聯(lián)軸器B39與絲杠18連接，為了防止在工作過程中電機12或減速機21落入粉塵而影響精度， 同時也為了增加磨機的美觀程度，可在其外圍設(shè)置防護罩36。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述大安裝底板8的下部面連接有至少四個支撐座9， 在支撐座9的下部面連接有機架10，在機架10的一側(cè)設(shè)置有穿線孔11。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述控制系統(tǒng)包括控制盒1、連接桿2和連接桿固定座 25，所述控制盒1通過接桿2和連接桿固定座25固定在大安裝底板8的一側(cè)，在大安裝底板8的另一側(cè)固定有托板27。所述的晶體材料磨削機構(gòu)，所述大安裝底板8的一側(cè)邊安裝有水管22、水管固定座23和傳感器固定座M，所述傳感器固定座M上固定有測量機構(gòu)，所述測量機構(gòu)可設(shè)置為光柵尺或限位開關(guān)，達到對進給機構(gòu)的準(zhǔn)確的控制，同時提高對晶棒7的精確磨削，所述水管22通過設(shè)置在磨機旁的供水系統(tǒng)將水源或冷卻介質(zhì)輸送至橫、豎磨削機構(gòu)，以防止由于溫度過高而損壞橫、豎磨削機構(gòu)或晶棒7，當(dāng)橫、豎磨削機構(gòu)對晶棒7磨削時，為了防止在磨削過程中由于溫度過高損壞磨頭或者晶棒7，同時為了防止水或冷卻介質(zhì)漸入橫、豎磨削機構(gòu)或電機12中，損壞橫、豎磨削機構(gòu)，可在橫、豎磨削機構(gòu)一側(cè)設(shè)置擋水板沈?qū)M、豎磨削機構(gòu)進行保護，同時也可以起到保護操作人員的作用。為了公開本發(fā)明的目的而在本文中選用的實施例，當(dāng)前認(rèn)為是適宜的，但是應(yīng)了解的是，本發(fā)明旨在包括一切屬于本構(gòu)思和本發(fā)明范圍內(nèi)的實施例的所有變化和改進。
權(quán)利要求
1.一種晶體材料磨削機構(gòu)，包括用于固定晶棒的晶體夾持機構(gòu)(5)；用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)；用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)；用于晶體夾持機構(gòu)(5)或橫、豎磨削機構(gòu)的進給機構(gòu)，其特征是所述用于固定晶棒的夾持機構(gòu)(5)設(shè)置在磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)和用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)的一側(cè)；所述用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)設(shè)置有軸套(3)，所述軸套(3)通過軸套固定座A (3 固定在磨頭固定板(14)上部面的一邊，在軸套(3)的一端設(shè)置有磨輪G)，在軸套(3)的另一端設(shè)置有動力機構(gòu)，所述磨輪的外緣對應(yīng)晶棒(7)的軸向中心線，形成晶棒(7)端部面的“U”型切口的結(jié)構(gòu)設(shè)置；所述用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)設(shè)置有軸套(3)，所述軸套C3)通過軸套固定座B (34)固定在磨頭固定板(14)上部面的另一邊，在軸套(3)的一端設(shè)置有磨輪G)，在軸套(3)的另一端設(shè)置有動力機構(gòu)，所述磨輪(4)外緣垂直于晶棒(7)的軸向中心線；所述用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)和磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)及進給機構(gòu)外接控制系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體材料磨削機構(gòu)，其特征是所述用于晶體夾持機構(gòu)(5) 或橫、豎磨削機構(gòu)的進給機構(gòu)包括橫向進給機構(gòu)和縱向進給機構(gòu)；所述橫向進給機構(gòu)和縱向進給機構(gòu)設(shè)置在磨頭固定板(14)或者固定晶棒的夾持機構(gòu)的下部面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體材料磨削機構(gòu)，其特征是所述用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)包括軸套(3)、磨輪(4)、電機(12)、電機安裝座(13)、聯(lián)軸器AQ8)、軸承⑵)、軸 (31)、軸承壓蓋(32)和軸套固定座A(33)，所述軸套(3)的一端通過電機安裝座(13)固定有電機(12)，在軸套(3)的內(nèi)部設(shè)置有軸(31)，所述軸(31)的一端通過聯(lián)軸器AQ8)與電機(1 連接，在軸(31)的兩端緊配有軸承( )，所述軸承09)的外圈固定在軸套(3)內(nèi)部的兩端，在軸套C3)的另一端設(shè)置有軸承壓蓋(3 和磨輪G)，所述軸套3通過焊接或者鉸接的形式固定在軸套固定座A33的側(cè)邊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體材料磨削機構(gòu)，其特征是所述用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)包括軸套(3)、磨輪(4)、電機(12)、電機安裝座(13)、聯(lián)軸器AQ8)、軸承⑵)、軸 (31)、軸承壓蓋(32)和軸套固定座B (34)，所述軸套(3)的一端通過電機安裝座(13)固定有電機(12)，在軸套(3)的內(nèi)部設(shè)置有軸(31)，所述軸(31)的一端通過聯(lián)軸器AQ8)與電機(1 連接，在軸(31)的兩端緊配有軸承( )，所述軸承09)的外圈固定在軸套(3)內(nèi)部的兩端，在軸套C3)的另一端設(shè)置有軸承壓蓋(3 和磨輪0)，所述軸套C3)通過焊接或者鉸接的形式固定在軸套固定座B(34)的上部面。