電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法，該電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置包含一電化學(xué)加工單元、一磁力研磨加工單元以及一移動(dòng)單元，該電化學(xué)加工單元包含一電解液容置空間，該磁力研磨加工單元包含一研磨料容置空間，該電解液容置空間與該研磨料容置空間分離設(shè)置，如此避免研磨料容置空間的多個(gè)磁研磨料搭接于工件與電化學(xué)加工單元的一加工電極之間，而避免對(duì)工件或者加工電極進(jìn)行放電，以避免工件表面與加工電極產(chǎn)生損傷，更減少該些磁研磨料的損耗。
【專利說明】電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是關(guān)于一種復(fù)合加工裝置及其方法，特別是指一種電化學(xué)加工單元與磁力研磨加工單元分離設(shè)置的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法。
【背景技術(shù)】
[0002]表面拋光加工是利用物理性機(jī)械作用、化學(xué)反應(yīng)或電化學(xué)反應(yīng)的方式對(duì)工件表面進(jìn)行修飾性的加工處理，表面拋光處理不會(huì)提高工件的尺寸精度或幾何形狀精度，但可以使得工件表面粗糙度降低而變得較為平整，有助于機(jī)械組件間順暢地進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)于精密機(jī)械來說，對(duì)組件表面進(jìn)行拋光可避免表面不平整造成額外的摩擦而影響機(jī)械精密度與使用壽命。
[0003]—般而言,對(duì)工件表面進(jìn)行拋光處理是以研磨加工的方式為主,若工件表面為非平面或具有曲面則需使用體積較小的研磨料，將工件放置于研磨料內(nèi)，并使研磨料在工件表面移動(dòng)或滾動(dòng)，而達(dá)到對(duì)工件表面進(jìn)行切削研磨的效果。習(xí)知技術(shù)中，可運(yùn)用振動(dòng)加工或磁力研磨加工的方式達(dá)成表面拋光。振動(dòng)加工是驅(qū)動(dòng)工件于研磨料內(nèi)作往復(fù)移動(dòng),造成研磨料與工件表面發(fā)生相對(duì)移動(dòng)或滾動(dòng)，以對(duì)工件表面產(chǎn)生研磨的效果，而磁力研磨加工利用磁研磨料并利用磁場(chǎng)的變化直接驅(qū)動(dòng)磁研磨料移動(dòng)，帶動(dòng)磁研磨料相對(duì)工件表面移動(dòng)或滾動(dòng)，以對(duì)工件表面進(jìn)行研磨加工。
[0004]當(dāng)工件為高硬度的難加工材料，如不銹鋼、鈦合金、高溫合金、高強(qiáng)度鋼等材料時(shí)，僅利用研磨加工的方式進(jìn)行表面拋光處理的效果不佳。因此現(xiàn)有技術(shù)中，更增加電化學(xué)加工的程序來輔助研磨加工，利用陽極鈍化的作用，使作為陽極的工件產(chǎn)生一層較脆的鈍化層，再以研磨加工的程序移除鈍化層，以達(dá)到較佳的研磨效率。
[0005]例如，中國臺(tái)灣地區(qū)專利第M314092號(hào)的“磁力研磨拋光裝置”、第M370459號(hào)的“磁力研磨機(jī)”以及中華人民共和國專利第201010543464.9號(hào)的“一種電化學(xué)與磁性研磨復(fù)合的復(fù)合加工系統(tǒng)”中，皆利用了電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工的技術(shù)。然而，包含上述專利，現(xiàn)有利用此一技術(shù)的裝置皆將電化學(xué)加工與磁力研磨加工整合于同一空間中實(shí)施，雖然便于同時(shí)進(jìn)行電化學(xué)加工與磁力研磨加工，但進(jìn)行電化學(xué)加工時(shí)，由于磁研磨料與工件同時(shí)置于電解液中，磁研磨料會(huì)搭接于工件與電化學(xué)加工的加工電極之間，由于磁研磨料具有導(dǎo)電性，如此會(huì)在電化學(xué)加工過程中對(duì)工件的表面與加工電極進(jìn)行放電而造成損傷，另外磁研磨料也會(huì)出現(xiàn)陽極鈍化或陽極溶解的現(xiàn)象，而使磁研磨料耗損的速度變快，如此增加電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工的成本。
[0006]另，在同一空間內(nèi)同時(shí)進(jìn)行電化學(xué)加工與磁力研磨加工時(shí)，工件的表面因電化學(xué)加工形成鈍化層，然而形成于工件的表面各部位的鈍化層的厚度會(huì)有所不同，因此具有鈍化層的表面同時(shí)進(jìn)行磁力研磨加工時(shí)，因鈍化層容易被磨除而工件的原材料不容易被磨除，所以鈍化層的厚度較薄處將先裸露出不易磨除的工件的表面，而鈍化層的厚度較厚處仍進(jìn)行鈍化層的快速移除，因此導(dǎo)致工件的表面各處的研磨加工量會(huì)不相同，所以加工后的工件的形狀精度不佳。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法，其分離設(shè)置進(jìn)行電化學(xué)加工的電解液容置空間與進(jìn)行磁力研磨加工的研磨料容置空間，如此用于磁力研磨加工的多個(gè)磁研磨料不會(huì)搭接于工件與電化學(xué)加工的加工電極之間，而避免對(duì)工件或者加工電極進(jìn)行放電，以避免工件表面與加工電極產(chǎn)生損傷，更減少該些磁研磨料的損耗。
[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法，其電化學(xué)加工單元于進(jìn)行電化學(xué)加工過程會(huì)依據(jù)工件的移動(dòng)速度或者相對(duì)于加工電極的工件面積的變化而調(diào)整電源的強(qiáng)度，以控制形成于工件表面的鈍化層的厚度得以均勻，如此磁力研磨加工單元即可均勻研磨工件的表面，而提高表面拋光精度。
