本發(fā)明涉及光加工裝置。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的光加工裝置在用加工光對長加工對象物的被加工部分進行加工時，間歇性輸送加工對象物，將加工對象物的被加工部分依次送入用加工光加工的加工區(qū)域，在加工對象物停止輸送期間中，對處于加工區(qū)域內(nèi)的被加工部分進行光加工。

例如，專利文獻1(jp特2003-205384號公報)公開了一種激光加工裝置。該激光加工裝置對從保持卷繞成卷狀的長加工對象物的加工對象物供給部拉出加工對象物，并使得該加工對象物的被加工部分向激光加工區(qū)域移動，用激光對該加工對象物的被加工部分進行激光加工。該激光加工裝置用掃描振鏡(光掃描裝置)進行二維掃描，向加工區(qū)域(光掃描范圍)內(nèi)的加工對象物的被加工部分照射光源發(fā)射的激光光束(加工光)，對加工對象物上的ito薄膜實施圖案加工，或者對以金屬薄板形成的加工對象物本身實行切削加工。加工結(jié)束后，激光加工裝置進一步拉出加工對象物，使得下一被加工部分移動到加工區(qū)域，對該被加工部分進行激光加工。如此，激光加工裝置反復(fù)進行上述加工處理。

上述光加工裝置通過間歇性地輸送加工對象物，將加工對象物的被加工部分依次送入加工區(qū)域，并在加工對象物停止輸送期間，對進入加工區(qū)域的被加工對象部分進行光加工。但是，出于輸送裝置的輸送誤差，可能發(fā)生停止位置偏離問題，即加工對象物的停止位置偏離目標位置。如果發(fā)生這樣的停止位置偏位，受到加工光照射的被加工部分上的光照射位置便偏離需要加工的位置，從而發(fā)生加工位置偏離的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決上述問題，本發(fā)明的光加工裝置，其中具有：光照射部，用于向加工區(qū)域照射該加工光，其中具備發(fā)射加工光的光源；輸送部，用于向規(guī)定的輸送方向，間歇性地輸送加工對象物，將該加工對象物的被加工面上的被加工部分依次送入所述加工區(qū)域；以及，加工控制部，用于在所述加工對象物上的被加工部分停止在所述加工區(qū)域上的狀態(tài)下，根據(jù)加工數(shù)據(jù)，實行加工控制，用所述光源照射的加工光加工該被加工部分，其特征在于，具有位置檢測部，用于在所述加工對象物上的被加工部分停止在所述加工區(qū)域上時，檢測設(shè)于該加工對象物上的檢測用標記的位置，所述加工控制部根據(jù)所述位置檢測部的檢測結(jié)果，補償所述輸送部輸送的加工對象物的停止位置偏離所造成的加工位置偏離。

本發(fā)明對于改善加工對象物的停止位置偏離所造成的加工位置偏離具有優(yōu)異的效果。

附圖說明

圖1是實施方式的激光圖案加工裝置的主要部分的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是上述激光圖案加工裝置中的激光發(fā)振器的一例示意圖。

圖3是上述激光圖案加工裝置中的光掃描裝置的變形例的示意圖。

圖4是上述激光圖案加工裝置中的加工對象輸送部的一例示意圖。

圖5是上述激光圖案加工裝置中的加工對象輸送部的另一例示意圖。

圖6是上述激光圖案加工裝置中載體分別位于主掃描方向上不同位置時的激光光路的示意圖。

圖7是在載體未搭載掃描振鏡的變形例中載體分別位于主掃描方向上不同位置時的激光光路的示意圖。

圖8是實施方式的激光圖案加工裝置實行圖案加工處理的一例流程圖。

圖9是一例加工對象物停止狀態(tài)下定位標記的中心位置與目標位置o之間偏離的示意圖。

圖10是載體停止時的載體的姿勢偏離的示意圖。

圖11是依次對將加工對象物的被加工面分割為12塊被加工部分實行加工處理時的加工順序說明圖。

圖12是各塊被加工部分之間需要保持連續(xù)的一例布線圖案示意圖。

圖13是用來描述改善定位標記位置誤差造成載體姿勢偏離量發(fā)生誤差的示意圖。

圖14是變形例的圖案加工處理的流程圖。

具體實施方式

以下描述一例將本發(fā)明涉及的光加工裝置應(yīng)用到激光圖案加工裝置的實施方式。

本發(fā)明涉及的激光圖案加工裝置的加工對象物是在基體上形成ito薄膜，通過激光(加工光)照射該加工對象物上的ito薄膜，去除一部分ito薄膜，對ito薄膜實施圖案加工。但是，本發(fā)明涉及的光加工裝置不受本實施方式1涉及的激光圖案加工裝置的限制，同樣可以適用于加工其他圖案的加工裝置、切削加工等其他加工處理裝置、以及用激光以外的光作為加工光進行加工的裝置等等。

實施方式

圖1是本實施方式1的激光圖案加工裝置的主要部分的結(jié)構(gòu)示意圖。

本實施方式1的激光圖案加工裝置具備激光輸出部1、激光掃描部2、加工對象輸送部3、以及控制部4。

激光輸出部1具有作為光源的激光起振器11和光擴束器12。光擴束器12用來擴大從激光起振器11輸出、作為加工光的激光l的光束直徑。

激光掃描部2具有作為會聚部的fθ透鏡22，該fθ透鏡22用來將通過掃描振鏡(galvanometericscanner)21、22掃描的激光l會聚到加工對象物35表面(被加工面)或者基體與ito薄膜之間的界面等加工對象物內(nèi)部(與加工對象物表面相距規(guī)定深度的部位)，其中的掃描振鏡21、22是用來通過步進電機21b驅(qū)動轉(zhuǎn)動反射激光l的x軸向掃描用和y軸向掃描用的兩個galvano反射鏡21a，用以使得激光l在x軸向和y軸向進行掃描的光掃描裝置。

加工對象輸送部3具有使得加工對象物35在副掃描方向(y軸向)上移動的一對輸送輥對32，用該輸送輥對32夾持加工對象物35沿著副掃描方向輸送。

激光輸出部1的激光起振器11受到激光驅(qū)動部10的控制。具體為，激光驅(qū)動部10控制與激光掃描部2的掃描振鏡21的掃描動作連動的激光起振器11的發(fā)光?？梢允褂脤w的熱作用引起的損耗較少的100ns以下的脈沖發(fā)振發(fā)生的脈沖光纖激光器作為激光起振器11，也可以使用其它光源。

