專利名稱：一種elid超聲珩磨裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于精密超精密加工領(lǐng)域，尤其涉及一種超精密珩磨裝置。
背景技術(shù)：
珩磨加工是油缸、襯套類零件的傳統(tǒng)加工方法，但傳統(tǒng)珩磨加工效率很低，精度也不能達(dá)到很高。究其原因，主要是I、由于油石在珩磨過程中，很快鈍化，需經(jīng)常停機(jī)卸下珩磨工具，在專用刃磨機(jī)上修銳或更換，油石的更換是極其復(fù)雜的工程，首先要加熱，是油石釬焊部位融化，將釬焊在油石座上的鈍化油石取下，然后再將新的油石釬焊在油石座上，最后在刃磨機(jī)上修銳后才能在珩磨機(jī)上應(yīng)用。頻繁的修銳與更換，極大地影響了珩磨效率的提高；因此，有時為了單純提高效率，在油石鈍化后，換上一組事先已經(jīng)焊好的油石條。由于油石切削部分還未完全使用，這勢必引起珩磨油石的浪費?！?、油石的修銳也是極其困難的，尤其是金屬結(jié)合劑油石，特別是對于精密珩磨工序，通常需要專業(yè)的技術(shù)人員在專業(yè)的刃磨設(shè)備上進(jìn)行修銳，經(jīng)過嚴(yán)格的精度測試后，才能在精密珩磨工序中應(yīng)用。鑒于以上原因，研究者在傳統(tǒng)珩磨工藝中引入超聲加工，形成了超聲珩磨方法，從一定程度上提高了珩磨效率和精度，延長了珩磨油石的壽命以及修銳周期。但不可避免的是，油石仍然會鈍化，然后還需停機(jī)卸下珩磨工具在專用刃磨機(jī)上修銳，待油石用完后還需加熱、焊接等工序?qū)⑿碌挠褪瘬Q上。因此，并沒有徹底的避免離線修銳的問題。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述普通珩磨效率低，精度差的問題，以及超聲珩磨仍需停機(jī)修銳等問題，本發(fā)明提供了一種ELID超聲珩磨裝置，實現(xiàn)對珩磨油石的在線電解修銳，避免停機(jī)修銳造成的效率低的問題，同時油石表面電解后形成氧化膜，減緩了珩磨沖擊，減少了珩磨表面刮傷、燒傷等缺陷，極大的提高了珩磨表面質(zhì)量與珩磨精度。為解決上述問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種ELID超聲珩磨裝置，包括相互連接的機(jī)床本體、珩磨裝置、ELID電解整形與修銳裝置以及在位檢測裝置和控制裝置，對所述ELID電解修整裝置和所述超聲珩磨裝置進(jìn)行復(fù)合珩磨的同時實現(xiàn)珩磨油石的電解修銳，所述珩磨裝置內(nèi)設(shè)置有珩磨刀具，所述珩磨刀具上固定安裝有珩磨油石，所述珩磨油石表面設(shè)置或形成有氧化膜。珩磨頭的旋轉(zhuǎn)運動由主運動電機(jī)實現(xiàn)，軸向進(jìn)給運動由進(jìn)給電機(jī)通過滾珠絲杠副驅(qū)動實現(xiàn)，徑向進(jìn)給運動則由手動調(diào)整。珩磨頭向下運動，首先通過ELID電解電極，對其進(jìn)行電解修銳，修銳完成后，繼續(xù)向下運動進(jìn)入工件進(jìn)行珩磨作業(yè)，如此往復(fù)珩磨，直至工件滿足一定的工藝要求。然后停機(jī)，利用機(jī)床上在位檢測系統(tǒng)檢測工件是否達(dá)到精度要求，檢測結(jié)果被數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)記錄，根據(jù)檢測結(jié)果與要求的精度的比較，調(diào)整珩磨參數(shù)、電解參數(shù)、超聲振動參數(shù)，重復(fù)進(jìn)行上述珩磨過程，直至滿足精度要求。
