本發(fā)明涉及處理裝置和處理系統(tǒng)。

背景技術：

以往的處理裝置通常用處理部接受從外部導入的處理對象物，在該處理部中實施規(guī)定處理之后，排出該處理對象物。

例如，專利文獻1公開一種激光加工裝置，該激光加工裝置用光源發(fā)射的光(加工光)照射加工對象物(處理對象物)，對加工對象物上的ITO薄膜實施圖案加工，或者對以金屬薄板形成的加工對象物本身進行切削加工。在該激光加工裝置中，加工對象物被卷成卷狀保管在加工對象物供給部中。從該加工供給部中拉出該加工對象物，將該加工對象物中的被加工部分移動到激光加工裝置的加工區(qū)域。而后用掃描振鏡(光掃描裝置)二維掃描光源發(fā)射的激光光束，對加工對象物實施加工處理。加工處理之后，進一步拉出加工對象物，將下一個被加工部分移動到激光加工裝置的加工區(qū)域，同時，用激光加工裝置的加工物卷入部卷入經(jīng)過處理的加工部分。

而在一般情況下，不僅上述激光加工裝置，在工廠內(nèi)等實施各種處理的處理裝置均需要作業(yè)者實行某些作業(yè)。關于作業(yè)者實行的某些作業(yè)，例如有在處理之前將處理對象物設置到處理裝置上、或者將經(jīng)過處理的處理對象物從處理裝置中取出、監(jiān)視處理裝置的處理動作、解除處理裝置故障的保守業(yè)務、維修等各種作業(yè)。作業(yè)者如果不熟悉這些處理裝置，會使得作業(yè)效率降低。

技術實現(xiàn)要素：

為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種處理裝置，用于將處理對象物導入處理部，由該處理部對該處理對象物實施規(guī)定處理后，排出經(jīng)過該規(guī)定處理的處理對象物，所述處理裝置的特征在于，具有內(nèi)部收納所述處理部的第一外裝部件，該第一外裝部件為中空結(jié)構(gòu)，從外部遮蔽所述處理部的周圍區(qū)域之中沿著所述處理對象物從入口處移動到出口處的移動路徑的整個外周部分，該入口處和該出口處上設有開口。

本發(fā)明的效果在于，能夠防止處理裝置的非熟練作業(yè)者作業(yè)效率下降。

附圖說明

圖1是實施方式涉及的激光圖案加工裝置的主要部分的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1所示激光圖案加工裝置中一例激光發(fā)振器的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是圖1所示激光圖案加工裝置中光掃描裝置的一變形例的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是圖1所示激光圖案加工裝置中一例加工對象輸送部的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是圖1所示激光圖案加工裝置中加工對象輸送部的俯視圖。

圖6是圖1所示激光圖案加工裝置中另一例加工對象輸送部的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是圖1所示激光圖案加工裝置中載體位于主掃描方向上不同位置時的激光光路示意圖。

圖8是圖1所示激光圖案加工裝置的外觀立體圖。

圖9是圖1所示激光圖案加工裝置的外觀正視圖。

圖10是作業(yè)者能夠聯(lián)想到的加工對象物在圖1所示激光圖案加工裝置中的動作和處理流程的示意圖。

圖11是作業(yè)者能夠聯(lián)想到的作業(yè)處理系統(tǒng)中依次對加工對象物實施規(guī)定處理時加工對象物的動作和處理流程的示意圖。

具體實施方式

以下描述一例用本發(fā)明涉及的處理裝置作為光加工裝置的激光圖案加工裝置的實施方式。

本發(fā)明涉及的激光圖案加工裝置的加工對象物是在基體上形成ITO薄膜，通過激光(加工光)照射該加工對象物上的ITO薄膜，去除一部分ITO薄膜，對ITO薄膜實施圖案加工。但是，本發(fā)明涉及的光加工裝置不受本實施方式1涉及的激光圖案加工裝置的限制，同樣可以適用于加工其他圖案的加工裝置、切削加工等其他加工處理裝置、或者實行處理對象物檢查處理等檢查裝置等等。

圖1是本實施方式的激光圖案加工裝置的主要部分的結(jié)構(gòu)示意圖。

本實施方式的激光圖案加工裝置具備激光輸出部1、激光掃描部2、加工對象輸送部3、以及控制部4。

激光輸出部1具有作為光源的激光起振器11和光擴束器12。光擴束器12用來擴大從激光起振器11輸出、作為加工光的激光L的光束直徑。

激光掃描部2具有作為會聚部的fθ透鏡22，該fθ透鏡22用來將通過掃描振鏡(galvano meteric scanner)21、22掃描的激光L會聚到加工對象物35表面(被加工面)或者基體與ITO薄膜之間的界面等加工對象物內(nèi)部(與加工對象物表面相距規(guī)定深度的部位)，其中的掃描振鏡21、22是用來通過步進電機21b驅(qū)動轉(zhuǎn)動反射激光L的X軸向掃描用和Y軸向掃描用的兩個Galvano反射鏡21a，用以使得激光L在X軸向和Y軸向進行掃描的光掃描裝置。

