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光加工裝置的制作方法

文檔序號(hào):12788690閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及光加工裝置,其目的在于改善輸送部間歇性輸送加工對(duì)象物時(shí)發(fā)生的停止位置偏離造成的加工位置偏離。本發(fā)明的光加工裝置具有向加工區(qū)域(36)照射加工光(L)的光源(11)、向輸送方向(B)間歇輸送加工對(duì)象物(35)而使加工對(duì)象物上的被加工部分依次送入加工區(qū)域的輸送部(32)、以及在被加工部分停止在加工區(qū)域上的狀態(tài)下根據(jù)加工數(shù)據(jù)控制工光加工被加工部分的加工控制部(40),進(jìn)一步具有在被加工部分停止在加工區(qū)域上時(shí)檢測(cè)加工對(duì)象物上的檢測(cè)用標(biāo)記(37)的位置的位置檢測(cè)部(33、34),加工控制部(40)根據(jù)位置檢測(cè)部的檢測(cè)結(jié)果,補(bǔ)償輸送部輸送的加工對(duì)象物的停止位置偏離造成的加工位置偏離。

技術(shù)研發(fā)人員:中島智宏;中村涼真;杉浦康一
受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會(huì)社理光
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.20
技術(shù)公布日:2017.07.04
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