圖2是本實施方式1的激光起振器11的一例結(jié)構(gòu)模塊圖。

本實施方式1的激光起振器11是被稱為mopa(masteroscillatorpoweramplifier)的脈沖光纖激光器。該激光起振器11用脈沖發(fā)生器73使得光源ld74脈沖發(fā)振，生成光源光。激光起振器11包含用光纖增幅器進行多階段增幅的脈沖引擎部70、引導(dǎo)從脈沖引擎部70輸出的激光l的輸出光纖71、以及用準直光學(xué)系統(tǒng)83作為平行光束形成部而使得激光l大致成為平行光束射出的輸出頭部72。本實施方式1中，只有輸出頭部72被設(shè)置在激光輸出部1中。

脈沖引擎部70包含具有光纖78、勵起ld76、耦合器77的前置增幅部、以及具有光纖82、勵起ld80、耦合器81的主增幅部。光纖為光纖芯摻稀土元素的雙包層結(jié)構(gòu)，通過來自勵起ld76吸收勵起光，在光纖的輸出端和入射端設(shè)置的反射鏡之間來回反射，直到激光發(fā)振。圖2中標記79表示遮擋逆向光的隔離部，標記79表示用來去除ase光的帶通濾波器。

本實施方式1用近紅外的1064nm作為光源ld74的波長。除此之外，也可以根據(jù)加工對象物的材料，選擇第二高諧波的532nm、第三高諧波的355nm等各種合適的波長。此外，激光起振器11還可以使用固體激光器，如用勵起光照射以釩酸釔結(jié)晶形成激光媒體，產(chǎn)生激光振發(fā)的yvo4等。

激光掃描部2的掃描振鏡21中，各臺用來轉(zhuǎn)動x軸向掃描用和y軸向掃描用的各臺galvano反射鏡21a的步進電機21b受掃描振鏡控制部20的控制。掃描振鏡控制部20根據(jù)構(gòu)成加工圖案的布線要素數(shù)據(jù)(線始點坐標和線終點坐標)，來控制各臺步進電機21b，改變相對于galvano反射鏡21a反射面的傾斜角度(反射面相對于入射反射面的激光的光軸的傾斜角度)，使該傾斜角度在平行于x軸向的方向或者平行于y軸向的方向上變化。這樣便使得各galvano反射鏡21a從掃描開始傾斜角度到掃描結(jié)束傾斜角度的轉(zhuǎn)動，能夠與線要素的始點和終點的x-y坐標相對應(yīng)。

本實施方式1中的x軸向掃描和y軸向掃描均采用掃描振鏡作為光掃描裝置，但是本發(fā)明并不受此限制，允許使用眾所周知的光掃描裝置。還可以對x軸向掃描用的光掃描裝置和y軸向掃描用的光掃描裝置采用不同的光掃描裝置。例如如圖3所示，以掃描振鏡21作為y軸向掃描用的掃描裝置，而對x軸向的掃描則以用電機91驅(qū)動多面鏡91a轉(zhuǎn)動的多面鏡掃描器91作為掃描裝置。此時如圖3所示，經(jīng)過多面鏡91a反射的激光l經(jīng)由透鏡92入射光學(xué)傳感器93，基于光學(xué)傳感器93的受光時間，來實行x軸向的光掃描控制。

載體25可以在主掃描方向(x軸向)移動，該載體25上搭載激光掃描部2。載體25被安裝在同步帶27上，該同步帶27被掛設(shè)在驅(qū)動滑輪27a和從動滑輪27b之間。驅(qū)動與驅(qū)動滑輪27a相連接的同步電機26，帶動同步帶27，使得同步帶27上的載體25沿著在主掃描方向延伸的線性導(dǎo)件29(參見圖4)，在主掃描方向(x軸向)上移動。根據(jù)線性編碼器28輸出的輸出信號(地址信號)，能夠檢測載體25在主掃描方向上的位置。步進電機26受主掃描控制部24控制。

本實施方式1采用利用同步帶的移動裝置作為搭載激光掃描部2的載體25的移動裝置，但是本發(fā)明不受此限制，還可以用直線定位平臺等可作直線移動的裝置來取而代之，或者使用可作二維移動的移動裝置。

加工對象物輸送部3具備以驅(qū)動輥32a和從動輥32b構(gòu)成的輸送輥對32。其中，驅(qū)動輥32a通過同步帶31a受到步進電機31驅(qū)動。步進電機31在副掃描控制部30的控制下，用輸送輥對32夾持加工對象物35，使該加工對象物35向副掃描方向(y軸向)上的輸送目標位置移動。加工對象物輸送部3間歇性地輸送加工對象物，將加工對象物35上的被加工部分依次送入激光掃描部2照射的激光l的掃描范圍。

具體如下。加工對象輸送部3具備作為位置檢測部的第一監(jiān)控相機33和第二監(jiān)控相機34，用來拍攝加工對象物35的主掃描方向上兩端附近的表面上形成的定位標記37。副掃描控制部30通過步進電機31逐步以微小量在加工件輸送方向b(副掃描方向)上漸進輸送加工對象物35，同時，依次取得第一監(jiān)控相機33和第二監(jiān)控相機34輸出的圖像數(shù)據(jù)。而后，通過圖案匹配處理等檢測定位標記37，計算距離輸送目標位置的加工對象移動量，根據(jù)該計算結(jié)果控制步進電機31，使得加工對象物35的副掃描方向位置移動到輸送目標位置。

圖4是一例加工對象輸送部3的結(jié)構(gòu)模塊圖。

本實施方式1的加工對象物35被卷繞在繞線軸51上，是長度大的卷形物。從繞線軸51拉出的加工對象部分沿著入口導(dǎo)板52受到輸送輥對32的夾持部夾持，在輸送輥對32的驅(qū)動下，從繞線軸51卷出后被設(shè)置到加工臺53上。加工臺53上形成無數(shù)細孔，用泵58抽出形成在加工臺53背面的空洞部57的空氣，將加工對象物35吸附在加工臺53表面，用以確保加工對象物35在加工區(qū)域36上的平面性。經(jīng)過加工的加工對象物被在主掃描方向移動的切割器54裁切為規(guī)定大小，而后被排放到托盤55中。

本實施方式1采用從卷到片的方式，將卷繞在繞線軸51上的加工對象物35從繞線軸51卷出，而后將經(jīng)過加工的加工對象物裁切為片排出。除此之外，也可以采用如圖5所示的從輥到輥的方式，將經(jīng)過加工的加工對象物卷繞成卷狀。

在圖5所示的例子中，經(jīng)過加工的加工對象物經(jīng)過一對清潔輥64清除附著于該加工對象物表面的加工塵后，被卷繞到繞線軸67上。使用黏貼輥65粘吸并回收吸附在清潔輥64上的加工塵。在圖5所示的例子中，為了保護加工后的加工對象物表面避免受到擦傷等，用復(fù)合薄膜貼在經(jīng)過加工的加工對象物35的上下表面，而后用繞線軸67卷繞。復(fù)合薄膜從復(fù)合薄膜輥66卷出后與經(jīng)過加工的加工對象物一起卷繞到繞線軸67上。

