專利名稱：：納米金屬溶液、納米金屬復(fù)合顆粒及金屬膜層的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種金屬溶液、金屬復(fù)合顆粒以及金屬膜層的制作方法，特別是涉及一種納米金屬溶液、納米金屬復(fù)合顆粒以及金屬膜層的制作方法。
背景技術(shù)：
：自從推出納米顆粒相關(guān)技術(shù)之后，各類產(chǎn)業(yè)都在嘗試找出納米級(jí)顆粒的特性在其所屬領(lǐng)域中可以應(yīng)用的范疇。舉例而言，在光電產(chǎn)業(yè)中，納米級(jí)的金屬顆粒，例如納米銅或納米銀，因?yàn)榫哂辛己玫碾娦蕴匦远饾u的受到重視。特別是，在光電產(chǎn)業(yè)相關(guān)產(chǎn)品不斷朝向高密度發(fā)展的趨勢(shì)下，尺寸微小的納米級(jí)金屬顆粒儼然成為極富發(fā)展?jié)摿Φ牟牧?。目前已提出許多納米金屬顆粒的合成方法。主要的方式是利用還原反應(yīng)將原本溶解在溶液中的金屬離子還原成納米金屬顆粒。納米金屬顆粒的熔點(diǎn)遠(yuǎn)低于金屬塊材的熔點(diǎn)。所以，可以采用低溫烘烤加工工藝(例如低溫?zé)Y(jié)工藝)將納米金屬顆粒形成所需的金屬膜層或?qū)w圖案。換言之，使用納米金屬顆粒制作金屬膜層時(shí)，不需采用公知的微影蝕刻步驟或是電鍍步驟。因此，使用納米金屬顆粒制作金屬膜層可以降低因微影蝕刻步驟或是電鍍步驟所造成的污染及能源損耗。一般而言，不易氧化的納米銀為現(xiàn)今納米金屬顆粒中應(yīng)用最為廣泛的一類。但是，納米銀的材料成本高且納米銀在濕氣環(huán)境中容易發(fā)生銀離子遷移的現(xiàn)象(silvermigration)，而使金屬膜層的可靠度降低。所以，基于成本以及產(chǎn)品效能的考慮，本領(lǐng)域技術(shù)人員仍在尋找替代的材料以提升產(chǎn)能以及產(chǎn)品質(zhì)量。另外，材料成本較低的納米銅也是人們經(jīng)常研究及使用的一種納米金屬顆粒。但是，納米銅具有容易氧化的特性，因而實(shí)際應(yīng)用納米銅時(shí)仍存在一些問題尚未克服。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種納米金屬溶液，其中，納米金屬顆粒表面吸附有機(jī)金屬自分解分子，因此納米金屬溶液中的納米金屬顆粒相當(dāng)穩(wěn)定且容易保存。本發(fā)明提供一種納米金屬復(fù)合顆粒，其不容易產(chǎn)生離子遷移的現(xiàn)象且金屬顆粒不易氧化，因而具有良好的品質(zhì)。本發(fā)明提供一種金屬膜層的制作方法，以制作質(zhì)量良好的金屬膜層。本發(fā)明提供一種納米金屬溶液，包括0.130wt%的金屬顆粒、0.150襯％的具有如式ι所示分子結(jié)構(gòu)的有機(jī)金屬自分解分子(metalorganicself-decompositionmolecules,MOD)和2099.溶劑。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>化學(xué)式1其中，M為金屬離子。有機(jī)金屬自分解分子以及金屬顆粒均勻混合于溶劑中，且有機(jī)金屬自分解分子吸附在金屬顆粒表面上。然后，將納米金屬溶液形成在基材上。接著，進(jìn)行燒結(jié)步驟，使有機(jī)金屬自分解分子自行分解，并使有機(jī)金屬自分解分子的金屬離子在金屬顆粒表面形成金屬層，并同時(shí)在金屬顆粒與金屬層之間進(jìn)一步形成合金層，其中，合金層為金屬顆粒與金屬層的合金。如上所述，本發(fā)明在納米金屬溶液中添加有機(jī)金屬自分解分子，以使有機(jī)金屬自分解分子吸附在納米金屬顆粒的表面上。這樣一來，本發(fā)明的納米金屬溶液經(jīng)過燒結(jié)步驟后，在納米金屬顆粒表面形成薄層的合金層及金屬層以保護(hù)納米金屬顆粒。