激光輸出部1的激光發(fā)振器11受到激光驅(qū)動部10的控制。具體為，激光驅(qū)動部10控制與激光掃描部2的掃描振鏡21的掃描動作聯(lián)動的激光發(fā)振器11的發(fā)光?？梢允褂脤w的熱作用引起的損耗較少的100ns以下的脈沖發(fā)振發(fā)生的脈沖光纖激光器作為激光發(fā)振器11，也可以使用其它光源。

圖2是本實施方式1的激光發(fā)振器11的一例結(jié)構(gòu)模塊圖。

本實施方式1的激光發(fā)振器11是被稱為MOPA(Master Oscillator Power Amplifier)的脈沖光纖激光器。該激光發(fā)振器11用脈沖發(fā)生器73使得光源LD74脈沖發(fā)振，生成光源光。激光發(fā)振器11包含用光纖增幅器進行多階段增幅的脈沖引擎部70、引導從脈沖引擎部70輸出的激光L的輸出光纖71、以及用準直光學系統(tǒng)83作為平行光束形成部而使得激光L大致成為平行光束射出的輸出頭部72。本實施方式1中，只有輸出頭部72被設置在激光輸出部1中。

脈沖引擎部70包含具有光纖78、勵起LD76、耦合器77的前置增幅部、以及具有光纖82、勵起LD80、耦合器81的主增幅部。光纖為光纖芯摻稀土元素的雙包層結(jié)構(gòu)，通過來自勵起LD76的勵起光的吸收，在光纖的輸出端和入射端設置的反射鏡之間來回反射，直到激光發(fā)振。圖2中標記75表示遮擋逆向光的隔離部，標記79表示用來去除ASE光的帶通濾波器。

本實施方式1用近紅外的1064nm作為光源LD74的波長。除此之外，也可以根據(jù)加工對象物的材料，選擇第二高諧波的532nm、第三高諧波的355nm等各種合適的波長。此外，激光發(fā)振器11還可以使用固體激光器，如用勵起光照射以釩酸釔結(jié)晶形成激光媒體，產(chǎn)生激光振發(fā)的YVO4等。

激光掃描部2的掃描振鏡21中，用來轉(zhuǎn)動X軸向掃描用和Y軸向掃描用的各Galvano反射鏡21a的各臺步進電機21b受掃描振鏡控制部20控制。掃描振鏡控制部20根據(jù)構(gòu)成加工圖案的布線要素數(shù)據(jù)(線始點坐標和線終點坐標)，來控制各臺步進電機21b，改變相對于Galvano反射鏡21a反射面的傾斜角度(反射面相對于入射反射面的激光的光軸的傾斜角度)，使該傾斜角度在平行于X軸向的方向或者平行于Y軸向的方向上變化。這樣便使得各Galvano反射鏡21a從掃描開始傾斜角度到掃描結(jié)束傾斜角度的轉(zhuǎn)動，能夠與線要素的始點和終點的X-Y坐標相對應。

本實施方式1中的X軸向掃描和Y軸向掃描均采用掃描振鏡作為光掃描裝置，但是本發(fā)明并不受此限制，允許使用眾所周知的光掃描裝置。還可以對X軸向掃描用的光掃描裝置和Y軸向掃描用的光掃描裝置采用不同的光掃描裝置。例如如圖3所示，以掃描振鏡21作為Y軸向掃描用的掃描裝置，而對X軸向的掃描則以用電機91驅(qū)動多面鏡91a轉(zhuǎn)動的多面鏡掃描器91作為掃描裝置。此時如圖3所示，基于經(jīng)過多面鏡91a反射的激光L經(jīng)由透鏡92入射光學傳感器93受光的受光時間，來實行X軸向的光掃描控制。

載體25可以在主掃描方向(X軸向)移動，該載體25上搭載激光掃描部2。載體25被安裝在同步帶27上，該同步帶27被掛設在驅(qū)動滑輪27a和從動滑輪27b之間。驅(qū)動與驅(qū)動滑輪27a相連接的同步電機26，帶動同步帶27，使得同步帶27上的載體25沿著在主掃描方向延伸的線性導件29(參見圖4)，在主掃描方向(X軸向)上移動。根據(jù)線性編碼器28輸出的輸出信號(地址信號)，能夠檢測載體25在主掃描方向上的位置。步進電機26受主掃描控制部24控制。

本實施方式采用利用同步帶的移動裝置作為搭載激光掃描部2的載體25的移動裝置，但是本發(fā)明不受此限制，還可以用直線定位平臺等可作直線移動的裝置來取而代之，或者使用可作二維移動的移動裝置。