在本發(fā)明中的一種ELID超聲珩磨裝置具體由 以下六部分組成機(jī)床本體部分、超聲珩磨部分、ELID在線電解整形部分、ELID電解修銳部分、在位測量部分、控制與調(diào)整部分。以上各組成部分結(jié)構(gòu)和功能如下機(jī)床包括底座、立柱、工作臺、主軸步進(jìn)電機(jī)及驅(qū)動系統(tǒng)、進(jìn)給步進(jìn)電機(jī)及驅(qū)動系統(tǒng)、滾珠絲杠進(jìn)給系統(tǒng)、導(dǎo)軌滑臺系統(tǒng)。超聲珩磨部分在原有珩磨方法基礎(chǔ)上附加超聲振動，形成超聲珩磨。包括珩磨刀具、換能器、超聲電源；所述珩磨刀具和機(jī)床主軸相接，換能器位于珩磨刀具上的珩磨油石座內(nèi)部，所述珩磨裝置的超聲電源通過弓I線與所述換能器連接。作為上述技術(shù)方案超聲珩磨部分的進(jìn)一步優(yōu)化，超聲珩磨部分還包括有集流環(huán)，所述集流環(huán)位于珩磨刀具主軸上，超聲電源通過碳刷和集流環(huán)相連。ELID電解整形部分在超聲珩磨基礎(chǔ)上附加ELID電解整形，利用電火花放電原理蝕除珩磨油石表面凸起高點，使得由于油石鈍化后圓度、圓柱度等形狀精度降低的問題得以解決。包括整形電機(jī)+整形電極、安裝座、整形電源、電解液等組成。這部分主要完成珩磨頭鈍化后圓度、圓柱度等形狀精度的整形；所述整形電機(jī)直接和整形電極相連，整形電源分別和整形電極及砂輪相連，電解液澆注在砂輪和整形電極之間，安裝座和機(jī)床工作臺相連。ELID電解修銳部分在超聲珩磨基礎(chǔ)上附加ELID電解修銳，利用珩磨空行程進(jìn)行電解修銳，使得油石鈍化后的修銳在線進(jìn)行，避免了停機(jī)修銳造成的效率低的問題，極大的提高了珩磨效率與珩磨質(zhì)量，包括珩磨刀具(陽極)、修銳電極(陰極)、電解液、修銳電源等組成，視要求有多種形狀，珩磨刀具(陽極)與修銳電極(陰極)之間的間隙是能夠在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié)的，這部分主要完成油石鈍化后的電解修銳；所述珩磨刀具接修銳電源陽極，修銳電極接修銳電源陰極，電解液則澆注于陰陽極之間。在位測量部分在珩磨若干行程后，進(jìn)行在位檢測珩磨質(zhì)量，利用LABVIEW記錄分析檢測結(jié)果，并反饋給控制系統(tǒng)，包括便攜式粗糙度檢查儀及其附屬部件、數(shù)據(jù)采集與處理系統(tǒng)等組成，這部分主要完成珩磨過程中的在位測量；所述便攜式粗糙度檢查儀及其附屬件是廠家提供，在機(jī)床上安裝定位，并且有數(shù)據(jù)輸出接口，可以通過數(shù)據(jù)采集卡連接至數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄、存儲、處理。反饋控制與調(diào)整部分利用LABVIEW記錄珩磨工藝參數(shù)、超聲振動參數(shù)、電解修銳參數(shù)以及珩磨表面質(zhì)量與珩磨力，并進(jìn)行參數(shù)優(yōu)化與匹配，調(diào)整進(jìn)給系統(tǒng)實現(xiàn)微量進(jìn)給，最終達(dá)到要求的珩磨精度。測力儀使超聲珩磨系統(tǒng)與ELID系統(tǒng)有機(jī)結(jié)合，并最終實現(xiàn)各參數(shù)的合理匹配。