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶體材料磨削機構(gòu)，其特征是所述用于晶體夾持機構(gòu)(5) 或橫、豎磨削機構(gòu)的橫向進給機構(gòu)包括大安裝底板(8)、電機(12)、電機安裝座(13)、滑軌 (15)、滑軌安裝座(16)、軸承座(17)、絲杠(18)、滑塊(19)、擋板(20)、減速機(21)、絲母 (35)、減速器軸(37)、減速器軸鎖緊螺母(38)和聯(lián)軸器B (39)，所述大安裝底板(8)的上部面上設(shè)置有至少兩個相互平行的滑軌安裝座(16)，在滑軌安裝座(16)的上部面設(shè)置有滑軌(15)，所述滑軌(1 的一端設(shè)置有擋板(20)，滑軌(1 與滑塊(19)滑配，形成橫向進給機構(gòu)，在滑塊(19)的上部面設(shè)置有中托盤，在中托盤的下部設(shè)置有絲母(35)，所述絲母 (35)通過設(shè)置在大安裝底板(8)上部面的絲杠(18)形成絲接連接，所述絲杠(18)的兩端通過軸承座(17)固定在大安裝底板(8)上部面，在絲杠(18)的一端設(shè)置有減速機(21)，所述減速機安裝孔內(nèi)安裝有減速器軸(37)，所述減速器軸(37)通過減速器軸鎖緊螺母 (38)固定在減速機上，減速器軸(37)的一端通過聯(lián)軸器B (39)與絲杠(18)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶體材料磨削機構(gòu)，其特征是所述用于晶體夾持機構(gòu)(5) 或橫、豎磨削機構(gòu)的縱向進給機構(gòu)包括電機(12)、電機安裝座(13)、滑軌(15)、滑軌安裝座 (16)、軸承座(17)、絲杠(18)、滑塊(19)、減速機(21)、絲母(35)、減速器軸(37)、減速器軸鎖緊螺母(38)和聯(lián)軸器B (39)，所述至少兩個滑軌安裝座(16)固定在中托盤的上部面，在滑軌安裝座(16)的上部面設(shè)置有滑軌(15)，所述滑軌(1 與滑塊(19)滑配，形成縱向進給機構(gòu)，在滑塊(19)的上部面設(shè)置有磨頭固定板(14)或晶體夾持機構(gòu)(5)，在磨頭固定板 (14)或晶體夾持機構(gòu)(5)的下部面設(shè)置有絲母(35)，所述絲母(3 通過設(shè)置在中托盤上部面的絲杠(18)形成絲接連接，所述絲杠(18)的兩端通過軸承座(17)固定在大安裝底板 (8)上部面，在絲杠(18)的一端設(shè)置有減速機(21)，所述減速機安裝孔內(nèi)安裝有減速器軸(37)，所述減速器軸(37)通過減速器軸鎖緊螺母(38)固定在減速機上，減速器軸 (37)的一端通過聯(lián)軸器B (39)與絲杠(18)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6任一權(quán)利要求所述的晶體材料磨削機構(gòu)，其特征是所述大安裝底板(8)的下部面連接有至少四個支撐座(9)，在支撐座(9)的下部面連接有機架(10)， 在機架(10)的一側(cè)設(shè)置有穿線孔(11)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體材料磨削機構(gòu)，其特征是所述控制系統(tǒng)包括控制盒 (1)、連接桿( 和連接桿固定座(25)，所述控制盒(1)通過接桿( 和連接桿固定座05) 固定在大安裝底板(8)的一側(cè)。
9.根據(jù)權(quán)利要求5或6任一權(quán)利要求所述的晶體材料磨削機構(gòu)，其特征是所述大安裝底板(8)的一側(cè)邊安裝有水管(22)、水管固定座和傳感器固定座(M)，所述傳感器固定座04)上固定有測量機構(gòu)。
全文摘要
一種晶體材料磨削機構(gòu)，涉及一種晶體材料的加工設(shè)備，所述用于固定晶棒的夾持機構(gòu)(5)設(shè)置在磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)和用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)的一側(cè)；所述用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)的磨輪(4)的外緣對應(yīng)晶棒(7)的軸向中心線，形成晶棒(7)端部面的“U”型切口的結(jié)構(gòu)設(shè)置；所述用于磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)的所述磨輪(4)外緣垂直于晶棒(7)的軸向中心線；所述用于磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)和磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)及進給機構(gòu)外接控制系統(tǒng)；本發(fā)明利用晶棒的磨削晶棒的豎磨削機構(gòu)和磨削晶棒的橫磨削機構(gòu)進行精確地磨削；本發(fā)明實現(xiàn)了穩(wěn)固的磨削晶棒的目的，有效地提高了晶棒加工的機械化程度，克服了現(xiàn)有技術(shù)必須拉制硅芯圓球體的弊端。
文檔編號B24B19/22GK102240951SQ20111020309
公開日2011年11月16日 申請日期2011年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月20日
發(fā)明者劉朝軒, 王晨光 申請人:洛陽金諾機械工程有限公司