因此，本發(fā)明的納米金屬復(fù)合顆粒不易被氧化且不易產(chǎn)生電致遷移的情形。另外，利用本發(fā)明的納米金屬復(fù)合顆粒所形成的金屬膜層具有相當(dāng)不錯(cuò)的電性特性。為了使本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)更明顯易懂，以下提供具體實(shí)施例并結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。圖1圖4示出了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的金屬膜層的制作方法。圖5為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例中的金屬顆粒與有機(jī)金屬自分解分子的圖片。符號(hào)說明100:預(yù)備溶液102溶劑104:金屬顆粒106保護(hù)劑108有機(jī)金屬自分解分子200納米金屬溶液300基板400納米金屬復(fù)合顆粒410金屬層420合金層具體實(shí)施例方式圖1圖4示出了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的金屬膜層的制作方法。首先，參見圖1，制備預(yù)備溶液100。制備預(yù)備溶液的方法是將金屬鹽、還原劑以及保護(hù)劑106混合于溶劑102中。在制備預(yù)備溶液100的過程中，金屬鹽與還原劑會(huì)進(jìn)行反應(yīng)而生成金屬顆粒104，并且，保護(hù)劑106會(huì)吸附于金屬顆粒104的表面。其中，所述溶劑102包括水或有機(jī)溶劑。舉例而言，溶劑102可以是甲醇、乙醇、乙二醇、異丙醇、松油醇或它們的組合。保護(hù)劑包括聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯醇、十二烷基硫醇、有機(jī)硅烷偶合劑或它們的組合。金屬鹽的材料包括硫酸銅、硝酸銅、氯化銅、醋酸銅、硝酸銀、氯化金或它們的組合。還原劑包括維生素C(ASCorbiCacid)、檸檬酸、硼氫化鉀(KBH4)、亞磷酸氫鈉(NaH2PO2·H2O)、硼氫化鈉(NaBH4)Jf(N2H4)、氫氧化鈉(NaOH)或它們的組合。金屬鹽溶于溶劑102時(shí)會(huì)先解離成金屬陽離子與陰離子根，隨后金屬陽離子會(huì)受到還原劑的作用而轉(zhuǎn)變成金屬顆粒104。這些金屬顆粒104根據(jù)所選用的金屬鹽可以是銅顆粒、銀顆粒、金顆粒、鋁顆粒、鈦顆粒、鎳顆?；蛩鼈兊慕M合。此外，這些金屬顆粒104的粒徑例如是納米級(jí)大小，其粒徑例如小于lOOnm。一般來說，納米級(jí)的金屬顆粒104很容易彼此吸附而聚集成粒徑較大的顆粒，所以本實(shí)施例在預(yù)備溶液100中添加的保護(hù)劑106可以分散這些納米級(jí)的金屬顆粒104。換言之，保護(hù)劑106吸附于金屬顆粒104表面可以使各個(gè)金屬顆粒104維持在納米級(jí)的粒徑大小，也可使金屬顆粒104穩(wěn)定地分散于預(yù)備溶液100中。接著，參見圖2，先進(jìn)行清洗步驟，再向預(yù)備溶液中加入有機(jī)金屬自分解分子108以制備成納米金屬溶液200。清洗步驟可以移除金屬顆粒104表面的保護(hù)劑106，從而在加入有機(jī)金屬自分解分子108后，該有機(jī)金屬自分解分子108可以吸附在金屬顆粒104的表面。此時(shí)，納米金屬溶液200包括0.130wt%的金屬顆粒104，金屬顆粒104優(yōu)選占納米金屬溶液200的4wt%；納米金屬溶液200包括0.150wt%的如化學(xué)式1所示的有機(jī)金屬自分解分子108，有機(jī)金屬自分解分子106優(yōu)選占納米金屬溶液200的38wt%’另夕卜，納米金屬溶液200包括2099.8wt%的溶劑102，所述溶劑優(yōu)選占納米金屬溶液200的58wt%。