測力儀的作用是實時測量珩磨力信號，并經(jīng)由數(shù)據(jù)采集卡采集，傳遞給控制系統(tǒng)，控制珩磨參數(shù)、超聲參數(shù)、電解參數(shù)在優(yōu)化范圍內(nèi)，使珩磨力小于氧化膜黏附強(qiáng)度，避免氧化膜局部斷裂、脫落，因而在珩磨的同時，由于珩磨油石表面電解生成的氧化膜起到了輔助拋光作用，使珩磨質(zhì)量最優(yōu)。所述測力儀安裝在工作臺上，測力儀上安裝工件，測力儀有數(shù)據(jù)放大、傳輸?shù)慕涌?，通過數(shù)據(jù)采集卡傳送到數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，實現(xiàn)測量信號的實時記錄、存儲、分析。本發(fā)明一種ELID超聲 行磨裝置的機(jī)床本體部分,底座上附有工作臺的安裝、定位，工作臺上安裝測力儀、試件、夾具等；在立柱內(nèi)部安裝有進(jìn)給電機(jī)及其滾珠絲杠驅(qū)動系統(tǒng)，在滑臺內(nèi)部安裝有主軸電機(jī)及其驅(qū)動系統(tǒng)；導(dǎo)軌采用圓柱導(dǎo)軌，滑臺沿導(dǎo)軌在進(jìn)給電機(jī)及滾珠絲杠驅(qū)動下上下移動；測量裝置使用便攜式粗糙度檢查儀，實現(xiàn)珩磨加工后在位檢測，并對測試結(jié)果實時分析、在線反饋到控制系統(tǒng)，控制主軸進(jìn)給最終達(dá)到所要求的精度。作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化，換能器置于油石座內(nèi)，不需變幅桿放大和振動圓盤傳遞能量，直接由換能器驅(qū)動油石座帶動油石往復(fù)振動，通過碳刷和集流環(huán)將超聲電源引入。
作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化，本發(fā)明一種ELID超聲珩磨裝置的油石為金屬結(jié)合劑(如銅、鐵、鈷等)，磨粒為金剛石、氧化鋁等，磨粒的粒度視珩磨精度可選取粗磨粒(效率高，精度低，適于粗加工)和細(xì)磨粒(效率低，精度高，適于精密珩磨)；作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化，所述的修整電極可以有多種形狀，視珩磨工具及珩磨零件而定；作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化，所述的在位測量由便攜式粗糙度檢查儀實現(xiàn)，測量數(shù)據(jù)實時傳送到控制系統(tǒng)；本發(fā)明一種ELID超聲珩磨裝置采用的控制信號是測力信號，用測力儀測定的珩磨力做為控制變量，當(dāng) 行磨力超過預(yù)定的門濫值，則調(diào)整 行磨參數(shù)、電解參數(shù)、超聲參數(shù)，使之保持在一定的范圍內(nèi)，以保證氧化膜的連續(xù)完整，使之能持續(xù)的拋光珩磨表面。實現(xiàn)本發(fā)明一種ELID超聲珩磨裝置，其完整的珩磨工藝路線以及珩磨工藝參數(shù)、超聲振動參數(shù)、電解修銳參數(shù)，其中珩磨工藝路線如下I、利用電火花對珩磨油石進(jìn)行整形，視珩磨要求使其圓度、圓柱度在合理范圍內(nèi)；2、利用脈沖電源對珩磨油石進(jìn)行預(yù)電解修銳，視珩磨要求使其表面氧化膜厚度在合理范圍內(nèi)；3、合理匹配珩磨工藝參數(shù)、超聲振動參數(shù)、電解修銳參數(shù)，進(jìn)行珩磨，并實現(xiàn)各項參數(shù)的實時采集；4、對珩磨表面在位測量，記錄、傳送測試數(shù)據(jù)，控制進(jìn)給系統(tǒng)，逐步達(dá)到精度要求；5、分析采集的參數(shù)，得到各參數(shù)的優(yōu)化結(jié)果；6、對珩磨完成的零件進(jìn)行最終檢測。