加工對象物輸送部3具備以驅(qū)動輥32a和從動輥32b構(gòu)成的輸送定位輥對32。其中驅(qū)動輥32a通過同步帶31a受到定位電機31驅(qū)動。定位電機31在副掃描控制部30的控制下，用定位輥對32夾持加工對象物35，使該加工對象物35向副掃描方向(Y軸向)上的輸送目標位置移動。這樣，加工對象物35上的被加工部分便被依次送入激光掃描部2照射的激光L的掃描范圍。

具體如下。加工對象輸送部3具備監(jiān)控相機33和34，用來拍攝加工對象物35的主掃描方向上兩端附近表面上形成的定位標記37。副掃描控制部30通過定位電機31逐步以微小量在加工件輸送方向B(副掃描方向)上漸進輸送加工對象物35，同時，依次取得監(jiān)控相機33和34輸出的圖像數(shù)據(jù)。而后，通過圖案匹配處理等檢測定位標記37，計算離開輸送目標位置的加工對象移動量，根據(jù)該計算結(jié)果控制定位電機31，使得加工對象物35的副掃描方向位置移動到輸送目標位置。

圖4是加工對象輸送部3的一例結(jié)構(gòu)模塊圖。本實施方式1中，卷供給部50作為卷出保持部，用來保持加工對象物35。加工對象物35被卷繞在供給繞線軸51上，從該處拉出的加工對象部分沿著入口導板52受到定位輥對32的夾持部夾持，在定位輥對32的驅(qū)動下，從供給繞線軸51卷出后被設置到作為加工臺部件的加工臺53上。供給繞線軸51經(jīng)由傳送力矩更改部的卷出用粉末離合器59與以DC電機構(gòu)成的卷出電機56相連接，在卷出電機56的驅(qū)動力的驅(qū)動下向卷出加工對象物35的方向轉(zhuǎn)動。

加工臺53以激光L能夠透過的光透射材料形成，用以抑制激光L對加工臺53的損害，延長加工臺53的使用壽命。

加工臺53表面(臺面)上形成無數(shù)細孔(吸引孔)，用泵58抽出形成在加工臺53背面的空洞部57中的空氣，使加工對象物35吸附在加工臺53表面，用以確保加工對象物35在加工區(qū)域36上的平面性。本實施方式在對被吸附在加工臺53表面上的加工對象物35實施加工處理時，用作為制動裝置的電磁制動器構(gòu)成的定位制動器38使得定位輥對32停止轉(zhuǎn)動，從而使得定位輥對32能夠保持加工對象物35不發(fā)生移動。這樣在加工處理期間，加工對象物35受到定位輥對32的制動，能夠獲得穩(wěn)定的加工處理。

經(jīng)過加工的加工對象物35被卷到卷入繞線軸67上形成卷狀，受到作為卷入保持部的卷排出部60保持。卷入繞線軸67經(jīng)由作為傳送力矩改變部的卷入用粉末離合器63，與以DC電機構(gòu)成的卷入電機62相連接，在卷入電機62的驅(qū)動力的驅(qū)動下向卷入加工對象物35的方向轉(zhuǎn)動。

在本實施方式中，經(jīng)過加工的加工對象物經(jīng)過一對清潔輥64清除附著于該加工對象物表面的加工塵后，被卷繞到繞線軸67上。使用黏貼輥65粘吸并回收吸附在清潔輥64上的加工塵。此外，為了保護加工后的加工對象物表面避免受到擦傷等，用復合薄膜貼在經(jīng)過加工的加工對象物35的上下表面，而后用繞線軸67卷繞。復合薄膜從復合薄膜輥66卷出后與經(jīng)過加工的加工對象物一起卷繞到繞線軸67上。

本實施方式采用卷-卷方式，將經(jīng)過加工的加工對象物卷成卷狀。對此，也可以如圖6所示，采用卷-片方式，將經(jīng)過加工的加工對象物裁斷為片排出。如圖6所示，讓切割器54在主掃描方向上移動，按照規(guī)定大小裁斷經(jīng)過加工的加工對象物，并排出到托盤55中。

控制部4具備控制PC40，用來統(tǒng)一管理控制整個本激光圖案加工裝置?？刂芇C40與激光驅(qū)動器部10、掃描振鏡控制部20、主掃描控制部24、副掃描控制部30等相連接，管理各部的狀態(tài)，控制加工時序。

激光輸出部1的光擴束器12以多片透鏡構(gòu)成，激光光路上，與激光掃描部2的fθ透鏡22最接近的透鏡39的位置可以在激光的光軸軸向上移動。通過透鏡39的位置產(chǎn)生移動，能夠?qū)Υ钶d激光掃描部2的載體進行如以下將要描述的微調(diào)，使得載體停止在主掃描方向的各個停止目標位置上時會聚距離一致。換言之，光擴束器12具有進行微調(diào)的調(diào)焦功能，使得入射掃描振鏡21的激光光束L成為平行光束。