控制部4具備控制pc40，用來統(tǒng)一管理控制整個本激光圖案加工裝置?？刂苝c40與激光驅(qū)動器部10、掃描振鏡控制部20、主掃描控制部24、副掃描控制部30等相連接，管理各部的狀態(tài)，控制加工時序。

激光輸出部1的光擴束器12以多片透鏡構(gòu)成，激光光路上，與激光掃描部2的fθ透鏡22最接近的透鏡39的位置可以在激光的光軸軸向上移動。通過透鏡39的位置產(chǎn)生移動，能夠?qū)Υ钶d激光掃描部2的載體進行如以下將要描述的微調(diào)，使得載體停止在主掃描方向的各個停止目標位置上時的會聚距離一致。換言之，光擴束器12具有進行微調(diào)的調(diào)焦功能，使得入射掃描振鏡21的激光光束l成為平行光束。

此外還具備執(zhí)行器，用來根據(jù)主掃描方向上的各個停止目標位置，對透鏡39的位置進行單獨移動調(diào)整。通過使得各個停止目標位置的會聚距離成為可變距離，即便載體相對于被加工面的移動方向的平行度發(fā)生微小偏離，也能夠以良好的精度調(diào)整到fθ透鏡22的成像位置。

在本實施方式1中，激光l相對于加工對象物35的掃描范圍即加工區(qū)域36在x軸向和y軸向上各自的最大長度l可以用以下式(1)求出。在此，設(shè)fθ透鏡22的焦距為f，各galvano反射鏡21a的最大傾斜角度為θ(例如為±20°)，

l＝f×θ(1)

如式(1)所示，加工區(qū)域36的寬度受到掃描振鏡21的掃描范圍(galvano反射鏡21a的最大傾斜角度)的限制。在此，掃描振鏡21的掃描范圍越寬，加工對象物35上便越難獲得良好的會聚。因而，難以維持加工區(qū)域36內(nèi)的加工均勻性。由此可知，擴大掃描振鏡21的掃描范圍，即擴大galvano反射鏡21a的最大傾斜角度θ具有一定的局限性。因此，通過增加掃描振鏡21的掃描范圍(galvano反射鏡21a的最大傾斜角度)來加寬加工區(qū)域36的寬度具有局限性。

另一方面，由式(1)可知，增加fθ透鏡22的焦距f長度，可以加大加工區(qū)域36的寬度。但是，焦距f越大就需要將加工對象物35設(shè)置得離開fθ透鏡22越遠，會引起本激光圖案加工裝置大型化的問題。

而如果設(shè)步進電機21b的脈沖數(shù)為p，則x軸向和y軸向各自的加工分辨率σ可以用下式(2)求出。

σ＝f×(2π/p)(2)

在此，如式(2)所示，fθ透鏡22的焦距f越大，加工分辨率σ越小。由此可知，借助于高加工分辨率σ實現(xiàn)高精細加工與實現(xiàn)寬度更大的加工區(qū)域兩者互為妥協(xié)關(guān)系。為此，在考慮借助于加工分辨率時，通過加大焦距f來增加加工區(qū)域36的寬度也有局限性。

此外，還可以考慮設(shè)置移動機構(gòu)，移動機構(gòu)不僅能夠使得加工對象物35在副掃描方向(y軸向)移動，還可以在主掃描方向(x軸向)上移動。利用該移動機構(gòu)，能夠相對于加工區(qū)域36，依次在主掃描方向上更換送入加工對象物35的被加工部分，同時對各被加工部分實施加工處理，因此，能夠?qū)χ鲯呙璺较虻拈L度超過加工區(qū)域36的加工對象物實施加工處理。

但是，設(shè)置不僅能在副掃描方向(y軸向)而且能在主掃描方向(x軸向)移動加工對象物的移動機構(gòu)，將會導(dǎo)致本激光圖案加工裝置大型化。尤其是在本實施方式1中的加工對象物35是副掃描方向長度超過加工區(qū)域36的大型加工對象物，如果要進一步在主掃描方向(x軸向)移動這種大型加工對象物，則需要大型移動機構(gòu)。而且這樣的大型移動機構(gòu)具有相當大的重量，因而慣性大，難以高速移動，因此還存在降低生產(chǎn)效率的問題。

對此，本實施方式1采用在主掃描方向(x軸向)上移動激光l的掃描范圍，而不是移動加工對象物35的構(gòu)成。具體如下。載體25搭載激光掃描部2，使得激光掃描部2能夠在主掃描方向上移動。這樣，不需要在主掃描方向上移動加工對象物35，而是用受到掃描振鏡21掃描的激光l來掃描加工對象物表面的范圍，即加工區(qū)域36，相對于加工對象物35在主掃描方向上相對移動。據(jù)此，能夠依次使得加工對象物35的被加工部分移動到加工區(qū)域36，實施加工處理，主掃描方向(x軸向)的加工區(qū)域36寬度即便狹窄，也能夠?qū)挾瘸^該加工區(qū)域35寬度的大型加工對象物35，實施加工處理。

本實施方式1不需要增大加工區(qū)域，便能夠?qū)Τ^加工區(qū)域36的大型加工對象物35實施加工處理，其結(jié)果，有利于保持高加工分辨率σ，實現(xiàn)大型加工對象物35的高度精密加工。而且，在本實施方式1中，作為主掃描方向移動手段的載體25上搭載的搭載物實際上只有激光掃描部2，即只有掃描振鏡21和fθ透鏡22。該搭載物的重量與加工對象物35相比十分輕，因而有利于載體25在主掃描方向的高速移動，提高生產(chǎn)效率。

此外，作為載體25上搭載的搭載物，至少只要搭載作為構(gòu)成加工光射出部的聚光部的fθ透鏡22便可。因此最輕型的構(gòu)成為載體25上只搭載fθ透鏡22。另一方面，如果是與加工對象物35相比重量較輕的元件，這些元件也可以與fθ透鏡22一起搭載于載體25。例如如本實施方式，載體25上可以搭載掃描振鏡21等光掃描裝置，還可以搭載一部分激光輸出部1的或整個激光輸出部1。

本實施方式1中，入射在主掃描方向上移動的載體25的激光l的光路，即從激光輸出部1輸出的激光l的光路，平行于x軸向。為此，如圖7所示，無論載體移動到主掃描方向(x軸向)上的任何位置，從激光輸出部1輸出的激光l都入射到載體25上的相同位置。據(jù)此，即便載體25在主掃描方向(x軸向)上移動，入射載體25后的激光l的光路仍然相同，在對主掃描方向上互不相同的加工區(qū)域36-1和36-2實施加工處理時，能夠?qū)嵤┫嗤募庸ぬ幚怼?/p>

