1.一種全自動植球裝置，其特征在于，該裝置包括供球機(jī)構(gòu)、植球網(wǎng)板(5)及六軸機(jī)械手(7)，
所述的供球機(jī)構(gòu)包括供球盒(4)、供球管(1)、供球氣缸(2)及直線模組(8)，所述的供球盒(4)可拆卸式連接在直線模組(8)上，與供球管(1)連通，所述的供球氣缸(2)開閉動作使供球盒(4)中的焊錫球通過供球管(1)均勻分布在植球網(wǎng)板(5)的一側(cè)，
所述的植球網(wǎng)板(5)上加工與晶圓PAD點(diǎn)相對應(yīng)、用于錫球漏入的網(wǎng)孔，
所述的六軸機(jī)械手(7)固定在植球網(wǎng)板(5)旁側(cè)，通過植球刮板(6)沿設(shè)定路徑將供球機(jī)構(gòu)供應(yīng)的焊錫球通過植球網(wǎng)板(5)植到晶圓上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動植球裝置，其特征在于，所述的供球氣缸(2)控制供球管(1)在Z向的自由度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動植球裝置，其特征在于，所述的直線模組(8)控制供球管(1)在X向的自由度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動植球裝置，其特征在于，所述的供球機(jī)構(gòu)還包括檢測供球盒(4)中焊錫球數(shù)量的錫球余量檢測傳感器(3)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動植球裝置，其特征在于，所述的植球網(wǎng)板(5)上設(shè)有多個檢測焊錫球植入量的激光傳感器(12)。