對此，本實施方式采用在主掃描方向(X軸向)上移動激光L的掃描范圍的構(gòu)成。具體如下。載體25搭載激光掃描部2，使得激光掃描部2能夠在主掃描方向上移動。這樣，不需要在主掃描方向上移動加工對象物35，而是用受到掃描振鏡21掃描的激光L來掃描加工對象物表面的范圍，即加工區(qū)域36，相對于加工對象物35在主掃描方向上相對移動。據(jù)此，能夠依次使得加工對象物35的被加工部分移動到加工區(qū)域36，實施加工處理，主掃描方向(X軸向)的加工區(qū)域36寬度即便狹窄，也能夠?qū)挾瘸^該加工區(qū)域35寬度的大型加工對象物35，實施加工處理。

此外，作為載體25上搭載的搭載物，至少只要搭載作為聚光部的fθ透鏡22便可。因此最輕型的構(gòu)成為載體25上只搭載fθ透鏡22。另一方面，如果是與加工對象物35相比重量較輕的元件，這些元件也可以與fθ透鏡22一起搭載于載體25。例如如本實施方式，載體25上可以搭載掃描振鏡21等光掃描裝置，還可以搭載一部分激光輸出部1的或整個激光輸出部1。

本實施方式中，入射在主掃描方向上移動的載體25的激光L的光路，即從激光輸出部1輸出的激光L的光路，平行于X軸向。為此，如圖7所示，無論載體移動到主掃描方向(X軸向)上的任何位置，從激光輸出部1輸出的激光L都入射到載體25上的相同位置。據(jù)此，即便載體25在主掃描方向(X軸向)上移動，入射載體25后的激光L的光路仍然相同，在對主掃描方向上互不相同的加工區(qū)域36-1和36-2實施加工處理時，能夠?qū)嵤┫嗤募庸ぬ幚怼?/p>

但是在本實施方式中，載體25移動后，入射載體25之前的激光L的光路長度發(fā)生變化。為此，入射載體25的激光L如果是非平行收束光，則隨著載體25在主掃描方向上的位置不同，照射加工對象物35的激光L的焦點將發(fā)生變化，加工對象物35上的激光L的光束徑大小變動等，從而對加工精度產(chǎn)生影響。

對此在本實施方式中，激光發(fā)振器11輸出的激光L大致為平行光束，經(jīng)由兩個反射鏡14和15反射后從光擴束器12射出，再通過反射鏡16的反射從激光輸出部1輸出的激光L也大致是平行光束。因此，入射載體25的激光L如果大致平行收束，則即便載體25移動后在主掃描方向上的位置發(fā)生變化，照射到加工對象物35上的激光L的焦點也不會發(fā)生實質(zhì)性變化，從而不會發(fā)生加工對象物35上的激光L的光束徑變動等影響。為此，對于主掃描方向上互相不同的加工區(qū)域36-1和36-2上實施加工處理時，可以用相同的加工精度來實施加工處理，而不需要進行焦點調(diào)整等作業(yè)，有利于提高生產(chǎn)效率。

但是，如果載體2上除激光掃描部2以外，還搭載整個激光輸出部1，即載體25上搭載激光發(fā)振器11等光源本身，則即便載體25移動，照射到加工對象物35上的激光L的焦點也不會發(fā)生變動，然而，載體25上的搭載物重量增大，為此需要考慮載體25難以高速移動的問題。光源的重量一般大于其它元件的重量，通常載體25上不搭載光源，用以有效降低載體25的慣性，實現(xiàn)載體25的高速移動，提高生產(chǎn)效率。

圖8是本實施方式的激光圖案加工裝置外觀的立體圖。

圖9是本實施方式的激光圖案加工裝置外觀的正視圖。

本實施方式的激光圖案加工裝置外部主要以主體外部100a、入口處外裝部件50a、以及出口處外裝部件60a構(gòu)成。

主體外部100a內(nèi)部收納除卷供給部50以及卷排除部60以外的處理部。本實施方式的處理部主要包含，用于輸出激光照射加工臺53上的加工物部分，用以實施加工處理的激光輸出部1和激光掃描部2、以及加工臺53、空洞部57、泵58等。入口處外裝部件50a內(nèi)部收納卷供給部50。出口處外裝部件60a內(nèi)部收納卷排除部60。作業(yè)者實施如下作業(yè)：打開入口處外裝部件50a，將卷繞為卷形的加工處理前加工對象物35設置到內(nèi)部的卷供給部50上，以及，打開出口處外裝部件60a，從內(nèi)部的卷排除部60取出被卷繞為卷形的經(jīng)過加工處理的加工對象物35，等作業(yè)。