[0009]本發(fā)明的目的在于提供一種電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法，其可交替對(duì)工件進(jìn)行電化學(xué)加工及磁力研磨加工，如此不但降低工件的表面粗糙度，也同時(shí)提升工件的表面拋光效率。
[0010]本發(fā)明的目的在于提供一種電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法，其可應(yīng)用于小直徑的棒狀工件的表面加工，及應(yīng)用于難加工的工件的表面拋光。
[0011]本發(fā)明提出一種電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置，其包含一電化學(xué)加工單元、一磁力研磨加工單元與一移動(dòng)單元。該電化學(xué)加工單元包含一電解液容置空間，以進(jìn)行一電化學(xué)加工。該磁力研磨加工單元與該電化學(xué)加工單元排列于一軸向上，并包含一研磨料容置空間，以進(jìn)行一磁力研磨加工，該研磨料容置空間與該電解液容置空間相互分離設(shè)置。該移動(dòng)單元帶動(dòng)一工件至該電化學(xué)加工單元與該磁力研磨加工單元，以交替進(jìn)行該電化學(xué)加工及該磁力研磨加工。
[0012]本發(fā)明亦提出一種電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工方法，其提供一電化學(xué)加工單元，以進(jìn)行一電化學(xué)加工；提供一磁力研磨加工單元，其與該電化學(xué)加工單元排列于一軸向上，以進(jìn)行一磁力研磨加工，該磁力研磨加工單元與該電化學(xué)加工單元相互分離設(shè)置；帶動(dòng)一工件沿該軸向往復(fù)移動(dòng)于該電化學(xué)加工單元與該磁力研磨加工單元，以對(duì)該工件交替進(jìn)行該電化學(xué)加工及該磁力研磨加工。
[0013]實(shí)施本發(fā)明產(chǎn)生的有益效果是:本發(fā)明提供一種電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法，其使工件可交替并連續(xù)進(jìn)行電化學(xué)加工及磁力研磨加工。本發(fā)明的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置的磁力研磨加工單元及電化學(xué)加工單元是分開設(shè)置，如此磁力研磨加工單元的該些磁研磨料不會(huì)搭接于工件與電化學(xué)加工單元的加工電極之間，如此可避免對(duì)工件與加工電極進(jìn)行放電，進(jìn)而避免損傷工件的表面與加工電極，并減少該些磁研磨料的損耗。
[0014]此外，本發(fā)明的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法，其于進(jìn)行電化學(xué)加工過程會(huì)依據(jù)工件的移動(dòng)速度或者相對(duì)于加工電極的工件面積的變化而調(diào)整電源的強(qiáng)度，以控制形成于工件表面的鈍化層的厚度得以均勻，如此即可均勻研磨工件的表面，而提高表面拋光精度。另外，本發(fā)明的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法適用于對(duì)難加工的工件進(jìn)行表面拋光加工，而有效降低工件的表面粗糙度，并提升工件的表面拋光效率，且可應(yīng)用于小直徑的棒狀工件的表面拋光加工。
【專利附圖】

【附圖說明】[0015]圖1為本發(fā)明第一實(shí)施例的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置的示意圖；
[0016]圖2為本發(fā)明的第一實(shí)施例的電化學(xué)加工單元的示意圖；以及
[0017]圖3A為本發(fā)明的第一實(shí)施例的磁力研磨加工單元的示意圖；
[0018]圖3B為本發(fā)明的第三圖的B區(qū)域的局部放大圖；
[0019]圖4為本發(fā)明的第一實(shí)施例的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工方法的流程圖；
[0020]圖5為本發(fā)明的第二實(shí)施例的磁力研磨加工單元的示意圖；以及
[0021]圖6為本發(fā)明的第三實(shí)施例的磁力研磨加工單元的示意圖。
[0022]【圖號(hào)對(duì)照說明】
[0023]1電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置10 電化學(xué)加工單元
[0024]101 電化學(xué)加工槽1011電解液容置空間
[0025]1012側(cè)壁1013 固定孔
[0026]1014通孔102 加工電極
[0027]103 電極固定座104 電解液
[0028]105 電源控制器12 磁力研磨加工單元
[0029]121a第一磁性產(chǎn)生組件121b第二磁性產(chǎn)生組件
[0030]121c電磁鐵1211研磨料容置空間
[0031]122 磁研磨料1221驅(qū)動(dòng)材
[0032]1222 間隙1223研磨材
[0033]124 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器125 固定座
[0034]126 通道14 移動(dòng)單元
[0035]140 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)141 旋轉(zhuǎn)主軸
[0036]142 移動(dòng)機(jī)構(gòu)1421連接座
[0037]1422滑動(dòng)件1423導(dǎo)滑柱
[0038]1424導(dǎo)滑柱固定座2 工件
[0039]21 預(yù)加工區(qū)域21a 上端部
[0040]21b 下端部A 軸向
【具體實(shí)施方式】
[0041]為了使本發(fā)明的結(jié)構(gòu)特征及所達(dá)成的功效有更進(jìn)一步的了解與認(rèn)識(shí)，特用較佳的實(shí)施例及配合詳細(xì)的說明，說明如下:
[0042]習(xí)知電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置皆將電化學(xué)加工與磁力研磨加工整合于同一空間中進(jìn)行，如此導(dǎo)致用于磁力研磨加工的多個(gè)磁研磨料會(huì)搭接于工件與電化學(xué)加工的加工電極之間，而對(duì)工件與加工電極放電，使工件表面與加工電極因而產(chǎn)生損傷，且該些磁研磨料也會(huì)因而消耗，此外習(xí)知電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置于工件的表面所形成的鈍化層的厚度會(huì)不均勻，而影響研磨加工的精度，因此本發(fā)明提供一種電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法，其將進(jìn)行電化學(xué)加工的電解液容置空間與進(jìn)行磁力研磨加工的研磨料容置空間分離設(shè)置，且控制形成于工件表面的鈍化層的厚度得以均勻，而有效改善上述問題。
[0043]首先，請(qǐng)參閱圖1，其是本發(fā)明的第一實(shí)施例的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置的示意圖。如圖所示，本發(fā)明的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置I包含一電化學(xué)加工單元10、一磁力研磨加工單元12及一移動(dòng)單元14。磁力研磨加工單元12設(shè)置于電化學(xué)加工單元10的上方，電化學(xué)加工單元10具有一電化學(xué)加工槽101，電化學(xué)加工槽101內(nèi)具有一電解液容置空間1011，以用于容置一電解液104，而對(duì)一工件2進(jìn)行電化學(xué)加工。
[0044]磁力研磨加工單元12具有一磁性產(chǎn)生模塊，于本實(shí)施例中,磁性產(chǎn)生模塊包含一第一磁性產(chǎn)生組件121a及一第二磁性產(chǎn)生組件121b，第一磁性產(chǎn)生組件121a與第二磁性產(chǎn)生組件121b之間具有一研磨料容置空間1211，以用于容置多個(gè)磁研磨料122。換言的，磁性產(chǎn)生模塊設(shè)置于研磨料容置空間1211的側(cè)邊。第一磁性產(chǎn)生組件121a與第二磁性產(chǎn)生組件121b用于產(chǎn)生磁場(chǎng)，以帶動(dòng)該些磁研磨料122位移，即該些磁研磨料122于研磨料容置空間1211內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)或移動(dòng)，而對(duì)工件2進(jìn)行磁力研磨加工。電解液容置空間1011及研磨料容置空間1211皆位于同一軸向A上，并相互分離。
[0045]移動(dòng)單元14用于夾持工件2，且?guī)?dòng)工件2沿著軸向A移動(dòng)并上下往復(fù)移動(dòng)于電化學(xué)加工單元10的電解液容置空間1011與磁力研磨加工單元12的研磨料容置空間1211之間，以使工件2的不同部位同時(shí)分別進(jìn)行電化學(xué)加工及磁力研磨加工，以使工件2的相同部位交替地進(jìn)行電化學(xué)加工及磁力研磨加工，如此進(jìn)行于工件2上形成一鈍化層，再移除鈍化層的加工的循環(huán)步驟，而達(dá)成利用鈍化層較易研磨的特點(diǎn)，以運(yùn)用于硬度高的難加工材上，可達(dá)成加工尺寸較佳、粗糙度降低、形狀精度較佳的加工方式。
[0046]請(qǐng)一并參閱圖2，其是本發(fā)明的第一實(shí)施例的電化學(xué)加工單元的示意圖。如圖所示，電化學(xué)加工單元10更包含一加工電極102及一電極固定座103。加工電極102設(shè)置于電極固定座103，電極固定座103設(shè)置于電化學(xué)加工槽101的側(cè)壁1012的一固定孔1013，而固定于電化學(xué)加工槽101，如此加工電極102即穿過固定孔1013而位于電解液容置空間1011內(nèi)。電化學(xué)加工單元10進(jìn)行電化學(xué)加工前，除了將加工電極102設(shè)置于電化學(xué)加工槽101之外，還需添加電解液104于電化學(xué)加工槽101內(nèi)的電解液容置空間1011，使加工電極102浸泡于電解液104中。電化學(xué)加工單元10更包含一電源控制器105 (請(qǐng)參閱圖1)，電源控制器105的正極電性連接工件2，其負(fù)極電性連接加工電極102，并提供電源至工件2與加工電極102，以進(jìn)行電化學(xué)加工。
[0047]請(qǐng)一并參閱圖3A及圖3B，其是本發(fā)明的第一實(shí)施例的磁力研磨加工單元的示意圖及圖3A的B區(qū)域的局部放大圖。如圖所示，本實(shí)施例的磁力研磨加工單元12的第一磁性產(chǎn)生組件121a及第二磁性產(chǎn)生組件121b可分別為一磁鐵。于本實(shí)施例中，第一磁性產(chǎn)生組件121a的磁極性與第二磁性產(chǎn)生組件121b的磁極性相反，例如第一磁性產(chǎn)生組件121a的磁極性為S極，而第二磁性產(chǎn)生組件121b的磁極性為N極。此外，研磨料容置空間1211容置的該些磁研磨料122包含多個(gè)驅(qū)動(dòng)材1221及多個(gè)研磨材1223，該些驅(qū)動(dòng)材1221與該些研磨材1223相互混和。于本實(shí)施例中，該些驅(qū)動(dòng)材1221可為導(dǎo)磁材，例如鐵砂，而該些研磨材1223可為碳化硅。第一磁性產(chǎn)生組件121a及第二磁性產(chǎn)生組件121b因具有磁力而產(chǎn)生磁場(chǎng)，使該些驅(qū)動(dòng)材1221排列于研磨料容置空間1211。由于該些研磨材1223混合于該些驅(qū)動(dòng)材1221中，所以該些研磨材1223會(huì)被該些驅(qū)動(dòng)材1221夾持于該研磨料容置空間1211，其好比是該些驅(qū)動(dòng)材1221之間具有多個(gè)間隙1222，而該些研磨材1223填充于該些間隙1222的中。