珩磨工藝參數(shù)轉(zhuǎn)速70-100r/min，往復(fù)進(jìn)給速度10-50行程/min，珩磨深度<10μπι;超聲振動參數(shù)功率250W，頻率19-20KHz ；電解修銳參數(shù)電流5-20A，電壓60V，90V，120V，脈沖寬度1-99 μ S，脈沖間隔1-99 μ s,氧化膜厚度20~30 μ m,平衡電流1-2A ；本發(fā)明一種ELID超聲珩磨裝置，適于硬脆材料的精密、高效加工，如陶瓷、鑄鐵油缸、襯套等的精密珩磨加工。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明一種ELID超聲珩磨裝置的有益效果在于I、傳統(tǒng)珩磨方法精度、效率低，油石修銳困難，單純的一種復(fù)合方法不能滿足高效率、高精度的珩磨加工；本發(fā)明提供的ELID超聲珩磨裝置綜合了超聲振動與ELID電解修銳的優(yōu)點，實現(xiàn)優(yōu)勢互補(bǔ)，既滿足高精度，又滿足高效率珩磨的加工要求；
2、本發(fā)明通過珩磨力的在線測量與反饋，以測力信號做為控制變量，實現(xiàn)了各參數(shù)的合理匹配，使得綜合珩磨效果最優(yōu)；3、本發(fā)明提供了一套完整的珩磨工藝路線與珩磨工藝參數(shù)、超聲振動參數(shù)、電解修銳參數(shù)；4、本發(fā)明所用的油石為金屬結(jié)合劑，磨粒為金剛石或氧化鋁，油石表面電解后形成均勻的氧化膜，能夠減緩珩磨振動，沖擊，避免珩磨表面刮傷、燒傷，有助于珩磨表面精度與質(zhì)量的提聞;5、本發(fā)明所用的ELID整形與修銳系統(tǒng)，整形與修銳電極視要求有多種形狀，修銳電極與珩磨油石之間的間隙在一定范圍內(nèi)能夠調(diào)節(jié)，使得油石電解效果最好。


圖I為本發(fā)明一種ELID超聲珩磨裝置的機(jī)床結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為控制測力系統(tǒng)原理圖；圖3為本發(fā)明一種ELID超聲珩磨裝置的超聲珩磨裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明一種ELID超聲珩磨裝置的ELID電解整形結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明一種ELID超聲珩磨裝置的ELID修銳電極及其電解結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明一種ELID超聲珩磨裝置的珩磨裝置的電解修銳與超聲振動復(fù)合的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面參照附圖對本發(fā)明的最佳實施方式加以說明實施例一如圖I所示，本實施例中針對氣缸套的高速、高效、高精度珩磨，解決傳統(tǒng)珩磨效率低、精度差的問題。尤其在珩磨陶瓷、鑄鐵等硬脆材料缸套時，具有顯著優(yōu)勢。珩磨頭的旋轉(zhuǎn)運動由主運動電機(jī)實現(xiàn)，軸向進(jìn)給運動由進(jìn)給電機(jī)通過滾珠絲杠副驅(qū)動實現(xiàn)，徑向進(jìn)給運動則由手動調(diào)整。