專利名稱：一種藍(lán)寶石生產(chǎn)的冷卻水系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于工業(yè)冷卻水技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種具有高可靠性的藍(lán)寶石生產(chǎn)的冷卻水系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
人工晶體材料經(jīng)過半個多世紀(jì)的發(fā)展取得了巨大的成就，已具有較高的技術(shù)水平和較大的生產(chǎn)能力，為之配套服務(wù)的晶體生長設(shè)備一單晶爐也隨之得到了飛速的發(fā)展。上世紀(jì)90年代中村修二先生在藍(lán)寶石襯底上制成GaN基藍(lán)光LED，使得藍(lán)寶石晶體的應(yīng)用飛速增加。隨著藍(lán)寶石晶體應(yīng)用市場的急劇膨脹，其設(shè)備和技術(shù)也在上世紀(jì)末取得了迅速的發(fā)展。現(xiàn)有冷卻水系統(tǒng)運(yùn)行過程耗水量大，運(yùn)行安全性差，對設(shè)備有腐蝕性，不能很好地滿足藍(lán)寶石晶體生產(chǎn)的需要，研究開發(fā)與藍(lán)寶石晶體生產(chǎn)相適應(yīng)的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)已成為一個十分重要的課題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提出了一種藍(lán)寶石生產(chǎn)配套的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，運(yùn)行過程耗水量小，運(yùn)行安全可靠，對設(shè)備的腐蝕性小。本實(shí)用新型解決技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是一種藍(lán)寶石生產(chǎn)的冷卻水系統(tǒng)，包括供水箱、供水泵、自動泄壓裝置、溫度傳感器、流量傳感器、藍(lán)寶石設(shè)備、控電柜、回水箱、回水泵、冷卻裝置、發(fā)電機(jī)和電磁閥；所述供水箱通過進(jìn)水管道經(jīng)供水泵和電磁閥與藍(lán)寶石設(shè)備連接，所述藍(lán)寶石設(shè)備通過回水管道與回水箱連接，所述回水箱通過回水管道經(jīng)回水泵與冷卻裝置連接，所述冷卻裝置通過回水管道與供水箱連接，形成循環(huán)系統(tǒng)；所述進(jìn)水管道上設(shè)有自動泄壓裝置和流量傳感器，所述進(jìn)水管道和回水管道上均設(shè)有溫度傳感器；其特征在于所述的冷卻裝置為封閉式冷卻塔。作為一種改進(jìn)，它還包括制造pH值為中性、電導(dǎo)率=30ys/cm且氯根離子含量^ 10mg/l的純凈水的純水設(shè)備。作為進(jìn)一步的改進(jìn)，它還包括水塔和/或與自來水供水系統(tǒng)相連的自來水進(jìn)水口，所述水塔和/或與自來水供水系統(tǒng)相連的自來水進(jìn)水口經(jīng)電磁閥與進(jìn)水管道相連。本實(shí)用新型在電控柜控制下運(yùn)行，各用電器由市電供電，如果停電，則啟動發(fā)電機(jī)。運(yùn)行過程中，如壓力超過設(shè)定壓力，進(jìn)水管道上所設(shè)的自動泄壓裝置能自動泄壓，保持正常壓力。當(dāng)溫度超過設(shè)定溫度時(shí)，冷卻塔噴淋和風(fēng)扇自動開啟。本實(shí)用新型采用封閉式冷卻塔作為冷卻裝置，冷卻水不與大氣接觸，使水質(zhì)保持潔凈，無水飄霧現(xiàn)象，水耗僅為1-2%。，供水箱通常只需半年左右換一次水。本實(shí)用新型采用純水設(shè)備，所述的純水設(shè)備能夠制造pH值為中性、電導(dǎo)率含3(^8八!11且氯根離子含量=10mg/l的純凈水，整個循環(huán)冷卻水系統(tǒng)使用由純水設(shè)備制造的純凈水，減少了對藍(lán)寶石設(shè)備、封閉式冷卻塔銅管的腐蝕。本實(shí)用新型設(shè)置了水塔，與冷卻水進(jìn)水管道相連，當(dāng)停電時(shí)，自動打開電磁閥，對藍(lán)寶石設(shè)備供水。水塔水量保證設(shè)備用5 10分鐘，使足夠的時(shí)間啟動發(fā)電機(jī)，保證冷卻水不斷流。而且純水設(shè)備能自動為水塔補(bǔ)水，確保供水。 本實(shí)用新型還設(shè)置了與自來水供水系統(tǒng)相連的自來水進(jìn)水口，與冷卻水進(jìn)水管道相連，當(dāng)停電且發(fā)電機(jī)不能正常啟動時(shí)，自來水進(jìn)水口電磁閥會自動打開，自來水會自動進(jìn)入進(jìn)水管道，以保證供水，確保設(shè)備安全。本實(shí)用新型是具有高可靠性的藍(lán)寶石生產(chǎn)的冷卻水系統(tǒng)，運(yùn)行過程耗水量小，安全可靠，對設(shè)備無腐蝕性。

