技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及一種電化學(xué)加工裝置，包括底座、電解槽以及朝向電解槽的加工電極；所述底座上設(shè)有驅(qū)動(dòng)所述電解槽X向運(yùn)動(dòng)的X向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和Y向運(yùn)動(dòng)的Y向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，以及驅(qū)動(dòng)所述加工電極Z向運(yùn)動(dòng)的Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上連接有驅(qū)動(dòng)所述加工電極三自由度微動(dòng)的微動(dòng)平臺(tái)，所述微動(dòng)平臺(tái)包括與所述Z向運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接的X向微動(dòng)平臺(tái)、與所述X向微動(dòng)平臺(tái)連接的Y向微動(dòng)平臺(tái)，以及與所述Y向微動(dòng)平臺(tái)連接的Z向微動(dòng)平臺(tái)，所述X向微動(dòng)平臺(tái)、Y向微動(dòng)平臺(tái)與Z向微動(dòng)平臺(tái)均包括臺(tái)體和設(shè)置在臺(tái)體內(nèi)的動(dòng)臺(tái)體，所述動(dòng)臺(tái)體的各外側(cè)壁與所述臺(tái)體的各內(nèi)側(cè)壁之間均連接有柔性鉸鏈，所述臺(tái)體上連接有驅(qū)動(dòng)所述動(dòng)臺(tái)體直線微動(dòng)的壓電陶瓷。

技術(shù)研發(fā)人員：鐘博文
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州大學(xué)
文檔號(hào)碼：201620838641
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.04
技術(shù)公布日：2017.05.31