但是在本實施方式1中，載體25移動后，入射載體25之前的激光l的光路長度發(fā)生變化。為此，入射載體25的激光l如果是非平行收束光，則隨著載體25在主掃描方向上的位置不同，照射加工對象物35的激光l的焦點將發(fā)生變化，加工對象物35上的激光l的光束徑大小變動等，從而對加工精度產(chǎn)生影響。

對此在本實施方式1中，激光起振器11輸出的激光l大致為平行光束，經(jīng)由兩個反射鏡14和15反射后從光擴束器12射出，再通過反射鏡16的反射從激光輸出部1輸出的激光l也大致是平行光束。因此，入射載體25的激光l如果大致平行收束，則即便載體25移動后在主掃描方向上的位置發(fā)生變化，照射到加工對象物35上的激光l的焦點也不會發(fā)生實質(zhì)性變化，從而不會發(fā)生加工對象物35上的激光l的光束徑變動等影響。為此，對于主掃描方向上互相不同的加工區(qū)域36-1和36-2上實施加工處理時，可以用相同的加工精度來實施加工處理，而不需要進行焦點調(diào)整等作業(yè)，有利于提高生產(chǎn)效率。

但是，如果載體2上除激光掃描部2以外，還搭載整個激光輸出部1，即載體25上搭載激光起振器11等光源本身，則即便載體25移動，照射到加工對象物35上的激光l的焦點也不會發(fā)生變動，然而，載體25上的搭載物重量增大，為此需要考慮載體25難以高速移動的問題。光源的重量一般大于其它元件的重量，通常載體25上不搭載光源，用以有效降低載體25的慣性，實現(xiàn)載體25的高速移動，提高生產(chǎn)效率。

另一方面，為了減小載體25上搭載物的重量，如圖7所示，也可以考慮載體25上不搭載掃描振鏡21等光掃描裝置。在圖7所示的構(gòu)成中，激光輸出部1’輸出的激光l通過固定設(shè)置的激光掃描部2’中的掃描振鏡21，在與x軸向平行的方向和y軸向平行的方向上掃描。如此掃描的激光l通過準直鏡61等使得光束變?yōu)槠叫泄馐脑艿焦馐叫谢幚恚蔀槠叫杏趚軸向的平行光束后，從激光掃描部2’射出。從激光掃描部2’輸出后成為大致平行光束的掃描后激光l相對于載體25沿x軸向入射，受到載體25上的反射鏡16’的反射后，在作為聚光部件的fθ透鏡22的引導(dǎo)下，會聚到加工對象物35上。

即便是圖7所示的構(gòu)成，由于入射載體25的激光l大致平行收束，因而不管載體25發(fā)生移動而在主掃描方向上的位置發(fā)生變動，照射到加工對象物35上的激光l的焦點也不會發(fā)生實質(zhì)性變化，從而不會發(fā)生加工對象物35上的激光l的光束徑變動等影響。為此，在主掃描方向上互相不同的加工區(qū)域36-1和36-2上實施加工處理時，不需要進行焦點調(diào)整等作業(yè)，可以用相同的加工精度來實施加工處理，有利于提高生產(chǎn)效率。

圖8是本實施方式1的激光圖案加工裝置實行圖案加工處理的一例流程圖。

首先，按照控制pc40的控制指令，副掃描控制部30控制步進電機31，使得加工對象物35沿著副掃描方向，向加工對象輸送方向b移動(s1)。而后，在加工對象物35表面上形成的定位標記37移動到第一監(jiān)視相機33和第二監(jiān)視相機34的攝像區(qū)域后，從第一監(jiān)視相機33和第二監(jiān)視相機34的圖像數(shù)據(jù)中檢測定位標記37(s2)。控制pc40計算定位標記37的檢測結(jié)果到輸送目標位置之間的加工對象物移動量，根據(jù)該計算結(jié)果，來使得副掃描控制部30控制步進電機31。據(jù)此，在副掃描方向上移動的加工對象物35停止在輸送目標位置上。

加工對象物35停止后，控制pc40取得第一監(jiān)視相機33和第二監(jiān)視相機34輸出的圖像數(shù)據(jù)，計算定位標記37的中心位置與目標位置之間的偏離量(加工對象物的x軸向偏離量δxw、加工對象物的y軸向偏離量δyw、加工對象物的傾斜偏離量)。求出的各項加工對象物偏離量δxw、δyw、將用來作為加工目標位置的補償值(偏差值)使用，保存到控制pc40內(nèi)的內(nèi)存中。

圖9是一例加工對象物停止狀態(tài)下定位標記37的中心位置與目標位置o之間偏差的示意圖。

計算第一監(jiān)視相機33和第二監(jiān)視相機34拍攝的圖像的中心位置o與該圖像上顯示的定位標記37的中心位置之間的偏差量，求出加工對象物停止狀態(tài)下定位標記37的中心位置與目標位置o之間的偏差量。本實施方式用x軸向(主掃描方向)上的偏離量即加工對象物x軸向偏離量δxw、y軸向(主掃描方向)上的偏離量即加工對象物y軸向偏離量δyw、連接加工對象物35中形成在主掃描方向兩端的相同副掃描方向位置上的兩個定位標記37的直線相對于x軸向(主掃描方向)的角度，即傾斜加工對象物偏離量來表示該加工對象物的偏差量。

此后，控制pc40使得泵58動作，對形成在加工臺53背后的空洞部57吸氣，使得加工對象物35被吸附在加工臺53的表面，保持加工對象物35的位置不發(fā)生移動(s3)。而后，控制pc40將加工對象物35上用于確定被加工部分的被加工部分編號n設(shè)定為0(s4)，通過主掃描控制部24控制步進電機26，實行載體位置初始化處理，使得在待機位置待機的載體25沿著主掃描方向向載體輸送方向a(離開激光輸出部1的方向)移動，停止在規(guī)定的基地位置(s5)。

在初始化處理中，控制pc40根據(jù)線性編碼器28輸出的地址信號，取得停止在基地位置的載體25的主掃描方向位置。而后，根據(jù)線性編碼器28輸出的地址信號，檢測控制pc40管理的基地位置與實際停止的載體25的位置之間的差值，該差值用于此后對載體25的主掃描方向位置控制。此外，該差值也可以作為加工目標位置的補償值(偏離量)使用。

而后，控制pc40根據(jù)上述加工對象物的偏離量δxw、δyw、載體的各個目標停止位置與實際停止位置的偏離量δxc、以及以下將要描述的載體姿勢偏離量δxw、δyw、用下式(3-1)至(3-3)，求出用于補償加工數(shù)據(jù)的加工目標位置的補償值即偏離值δdxi、δdyi、下式(3-1)至(3-3)中的i是表示載體的主掃描方向上各個停止位置(第一停止位置i＝1，第二停止位置i＝2，第三停止位置i＝3)的編號。