[0048]磁力研磨加工單元12更包含二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器124及二固定座125，二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器124分別設(shè)置于二固定座125,磁性產(chǎn)生模塊的第一磁性產(chǎn)生組件121a及第二磁性產(chǎn)生組件121b分別設(shè)置于二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器124。二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器124可分別帶動(dòng)第一磁性產(chǎn)生組件121a及第二磁性產(chǎn)生組件121b轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)?shù)谝淮判援a(chǎn)生組件121a及第二磁性產(chǎn)生組件121b轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，第一磁性產(chǎn)生組件121a及第二磁性產(chǎn)生組件121b所產(chǎn)生的磁場(chǎng)即會(huì)變化，如此該些驅(qū)動(dòng)材1221即會(huì)受到影響而位移(轉(zhuǎn)動(dòng)或移動(dòng))，而連動(dòng)該些研磨材1223，使該些研磨材1223保持其研磨銳角對(duì)工件2進(jìn)行研磨加工。本發(fā)明的磁研磨料122亦可僅包含驅(qū)動(dòng)材1221，而對(duì)工件2進(jìn)行研磨加工。
[0049]復(fù)參閱圖1，本實(shí)施例的移動(dòng)單元14包含一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)140及一移動(dòng)機(jī)構(gòu)142，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)140具有一旋轉(zhuǎn)主軸141，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)140設(shè)置于移動(dòng)機(jī)構(gòu)142，并位于軸向A上。旋轉(zhuǎn)主軸141夾持工件2，旋轉(zhuǎn)主軸141為馬達(dá)(圖未示)的主軸，其帶動(dòng)工件2轉(zhuǎn)動(dòng)。移動(dòng)機(jī)構(gòu)142用于承載旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)140沿軸向A上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)工件2交替進(jìn)行電化學(xué)加工與磁力研磨加工。移動(dòng)機(jī)構(gòu)142包含一連接座1421、二滑動(dòng)件1422、二導(dǎo)滑柱1423及一導(dǎo)滑柱固定座1424。導(dǎo)滑柱固定座1424供電化學(xué)加工單元10的電化學(xué)加工槽101及磁力研磨加工單元12的二固定座125設(shè)置，電化學(xué)加工槽101位于二固定座125之間。二導(dǎo)滑柱1423設(shè)置于導(dǎo)滑柱固定座1424,并位于磁力研磨加工單兀12的兩側(cè)。二滑動(dòng)件1422分別滑設(shè)于二導(dǎo)滑柱1423。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)140設(shè)置于連接座1421，連接座1421的兩端分別往二導(dǎo)滑柱1423延伸，而設(shè)置于二滑動(dòng)件1422，如此二滑動(dòng)件1422上下往復(fù)滑動(dòng)于二導(dǎo)滑柱1423時(shí)，二滑動(dòng)件1422即會(huì)帶動(dòng)連接座1421移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)設(shè)置于連接座1421的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)140沿軸向A作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。于本發(fā)明的一實(shí)施例中，藉由致動(dòng)器(圖未示)驅(qū)使滑動(dòng)件1422與連接座1421作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，以帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)140沿軸向A作上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0050]請(qǐng)一并參閱圖4，其是本發(fā)明的第一實(shí)施例的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨方法的流程圖。如圖所示，本實(shí)施例的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨裝置I先對(duì)工件2的一預(yù)加工區(qū)域21 (請(qǐng)參閱圖2)進(jìn)行電化學(xué)加工，使預(yù)加工區(qū)域21的表面產(chǎn)生一鈍化層，然后透過電化學(xué)復(fù)合磁力研磨裝置I對(duì)預(yù)加工區(qū)域21進(jìn)行磁力研磨加工，以去除產(chǎn)生于預(yù)加工區(qū)域21的表面的鈍化層，如此對(duì)預(yù)加工區(qū)域21循環(huán)進(jìn)行電化學(xué)加工及磁力研磨加工，以完成預(yù)加工區(qū)域21的表面拋光加工。本發(fā)明適用于對(duì)硬度高的工件2進(jìn)行表面拋光加工，也適用于小直徑的棒狀工件的表面拋光加工，例如工件2的直徑為0.5mm以下。下述詳細(xì)說明本實(shí)施例的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置I的運(yùn)作。