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>化學(xué)式1其中，M為金屬離子。在本實(shí)施例中，有機(jī)金屬自分解分子108的金屬離子M包括銅離子、銀離子、金離子、鋁離子、鈦離子、鎳離子或它們的組合。金屬離子M與金屬顆粒104例如由不同的金屬組成。舉例而言，有機(jī)金屬自分解分子108的金屬離子M為銀離子，金屬顆粒104可以采用銅顆粒；或者有機(jī)金屬自分解分子108的金屬離子M為銅離子，金屬顆粒104可以采用銀顆粒。本發(fā)明并不限于上述金屬顆粒與金屬離子的組合，在其它實(shí)施例中，還可以采用其它種金屬顆粒與金屬離子的組合，只要是金屬離子M與金屬顆粒104由不同的金屬組成皆可。此外，有機(jī)金屬自分解分子106的自分解溫度例如是低于200°C。在納米金屬溶液200中，有機(jī)金屬自分解分子106也有助于維持金屬顆粒104的分散性以及粒徑大小。實(shí)際上，圖5為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中的金屬顆粒與有機(jī)金屬自分解分子的圖片。請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D2與圖5，制備納米金屬溶液200時(shí)，有機(jī)金屬自分解分子108會(huì)吸附在金屬顆粒104的表面上，所以有機(jī)金屬自分解分子108可以賦予適當(dāng)?shù)姆稚⑿再|(zhì)，也就是使金屬顆粒分散開來。在圖5的實(shí)施例中，有機(jī)金屬自分解分子108的粒徑例如是小于60nm，其中，金屬顆粒104為銅，自分解分子108為如式1所示的分子且M為銀離子。另外，有機(jī)金屬自分解分子108產(chǎn)生自分解的溫度可能隨著溶劑102成份改變而有所不同。所以，制備納米金屬溶液200時(shí)，可以根據(jù)實(shí)際需要來選擇溶劑102的種類。制備完成納米金屬溶液200后，參見圖3，將納米金屬溶液200形成在基材300上。在本實(shí)施例中，將納米金屬溶液200形成于基材300上的方法包括網(wǎng)版印刷法、噴墨印刷法、旋轉(zhuǎn)涂布法、壓模涂布法(diecoating)、膠版印刷法(offsetprinting)或噴涂涂布法(spraycoating)等。實(shí)際操作中，納米金屬溶液200可以選擇性地全面形成于基板300上或是局部地形成于基板300預(yù)定的區(qū)域上。更詳細(xì)而言，本實(shí)施例的納米金屬溶液可視為一種含有金屬復(fù)合顆粒的油墨，因此通過印刷、噴墨或是其它涂布等方式即可將含有這些金屬復(fù)合顆粒的油墨形成于基板的特定位置上，以構(gòu)成特定圖案(例如是導(dǎo)線圖案、電極圖案或是其它種導(dǎo)體圖案)。不過，本發(fā)明不限于此，在其它的實(shí)施例中也可以在基板的整個(gè)表面上涂布納米金屬溶液，以構(gòu)成無圖案化的膜層。之后，進(jìn)行燒結(jié)步驟，以在基材300上形成金屬膜層或金屬圖案200a，如附圖4所示。上述燒結(jié)步驟的操作溫度例如是低于200°C。金屬顆粒104經(jīng)納米化后熔點(diǎn)都會(huì)下降許多，所以本實(shí)施例可以在低于200°C的條件下進(jìn)行燒結(jié)步驟。在燒結(jié)步驟之后，金屬顆粒104會(huì)彼此接合在一起以形成金屬膜層或?qū)Ь€圖案、電極圖案或是其它種類的導(dǎo)體圖案200a。換言之，本實(shí)施例無需使用電鍍、濺鍍等復(fù)雜的成膜設(shè)備與技術(shù)即可以形成金屬膜層。特別是，本實(shí)施例無需使用微影蝕刻等圖案化程序即可以形成特定的金屬圖案，從而大大地簡化了金屬圖案的制作方法。更詳細(xì)而言，在上述燒結(jié)過程中，位于金屬顆粒104表面的有機(jī)金屬自分解分子108會(huì)自行分解(如圖3所示)，并且有機(jī)金屬自分解分子108的金屬離子會(huì)在金屬顆粒104的表面形成金屬層410(如圖4所示)。