在此描述載體姿勢偏離量δxi、δyi、

圖10是載體停止時的載體25的姿勢偏離的示意圖。如圖10所示，載體25能夠沿著直線導(dǎo)體29移動，為此，載體25和直線導(dǎo)體29之間存在需要的振動間隙。此外，直線導(dǎo)體29還存在真直性等加工誤差。這些間隙或加工誤差起因于載體停止時載體25的姿勢與目標姿勢之間存在偏差。該偏差可表示為以下各種轉(zhuǎn)動誤差，即圍繞平行于載體移動方向，即圍繞平行于主掃描方向(x軸向)的轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)動誤差(前后誤差α)、圍繞平行于加工對象物35的被加工面的方向且垂直于載體移動方向的方向，即圍繞平行于副掃描方向(y軸向)的轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)動誤差(左右誤差β)、以及圍繞平行于加工對象物35的被加工面的法線方向(z軸向)的轉(zhuǎn)動軸的轉(zhuǎn)動誤差(上下誤差γ)。

上述載體25停止時的轉(zhuǎn)動誤差α、β、γ隨著使得載體停止的位置(第一停止位置i＝1、第二停止位置i＝2、第三停止位置i＝3)不同而不同。本實施方式考慮還到使得載體停止的位置，對每個停止位置使用不同的偏差值δdxi、δdyi、但是只要停止位置的不同是在允許范圍以內(nèi)，也可以對各個停止位置使用共同的偏離值。

另外，如果載體姿勢偏離量δxi、δyi、所造成的加工位置偏離在許可范圍之內(nèi)，并不需要對載體姿勢偏離量進行補償。

本實施方式預(yù)先測定上述因載體25停止時的轉(zhuǎn)動誤差α、β、γ引起的載體姿勢偏離量δxi、δyi、并將該測定值保存在控制pc40的內(nèi)存中。該測定值例如可通過如下方法獲得。

首先，在經(jīng)過以當前時間點的偏差值δdxi、δdyi、補償加工目標位置的狀態(tài)下，在第一停止位置、第二停止位置、第三停止位置分別加工測定用的加工圖案。而后，用設(shè)于載體25上的監(jiān)視相機23拍攝各個停止位置上經(jīng)過加工的加工圖案，根據(jù)該攝像圖像數(shù)據(jù)，計測在各個停止位置加工的加工圖案的加工位置與目標加工位置之間的偏離量。具體如下。計測攝像圖像數(shù)據(jù)與測定用圖案的理想圖像數(shù)據(jù)之間的偏離量。而后，以檢測到的偏離量作為載體25停止時轉(zhuǎn)動誤差引起的偏離量，將該偏離量加到保存在內(nèi)存中的既有的載體姿勢偏離量δxi、δyi、上，對載體姿勢偏離量δxi、δyi、進行更新。該測定也可以不使用專用的測定用圖案，而使用以往加工時的加工圖案。

關(guān)于因載體25停止時的轉(zhuǎn)動誤差α、β、γ引起的載體姿勢偏離量δxi、δyi、的測定的方法并僅不限于上述方法。例如，還可以從激光圖案加工裝置中取出結(jié)束測定用圖案加工的加工對象物35，將該加工對象物35設(shè)定到圖像掃描裝置等規(guī)定的測定裝置上，在各個停止位置上計測經(jīng)過加工的加工圖案的加工位置與目標加工位置之間的偏離量，用該計測值來更新保存在內(nèi)存中的載體姿勢偏離量δxi、δyi、

而后，控制pc40將加工對象物35的被加工部分編號n設(shè)定為1(s6)。而后，控制pc40通過主掃描控制部24控制步進電機26，使得位于基地位置的載體25向載體輸送方向a移動，停止在第一停止位置上，該第一停止位置用來對最初實施加工處理的加工對象物35上的第一被加工部分n＝1實施加工處理(s7)。

在此，本實施方式1為了實現(xiàn)位置精度5μm以下的高加工分辨率，設(shè)定用掃描振鏡21掃描的加工對象物上的激光掃描范圍，即加工區(qū)域36的大小，為150mm×150mm。為此，加工對象物上的被加工區(qū)域，例如為450mm(主掃描方向)×600mm(副掃描方向)大小的加工對象物35在加工處理時，如圖11所示，沿著主掃描方向?qū)⒄麄€被加工區(qū)域分割成3塊，并沿著副掃描方向分割成4塊。而后，依次對該12塊(被加工部分n＝1至12)被加工區(qū)域依次實施加工處理，從而完成整個被加工區(qū)域的加工處理。圖11中的各個被加工部分36-1至36-24上的數(shù)字表示加工順序，虛線表示加工對象物35的裁斷線。

在此，本實施方式用激光l對加工對象物35上形成的ito薄膜和銀涂層的兩種不同材料分別實施圖案加工。對于ito薄膜和銀涂層，根據(jù)材料的不同使用的加工條件(包括激光l的光量、激光l的波長、激光l的照射時間等)也不相同。在此，本實施方式對于主掃描方向上的三塊被加工部分，首先用ito膜用的加工條件實施ito的圖案加工后，將該加工條件切換到銀涂層用的加工條件，再次對與上述相同的三塊被加工部分實施銀涂層的圖案加工。此時，設(shè)定ito膜用的加工條件和銀涂層用的加工條件不同。在主掃描方向上的三塊被加工部分(n＝1至3)的ito膜以及銀涂層的兩種圖案加工處理均結(jié)束后，加工對象物35被送往加工對象輸送方向部b，重新開始主掃描方向另外三塊被加工部分(n＝4至6)的加工。

換言之，使得載體25依次從基地位置移動到第一加工位置、第二加工位置、第三加工位置(s6、s7)，在各個停止位置上對加工對象物35上對應(yīng)的ito薄膜的被加工部分實施加工處理(s8、s9、s10)，在結(jié)束第三加工位置的加工處理后(s11的是)，返回基地位置。而后，為了進行銀涂層加工(s12的否)，設(shè)定用于確定加工對象物35上的被加工部分的被加工部分編號n為n-3(s13)。而后，再次將載體25從基地位置移動到第一加工位置、第二加工位置、第三加工位置(s6、s7)，在各個停止位置上對加工對象物35上對應(yīng)的銀涂層的被加工部分實施加工處理(s8、s9、s10、s11)，結(jié)束第三加工位置的加工處理后(s12的是)，返回基地位置。

另一方面，在副掃描方向上，載體25移動到第三加工位置并結(jié)束銀涂層加工處理之后(s11的是)，到下一個第一加工位置的加工處理開始之前，控制pc40通過副掃描控制部30控制步進電機31，使得加工對象物35向工作對象輸送方向b移動150mm(s13)，而后保持加工對象物35(s14)位置不變。而后再一次使得載體25依次移動到第一加工位置、第二加工位置、第三加工位置實施ito薄膜和銀涂層的加工處理(s5至s11)。