[0051]其運(yùn)作方式先執(zhí)行步驟SI，旋轉(zhuǎn)主軸141夾持工件2，移動(dòng)機(jī)構(gòu)142先帶動(dòng)工件2沿著軸向A往下移動(dòng)，而通過磁力研磨加工單元12并移動(dòng)至電化學(xué)加工單元10。本實(shí)施例的移動(dòng)機(jī)構(gòu)142帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)140往下移動(dòng)，如此帶動(dòng)設(shè)置于旋轉(zhuǎn)主軸141的工件2沿著軸向A通過磁力研磨加工單元12的研磨料容置空間1211，并通過研磨料容置空間1211內(nèi)的該些磁研磨料122，且穿過電化學(xué)加工槽101的一通孔1014(請(qǐng)參閱圖2)，如此于磁力研磨加工單元12及電化學(xué)加工單元10之間形成一通道126 (請(qǐng)參閱圖3A與圖3B),以使工件2進(jìn)入電解液容置空間1011。工件2可沿著通道126上下往復(fù)移動(dòng)于磁力研磨加工單元12與電化學(xué)加工單元10。當(dāng)工件2進(jìn)入電解液容置空間1011時(shí)，工件2的預(yù)加工區(qū)域21浸泡于電解液104中，并對(duì)應(yīng)設(shè)置于電化學(xué)加工槽101的加工電極102。
[0052]接著執(zhí)行步驟S2，通入電源至加工電極102及工件2，并使旋轉(zhuǎn)主軸141轉(zhuǎn)動(dòng)工件2，以對(duì)工件2的預(yù)加工區(qū)域21進(jìn)行電化學(xué)加工。同時(shí)執(zhí)行步驟S3，移動(dòng)單元14帶動(dòng)工件2于通道126沿著軸向A上下往復(fù)移動(dòng)，以對(duì)工件2的預(yù)加工區(qū)域21的不同部位同時(shí)進(jìn)行電化學(xué)加工及磁力研磨加工，并對(duì)預(yù)加工區(qū)域21的同一部位交替地進(jìn)行電化學(xué)加工及磁力研磨加工。
[0053]如圖2所示，對(duì)應(yīng)加工電極102的預(yù)加工區(qū)域21的上端部21a先經(jīng)電化學(xué)加工形成鈍化層。同時(shí)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)142帶動(dòng)工件2沿軸向A往上移動(dòng)，以使預(yù)加工區(qū)域21的上端部21a逐漸離開電化學(xué)加工單元10而進(jìn)入磁力研磨加工單元12，以進(jìn)行磁力研磨加工。隨著工件2持續(xù)往上移動(dòng)，預(yù)加工區(qū)域21的下端部21b (請(qǐng)參閱圖2)亦會(huì)往上移動(dòng)并相對(duì)于加工電極102，而進(jìn)行電化學(xué)加工以形成鈍化層，如此移動(dòng)機(jī)構(gòu)142帶動(dòng)工件2沿軸向A往上移動(dòng)，即對(duì)工件2的預(yù)加工區(qū)域21的不同部位同時(shí)進(jìn)行電化學(xué)加工及磁力研磨加工。工件2會(huì)持續(xù)被往上帶動(dòng)，使預(yù)加工區(qū)域21的下端部21b移動(dòng)至磁力研磨單元12進(jìn)行磁力研磨加工，以使預(yù)加工區(qū)域21所有部位完成磁力研磨加工，即對(duì)預(yù)加工區(qū)域21的同一部位交替地進(jìn)行電化學(xué)加工及磁力研磨加工。
[0054]待預(yù)加工區(qū)域21的下端部21b完成磁力研磨加工后，移動(dòng)機(jī)構(gòu)142會(huì)帶動(dòng)工件2沿軸向A而往下移動(dòng)，預(yù)加工區(qū)域21的下端部21b先進(jìn)入電化學(xué)加工單元10而相對(duì)于加工電極102以進(jìn)行電化學(xué)加工。之后，隨著移動(dòng)機(jī)構(gòu)142持續(xù)帶動(dòng)工件2往下移動(dòng)，預(yù)加工區(qū)域21的上端部21a亦會(huì)進(jìn)入電化學(xué)加工單元10以進(jìn)行電化學(xué)加工。由上述可知，本實(shí)施例利用移動(dòng)機(jī)構(gòu)142帶動(dòng)工件2作上下往復(fù)移動(dòng)，反復(fù)交替對(duì)預(yù)加工區(qū)域21進(jìn)行電化學(xué)加工及磁力研磨加工，直至預(yù)加工區(qū)域21完成表面拋光，如此可提高表面拋光效率。
[0055]此外，為了使形成于預(yù)加工區(qū)域21的鈍化層的厚度均勻，本發(fā)明更可進(jìn)一步依據(jù)相對(duì)于加工電極102的工件2的面積變化而調(diào)整電源的電壓的強(qiáng)度，以控制預(yù)加工區(qū)域21的單位面積的電流密度，其主要利用電源控制器105調(diào)整進(jìn)行電化學(xué)加工所需的電源的電壓的強(qiáng)度。舉例說明，當(dāng)預(yù)加工區(qū)域21最后欲脫離電化學(xué)加工單元10時(shí)，其相對(duì)于加工電極102的面積會(huì)越來越少，如此預(yù)加工區(qū)域21與加工電極102間的阻抗值會(huì)逐漸降低，若電源控制器105供應(yīng)的電源的電壓強(qiáng)度仍保持固定時(shí)，預(yù)加工區(qū)域21所受到的電流的強(qiáng)度會(huì)提高，此時(shí)電化學(xué)加工的加工量會(huì)變大，而增加鈍化膜的厚度，而導(dǎo)致鈍化膜的厚度不均勻。
[0056]因此，本發(fā)明為了使形成于預(yù)加工區(qū)域21的鈍化層的厚度均勻一致，所以當(dāng)相對(duì)于加工電極102的預(yù)加工區(qū)域21的面積逐漸變小時(shí)，為了維持固定的電流密度，電源控制器105會(huì)逐漸降低所提供的電源的電壓的強(qiáng)度；反的，當(dāng)預(yù)加工區(qū)域21再次進(jìn)入電化學(xué)加工單元10時(shí)，對(duì)應(yīng)加工電極102的預(yù)加工區(qū)域21的面積會(huì)越來越大，所以必須增加進(jìn)行電化學(xué)加工所需的電源的電壓的強(qiáng)度。如此，本發(fā)明即可控制預(yù)加工區(qū)域21的單位面積電流密度一致，而讓形成于預(yù)加工區(qū)域21的鈍化層的厚度均勻。