本實施方式的激光圖案加工裝置從入口處外裝部件50a內(nèi)的卷供給部50拉出加工對象物35，并將被拉出的加工對象部分引入主機外裝部件100a內(nèi)部，實施激光L的圖案加工處理。而后，經(jīng)過處理的加工對象部分被從主機外裝部件100a的內(nèi)部排出，由出口處外裝部件60a內(nèi)的卷排出部60卷入。為此，加工對象物35相對于主機外裝部件100a的移動路徑為，從入口處外裝部件50a一方(入口處)引入加工對象物35，再從出口處外設部件60一方(出口處)排出經(jīng)過處理的加工對象物35。

主機外裝部件100a為中空結(jié)構(gòu)，從外部遮蔽上述處理部的周圍區(qū)域中沿著該移動路徑的整個外周部分，并在入口處(入口處外裝部件50a一方)和出口處(出口處外裝部件60a一方)設有開口。本實施方式中設有入口處外裝部件50a，用于堵住主機外裝部件100a的入口開口，入口處外裝部件50a內(nèi)部通往主機外裝部件100a內(nèi)部。同樣，還設有出口處外設部件50a，用于堵住主機外裝部件100a的出口開口，出口處外設部件50a內(nèi)部通往主機外裝部件100a內(nèi)部。

本實施方式的主機外裝部件100a采用上述結(jié)構(gòu)，形成本激光圖案加工裝置的隧道形外觀，入口處和出口處之間貫通。具有上述隧道形外觀至少便于作業(yè)者掌握本激光圖案加工裝置的入口處和出口處。此時，無法區(qū)別出口處和入口處雖然問題不大，但是優(yōu)選方便作業(yè)者根據(jù)外觀識別入口處和出口處。

其結(jié)果，本實施方式的主機外裝部件100a通過采用上述結(jié)構(gòu)，能夠讓作業(yè)者聯(lián)想到如圖10所示的處理過程，即從通道100a′的入口引入尚未處理的加工對象物35′，通過通道100a′，排出經(jīng)過處理的加工對象物35′，從而便于作業(yè)者掌握加工對象物35在本激光圖案加工裝置中的動作或流程。

很明顯，如果作業(yè)者未能掌握加工對象物在本激光圖案加工裝置中的動作或流程，則會造成該激光圖案加工裝置的非熟練作業(yè)者作業(yè)效率下降。由此可知，本激光圖案加工裝置容易讓作業(yè)者掌握入口處和出口處，有利于作業(yè)者掌握加工對象物35在本激光圖案加工裝置中的動作和流程，從而有效防止該激光圖案加工裝置的非熟練作業(yè)者作業(yè)效率下降。

本實施方式用入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a分別堵住主機外裝部件100a的入口開口和出口開口，該結(jié)構(gòu)與主機外裝部件100a的入口開口和出口開口未被其他部件(入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a)堵住的構(gòu)成相比，本激光圖案加工裝置的外觀呈隧道形，作業(yè)者難以辨別入口處和出口處。

對此，本實施方式使得主機外裝部件100a的外壁表面顏色的亮度大于堵住入口開口和出口開口的其他外設部件，即入口處外設部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面顏色的亮度，用以讓作業(yè)者辨別呈隧道形的本激光圖案加工裝置的外觀。不同的亮度能夠讓作業(yè)者認識到，主機外裝部件100a的外壁表面比入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面更加醒目。其結(jié)果，本激光圖案加工裝置的外觀因其外壁表面部分更加醒目，便于作業(yè)者識別主機外裝部件100a的隧道形狀。

本實施方式的主機外裝部件100a的外壁表面顏色亮度為8.8，入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面顏色亮度為4.5。但是，本發(fā)明并不受到本實施方式的限制。優(yōu)選主機外裝部件100a的外壁表面顏色亮度B1與入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面顏色亮度B2的比率(B1/B2)為1.6以上。另外，優(yōu)選主機外裝部件100a的外壁表面顏色亮度B1與入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面顏色亮度B2之差為2.0以上，進一步優(yōu)選為4.0以上。關于各種顏色亮度的范圍，例如優(yōu)選主機外裝部件100a的外壁表面顏色亮度為8.0以上，入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面顏色亮度為5.0以下。進一步優(yōu)選入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面顏色亮度4.0以下。

此處的亮度關系只要主機外裝部件100a的外壁表面比入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面更加醒目便可。因而，如本激光圖案加工裝置的正視圖(從圖9的圖面方向觀察)等，從特定方向觀察本激光圖案加工裝置時滿足上述關系便可。還可以在入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面或者主機外裝部件100a的外壁表面之間亮度不同時，以亮度的平均值等為指標值來設定上述亮度關系。