本實施方式在載體25停止在各個停止位置上(s7)，開始圖案加工處理(s10)之前，控制pc40根據(jù)線性編碼器28發(fā)送的地址信號，取得停止在各個停止位置上的載體25的主掃描方向位置。而后根據(jù)線性編碼器28發(fā)送的地址信號，檢測控制pc40管理的目標停止位置與載體25實際停止的位置之間的差值，進而將該差值作為載體位置偏離量δxc暫時保存到內(nèi)存中(s8)。而后，控制pc40從內(nèi)存讀取δxw、δyw、載體位置偏離量δxc、以及載體姿勢偏離量δxi、用上述式(3-1)至(3-3)，求出偏差值δdxi、δdyi、(s9)。

而后，控制pc40用求出的偏差值δdxi、δdyi、來校正加工數(shù)據(jù)的坐標原點。進而，控制pc40根據(jù)用經(jīng)過校正的坐標原點為基準的加工數(shù)據(jù)，實行加工處理。

如果加工對象物中各個被加工部分各自獨立，則載體25的各個停止位置也可以是在各個加工區(qū)域36分開的位置上。但是如果被加工部分互相并不獨立，而是由多個被加工部分構(gòu)成一個加工對象，則在這種情況下，載體25的各個停止位置或加工對象物的各個停止位置需要在能夠讓各個加工區(qū)域36鄰接或一部分重復(fù)的位置上。尤其是如本實施方式實行的圖案加工，需要使得被加工部分之間的布線圖案連續(xù)，在這種情況下，需要避免被加工部分之間需要連續(xù)的布線圖案因偏離而造成的不連續(xù)。

為此本實施方式在設(shè)定各片被加工部分時，在12片被加工部分之間設(shè)有數(shù)十微米的重復(fù)區(qū)域，使得相鄰被加工部分互相之間部分重疊。通過設(shè)置這樣的重疊區(qū)域，即便留下無法補償?shù)恼`差，也能夠改善不連續(xù)布線。

圖12是被加工部分各塊之間需要保持連續(xù)的一例布線圖案示意圖。

圖12顯示跨越被加工部分編號n＝1、n＝2、n＝4各塊的布線圖案。圖12中以斜線表示的區(qū)域是重疊區(qū)域，虛線表示基于目標加工數(shù)據(jù)的理想加工位置，實線表示在對被加工部分編號n＝1的被加工部分實施加工處理之后的實際布線圖案。

如圖12所示，根據(jù)監(jiān)視相機觀察到的監(jiān)視相機觀察區(qū)域，對于在主掃描方向(x軸向)上與編號n＝1的被加工部分相鄰的編號n＝2的被加工部分、以及與編號n＝2的被加工部分相鄰的編號n＝3的被加工部分，設(shè)定y軸坐標的補償值(y坐標偏差值)，用來補償加工對象物35的副掃描方向位置。另一方面，對于在副掃描方向(y軸向)上與編號n＝1的被加工部分相鄰的編號n＝4的被加工部分、以及與編號n＝4的被加工部分相鄰的編號n＝7的被加工部分、進而與編號n＝7的被加工部分相鄰的編號n＝10的被加工部分，設(shè)定x軸坐標的補償值(x坐標偏差值)，用來補償加工對象物35的主掃描方向位置。可以將這些補償值預(yù)先寫入控制pc40的內(nèi)存，而后在對各塊被加工部分加工處理時讀取這些補償值，補償加工數(shù)據(jù)的坐標原點。

如上所述，在主掃描方向和副掃描方向上移動的同時，對12塊被加工部分(n＝1至12)實施加工處理。當所有加工處理結(jié)束(s14的是)，整個450mm×600mm的被加工區(qū)域的加工處理完成后，用切割器54切斷加工對象物35(s17)，排到托盤55中。在如本實施方式這樣對以卷筒形卷繞的加工對象物35實施加工時，只需要在卷繞結(jié)束之前，反復(fù)實行使得載體25從基地位置依次移動到第一加工位置、第二加工位置、第三加工位置，實施ito薄膜和銀涂層的加工處理之后，沿著加工對象輸送方向b移動150mm的動作便可(s18)。

本實施方式中用加工對象輸送部3的停止位置偏離來表示計算補償加工數(shù)據(jù)偏差值δdxi、δdyi、的加工對象物偏離量δxw、δyw、但是如果定位標記37偏離加工對象物35上的規(guī)定位置，則該偏離的量本身也包含誤差。例如，在加工對象物35上打印形成定位標記37時，其打印精度如果為±10μm，則該打印誤差將直接影響到加工對象偏離量δxw、δyw、的誤差。

針對上述情況，例如如圖13所示，在加工對象物的至少一個端部的加工對象輸送方向b上設(shè)置兩臺監(jiān)視相機34-1和34-2。此時，例如將兩臺監(jiān)視相機34-1和34-2分開一定距離，該距離相當于加工對象輸送部3的規(guī)定加工對象輸送量，首先，用作為第一位置檢測裝置的位于加工對象輸送方向上游一方的監(jiān)視相機34-1拍攝定位標記37，檢測該拍攝圖像上的定位標記。在加工對象輸送部3將加工對象物35移動規(guī)定輸送量之后，同樣地用作為第三位置檢測裝置的位于加工對象輸送方向下游一方的監(jiān)視相機34-2拍攝定位標記37，檢測該拍攝圖像上的定位標記。而后，根據(jù)位于上游一方的監(jiān)視相機34-1拍攝的圖像，來導(dǎo)出位于下游一方的監(jiān)視相機34-2拍攝的圖像上原有的定位標記位置(設(shè)定檢測位置)，進而求出位于下游一方的監(jiān)視相機34-2拍攝的圖像中實際的定位標記位置(實際檢測位置)與上述原有的定位標記位置(設(shè)定檢測位置)之間的偏離量。如果加工對象偏離量δxw、δyw、計算中考慮上述求出的偏離量，則能夠求出排除定位標記37位置精度誤差的加工對象偏離量δxw、δyw、

變形例

以下描述將本實施方式的圖案加工處理的變形例。

在上述實施方式中，對于主掃描方向上的三塊被加工部分，首先以ito薄膜用加工條件實施ito薄膜的圖案加工之后，將該加工條件切換到銀涂層用加工條件，用銀涂層加工條件，再次對三塊被加工部分實施銀涂層團的圖案加工。在本變形例中，首先用銀涂層加工條件對于每一塊被加工部分實行銀涂層圖案加工，而后將該加工條件切換到ito薄膜用加工條件，用ito薄膜用加工條件，對同一塊被加工部分實行ito薄膜的圖案加工。本變形例的銀涂層和ito薄膜的加工順序與上述實施方式中的加工順序相反，對此，同樣也可以采用與上述實施方式相同的加工順序。