[0057]電源控制器105除了依據(jù)相對(duì)于加工電極102的工件2的面積變化而調(diào)整電源的電壓的強(qiáng)度之外，更可以依據(jù)工件2的移動(dòng)速度而調(diào)整電源的電壓的強(qiáng)度。移動(dòng)機(jī)構(gòu)142 (請(qǐng)參閱圖1)帶動(dòng)工件2進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，其會(huì)有速度的變化。一開始往上運(yùn)動(dòng)或者往下運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)逐漸增加速度到預(yù)定的運(yùn)動(dòng)速度，之后移動(dòng)到接近預(yù)定最高位置或者最低位置時(shí)則會(huì)逐漸降低速度，以變換運(yùn)動(dòng)方向。如此，工件2的初始運(yùn)動(dòng)速度與末端運(yùn)動(dòng)速度較慢，所以當(dāng)時(shí)相對(duì)于加工電極102的預(yù)加工區(qū)域21的加工時(shí)間較長，所以必須降低進(jìn)行電化學(xué)加工的電流密度。
[0058]舉例來說，當(dāng)預(yù)加工區(qū)域21的上端部21a(請(qǐng)參閱圖2)欲脫離電化學(xué)加工單元10時(shí)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)142會(huì)逐漸增加帶動(dòng)工件2往上運(yùn)動(dòng)的速度，所以初始移動(dòng)速度較慢，如此會(huì)增加預(yù)加工區(qū)域21的上端部21a對(duì)應(yīng)加工電極102的時(shí)間，即增加進(jìn)行電化學(xué)加工的時(shí)間，如此會(huì)增加鈍化膜的厚度，所以此時(shí)必須降低電源的電壓的強(qiáng)度，而降低電流密度；同樣地，當(dāng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)142移動(dòng)到接近預(yù)定最高位置，而預(yù)加工區(qū)域21的下端部21b欲脫離電化學(xué)加工單元10時(shí)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)142開始逐漸減緩帶動(dòng)工件2往上移動(dòng)的速度，如此也會(huì)增加預(yù)加工區(qū)域21的下端部21b進(jìn)行電化學(xué)加工的時(shí)間，此時(shí)也必須降低電源的電壓的強(qiáng)度而降低電流密度。所以，不論預(yù)加工區(qū)域21的上端部21a及下端部21b欲離開或進(jìn)入電化學(xué)加工單元10時(shí)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)142帶動(dòng)工件2的移動(dòng)速度會(huì)較慢，所以預(yù)加工區(qū)域21的上端部21a及下端部21b進(jìn)行電化學(xué)加工的時(shí)間較長，因此必須降低電源的電壓的強(qiáng)度，以降低電流密度，以控制形成于預(yù)加工區(qū)域21的鈍化層的厚度均勻。
[0059]當(dāng)磁力研磨加工單元12持續(xù)對(duì)工件2進(jìn)行磁力研磨加工時(shí)，研磨料容置空間1211內(nèi)的該些磁研磨料122會(huì)因長時(shí)間維持不動(dòng)而產(chǎn)生靜力平衡，即該些磁研磨料122無法移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)而無法施壓于工件2的預(yù)加工區(qū)域21，此時(shí)該些磁研磨料122無法對(duì)預(yù)加工區(qū)域21進(jìn)行研磨加工。因此必須破壞該些磁研磨料122間的靜力平衡，以移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)該些磁研磨料122，進(jìn)而對(duì)工件2的預(yù)加工區(qū)域21進(jìn)行研磨加工。本發(fā)明藉由啟動(dòng)磁力研磨加工單元12的二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器124，而分別帶動(dòng)第一磁性產(chǎn)生組件121a及第二磁性產(chǎn)生組件121b轉(zhuǎn)動(dòng)。于本發(fā)明的一實(shí)施例中，第一磁性產(chǎn)生組件121a及第二磁性產(chǎn)生組件121b的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反。如此,第一磁性產(chǎn)生組件121a與第二磁性產(chǎn)生組件121b間的磁場(chǎng)會(huì)改變，以導(dǎo)引研磨料容置空間1211內(nèi)的該些磁研磨料122的該些驅(qū)動(dòng)材1221移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)，而帶動(dòng)該些磁研磨料122的該些研磨材1223位移，使該些研磨材1223對(duì)工件2進(jìn)行研磨加工。
[0060]本發(fā)明采用分離方式設(shè)置電化學(xué)加工單元10與磁力研磨加工單元12，以讓電解液容置空間1011與研磨料容置空間1211相互分離，如此研磨料容置空間1211的該些磁研磨料122不會(huì)位于電解液104中，所以磁研磨料122不會(huì)搭接于工件2與電化學(xué)加工單元10的加工電極102之間，而避免對(duì)工件2或者加工電極102進(jìn)行放電，進(jìn)而避免工件2的表面與加工電極102產(chǎn)生損傷，更減少該些磁研磨料122的損耗。
[0061]請(qǐng)參閱圖5，其是本發(fā)明的第二實(shí)施例的磁力研磨加工單元的示意圖。如圖所示，本實(shí)施例的磁力研磨加工單元12與上述實(shí)施例的磁力研磨加工單元12不同在于，本實(shí)施例的磁力研磨加工單元12的磁性產(chǎn)生模塊包含一電磁鐵121c。本實(shí)施例的電磁鐵121c可呈馬蹄型，而其兩端分別設(shè)置于研磨料容置空間1211的兩側(cè)邊。電磁鐵121c耦接電源控制器105，電源控制器105提供電源至電磁鐵121c，以驅(qū)使電磁鐵121c的兩端產(chǎn)生磁場(chǎng)。
