專利名稱：一種晶棒平磨拋光機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種晶棒平磨拋光機(jī)。
背景技術(shù)：
在晶棒的生產(chǎn)過程中，需要對晶棒的外表面進(jìn)行平磨拋光，普遍采用的方法是手 持角向磨光機(jī)對晶棒進(jìn)行手工打磨。這種方法對操作人員的技術(shù)水平要求非常高，且由于 人員素質(zhì)參差不齊的原因，整體拋光效果不好，工藝穩(wěn)定性差，同時，既費工費力，又生產(chǎn)效 率低。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供能替代手工作業(yè)，且拋光效果好的一種晶棒平磨拋光 機(jī)。本實用新型采取的技術(shù)方案是一種晶棒平磨拋光機(jī)，包括機(jī)架、拋光輪、底座、左 右軌道、左右軌道軸承、左右傳動桿、基座、前后軌道、前后軌道軸承、前后傳動桿、晶棒托架 和晶棒夾具；其中的拋光輪設(shè)置在機(jī)架上，機(jī)架固定在底座上，晶棒夾具設(shè)置在晶棒托架 上；其特征在于左右軌道設(shè)置在底座上，左右傳動桿固定在底座或基座上，基座設(shè)置在左右 軌道軸承上，左右軌道軸承設(shè)置在左右軌道上，且左右軌道軸承通過左右傳動桿在左右軌 道上移動；晶棒托架固設(shè)在前后軌道軸承上，前后傳動桿固定在晶棒托架上或是固定在基 座上，前后軌道軸承設(shè)置在前后軌道上，且前后軌道軸承通過前后傳動桿在前后軌道上移 動。一種晶棒平磨拋光機(jī)，包括機(jī)架、拋光輪、底座、左右軌道、左右軌道軸承、左右傳 動桿、基座、前后軌道、前后軌道軸承、前后傳動桿、晶棒托架和晶棒夾具；其中的拋光輪設(shè) 置在機(jī)架上，機(jī)架固定在底座上，晶棒夾具設(shè)置在晶棒托架上；其特征在于前后軌道設(shè)置在 底座上，前后傳動桿固定在底座或基座上，基座設(shè)置在前后軌道軸承上，前后軌道軸承設(shè)置 在前后軌道上，且前后軌道軸承通過前后傳動桿在前后軌道上移動；晶棒托架固設(shè)在左右 軌道軸承上，左右傳動桿固設(shè)在基座或晶棒托架上，左右軌道軸承設(shè)置在左右軌道，且左右 軌道軸承通過左右傳動桿在左右軌道上移動。采用本實用新型，只要將晶棒固定在晶棒托架上，并通過機(jī)械自動控制晶棒前后、 左右移動，進(jìn)行晶棒的拋光，可替代手工作業(yè)，且拋光效果好。

圖1是本實用新型實施例一的示意圖。圖2是本實用新型實施例二的示意圖。圖中序號表示機(jī)架1、拋光輪2、前后傳動桿3、晶棒托架4、前后軌道軸承5、基座 6、左右軌道軸承7、左右軌道8、底座9、晶棒夾具10、前后軌道11和左右傳動桿12。[0010]下面結(jié)合具體的實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明。實施例一參照圖1，該晶棒平磨拋光機(jī)是通過普通鉆床改進(jìn)的，它包括機(jī)架1、拋光輪2、底 座9、左右軌道8、左右軌道軸承7、左右傳動桿12、基座6、前后軌道11、前后軌道軸承5、前 后傳動桿3、晶棒托架4和晶棒夾具10，其中的拋光輪2設(shè)置在機(jī)架1上，機(jī)架1固定在底 座9上，晶棒夾具10設(shè)置在晶棒托架4上；左右軌道8設(shè)置在底座9上，左右傳動桿12固 定在底座9上(左右傳動桿12也可固定在基座6上)，基座6設(shè)置在左右軌道軸承7上，左 右軌道軸承7設(shè)置在左右軌道8上，且左右軌道軸承7通過左右傳動桿12在左右軌道8上 移動；晶棒托架4固設(shè)在前后軌道軸承5上，前后傳動桿3固定在晶棒托架4上(或是固定 在基座6上)，前后軌道軸承5設(shè)置在前后軌道11上，且前后軌道軸承5通過前后傳動桿3 在前后軌道11上移動。使用時，把晶棒放置到晶棒托架4上，并用晶棒夾具10夾緊晶棒。按下啟動按鈕， 鉆頭帶動拋光輪2高速轉(zhuǎn)動；同時，采用電機(jī)對左右傳動桿12和前后傳動桿3進(jìn)行控制，利 用電控程序?qū)﹄姍C(jī)進(jìn)行正反向運轉(zhuǎn)設(shè)計(或是在左右軌道8和前后軌道11的某個位置設(shè) 置一個限位開關(guān)，一旦左右傳動桿12或是前后傳動桿3碰到限位開關(guān)，電機(jī)將改變運轉(zhuǎn)方 向。)