在本變形例的圖案加工處理中使用的激光圖案加工裝置的構(gòu)成與上述實施方式中使用的激光圖案加工裝置的構(gòu)成相同。

圖14是本變形例的圖案加工處理的流程圖。

在本變形例中，控制pc40使得加工對象物35沿著副掃描方向向加工對象輸送方向b移動(s1)，在目標輸送位置附近停止加工對象物35的移動，保持該加工對象物35(s2、s3)不動。而后，設(shè)定被加工部分編號n為0(s4)，用以確定加工對象物35上的被加工部分，用主掃描控制部24控制步進電機26，實行在規(guī)定基地位置停止的載體位置初始化處理(s5)。

其次，控制pc40與上述實施方式相同，求出用于補償加工數(shù)據(jù)的加工目標位置的補償值，即偏差值δdxi、δdyi、而后，控制pc40設(shè)定加工對象物35的被加工部分編號n為1(s6)，用主掃描控制部24控制步進電機26，使得位于基地位置的載體25向載體輸送方向a移動，并使得載體25停止在第一停止位置上(s7)。該第一停止位置是對最初實行加工處理的加工對象物35上第一被加工部分n＝1的加工處理實施位置。而后，控制pc40根據(jù)線形編碼器28發(fā)送的地址信號，取得停止在第一停止位置上的載體25的主掃描方向位置，與上述實施方式相同，檢測控制pc40管理的目標停止位置與實際的載體25的停止位置之間的差值，將該差分作為載體位置偏離量δxc暫時保存到內(nèi)存中(s8)。而后，控制pc40從內(nèi)存讀取δxw、δyw、載體位置偏離量δxc、以及載體姿勢偏離量δxi、用上述式(3-1)至(3-3)，求出偏差值δdxi、δdyi、(s9)。

在本變形例中，控制pc40首先讀取銀涂層的加工數(shù)據(jù)，用求出的偏差值δdxi、δdyi、來校正銀涂層加工數(shù)據(jù)的坐標原點。而后，在第一停止位置上，控制pc40根據(jù)以校正之后的坐標原點為基準的加工數(shù)據(jù)，用銀涂層用加工條件實施銀涂層圖案加工(s10-1)。而后，控制pc40讀取ito薄膜的加工數(shù)據(jù)，用求出的偏差值δdxi、δdyi、來校正ito薄膜加工數(shù)據(jù)的坐標原點。而后，控制pc40將加工條件切換到ito薄膜用加工條件，在第一停止位置上，對同一塊被加工部分實施ito薄膜圖案加工(s10-2)。

如上所述，第一停止位置上的銀涂層和ito薄膜的圖案加工處理結(jié)束后，控制pc40將加工對象物35的被加工部分編號n設(shè)為2(s6)，用主掃描控制部24控制步進電機26，使得載體25移動到第二停止位置，對加工對象物35上的第二被加工部分n＝2實行加工處理(s7)。此后，與第一停止位上相同，在第二停止位置上實行銀涂層的圖案處理(s10-1)，之后實行ito薄膜的圖案處理(s10-2)。第二位置上的加工處理結(jié)束后，同樣地在第三停止位置上實行銀涂層的圖案處理(s10-1)，之后實行ito薄膜的圖案處理(s10-2)。

而后，與上述實施方式相同，控制pc40通過副掃描控制部30控制步進電機31，使得加工對象物35向工作對象輸送方向b移動150mm(s13)，而后保持加工對象物35(s14)不動。而后再一次使得載體25依次移動到第一加工位置、第二加工位置、第三加工位置實施銀涂層和ito薄膜的加工處理(s5至s11)。

本實施方式中的定位標記37是在加工對象物35上打印銀涂層時同時形成的以銀涂層構(gòu)成的標記，但是本發(fā)明并不受此限制。例如還可以用激光掃描等于加工銀涂層，或者用蝕刻加工加工對象物35上的ito薄膜等來形成定位標記37。

本實施方式中的定位標記37的形狀是圓形，但是本發(fā)明不受此限制，也可以用兩根直線垂直交叉形成的交叉線形狀等，優(yōu)選有利于用圖像處理進行匹配來檢測的形狀。定位標記37的形狀可以根據(jù)定位標記37的監(jiān)測方法等選擇合適的形狀。

在本實施方式的描述中用二位掃描裝置作為光掃描裝置，對此，也可以采用線性掃描裝置。

另外，本實施方式以ito薄膜和銀涂層作為加工對象為例，而本發(fā)明不受此限制。本發(fā)明同樣適用于例如加工對象中包含銅涂層等其他材料。

以上是本發(fā)明的一個例子，在以下各種方式中起到特有的效果。

方式a

一種光加工裝置，如激光圖案加工裝置等，其中具有：光照射部，如激光輸出部1以及激光掃描部2等，用于向加工區(qū)域如加工區(qū)域36照射加工光，其中具備發(fā)射該加工光的光源，如發(fā)射激光l等的激光起振器11；輸送部，如加工對象輸送部3等，用于向規(guī)定的輸送方向，如加工對象輸送方向b(y軸向)等，間歇性地輸送加工對象物，將該加工對象物如加工對象物35等的被加工面上的被加工部分依次送入所述加工區(qū)域36；以及，加工控制部，如控制pc40等，用于在所述加工對象物上的被加工部分停止在所述加工區(qū)域上的狀態(tài)下，根據(jù)加工數(shù)據(jù)，實行加工控制，用所述光源照射的加工光加工該被加工部分，其特征在于，具有位置檢測部，如監(jiān)視相機33、34-1、34-2等，用于在所述加工對象物上的被加工部分停止在所述加工區(qū)域上時，檢測設(shè)于該加工對象物上的檢測用標記如定位標記37等的位置，所述加工控制部根據(jù)所述位置檢測部的檢測結(jié)果，補償所述輸送部輸送的加工對象物的停止位置偏離(加工對象偏離量δxw、δyw、)所造成的加工位置偏離。

本方式用第一位置檢測部檢測設(shè)于加工對象物上的檢測用標記的位置，根據(jù)該檢測結(jié)果，掌握加工對象物在輸送部停止輸送時的停止位置偏離量，用以對該停止位置偏離造成的加工位置偏離進行補償。