[0062]電源控制器105提供電源至電磁鐵121c而產(chǎn)生磁場(chǎng)時(shí)，電磁鐵121c的兩端會(huì)分別具有不同的磁極性，且電磁鐵121c的兩端的電源極性會(huì)決定電磁鐵121c的兩端的磁極性。當(dāng)電源控制器105調(diào)變提供至電磁鐵121c的電源的極性時(shí)，即會(huì)調(diào)變電磁鐵121c的兩端的電源極性，而調(diào)變電磁鐵121c的兩端的磁極性。當(dāng)電磁鐵121c的兩端的磁極性改變時(shí)，即改變電磁鐵121c所產(chǎn)生的磁場(chǎng)。
[0063]基于上述方式，本實(shí)施例的磁力研磨加工單元12于進(jìn)行研磨加工時(shí)，電源控制器105會(huì)調(diào)變供應(yīng)至電磁鐵121c的電源的極性，而調(diào)變流動(dòng)于電磁鐵121c的電流的方向，以調(diào)變電磁鐵121c的兩端的磁極性，如此即會(huì)改變電磁鐵121c所產(chǎn)生的磁場(chǎng)，使電磁鐵121c的兩端間的研磨料容置空間1211的該些磁研磨料122的該些驅(qū)動(dòng)材1221位移，進(jìn)而帶動(dòng)該些研磨材1223位移，以避免該些研磨材1223發(fā)生靜力平衡，如此即可驅(qū)使該些研磨材1223持續(xù)對(duì)工件2進(jìn)行研磨加工。
[0064]本實(shí)施例的該些磁研磨料122的該些驅(qū)動(dòng)材1221具有不同磁極性，例如該些驅(qū)動(dòng)材1221可為磁針，其中該些驅(qū)動(dòng)材1221具有磁極性而為S極及N極。電磁鐵121c的一端的磁極性為S極及N極交替變化時(shí)，其會(huì)使磁場(chǎng)變化，進(jìn)而使具磁極性的該些驅(qū)動(dòng)材1221轉(zhuǎn)動(dòng)或移動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)使該些磁研磨料122的該些研磨材1223可持續(xù)對(duì)工件2進(jìn)行研磨加工，因此該些磁研磨料122受磁場(chǎng)的影響，使該些磁研磨料122提供相對(duì)應(yīng)的研磨加工所需的面壓力，以對(duì)工件2進(jìn)行研磨加工。
[0065]本實(shí)施例因透過電源供應(yīng)器105調(diào)變施加于電磁鐵121c的電源的極性，而調(diào)變電磁鐵121c的兩端的磁極性，進(jìn)而改變所產(chǎn)生的磁場(chǎng)，如此即不需如第一實(shí)施例透過二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器124 (請(qǐng)參閱圖3A)轉(zhuǎn)動(dòng)第一磁性產(chǎn)生組件121a及第二磁性產(chǎn)生組件121b，即可改變電磁鐵121c所產(chǎn)生的磁場(chǎng)，所以本實(shí)施例的磁力研磨加工單元12可省略二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器124,本實(shí)施例的電磁鐵121c的兩端分別設(shè)置于二固定座125。
[0066]請(qǐng)參閱圖6,其是本發(fā)明的第三實(shí)施例的磁力研磨加工單元的示意圖；如圖所示，本實(shí)施例的磁力研磨加工單元12與第二實(shí)施例的磁力研磨加工單元12不同在于，本實(shí)施例的磁性產(chǎn)生模塊包含多個(gè)電磁鐵121c,該些電磁體21c設(shè)置于研磨料容置空間1211的側(cè)邊。本實(shí)施例具有兩個(gè)電磁鐵121c，而分別設(shè)置于研磨料容置空間1211的兩側(cè)邊，此兩個(gè)電磁鐵121c的一端設(shè)置于固定座125，而此兩個(gè)電磁鐵121c的另一端則相對(duì)且位于研磨料容置空間1211的側(cè)邊，即該些電磁鐵121c的一端部分別設(shè)置于研磨料容置空間1211的側(cè)邊，該些電磁鐵121c分別耦接電源控制器105，電源控制器105供應(yīng)獨(dú)立電源至每一電磁鐵121c,以驅(qū)使該些電磁鐵121c產(chǎn)生多個(gè)磁場(chǎng)。
[0067]本實(shí)施例的磁力研磨加工單元12于進(jìn)行磁力研磨加工時(shí)，電源控制器105會(huì)調(diào)變供應(yīng)至電磁鐵121c的電源的強(qiáng)度，例如調(diào)變電壓的強(qiáng)度，以改變電磁鐵121c的磁力的強(qiáng)度而改變電磁鐵121c所產(chǎn)生的磁場(chǎng)的強(qiáng)度，使位于該些電磁鐵121c間的研磨料容置空間1211的該些磁研磨料122的該些驅(qū)動(dòng)材1221移動(dòng)或轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)該些磁研磨料122的該些研磨材1223位移，以避免該些研磨材1223發(fā)生靜力平衡，驅(qū)使該些研磨材1223可持續(xù)對(duì)工件2進(jìn)行研磨加工。另外，電源控制器105可調(diào)變供應(yīng)至每一電磁鐵121c的電源的強(qiáng)度，而改變所有磁場(chǎng)，或者調(diào)變供應(yīng)至該些電磁鐵121c的一的電源即可。
[0068]另，如圖6所不,該磁性產(chǎn)生模塊包含多個(gè)電磁鐵121c,該些電磁鐵121c的一端分別設(shè)置于研磨料容置空間1211的側(cè)邊，并分別耦接一電源而產(chǎn)生多個(gè)磁場(chǎng)，本發(fā)明藉由電源控制器105調(diào)變所提供于該些電磁鐵121c的電源的極性，以調(diào)變?cè)撔╇姶盆F121c的端部的磁極性，使如圖6所示的電磁鐵121c互相對(duì)應(yīng)的端部的磁極性不同，以帶動(dòng)該些驅(qū)動(dòng)材1221位移。