，即可實現(xiàn)晶棒前后、左右的來回移動并進(jìn)行拋光，從而替代手工作業(yè)，且拋光效果好。實施例二參照圖2，該晶棒平磨拋光機(jī)是通過普通鉆床改進(jìn)的，它包括機(jī)架1、拋光輪2、底 座9、左右軌道8、左右軌道軸承7、左右傳動桿12、基座6、前后軌道11、前后軌道軸承5、前 后傳動桿3、晶棒托架4和晶棒夾具10，其中的拋光輪2設(shè)置在機(jī)架1上，機(jī)架1固定在底 座9上，晶棒夾具10設(shè)置在晶棒托架4上；前后軌道11設(shè)置在底座9上，前后傳動桿3固 定在底座9上(前后傳動桿3也可固定在基座6上)，基座6設(shè)置在前后軌道軸承5上，前 后軌道軸承5設(shè)置在前后軌道11上，且前后軌道軸承5通過前后傳動桿3在前后軌道11 上移動；晶棒托架4固定在左右軌道軸承7上，左右傳動桿12固定在晶棒托架4上(或是 固定在基座6上)，左右軌道軸承7設(shè)置在左右軌道8上，且左右軌道軸承7通過左右傳動 桿12在左右軌道8上移動。使用時，把晶棒放置到晶棒托架4上，并用晶棒夾具10夾緊晶棒。按下啟動按鈕， 鉆頭帶動拋光輪2高速轉(zhuǎn)動；同時，采用電機(jī)對左右傳動桿12和前后傳動桿3進(jìn)行控制，利 用電控程序?qū)﹄姍C(jī)進(jìn)行正反向運轉(zhuǎn)設(shè)計(或是在左右軌道8和前后軌道11的某個位置設(shè) 置一個限位開關(guān)，一旦左右傳動桿12或是前后傳動桿3碰到限位開關(guān)，電機(jī)將改變運轉(zhuǎn)方 向。)，即可實現(xiàn)晶棒前后、左右的來回移動并進(jìn)行拋光，從而替代手工作業(yè)，且拋光效果好。
權(quán)利要求1.一種晶棒平磨拋光機(jī)，包括機(jī)架、拋光輪、底座、左右軌道、左右軌道軸承、左右傳動 桿、基座、前后軌道、前后軌道軸承、前后傳動桿、晶棒托架和晶棒夾具；其中的拋光輪設(shè)置 在機(jī)架上，機(jī)架固定在底座上，晶棒夾具設(shè)置在晶棒托架上；其特征在于左右軌道設(shè)置在底 座上，左右傳動桿固定在底座或基座上，基座設(shè)置在左右軌道軸承上，左右軌道軸承設(shè)置在 左右軌道上，且左右軌道軸承通過左右傳動桿在左右軌道上移動；晶棒托架固設(shè)在前后軌 道軸承上，前后傳動桿固定在晶棒托架上或是固定在基座上，前后軌道軸承設(shè)置在前后軌 道上，且前后軌道軸承通過前后傳動桿在前后軌道上移動。
2.一種晶棒平磨拋光機(jī)，包括機(jī)架、拋光輪、底座、左右軌道、左右軌道軸承、左右傳動 桿、基座、前后軌道、前后軌道軸承、前后傳動桿、晶棒托架和晶棒夾具；其中的拋光輪設(shè)置 在機(jī)架上，機(jī)架固定在底座上，晶棒夾具設(shè)置在晶棒托架上；其特征在于前后軌道設(shè)置在底 座上，前后傳動桿固定在底座或基座上，基座設(shè)置在前后軌道軸承上，前后軌道軸承設(shè)置在 前后軌道上，且前后軌道軸承通過前后傳動桿在前后軌道上移動；晶棒托架固設(shè)在左右軌 道軸承上，左右傳動桿固設(shè)在基座或晶棒托架上，左右軌道軸承設(shè)置在左右軌道，且左右軌 道軸承通過左右傳動桿在左右軌道上移動。
專利摘要本實用新型涉及一種晶棒平磨拋光機(jī)，該拋光機(jī)的左右軌道設(shè)置在底座上，左右傳動桿固定在底座或基座上，基座設(shè)置在左右軌道軸承上，左右軌道軸承設(shè)置在左右軌道上，且左右軌道軸承通過左右傳動桿在左右軌道上移動；晶棒托架固設(shè)在前后軌道軸承上，前后傳動桿固定在晶棒托架上或是固定在基座上，前后軌道軸承設(shè)置在前后軌道上，且前后軌道軸承通過前后傳動桿在前后軌道上移動。采用本實用新型，只要將晶棒固定在晶棒托架上，并通過機(jī)械自動控制晶棒前后、左右移動，進(jìn)行晶棒的拋光，可替代手工作業(yè)，且拋光效果好。
文檔編號B24B29/04GK201856157SQ20102057661
公開日2011年6月8日 申請日期2010年10月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月23日
發(fā)明者余城偉, 徐增宏, 方明游, 王土軍 申請人:浙江硅宏電子科技有限公司