換言之，燒結(jié)過程中所產(chǎn)生的能量可以使位于金屬顆粒104表面上的有機(jī)金屬自分解分子的金屬離子轉(zhuǎn)變成金屬層410，且同時(shí)有機(jī)金屬自分解分子的金屬離子還在金屬顆粒104與金屬層410之間形成合金層420。由于金屬顆粒104與有機(jī)金屬自分解分子的金屬離子(金屬層410)所選用的金屬不同，因此合金層420即為金屬顆粒104與金屬層410的合金。換言之，經(jīng)過燒結(jié)步驟之后，即可在基板300上形成由納米金屬復(fù)合顆粒400所組成的金屬膜層200a。一般而言，納米級(jí)的金屬顆粒104經(jīng)過燒結(jié)而彼此接合在一起后可能會(huì)有離子遷移的現(xiàn)象發(fā)生而使金屬膜層或金屬圖案的信賴性不佳。不過，在本實(shí)施例中，由納米金屬復(fù)合顆粒400所組成的金屬膜層或金屬圖案，其金屬層410與合金層420可以提供適當(dāng)?shù)钠琳弦员苊饨饘兕w粒104之間發(fā)生離子遷移的現(xiàn)象。如此一來，納米金屬復(fù)合顆粒400所形成的金屬膜層或金屬圖案便可具有良好的信賴性。另外，納米金屬復(fù)合顆粒400的金屬層410與合金層420的形成也有助于提高金屬膜層或金屬圖案的致密度。值得一提的是，由于納米金屬復(fù)合顆粒400主要以金屬顆粒104為主體，而金屬層410與合金層420僅為形成于金屬顆粒104表面上的薄層。在一個(gè)實(shí)施例中，納米金屬復(fù)合顆粒400可以選用銅作為金屬顆粒104，而形成在銅金屬顆粒104表面的金屬層410為銀，也就是以銅鹽制備預(yù)備溶液并將有機(jī)銀自分解分子添加到預(yù)備溶液中。因此，最后所形成的納米金屬復(fù)合顆粒400中，在銅金屬顆粒104與銀金屬層410之間的合金層420為銅銀合金。由于銅的價(jià)格較為便宜但容易氧化，而銀的價(jià)格較貴但有較高的穩(wěn)定性。若以銅作為金屬顆粒104而以銀作為金屬層410則納米金屬復(fù)合顆粒400所需的材料成本不高，而且金屬層410又可提供很好的穩(wěn)定性。因此，納米金屬復(fù)合顆粒400所形成的金屬膜層不但成本適中，而且具有良好的質(zhì)量。當(dāng)然，銅與銀的組合僅是舉例說明而已，在其它實(shí)施例中也可以選用其它的金屬組合來制作納米金屬復(fù)合顆粒400。以下列舉實(shí)施例以及比較例，以說明實(shí)施例及比較例在不同的溫度條件下(即在100°c、120°c、13(rc以及150°c)，金屬薄膜的薄層電阻值。實(shí)施例1在實(shí)施例1中，其預(yù)備溶液的制備方法是將20g硝酸銅(即金屬鹽)、150g維生素C(ascorbicacid)(即還原劑)以及200g聚乙烯吡咯烷酮(PVP)(即保護(hù)劑)混合在2升(L)的去離子水(即溶劑)中。制備預(yù)備溶液的過程中，金屬鹽與還原劑會(huì)進(jìn)行反應(yīng)而生成納米銅金屬顆粒。接著用去離子水與丙酮對(duì)上述已生成有納米銅金屬顆粒的預(yù)備溶液進(jìn)行清洗步驟，以移除預(yù)備溶液中的納米銅金屬顆粒表面的保護(hù)劑。在清洗步驟之后，將上述預(yù)備溶液配制成具有40wt%固含量的納米銅金屬粒子的預(yù)備溶液。之后，取IOg的預(yù)備溶液并加入40g如化學(xué)式1所示的有機(jī)酸銀(C7H15COOAg)及60g二甲苯，其中，M為銀離子。由此，即可制備成納米金屬溶液。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>化學(xué)式1制備完成納米金屬溶液后，接著通過旋轉(zhuǎn)涂布步驟將該納米金屬溶液形成在玻璃基材上。然后，進(jìn)行燒結(jié)步驟，在玻璃基材上形成金屬膜層或金屬圖案。上述燒結(jié)步驟的操作溫度及時(shí)間例如是低于200°C、lOmin。在燒結(jié)步驟之后，納米銅金屬顆粒會(huì)彼此接合在一起而形成金屬膜層或?qū)Ь€圖案、電極圖案或是其它種類的導(dǎo)體圖案。