尤其是在本激光圖案加工裝置的正視圖(從圖9的圖面方向觀察)中，入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面或者主機外裝部件100a的外壁表面的一部分上會施加制造廠商的圖標等標志或設計圖案等。在這種情況下，即便這些外壁表面的底色的亮度滿足上述關系，而如果外壁表面上上述標志或設計圖案等顯示部分在占有面積相當大，也無法充分發(fā)揮主機外裝部件100a外壁表面的醒目效果，為此，優(yōu)選滿足上述亮度關系(條件)的底色需要達到從正面觀察到的整個外壁表面的至少80％以上。

本實施方式的激光圖案加工裝置的外觀呈隧道形，具有作業(yè)者容易辨認的效果，在此基礎上，主機外裝部件100a以及入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面如果是單一顏色，而不是圖案，容易辨認的效果更為良好。此時，優(yōu)選正視觀察到的整個外壁表面的90％以上為同一種顏色。

本實施方式中，激光圖案加工裝置被形成為，正視觀察時，入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的高度低于呈隧道形狀的主機外裝部件100a，用于便于作業(yè)者辨認呈隧道形狀的激光圖案加工裝置外觀。而且在從入口處一側(cè)和出口一側(cè)處觀察時，隧道形主機外裝部件100a的外觀形狀的內(nèi)側(cè)形成為能夠收納入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a。該尺寸關系能夠使得作業(yè)者聯(lián)想到，形狀與入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a相似的物體貫穿于形狀與主機外裝部件100a相似的隧道。其結(jié)果，更加便于作業(yè)者識別主機外裝部件100a所呈的隧道形狀。

另一方面，關于主機外裝部件100a與入口處外裝部件50a以及出口處外裝部件60a之間在正視面上的高度或者從入口處以及出口處觀察到的外形大小，也可以形成為沒有差異。在這種情況下，統(tǒng)一主機外裝部件100a與入口處外裝部件50a以及出口處外裝部件60a的外觀，使得作業(yè)者能夠認識到是一個隧道形狀。在這種情況下，用呈隧道形狀的外裝部件來統(tǒng)一構(gòu)成主機外裝部件100a和入口處外裝部件50a以及出口處外裝部件60a。當然，主機外裝部件100a的外壁表面與入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面也可以滿足上述亮度關系，使得主機外裝部件100a的外壁表面比入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a的外壁表面更加醒目。

在本實施方式中，為了便于作業(yè)者辨認激光圖案加工裝置的外觀，主機外裝部件100a中與加工對象物35在該主機外裝部件100a中的移動路徑(從入口處到出口處的方向)大致平行延伸的角部100b被形成為圓角形狀。這樣，與非圓角形的角部100b相比，更加能夠強調(diào)通過該移動路徑的隧道形狀，進一步有利于作業(yè)者辨認主機外裝部件100a的隧道形狀。

圖11是對加工對象物35依次實施規(guī)定處理的加工對象處理系統(tǒng)的示意圖。

在本加工對象處理系統(tǒng)中，按照對加工對象物35依次實施的各項處理的處理順序、以及加工對象物35在各臺處理裝置中的動作和處理流程的朝向，排列設置的多個處理裝置。構(gòu)成該加工對象處理系統(tǒng)的多個處理裝置中至少有一臺處理裝置，優(yōu)選所有處理裝置具有與本實施方式的激光圖案加工裝置相同的結(jié)構(gòu)。也就是說，雖然各臺處理裝置實施處理的內(nèi)容互不相同，但是在從外裝部件入口導入的加工對象物35被收納在外裝部件內(nèi)部的處理部接收，經(jīng)過該處理部實施規(guī)定處理后，從外裝部件出口處排出，在這一點上，與本實施方式的激光圖案加工裝置結(jié)構(gòu)相同。

如上述加工對象處理系統(tǒng)，具有至少一臺處理裝置具有與本實施方式的激光圖案加工裝置相同的結(jié)構(gòu)，這樣，作業(yè)者能夠聯(lián)想到該至少一臺處理裝置如圖10所示，加工對象物35通過隧道100a′。其結(jié)果是有利于作業(yè)者掌握加工對象物在整個加工對象處理系統(tǒng)中的動作和處理流程。尤其是，所有處理裝置具有與本實施方式的激光圖案加工裝置相同的結(jié)構(gòu)，在這種情況下如圖11所示，作業(yè)者容易聯(lián)想到加工對象物35通過各處理裝置的外裝部件構(gòu)成的隧道200A′、200B′、200C′、200D′、200E′，更加容易掌握加工對象物在整個加工對象處理系統(tǒng)中的動作和處理流程。而如果加工對象物在整個加工對象處理系統(tǒng)中的動作和處理流程容易掌握，則有望提高作業(yè)者單獨負責操作多個處理裝置時的作業(yè)效率。