珩磨頭向下運動，首先通過ELID電解電極，對其進(jìn)行電解修銳，修銳完成后，繼續(xù)向下運動進(jìn)入工件進(jìn)行珩磨作業(yè)，如此往復(fù)珩磨，直至工件滿足一定的工藝要求。然后停機(jī)，利用機(jī)床上在位檢測系統(tǒng)檢測工件是否達(dá)到精度要求，檢測結(jié)果被數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)記錄，根據(jù)檢測結(jié)果與要求的精度的比較，調(diào)整珩磨參數(shù)、電解參數(shù)、超聲振動參數(shù)，重復(fù)進(jìn)行上述珩磨過程，直至滿足精度要求。本實施例中的具體實施方式
如下I、首先將要珩磨的缸套放置在工作臺夾具體內(nèi)可靠定位夾緊，以缸套端面做軸向定位，三爪卡盤自定心夾緊。2、然后設(shè)定超聲振動參數(shù)設(shè)定超聲電源的功率、電流、超聲振動頻率。3、設(shè)定電解修整參數(shù)包括電解電流、電解電壓、電解脈沖寬度、占空比等；先利用電火花整形系統(tǒng)對珩磨頭進(jìn)行整形，使其外部形狀精度滿足要求；然后再進(jìn)行予電解修銳30分鐘，保證珩磨頭油石表面涂覆均勻的氧化膜，油石磨粒露出量均勻。4、設(shè)定珩磨工藝參數(shù)包括粗珩磨油石粒度、精珩磨油石粒度；珩磨頭轉(zhuǎn)速；珩磨頭進(jìn)給速度；珩磨頭徑向進(jìn)給量；冷卻液流量等。
5、設(shè)定數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),保證超聲振動參數(shù)、電解參數(shù)、 行磨工藝參數(shù)、 行磨壓力等的實時采集，便于分析各種參數(shù)之間的內(nèi)在聯(lián)系及其對加工精度的影響。6、按要求的精度選擇各項參數(shù)進(jìn)行ELID超聲振動珩磨加工，珩磨頭下行進(jìn)入到電解工位的修銳電極內(nèi)時，進(jìn)行電解修銳，磨粒露出并 覆蓋有氧化膜，當(dāng)珩磨頭瞬間修銳完成后進(jìn)入到工件孔內(nèi)部進(jìn)行珩磨加工，同時油石磨粒鈍化、氧化膜脫落，珩磨行程終了，珩磨頭返回經(jīng)過電解修銳電極進(jìn)行在線修銳，在油石表面維持一定的磨粒露出量，并重新形成氧化膜，在下一個珩磨行程中，珩磨頭下行，經(jīng)過修銳電極繼續(xù)電解修銳，通過修銳電極進(jìn)入工件孔內(nèi)繼續(xù)進(jìn)行珩磨加工，如此往復(fù)循環(huán)，直至珩磨加工完成。根據(jù)實時測量的數(shù)據(jù)，可以判斷珩磨頭的電解修銳情況及珩磨精度完成情況，根據(jù)珩磨力的測量信號進(jìn)行反饋控制，實現(xiàn)各參數(shù)的合理匹配。7、停機(jī)在位檢測零件精度，和要求的精度比較后，確定珩磨油石進(jìn)給量，繼續(xù)珩磨，如此往復(fù)，直至滿足要求。針對以上，本實施例一種ELID超聲珩磨裝置的實施效果為用相同實驗參數(shù)，分別在復(fù)合前、復(fù)合后對陶瓷缸套進(jìn)行了珩磨實驗，具體實驗效果如下表所示。
珩磨參數(shù)超聲參數(shù)電解參數(shù)珩磨效果
進(jìn)給
主軸 a 功頻電電脈珩磨表面珩磨珩磨
速度
轉(zhuǎn)速率率流壓寬粗糙度精度效率
行程
r/minW KHz A V με Ra (μιη) μιη g/min
/min
普通.