方式b

基于方式a的光加工裝置，其特征在于，所述加工控制部在實行所述加工控制時，使得加工對象物上兩個在所述輸送方向上相鄰的被加工部分互相鄰接或者部分重疊。

本方式使得光加工裝置能夠在輸送部的加工對象物輸送方向上，連續(xù)地對加工對象物上的各個被加工部分之間實施加工。這樣便能夠?qū)υ谳斔筒康募庸ο笪镙斔头较蛏希庸ο笪锷细鱾€被加工部分不是互相獨立，而是以多個被加工部分構(gòu)成一個加工對象的加工對象物實施加工處理。在這樣的加工處理中，要求各個被加工部分之間具有連續(xù)性，而且要求各個被加工部分具有高加工位置精度。而本方式能夠控制輸送部輸送的加工對象物的停止位置偏離所造成的加工位置偏離，因而能夠獲得需要的高加工精度。

方式c

基于方式a或方式b的光加工裝置，其特征在于，所述位置檢測部包含第一位置檢測部和第二位置檢測部，所述第一位置檢測部，如監(jiān)視相機34等，用于檢測設(shè)于加工對象物上與所述輸送方向相垂直的寬度方向上的一端端部一方的第一檢測用標記的位置，第二位置檢測部，如監(jiān)視相機33等，用于在所述加工對象物上的被加工部分停止在所述加工區(qū)域上時，檢測所述加工對象物上設(shè)于所述寬度方向上另一端端部一方的第二檢測用標記的位置，所述加工控制部根據(jù)所述第一位置檢測部檢測到的第一檢測用標記的位置和所述第二位置檢測部檢測到的第二檢測用標記的位置，來補償所述輸送部輸送的加工對象物在寬度方向的兩端端部之間的相對停止位置偏離(傾斜加工對象偏離等)造成的加工位置偏離。

本方式的光加工裝置能夠減小因輸送部輸送的加工對象物在寬度方向上的兩端端部之間相對停止位偏離所產(chǎn)生的加工位置偏離。

方式d

基于方式a至方式c之中任意一種方式的光加工裝置，其特征在于，所述位置檢測部進一步具有第三位置檢測部，用于在經(jīng)過所述第一位置檢測部如監(jiān)視相機34-1等檢測之后受到所述輸送部輸送，進而在所述加工對象物上的被加工部分停止在所述加工區(qū)域上時，檢測與受到該第一位置檢測部檢測的同一個檢測用標記的位置，所述加工控制部補償所述同一個檢測用標記的計算檢測位置與實際檢測位置之間的偏離造成的加工位置偏離，所述計算檢測位置是指，根據(jù)所述第一位置檢測部的檢測結(jié)果導(dǎo)出用所述第三位置檢測部檢測所述同一個檢測用標記的位置得到的計算結(jié)果，所述實際檢測位置是指，所述第三位置檢測部實際檢測到的該同一個檢測用標記的位置。

當設(shè)于加工對象物上的檢測用標記的位置精度較差時，會產(chǎn)生該位置誤差所造成的加工位置偏離。本方式根據(jù)第一位置檢測部的檢測結(jié)果和第三位置檢測部的檢測結(jié)果，來求出檢測用標記的計算檢測位置與實際檢測位置之間的偏離，根據(jù)該偏離，掌握設(shè)于加工對象物上的檢測用標記的位置誤差。為此，即便是在設(shè)于加工對象物上的檢測用標記的位置精度較差的情況下，也能夠抑制由此造成的加工位置偏離。

方式e

基于方式a至方式d中任意一種方式的光加工裝置，其特征在于，所述加工控制部通過根據(jù)所述位置檢測部的檢測結(jié)果補償所述加工數(shù)據(jù)，來補償加工位置偏離。

對于由輸送部輸送的加工對象物的停止位置偏離造成的加工位置偏離的補償，也可以考慮采用通過輸送部來調(diào)整加工對象物的停止位置進行補償?shù)姆椒?。但是，由于輸送部對加工對象物的停止位置的最小控制單?能夠補償?shù)淖钚∑x量)較大，因此無法補償微笑的加工位置偏離。由于輸送部輸送中存在的必要誤差等原因，難以實現(xiàn)輸送部以高精度使得停止狀態(tài)下加工對象物移動微小距離。

而本方式的光加工裝置利用補償加工數(shù)據(jù)的方法，該方法能夠補償?shù)淖钚∑x量與加工分辨率(能夠控制的加工位置的最小單位)相等同，因而能夠補償微小的加工位置偏離。

方式f

基于方式e的光加工裝置，其特征在于，所述加工控制部根據(jù)所述位置檢測部的檢測結(jié)果，來補償所述加工數(shù)據(jù)，使得受到所述加工光照射的被加工部分上的加工位置向所述輸送方向(y軸向)移動。

本方式能夠高精度補償由輸送部輸送的加工對象物在輸送方向上的加工位置偏離。

方式g

基于方式e或方式f的光加工裝置，其特征在于，所述加工控制部根據(jù)所述位置檢測部的檢測結(jié)果補償所述加工數(shù)據(jù)，使得受到所述加工光照射的被加工部分上的加工位置向垂直于所述輸送方向的方向(x軸向)移動。

本方式能夠高精度補償由輸送部輸送的加工對象物上的加工位置向垂直于所述輸送方向的方向(x軸向)移動。

方式h

基于方式e至方式g中任意一種方式的光加工裝置，其特征在于，所述加工控制部根據(jù)所述位置檢測部的檢測結(jié)果補償所述加工數(shù)據(jù)，使得受到所述加工光照射的被加工部分上的加工位置向圍繞平行于該被加工面的法線方向的轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的方向移動。

本方式能夠高精度補償圍繞平行于加工對象物上被加工面的法線方向的轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動的方向上的加工位置偏離。

方式i

基于方式a至方式h中任意一種方式的光加工裝置，其特征在于，每當受到所述輸送部間歇輸送的所述加工對象物上的被加工部分停止在所述加工區(qū)域上時，所述位置檢測部檢測設(shè)于該加工對象物上的檢測用標記的位置。

本方式能夠以更加高的精度來補償加工位置偏離。

方式j(luò)

基于方式a至方式i中任意一種方式的光加工裝置，其特征在于，所述光照射部具備光掃描部，如掃描振鏡21等，用于在平行于所述加工對象物的被加工面的方向且垂直于所述輸送方向的方向上掃描所述光源發(fā)射的加工光，進一步具有移動部，如載體25等，用于移動所述光照射部的加工光射出部，如fθ透鏡22等，使得該加工光射出部在與該加工光在所述加工對象物的被加工面上的掃描方向平行的方向上移動。

本方式的加工光射出部向加工對象物的被加工面發(fā)射受光掃描部掃描的加工光，本方式利用移動部，使得加工光射出部能夠在與加工對象物的被加工面上的加工光掃描方向平行的方向上移動。這樣，本方式的光加工裝置能夠?qū)^大加工對象物實施加工處理，關(guān)于較大加工對象物，例如超過加工區(qū)域36，即超過利用光掃描部掃描的加工光掃描加工對象物上的被加工面的掃描范圍。