各臺處理裝置的處理內(nèi)容各不相同，例如本加工對象處理系統(tǒng)包含：加工對象物35的檢料裝置、加工對象物35的輸送裝置、對加工對象物35實施各種處理的處理裝置、以及加工對象物35的檢查裝置等。

關于前一個處理裝置中的處理結(jié)束后加工對象物移動到下一個處理裝置的方法，既可以是作業(yè)者手動作業(yè)，也可以用輸送帶等輸送裝置輸送。

本實施方式的隧道形主機外裝部件100a具有中空結(jié)構(gòu)，從外部遮蔽沿著加工對象無35從入口移動到出口的移動路徑的整個外周部分，并且入口處和出口處設有開口。但是本發(fā)明并不受此限制。還可以例如構(gòu)成為，從外部遮蔽主機外裝部件中沿著該移動路徑的外周部分中至少側(cè)面部分(正面一方的外壁表面)，并且不從外部遮蔽入口處和出口處。在這種情況下，該主機外裝部件利用激光圖案加工裝置的設置場所的地面、壁面或房頂面中至少一個面，構(gòu)成入口處和出口處開口的中空結(jié)構(gòu)。此時，也能夠讓作業(yè)者聯(lián)想到加工對象物35通過隧道100a′，更便于掌握加工對象物35在整個加工對象處理系統(tǒng)中的動作和處理流程。

以上僅描述了一個例子，本發(fā)明以下各種方式均具有其特有的效果。

[方式A]

一種處理裝置，如激光圖案加工裝置等，用于將加工對象物35等處理對象物導入處理部，如激光輸出部1和激光掃描部2等，由該處理部對該處理對象物實施規(guī)定處理，如激光圖案加工等的處理對象物之后，排出經(jīng)過該規(guī)定處理的處理對象物，所述處理裝置的特征在于，具有內(nèi)部收納所述處理部的第一外裝部件，如主機外裝部件100a等，所述第一外裝部件為中空結(jié)構(gòu)，從外部遮蔽所述處理部的周圍區(qū)域之中沿著所述處理對象物從入口處移動到出口處的移動路徑的整個外周部分，該入口處和該出口處上設有開口。

現(xiàn)有處理裝置很少考慮如何提高該處理裝置作業(yè)的非熟練作業(yè)者作業(yè)效率的問題。對此，上述方式A從此觀點出發(fā)進行了探討。其結(jié)果發(fā)現(xiàn)，對該處理裝置作業(yè)生疏的作業(yè)者作業(yè)效率差的原因在于作業(yè)者難以掌握處理對象物在處理裝置中的動作和流程。尤其是非熟練作業(yè)者對停止處理的處理裝置進行作業(yè)時，處理對象物的動作和處理流程停止，僅靠觀察在此狀態(tài)下的處理裝置難以掌握處理對象物在該處理裝置中的動作和流程，使得非熟練作業(yè)者容易發(fā)生作業(yè)效率下降。

而在本方式中，由于外裝部件內(nèi)部收納處理部，該處理裝置的外觀呈貫通入口處和出口處的隧道形狀。該隧道形狀的外觀便于作業(yè)者以直覺掌握處理對象物在該處理裝置中的動作和流程，為此，相對于現(xiàn)有處理裝置難以掌握處理對象物在該處理裝置中的動作和流程，本方式能夠抑制非熟練作業(yè)者作業(yè)效率低下。

[方式B]

一種處理裝置，如激光圖案加工裝置等，用于將加工對象物35等處理對象物導入處理部，如激光輸出部1和激光掃描部2等，由該處理部對該處理對象物實施規(guī)定處理，如激光圖案加工等的處理對象物之后，排出經(jīng)過該規(guī)定處理的處理對象物，所述處理裝置的特征在于，具有內(nèi)部收納所述處理部的主機外裝部件100a等第一外裝部件，所述第一外裝部件構(gòu)成為，從外部遮蔽所述處理部的周圍區(qū)域之中沿著所述處理對象物從入口處移動到出口處的移動路徑的外周部分中至少側(cè)面部分，但不從外部遮蔽該入口處和該出口處，進而，與所述處理裝置的設置場所的地面、壁面或者屋頂面中至少一個面一起，構(gòu)成在所述入口處和所述開口處設有開口的中空結(jié)構(gòu)。

本方式也便于作業(yè)者識別用第一外裝部件構(gòu)成、具有貫穿于入口處到出口處的隧道形狀的該處理裝置的外觀。該隧道形外觀便于作業(yè)者以直覺掌握處理對象物在該處理裝置中的動作和流程，為此，相對于現(xiàn)有處理裝置難以掌握處理對象物在該處理裝置中的動作和流程，本方式能夠抑制非熟練作業(yè)者作業(yè)效率降低。

[方式C]