80 300.4 1-5 2.2
珩磨
超聲
80 30 250 200.4-0.2 0.5-1 4.5
珩磨
ELID-
超聲 80 30 250 20 20 120 20 <0.1-0.01 <0.5 6.9
珩磨
實施例二 參見附圖2，由測力信號做為控制變量，當(dāng)系統(tǒng)監(jiān)測到珩磨力超過系統(tǒng)內(nèi)設(shè)的門檻值，則自動調(diào)整進(jìn)給電機(jī)和主軸電機(jī)，實現(xiàn)珩磨參數(shù)的合理匹配，保證珩磨油石表面始終存在氧化膜的覆蓋，使之能發(fā)揮有效的輔助拋光作用。其余同實施例一。實施例三參見附圖3，由進(jìn)給部分及超聲電源、ELID電源引入部分，超聲振動部分，活動接頭及彈簧部分，珩磨刀具部分39組成。珩磨刀具部分39包括換能器37、漲錐35以及油石36。在上部接機(jī)床主軸，實現(xiàn)動力輸入，超聲振動電源及ELID電源38通過碳刷-集流環(huán)32引入，集流環(huán)32與中空主軸33結(jié)合部用絕緣套連接，在中空主軸33徑向孔中引入電源引線，其中超聲電源接在換能器37的接線柱上，而ELID電源的陽極引線則接在進(jìn)給部的推桿上，經(jīng)過推桿34到漲錐35到油石座然后到油石36完成電源陽極接入。在和主軸連接部采用絕緣套，使電解時只有珩磨頭帶電，機(jī)床不帶電，提高了系統(tǒng)安全性。當(dāng)換能器37將電能轉(zhuǎn)換為超聲振動之后，不需經(jīng)過變幅桿和彎曲振動圓盤，直接驅(qū)動油石產(chǎn)生超聲振動,對工件進(jìn)行超聲珩磨加工。其余同實施例一?！嵤├膮⒁姼綀D4，珩磨頭在電解修銳前，存在各種形狀誤差，比如圓度、圓柱度等誤差，利用電火花整形系統(tǒng)去除珩磨頭不圓的凸起部分，使得其外表面趨于理想圓柱表面。 行磨頭41接整形電源陽極，陰極則是一個由旋轉(zhuǎn)電機(jī)42帶動的圓盤電極43, —邊高速旋轉(zhuǎn)，一邊實現(xiàn)珩磨頭表面凸起的放電去除，陰陽極之間通以冷卻液，沖刷放電產(chǎn)物，冷卻珩磨頭41表面，并能提高放電去除效率。其余同實施例一。實施例五參見附圖5，陰極和外部支撐套采用絕緣套51絕緣，并應(yīng)用密封圈52進(jìn)行密封，在陰極53的上部的支撐套上沿圓周均布6個電解液輸入孔54，當(dāng)珩磨頭下行到修銳電極內(nèi)，電解液從輸入孔54注入，然后電解液均勻分布于陰極53與珩磨頭之間，形成電解電流的通路，對珩磨頭進(jìn)行電解修銳，電解修銳完成后珩磨頭繼續(xù)下行，進(jìn)人工件孔進(jìn)行珩磨加工，此為一個電解修銳-珩磨加工循環(huán)。當(dāng)珩磨頭行程終了返回時，繼續(xù)下一個電解修銳，然后再進(jìn)行珩磨加工，如此循環(huán)往復(fù)，實現(xiàn)在線電解與珩磨加工的同步進(jìn)行，直至珩磨加工完成。其余同實施例一。實施例六參見附圖6，帶有超聲振動裝置的珩磨頭6按照預(yù)定的超聲振動參數(shù)、珩磨加工工藝參數(shù)進(jìn)行珩磨加工前，首先經(jīng)過電解修銳電極62，按照預(yù)定的電解參數(shù)對珩磨頭6進(jìn)行電解修銳，使珩磨油石表面磨粒突出，并形成一定厚度的氧化膜覆蓋于磨粒之上，這樣珩磨加工時能吸收振動，緩和沖擊，避免在工件表面出現(xiàn)劃痕、燒傷等缺陷，稱之為電解修銳工位，然后珩磨頭6下行，對工件61進(jìn)行珩磨加工，稱之為珩磨工位。一個電解修銳工位和一個珩磨工位組成一個加工行程，上述一個加工行程終了以后，珩磨頭返回到電解修銳工位，繼續(xù)進(jìn)行電解修銳，然后下行進(jìn)行珩磨加工，如此往復(fù)循環(huán)，直至珩磨完成。在整個珩磨加工過程中，采用珩磨力信號做為反饋控制變量，當(dāng)珩磨力超過預(yù)先設(shè)定的門檻值，則調(diào)整各個珩磨參數(shù)、電解參數(shù)、超聲參數(shù)，避免珩磨油石表面氧化膜局部斷裂、脫落，始終保持珩磨油石表面有可靠的一定厚度氧化膜覆蓋，達(dá)到最好的珩磨精度。電解修銳與超聲振動以及珩磨加工是同步進(jìn)行的，在不停機(jī)的情況下完成珩磨頭的電解修銳，并且輔以超聲振動，極大的提高了珩磨效率。其余同實施例一。綜上所述，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員閱讀本發(fā)明文件后，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和