換言之，本實(shí)施例無需使用電鍍、濺鍍等復(fù)雜的成膜設(shè)備與技術(shù)就可以形成金屬膜層。特別是，本實(shí)施例無需使用微影蝕刻等圖案化程序就可以形成特定的金屬圖案，因此大大地簡化了金屬圖案的制作方法。燒結(jié)步驟中所產(chǎn)生的能量可以使位于納米銅金屬顆粒表面上的有機(jī)酸銀的金屬離子轉(zhuǎn)變成金屬層，同時(shí)，有機(jī)酸銀的金屬離子還在納米銅金屬顆粒與金屬層之間形成一銅銀合金層。實(shí)施例2制備具有40wt%固含量的納米銅金屬粒子的預(yù)備溶液的方法如實(shí)施例1中所述。之后，取IOg的預(yù)備溶液并加入26g如化學(xué)式1所示的有機(jī)酸銀(C7H15COOAg)及27g二甲苯，其中，M為銀離子。由此，即可制備成納米金屬溶液。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>化學(xué)式1制備完成納米金屬溶液后，接著通過旋轉(zhuǎn)涂布步驟將該納米金屬溶液形成在玻璃基材上。然后，進(jìn)行燒結(jié)步驟，在玻璃基材上形成金屬膜層或金屬圖案。上述燒結(jié)步驟的操作溫度及時(shí)間例如是低于200°C、lOmin。在燒結(jié)步驟之后，納米銅金屬顆粒會(huì)彼此接合在一起而形成金屬膜層或?qū)Ь€圖案、電極圖案或是其它種類的導(dǎo)體圖案。換言之，本實(shí)施例無需使用電鍍、濺鍍等復(fù)雜的成膜設(shè)備與技術(shù)就可以形成金屬膜層。特別是，本實(shí)施例無需使用微影蝕刻等圖案化程序就可以形成特定的金屬圖案，因此大大地簡化了金屬圖案的制作方法。燒結(jié)步驟中所產(chǎn)生的能量可以使位于納米銅金屬顆粒表面上的有機(jī)酸銀的金屬離子轉(zhuǎn)變成金屬層，同時(shí)，有機(jī)酸銀的金屬離子還在納米銅金屬顆粒與金屬層之間形成一銅銀合金層。實(shí)施例3制備具有40wt%固含量的納米銅金屬粒子的預(yù)備溶液的方法如實(shí)施例1中所述。之后，取IOg的預(yù)備溶液并加入Ilg如化學(xué)式1所示的有機(jī)酸銀(C7H15COOAg)及13g二甲苯，其中，M為銀離子。由此，即可制備成納米金屬溶液。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>化學(xué)式1制備完成納米金屬溶液后，接著通過旋轉(zhuǎn)涂布步驟將該納米金屬溶液形成在玻璃基材上。然后，進(jìn)行燒結(jié)步驟，在玻璃基材上形成金屬膜層或金屬圖案。上述燒結(jié)步驟的操作溫度及時(shí)間例如是低于200°C、lOmin。在燒結(jié)步驟之后，納米銅金屬顆粒會(huì)彼此接合在一起而形成金屬膜層或?qū)Ь€圖案、電極圖案或是其它種類的導(dǎo)體圖案。換言之，本實(shí)施例無需使用電鍍、濺鍍等復(fù)雜的成膜設(shè)備與技術(shù)就可以形成金屬膜層。特別是，本實(shí)施例無需使用微影蝕刻等圖案化程序就可以形成特定的金屬圖案，因此大大地簡化了金屬圖案的制作方法。燒結(jié)步驟中所產(chǎn)生的能量可以使位于納米銅金屬顆粒表面上的有機(jī)酸銀的金屬離子轉(zhuǎn)變成金屬層，同時(shí)，有機(jī)酸銀的金屬離子還在納米銅金屬顆粒與金屬層之間形成一銅銀合金層。比較例在比較例中，其是僅將40g有機(jī)酸銀(C7H15COOAg)溶解在60g二甲苯中。經(jīng)均勻混合后，通過旋轉(zhuǎn)涂布步驟，將上述混合溶液涂布在玻璃基板上。然后，直接以熱源進(jìn)行燒結(jié)烘烤程序，從而在玻璃基板上形成比較例的金屬膜層。所得到實(shí)施例與比較例的金屬膜層的組成、操作條件與薄層電阻值如表1所列。