圖1為本實(shí)用新型一種實(shí)施方式示意圖。其中1-供水箱，2-供水泵，3-自動泄壓裝置，4-溫度傳感器，5-流量傳感器，6-自來水進(jìn)水口，7-藍(lán)寶石設(shè)備，8-控電柜，9-回水箱，10-回水泵，11-封閉式冷卻塔，12-發(fā)電機(jī)，13-純水設(shè)備，14-水塔，15-電磁閥。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，其中實(shí)線部分為管道連接，虛線部分為電纜線連接。系統(tǒng)中用水是由純水設(shè)備13制造的pH值為中性、電導(dǎo)率=30μ s/cm且氯根離子含量=10mg/l的純凈水。當(dāng)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)，供水箱1的水通過供水泵2進(jìn)入藍(lán)寶石設(shè)備7，在供水管道上有自動泄壓裝置3、溫度傳感器4和流量傳感器5，通過電控柜8進(jìn)行控制。當(dāng)壓力超過設(shè)定壓力時(shí)，能自動泄壓，保持正常壓力。當(dāng)溫度超過設(shè)定溫度時(shí)，冷卻塔噴淋和風(fēng)扇自動開啟。經(jīng)過藍(lán)寶石設(shè)備7的水流入回水箱9，通過回水泵10進(jìn)入封閉式冷卻塔11，再經(jīng)回水管道返回至供水箱1。當(dāng)停電時(shí)，電磁閥15會自動打開，水塔14的水會流入進(jìn)水管道，發(fā)電機(jī)12會自動啟動，并使供水泵2重新啟動。當(dāng)發(fā)電機(jī)12不能正常啟動時(shí)，自來水進(jìn)水口 6的電磁閥15會自動打開，使自來水進(jìn)入進(jìn)水管道。
權(quán)利要求1.一種藍(lán)寶石生產(chǎn)的冷卻水系統(tǒng)，包括供水箱、供水泵、自動泄壓裝置、溫度傳感器、流量傳感器、藍(lán)寶石設(shè)備、控電柜、回水箱、回水泵、冷卻裝置、發(fā)電機(jī)和電磁閥；所述供水箱通過進(jìn)水管道經(jīng)供水泵和電磁閥與藍(lán)寶石設(shè)備連接，所述藍(lán)寶石設(shè)備通過回水管道與回水箱連接，所述回水箱通過回水管道經(jīng)回水泵與冷卻裝置連接，所述冷卻裝置通過回水管道與供水箱連接，形成循環(huán)系統(tǒng)；所述進(jìn)水管道上設(shè)有自動泄壓裝置和流量傳感器，所述進(jìn)水管道和回水管道上均設(shè)有溫度傳感器；其特征在于所述的冷卻裝置為封閉式冷卻塔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石生產(chǎn)的冷卻水系統(tǒng)，其特征在于還包括制造PH值為中性、電導(dǎo)率=3(^8八!11且氯根離子含量=10mg/l的純凈水的純水設(shè)備。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的藍(lán)寶石生產(chǎn)的冷卻水系統(tǒng)，其特征在于還包括水塔和/ 或與自來水供水系統(tǒng)相連的自來水進(jìn)水口，所述水塔和/或與自來水供水系統(tǒng)相連的自來水進(jìn)水口經(jīng)電磁閥與進(jìn)水管道相連。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種藍(lán)寶石生產(chǎn)的冷卻水系統(tǒng)。其包括供水箱、供水泵、自動泄壓裝置、溫度傳感器、流量傳感器、藍(lán)寶石設(shè)備、控電柜、回水箱、回水泵、冷卻裝置、發(fā)電機(jī)和電磁閥；冷卻裝置為封閉式冷卻塔，供水箱通過進(jìn)水管道經(jīng)供水泵和電磁閥與藍(lán)寶石設(shè)備連接，藍(lán)寶石設(shè)備通過回水管道與回水箱連接，回水箱通過回水管道經(jīng)回水泵與冷卻裝置連接，冷卻裝置通過回水管道與供水箱連接，形成循環(huán)系統(tǒng)；進(jìn)水管道上設(shè)有自動泄壓裝置和流量傳感器，進(jìn)水管道和回水管道上均設(shè)有溫度傳感器；并且還包括制造pH值為中性、電導(dǎo)率≦30μs/cm且氯根離子含量≦10mg/l的純凈水的純水設(shè)備，以及水塔和/或與自來水供水系統(tǒng)相連的自來水進(jìn)水口，水塔和/或與自來水供水系統(tǒng)相連的自來水進(jìn)水口經(jīng)電磁閥與進(jìn)水管道相連。本實(shí)用新型運(yùn)行過程耗水量小，安全可靠，對設(shè)備無腐蝕性。
文檔編號C30B29/20GK202323117SQ20112047867
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月28日
發(fā)明者徐秋峰, 樊志遠(yuǎn), 段斌斌, 段金柱, 王勤峰, 蔡建華, 趙杰紅 申請人:天通控股股份有限公司