激光修復(fù)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種激光修復(fù)系統(tǒng)，其包括：激光器，用以產(chǎn)生并輸出修復(fù)用的激光；激光阻擋機構(gòu)，包括多個激光阻擋部件，所述激光阻擋部件包括設(shè)置在激光傳播方向上的多個相鄰設(shè)置的活動擋板，所述多個激光阻擋部件的多個活動擋板組成一個形狀可調(diào)的激光通過區(qū)域。該激光修復(fù)系統(tǒng)，可以通過改變活動擋板的不同位置來形成不同形狀的激光透光區(qū)域，激光可以從激光透光區(qū)域透過，然后對基板進行修復(fù)。該系統(tǒng)不需利用光掩膜，通過活動活動擋板的移動組合成不同形狀的修復(fù)圖案，簡單的結(jié)構(gòu)就可以進行復(fù)雜圖案的修復(fù)，修復(fù)過程簡單、成本低廉。
【專利說明】激光修復(fù)系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及激光切割領(lǐng)域，特別涉及一種激光修復(fù)系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，液晶顯示器已成為常見的顯示設(shè)備。液晶顯示器中的基板包括電極層，具體分為柵極層、源極層和漏極層等。在電極層制作完成后，經(jīng)常會有多余殘留，破壞了正常的電極圖案。針對這一情況，通常采用激光切割的方法進行修復(fù)，也就是利用激光切割掉多余殘留，并且將該部分切割成正常的電極圖案。
[0003]對于復(fù)雜圖案的修復(fù)通常是用光掩膜工藝進行修復(fù)的。但是，在光掩膜工藝中，需要使用繪制有待修復(fù)圖案的掩膜，并將其轉(zhuǎn)移到基板上，然后再對基板進行激光切割，整個過程工藝復(fù)雜，并且修復(fù)時間增加，從而增加了修復(fù)成本。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]基于此，有必要提供一種適用于復(fù)雜圖案修復(fù)的簡單的激光修復(fù)系統(tǒng)。
[0005]一種激光修復(fù)系統(tǒng)，其包括:激光器，用以產(chǎn)生并輸出修復(fù)用的激光；激光阻擋機構(gòu)，包括多個激光阻擋部件，所述激光阻擋部件包括設(shè)置在激光傳播方向上的多個相鄰設(shè)置的活動擋板，所述多個激光阻擋部件的多個活動擋板組成一個形狀可調(diào)的激光通過區(qū)域。
[0006]在其中一個實施例中，多個相鄰設(shè)置的活動擋板在所述激光傳播方向上錯開設(shè)置。
[0007]在其中一個實施例中，所述活動擋板的活動方向與所述激光傳播方向相交。
[0008]在其中一個實施例中，所述多個激光阻擋部件的數(shù)量為四個，所述多個激光阻擋部件呈十字型分布。
[0009]在其中一個實施例中，所述激光通過區(qū)域呈正方形或矩形或三角形或梯形或多邊形或多孔圖案。
[0010]在其中一個實施例中，所述激光阻擋機構(gòu)還包括驅(qū)動機構(gòu)，所述驅(qū)動機構(gòu)改變所述活動擋板的位置。
[0011]在其中一個實施例中，所述驅(qū)動機構(gòu)包括電機。
[0012]在其中一個實施例中，所述激光器包括激光放大器或激光振蕩器。
[0013]在其中一個實施例中，還包括:第一光學(xué)機構(gòu)，用以調(diào)節(jié)所述激光強度；以及第二光學(xué)機構(gòu)，用以調(diào)節(jié)從所述第一光學(xué)機構(gòu)輸出的激光的特性；所述第一光學(xué)機構(gòu)和第二光學(xué)機構(gòu)依次設(shè)置在所述激光器和激光阻擋機構(gòu)之間。
[0014]在其中一個實施例中，還包括:第三光學(xué)機構(gòu)，設(shè)置在所述激光阻擋機構(gòu)的激光輸出方向的一側(cè)，用以調(diào)節(jié)從所述激光阻擋機構(gòu)輸出的激光的特性。
[0015]上述激光修復(fù)系統(tǒng)，可以通過改變活動擋板的位置來形成不同形狀的激光透光區(qū)域，激光可以從激光透光區(qū)域透過，然后對基板進行修復(fù)。該系統(tǒng)不需利用光掩膜，通過活動活動擋板的移動組合成不同形狀的修復(fù)圖案，簡單的結(jié)構(gòu)就可以進行復(fù)雜圖案的修復(fù)，修復(fù)過程簡單、成本低廉。
[0016]活動擋板在加工過程中會有誤差產(chǎn)生，在同一激光阻擋機構(gòu)中的活動擋板在激光傳播方向上錯開設(shè)置的話，可以減少修復(fù)過程中的誤差。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為本發(fā)明的激光修復(fù)系統(tǒng)的示意圖；