[表1]<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>由上述表1可知，由于在實(shí)施例1-3的金屬膜層的形成過程中包括加入納米銅粒子，其在進(jìn)行燒結(jié)步驟之后可形成納米金屬復(fù)合顆粒，其中，納米金屬復(fù)合顆粒由金屬銅顆粒、銀金屬層以及位于銅金屬顆粒與銀金屬層之間的合金層所組成。而在比較例的金屬膜層的形成過程中并未加入納米銅粒子，因此其在燒結(jié)步驟之后所形成的金屬薄膜僅為單純的金屬薄膜。而在100°C、120°C、13(rC以及150°C的條件下，對(duì)實(shí)施例的金屬薄膜與比較例的金屬薄膜進(jìn)行薄層電阻的測試，可明顯地看到實(shí)施例的金屬薄膜的薄層電阻值都比比較例的金屬薄膜的薄層電阻值低，因而可以證明本發(fā)明的納米金屬復(fù)合顆粒所構(gòu)成的金屬膜層具有良好的電性質(zhì)量及信賴性。綜上所述，本發(fā)明的納米金屬溶液中具有有機(jī)金屬自分解分子，其經(jīng)燒結(jié)步驟之后可形成納米金屬復(fù)合顆粒，其中，納米金屬復(fù)合顆粒由金屬顆粒、金屬層以及位于金屬顆粒與金屬層之間的合金層所組成。由于納米金屬復(fù)合顆粒中的金屬顆粒有金屬層與合金層的保護(hù)而不容易產(chǎn)生離子遷移的現(xiàn)象也不容易氧化。所以以本發(fā)明的納米金屬復(fù)合顆粒所接合而成的金屬膜層或金屬圖案具有良好的電性質(zhì)量及信賴性。另外，由于本發(fā)明的納米金屬復(fù)合顆粒通過燒結(jié)步驟就可以在金屬顆粒的表面形成金屬層以及合金層，以構(gòu)成金屬膜層或金屬圖案，其無需進(jìn)行復(fù)雜的成膜步驟或是復(fù)雜的成膜與微影蝕刻程序，因而使整體制程較為簡單。雖然本發(fā)明公開了上述實(shí)施例，但這些實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的情況下，可對(duì)本發(fā)明進(jìn)行適當(dāng)?shù)母淖兣c修飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求為準(zhǔn)。權(quán)利要求一種納米金屬溶液，包括0.1～30wt％的金屬顆粒；0.1～50wt％的如化學(xué)式1所示的有機(jī)金屬自分解分子，化學(xué)式1其中，M為金屬離子；以及20～99.8wt％的溶劑，其中，所述有機(jī)金屬自分解分子以及所述金屬顆粒均勻混合于所述溶劑中，且所述有機(jī)金屬自分解分子吸附在所述金屬顆粒表面。F2009102619509C00011.tif2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米金屬溶液，所述有機(jī)金屬自分解分子的自分解溫度低于200"C。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米金屬溶液，其中，所述金屬顆粒包括銅顆粒、銀顆粒、金顆粒、鋁顆粒、鈦顆粒、鎳顆?；蛩鼈兊慕M合。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米金屬溶液，其中，所述金屬離子M包括銅離子、銀離子、金離子、鋁離子、鈦離子、鎳離子或它們的組合。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米金屬溶液，其中，所述金屬顆粒與所述金屬離子選用不同的金屬。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米金屬溶液，其中，所述金屬顆粒的粒徑小于lOOnm。7.—種納米金屬復(fù)合顆粒，包括多個(gè)金屬顆粒；金屬層，覆蓋在所述金屬顆粒的表面；以及合金層，位于所述金屬顆粒以及所述金屬層之間，其中，所述合金層為所述金屬顆粒與所述金屬層的合金，且各金屬顆粒彼此接合在一起。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的納米金屬復(fù)合顆粒，其中，所述金屬顆粒與所述金屬離子選用不同的金屬。