根據(jù)方式A或方式B的處理裝置，其特征在于，進一步具有設于所述第一外裝部件的入口處和出口處中至少一方的第二外裝部件，如入口處外裝部件50a和出口處外裝部件60a，所述第二外裝部件的外壁表面顏色亮度低于所述第一外裝部件的外壁表面顏色亮度。

相比于未設上述第二外裝部件的構(gòu)成(只設置第一外裝部件的構(gòu)成)，在第一外裝部件的入口處和出口處中至少一方設置第二外裝部件，作業(yè)者相對不易識別隧道形本處理裝置的外觀。

而本方式的第一外裝部件的外壁表面的顏色的亮度高于第二外裝部件的外壁表面的顏色的亮度，為此，對作業(yè)者來說，第一外裝部件的外壁表面比第二外裝部件的外壁表面更加醒目。其結(jié)果，本處理裝置即便在第一外裝部件的入口處和出口處中至少一方設置第二外裝部件，作業(yè)者也能夠識別該第一外裝部件的隧道形外觀。

[方式D]

根據(jù)方式C的處理裝置，其特征在于，所述第一外裝部件的外壁表面顏色亮度與所述第二外裝部件的外壁表面顏色亮度的比率為1.6以上。

本方式的處理裝置即便是在第一外裝部件的入口處和出口處中至少一方設置第二外裝部件的情況下，也因該第一外裝部件的外壁表面十分醒目，方便作業(yè)者識別該第一外裝部件的隧道形外觀。

[方式E]

根據(jù)方式C或D的處理裝置，其特征在于，所述第一外裝部件的外壁表面顏色亮度與所述第二外裝部件的外壁表面顏色亮度之間相差2.0以上。

本方式的處理裝置即便是在第一外裝部件的入口處和出口處中至少一方設置第二外裝部件的情況下，也因該外裝部件的外壁表面十分醒目，方便作業(yè)者識別該外裝部件的隧道形外觀。

[方式F]

根據(jù)方式E的處理裝置，其特征在于，所述第一外裝部件的外壁表面的顏色的亮度與所述第二外裝部件的外壁表面的顏色的亮度之間相差4.0以上。

本方式的處理裝置進一步方便作業(yè)者識別該第一外裝部件的隧道形狀。

[方式G]

根據(jù)方式C至F中任意一項處理裝置，其特征在于，在從所述移動路徑的側(cè)面看到的所述第一外裝部件以及所述第二外裝部件之中任意一方的外壁表面上，滿足所述外壁表面顏色亮度的條件的外壁表面部分所占面積為80％以上。

本方式在從所述移動路徑的側(cè)面看到的所述第一外裝部件和所述第二外裝部件的外壁表面上被部分施加制造廠商的標志等標記或設計圖案等情況下，該第一外裝部件的外壁表面也會十分醒目，便于作業(yè)者識別該外裝部件構(gòu)成的隧道形狀。

[方式H]

根據(jù)方式C至G中任意一項處理裝置，其特征在于，在從所述移動路徑的側(cè)面看到的所述第一外裝部件以及所述第二外裝部件之中任意一方的外壁表面上90％以上的面積為同一種顏色。

本方式在從所述移動路徑的側(cè)面看到的所述第一外裝部件和所述第二外裝部件的外壁表面上被部分施加制造廠商的標志等標記或設計圖案等情況下，該外裝部件的外壁表面也十分醒目，便于作業(yè)者識別該外裝部件構(gòu)成的隧道形狀。

[方式I]

根據(jù)方式A至H中任意一項處理裝置，其特征在于，所述第一外裝部件中平行于所述移動路徑延伸的角部為圓角形。

本方式的處理裝置方便作業(yè)者識別該第一外裝部件的隧道形狀。

[方式J]

根據(jù)方式A至I中任意一項處理裝置，其特征在于，所述移動路徑為直線路徑。

本方式的處理裝置方便作業(yè)者識別該外裝部件構(gòu)成的隧道形狀。

[方式K]

根據(jù)方式A至J中任意一項處理裝置，其特征在于，所述處理部實施光加工處理，將光源發(fā)射的加工光照射到所述處理對象物上，對該處理對象物實施光加工處理。

本方式能夠抑制光加工裝置的非熟練作業(yè)者作業(yè)效率下降。

[方式L]

一種處理系統(tǒng)，其中多臺處理裝置對同一個處理對象物依次實施規(guī)定處理，其特征在于，所述多臺處理裝置中至少一臺處理裝置采用所述方式A至K中任意一種方式的處理裝置。

本方式能夠使得作業(yè)者直覺掌握處理對象物在整個處理系統(tǒng)中的動作和處理流程，與難以掌握處理對象物的動作和處理流程的情況相比，能夠抑制光加工裝置的非熟練作業(yè)者作業(yè)效率下降。尤其是當一位作業(yè)者負責多臺處理裝置時，有望發(fā)揮提高作業(yè)效率的作用。