技術(shù)構(gòu)思無需創(chuàng)造性腦力勞動而作出其他各種相應(yīng)的變換方案或本發(fā)明各實施例之間方案的替換，均屬于本發(fā)明所保護(hù)的范圍。
權(quán)利要求
1.一種ELID超聲珩磨裝置，包括相互連接的機(jī)床本體、珩磨裝置、ELID電解整形與修銳裝置以及在位檢測裝置和控制裝置，其特征在于對所述ELID電解修整裝置和所述超聲珩磨裝置進(jìn)行復(fù)合珩磨的同時實現(xiàn)珩磨油石的電解修銳，所述珩磨裝置內(nèi)設(shè)置有珩磨刀具，所述珩磨刀具上固定安裝有珩磨油石，所述珩磨油石表面設(shè)置或形成有氧化膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種ELID超聲珩磨裝置，其特征在于，所述珩磨裝置包括珩磨刀具、換能器、超聲電源，所述換能器固定安裝于所述珩磨刀具上的珩磨油石座的內(nèi)部，所述珩磨裝置的超聲電源通過弓I線與所述換能器連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種ELID超聲珩磨裝置，其特征在于，所述ELID電解整形裝置包括整形電源、整形電機(jī)、整形電極和電解液，所述整形電機(jī)與所述整形電極導(dǎo)線連接，所述整形電極的陽極連接有砂輪，所述整形電極的陰極連接有整形電極，所述電解液澆注在砂輪上。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種ELID超聲珩磨裝置，其特征在于，所述ELID電解修銳裝置包括修銳電源、修銳陰極、修銳陽極或珩磨刀具、電解液，所述修銳陰極與所述修銳電源的陰極連接，所述修銳陽極與所述修銳電源的陽極連接，所述電解液位于所述修銳電源的陰極和陽極之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種ELID超聲珩磨裝置，其特征在于，所述超聲電源與電解修整電源為相互獨立設(shè)置，所述超聲電源與所述換能器的接線端連接，所述電解電源與所述 行磨刀具及修銳陰極的接線端連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種ELID超聲珩磨裝置，其特征在于，所述ELID超聲珩磨裝置的換能器固定安裝在油石座內(nèi)部。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種ELID超聲珩磨裝置，其特征在于，所述珩磨油石為金屬結(jié)合劑，所述珩磨油石上設(shè)有磨粒。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種ELID超聲珩磨裝置，其特征在于，所述珩磨油石上的磨粒為金剛石或氧化招磨粒。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種ELID超聲珩磨裝置，其特征在于，所述金屬結(jié)合劑的珩磨油石為銅基或鐵基或鈷基的其中一種或其結(jié)合物。
全文摘要
本發(fā)明屬于精密超精密加工領(lǐng)域，尤其涉及一種超精密珩磨裝置，包括相互連接的機(jī)床本體、珩磨裝置、ELID電解整形與修銳裝置以及在位檢測裝置和控制裝置，對所述ELID電解修整裝置和所述超聲珩磨裝置進(jìn)行復(fù)合珩磨的同時實現(xiàn)珩磨油石的電解修銳，所述珩磨裝置內(nèi)設(shè)置有珩磨刀具，所述珩磨刀具上固定安裝有珩磨油石，所述珩磨油石表面設(shè)置或形成有氧化膜。本發(fā)明的超精密珩磨裝置具有高效率、高精度的珩磨加工，避免珩磨表面刮傷、燒傷，有助于珩磨表面精度與質(zhì)量的提高。
文檔編號B24B33/08GK102886712SQ201110202698
公開日2013年1月23日 申請日期2011年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月20日
發(fā)明者鄶吉才 申請人:鄶吉才