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的納米金屬溶液，其中，所述金屬顆粒的粒徑小于lOOnm。10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的納米金屬復(fù)合顆粒，其中，所述金屬顆粒包括銅顆粒、銀顆粒、金顆粒、鋁顆粒、鈦顆粒、鎳顆粒或它們的組合。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的納米金屬復(fù)合顆粒，其中，所述金屬層的材質(zhì)包括銅、銀、金、鋁、鈦、鎳或它們的組合。12.—種制作金屬膜層的方法，包括制備納米金屬溶液，該納米金屬溶液包括，`0.130wt%的金屬顆粒，`0.150wt%的如化學(xué)式1所示的有機(jī)金屬自分解分子，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>化學(xué)式1，其中M為金屬離子，和2099.溶劑，其中，所述有機(jī)金屬自分解分子以及所述金屬顆粒均勻混合于所述溶劑中，且所述有機(jī)金屬自分解分子吸附在所述金屬顆粒的表面；將上述納米金屬溶液形成在基材上；以及進(jìn)行燒結(jié)步驟，使所述有機(jī)金屬自分解分子自行分解，并使所述有機(jī)金屬自分解分子的金屬離子在所述金屬顆粒的表面形成金屬層，且同時(shí)還在所述金屬顆粒與所述金屬層之間形成合金層，其中，所述合金層為所述金屬顆粒與所述金屬層的合金。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制作金屬膜層的方法，其中，所述燒結(jié)步驟的操作溫度低于200"C。14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制作金屬膜層的方法，其中，制備所述納米金屬溶液的方法包括將金屬鹽、還原劑以及保護(hù)劑混合于所述溶劑中，以使所述金屬鹽與所述還原劑進(jìn)行反應(yīng)而生成所述金屬顆粒，且所述保護(hù)劑吸附在所述金屬顆粒的表面；進(jìn)行清洗步驟，以除去吸所述附在所述金屬顆粒表面的保護(hù)劑；以及加入所述有機(jī)金屬自分解分子，以使所述有機(jī)金屬自分解分子吸附在所述金屬顆粒的表面。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的制作金屬膜層的方法，其中，所述保護(hù)劑包括聚乙烯吡咯烷酮、聚乙烯醇、十二烷基硫醇、有機(jī)硅烷偶合劑或它們的組合。16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的制作金屬膜層的方法，其中，所述金屬鹽的材質(zhì)包括硫酸銅、硝酸銅、氯化銅、醋酸銅、硝酸銀、氯化金或它們的組合。17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的制作金屬膜層的方法，其中，所述還原劑包括維生素C、檸檬酸、硼氫化鉀、亞磷酸氫鈉、硼氫化鈉、胼、氫氧化鈉或它們的組合。全文摘要本發(fā)明涉及一種納米金屬溶液、納米金屬復(fù)合顆粒以及金屬膜層的制作方法。所述納米金屬溶液包括0.1-30wt％的金屬顆粒、0.1-50wt％的如化學(xué)式1所示的有機(jī)金屬自分解分子以及20-99.8wt％的溶劑。其中，M為金屬離子。有機(jī)金屬自分解分子以及金屬顆粒均勻混合于溶劑中，且有機(jī)金屬自分解分子吸附在金屬顆粒的表面?；瘜W(xué)式文檔編號(hào)C23C18/31GK101798683SQ200910261950公開日2010年8月11日申請(qǐng)日期2009年12月23日優(yōu)先權(quán)日2009年2月11日發(fā)明者盧俊安,林鴻欽,邱國展,黃思博申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院