技術(shù)編號(hào)：3129991
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種激光修復(fù)系統(tǒng)，其包括激光器，用以產(chǎn)生并輸出修復(fù)用的激光；激光阻擋機(jī)構(gòu)，包括多個(gè)激光阻擋部件，所述激光阻擋部件包括設(shè)置在激光傳播方向上的多個(gè)相鄰設(shè)置的活動(dòng)擋板，所述多個(gè)激光阻擋部件的多個(gè)活動(dòng)擋板組成一個(gè)形狀可調(diào)的激光通過區(qū)域。該激光修復(fù)系統(tǒng)，可以通過改變活動(dòng)擋板的不同位置來形成不同形狀的激光透光區(qū)域，激光可以從激光透光區(qū)域透過，然后對基板進(jìn)行修復(fù)。該系統(tǒng)不需利用光掩膜，通過活動(dòng)活動(dòng)擋板的移動(dòng)組合成不同形狀的修復(fù)圖案，簡單的結(jié)構(gòu)就可以進(jìn)行復(fù)雜圖...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。