[0018]圖2為本發(fā)明的激光阻擋機構(gòu)的俯視圖；
[0019]圖3為圖2中沿著A-A的剖視圖。
[0020]其中，110.激光器，120.第一光學(xué)機構(gòu)，130.第二光學(xué)機構(gòu)，140.激光阻擋機構(gòu)，1401.第一激光阻擋機構(gòu)，1402.第二激光阻擋機構(gòu)，1403.第三激光阻擋機構(gòu)，1404.第四激光阻擋機構(gòu)，141.活動擋板，142.激光通過區(qū)域，143.驅(qū)動機構(gòu)，150.第三光學(xué)機構(gòu)，160.基板。

【具體實施方式】
[0021]請參考圖1，圖1為本發(fā)明中的激光修復(fù)系統(tǒng)。激光修復(fù)系統(tǒng)包括激光器110、激光阻擋機構(gòu)140。
[0022]激光器110用以產(chǎn)生并輸出修復(fù)用的激光，激光器110可以為激光放大器或激光振蕩器。激光放大器激發(fā)受激物質(zhì)到能量較高的狀態(tài)，受激物質(zhì)對響應(yīng)波長的光輻射產(chǎn)生放大作用，激光放大器輸出強度放大并與入射光波相位、頻率和方向一致的光輻射。激光振蕩器為，在共振腔中放置受激物質(zhì)，光輻射在共振腔內(nèi)沿軸線方向反射傳播，多次通過受激物質(zhì)，光福射被放大，形成一束強度大、方向集中的光束，該光束即為激光，并輸出激光。
[0023]激光器110輸出的激光照射到激光阻擋機構(gòu)140上，激光阻擋機構(gòu)140包括多個激光阻擋部件，通過改變激光阻擋部件的相對位置來限定激光通過區(qū)域142。激光阻擋機構(gòu)140不透射照射到其上的激光，激光可以透射通過激光通過區(qū)域142，并將激光照射到基板160上，對基板160進行修復(fù)。通過移動激光阻擋機構(gòu)140的相對位置，來改變激光通過區(qū)域142的形狀，從而來改變激光透射到基板上所形成的圖案，這樣就可以進行各種不同圖案的修復(fù)。
[0024]在本實施方式中，請參考圖2，激光阻擋機構(gòu)140包括四個激光阻擋部件，分別為第一激光阻擋部件1401、第二激光阻擋部件1402、第三激光阻擋部件1403、第四激光阻擋部件1404。激光阻擋部件兩兩相對設(shè)置，沿著激光器110輸出的激光的傳播方向觀察，它們呈現(xiàn)出十字型分布，并在其中央形成有激光通過區(qū)域142。當(dāng)然激光阻擋部件的數(shù)量可以根據(jù)實際情況來設(shè)置。
[0025]每個激光阻擋部件包括多個活動擋板141和驅(qū)動機構(gòu)143，驅(qū)動機構(gòu)143驅(qū)動活動擋板141移動，活動擋板141的活動方向與激光傳播方向相交。在本實施方式中，驅(qū)動機構(gòu)143包括電機。當(dāng)然可以不需要驅(qū)動機構(gòu)143，通過手動的方式來移動活動擋板141。
[0026]活動擋板141的活動方向與激光傳播方向相交包括活動擋板141的活動方向與激光傳播方向垂直相交，活動擋板141在上述的垂直方向上移動，從而來限定激光通過區(qū)域142。
[0027]上述相交還包括活動擋板141的活動方向與激光傳播方向非垂直的相交，活動擋板141在該方向上移動，來限定激光通過區(qū)域142。
[0028]上述相交可以同時包括活動擋板141的活動方向與激光傳播方向垂直相交和活動擋板141的活動方向與激光傳播方向非垂直的相交，多個活動擋板141中，有一部分活動擋板141沿著與激光的傳播方向的垂直方向移動，一部分活動擋板141在與激光的傳播方向非垂直的方向上移動。
[0029]活動擋板141的數(shù)量可以根據(jù)活動擋板141的厚度以及激光通過區(qū)域142的大小等實際情況來設(shè)置。
[0030]請參考圖3，在同一激光阻擋部件中的活動擋板141在激光的傳播方向上錯開設(shè)置。在本實施方式中，相鄰的活動擋板141在圖3中的豎直方向以一定的距離錯開設(shè)置，呈現(xiàn)階梯狀分布。由于活動擋板141在加工過程中會有誤差產(chǎn)生，與設(shè)定的活動擋板141的規(guī)格有一定的差距，在移動活動擋板141時，形成的激光通過區(qū)域142與設(shè)定形狀的誤差，減少修復(fù)過程中的誤差。
[0031]當(dāng)然，活動擋板141的布置并不局限于上述的設(shè)置方式，相鄰活動擋板141之間交錯設(shè)置，多個活動擋板141呈現(xiàn)出鋸齒狀分布。只要保證活動擋板141在加工過程中的誤差不影響激光通過區(qū)域142的形狀的精確性即可。
[0032]在激光阻擋機構(gòu)140形成的激光通過區(qū)域142的形狀可以為正方形或矩形或三角形或梯形或多邊形或多孔。只要控制機構(gòu)143驅(qū)動活動擋板至合適的位置就可以使激光通過區(qū)域142形成相應(yīng)的形狀以及大小。當(dāng)然，并不局限于上述各種形狀。
[0033]激光修復(fù)系統(tǒng)還可以包括第一光學(xué)機構(gòu)120、第二光學(xué)機構(gòu)130、第三光學(xué)機構(gòu)150。激光器110輸出的激光依次通過第一光學(xué)機構(gòu)120、第二光學(xué)機構(gòu)130、激光阻擋機構(gòu)140和第三光學(xué)機構(gòu)150，最后透射到基板160，進行修復(fù)。
[0034]第一光學(xué)機構(gòu)120和第二光學(xué)機構(gòu)130依次設(shè)置在激光器110和激光阻擋機構(gòu)140之間。第三光學(xué)機構(gòu)150設(shè)置在激光阻擋機構(gòu)140和基板160之間。
[0035]第一光學(xué)機構(gòu)120用于調(diào)節(jié)激光器110輸出的激光強度。第一光學(xué)機構(gòu)110可以包括衰減激光強度的衰減器。
[0036]第二光學(xué)機構(gòu)130用于改變從第一光學(xué)機構(gòu)120輸出激光的特性。第二光學(xué)機構(gòu)130可以包括用于改善激光均勻性的聚光透鏡或者是擴大激光光束的擴束器。
[0037]第三光學(xué)機構(gòu)150用于改變從激光阻擋機構(gòu)140透射出的激光的特性，以達到修復(fù)所需的圖案的投影以及激光強度。第三光學(xué)機構(gòu)150可以包括匯聚激光并提高能量密度的聚光鏡片。
[0038]以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準。
【權(quán)利要求】
1.一種激光修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，包括: 激光器，用以產(chǎn)生并輸出修復(fù)用的激光； 激光阻擋機構(gòu)，包括多個激光阻擋部件，所述激光阻擋部件包括設(shè)置在激光傳播方向上的多個相鄰設(shè)置的活動擋板，所述多個激光阻擋部件的多個活動擋板組成一個形狀可調(diào)的激光通過區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，多個相鄰設(shè)置的活動擋板在所述激光傳播方向上錯開設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，所述活動擋板的活動方向與所述激光傳播方向相交。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，所述多個激光阻擋部件的數(shù)量為四個，所述多個激光阻擋部件呈十字型分布。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，所述激光通過區(qū)域呈正方形或矩形或三角形或梯形或多邊形或多孔圖案。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，所述激光阻擋機構(gòu)還包括驅(qū)動機構(gòu)，所述驅(qū)動機構(gòu)改變所述活動擋板的位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，所述驅(qū)動機構(gòu)包括電機。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，所述激光器包括激光放大器或激光振蕩器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，還包括: 第一光學(xué)機構(gòu)，用以調(diào)節(jié)所述激光強度；以及 第二光學(xué)機構(gòu)，用以調(diào)節(jié)從所述第一光學(xué)機構(gòu)輸出的激光的特性； 所述第一光學(xué)機構(gòu)和第二光學(xué)機構(gòu)依次設(shè)置在所述激光器和激光阻擋機構(gòu)之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，還包括: 第三光學(xué)機構(gòu)，設(shè)置在所述激光阻擋機構(gòu)的激光輸出方向的一側(cè)，用以調(diào)節(jié)從所述激光阻擋機構(gòu)輸出的激光的特性。
【文檔編號】B23K26/70GK104493366SQ201410783128
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年12月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月16日
【發(fā)明者】楊旸, 陳寧, 胡賢夫, 馬鵬程, 黃星星 申請人:昆山國顯光電有限公司