[0069]綜上所述，本發(fā)明提供一種電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法，其使工件可交替并連續(xù)進(jìn)行電化學(xué)加工及磁力研磨加工。本發(fā)明的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置的磁力研磨加工單元及電化學(xué)加工單元是分開設(shè)置,如此磁力研磨加工單元的該些磁研磨料不會(huì)搭接于工件與電化學(xué)加工單元的加工電極之間，如此可避免對(duì)工件與加工電極進(jìn)行放電，進(jìn)而避免損傷工件的表面與加工電極，并減少該些磁研磨料的損耗。
[0070]此外，本發(fā)明的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法，其于進(jìn)行電化學(xué)加工過程會(huì)依據(jù)工件的移動(dòng)速度或者相對(duì)于加工電極的工件面積的變化而調(diào)整電源的強(qiáng)度，以控制形成于工件表面的鈍化層的厚度得以均勻，如此即可均勻研磨工件的表面，而提高表面拋光精度。另外，本發(fā)明的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置及其方法適用于對(duì)難加工的工件進(jìn)行表面拋光加工，而有效降低工件的表面粗糙度，并提升工件的表面拋光效率，且可應(yīng)用于小直徑的棒狀工件的表面拋光加工。
[0071] 上文僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用來限定本發(fā)明實(shí)施的范圍，凡依本發(fā)明權(quán)利要求范圍所述的形狀、構(gòu)造、特征及精神所為的均等變化與修飾，均應(yīng)包括于本發(fā)明的權(quán)利要求范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置，其特征在于，其包含: 一電化學(xué)加工單元，其包含一電解液容置空間，以進(jìn)行一電化學(xué)加工； 一磁力研磨加工單元，其與該電化學(xué)加工單元排列于一軸向上，并包含一研磨料容置空間，以進(jìn)行一磁力研磨加工，該研磨料容置空間與該電解液容置空間相互分離設(shè)置；以及 一移動(dòng)單元，其帶動(dòng)一工件往復(fù)移動(dòng)于該電化學(xué)加工單元與該磁力研磨加工單元，以交替對(duì)該工件進(jìn)行該電化學(xué)加工及該磁力研磨加工。
2.如權(quán)利要求1所述的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置，其特征在于，其中該電化學(xué)加工單元包含: 一電化學(xué)加工槽，其設(shè)有該電解液容置空間，該電解液容置空間容置一電解液； 一加工電極，其設(shè)置于該電化學(xué)加工槽，并位于該電解液容置空間，該工件對(duì)應(yīng)于該加工電極，而進(jìn)行該電化學(xué)加工；以及 一電源控制器，其電性連接該加工電極及該工件，并供應(yīng)一電源至該工件及該加工電極，以進(jìn)行該電化學(xué)加工。
3.如權(quán)利要求2所述的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置，其特征在于，其中該電化學(xué)加工單元更包含: 一電極固定座，其設(shè)置于該電化學(xué)加工槽，而固定該加工電極，該加工電極穿過該電化學(xué)加工槽的一固定孔，并位于該電解液容置空間。
4.如權(quán)利要求2所述的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置，其特征在于，其中該電源供應(yīng)器依據(jù)對(duì)應(yīng)于該加工電極的該工件的面積變化而調(diào)整該電源的電壓的強(qiáng)度。
5.如權(quán)利要求2所述的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置，其特征在于，其中該電源供應(yīng)器依據(jù)該移動(dòng)單元帶動(dòng)該工件的移動(dòng)速度而調(diào)整該電源的電壓的強(qiáng)度。
6.如權(quán)利要求1所述的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置，其特征在于，其中該磁力研磨加工單元包含: 多個(gè)驅(qū)動(dòng)材，其容置于該研磨料容置空間； 多個(gè)研磨材，其容置于該研磨料容置空間，并混合于該些驅(qū)動(dòng)材；以及 一磁性產(chǎn)生模塊，其設(shè)置于該研磨料容置空間的側(cè)邊并產(chǎn)生磁場(chǎng)，以帶動(dòng)該些驅(qū)動(dòng)材位移而驅(qū)動(dòng)該些研磨材對(duì)該工件進(jìn)行研磨加工。
7.如權(quán)利要求6所述的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置，其特征在于，其中該磁性產(chǎn)生模塊包含一電磁鐵，該電磁鐵具有二端，該兩端分別設(shè)置于該研磨料容置空間的兩側(cè)邊，該電磁鐵耦接一電源而于該兩端產(chǎn)生一磁場(chǎng)，且藉由調(diào)變所提供的該電源的極性，以調(diào)變?cè)撾姶盆F的該二端的磁極性，以帶動(dòng)該些驅(qū)動(dòng)材位移。
8.如權(quán)利要求6所述的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置，其特征在于，其中該磁性產(chǎn)生模塊包含多個(gè)電磁鐵，該些電磁鐵的一端部是分別設(shè)置于該研磨料容置空間的側(cè)邊，并分別耦接一電源而產(chǎn)生多個(gè)磁場(chǎng)，且藉由調(diào)變所提供的該電源的極性，以調(diào)變?cè)撔╇姶盆F的該端部的磁極性，以帶動(dòng)該些驅(qū)動(dòng)材位移。
9.如權(quán)利要求6所述的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置，其特征在于，其中該磁性產(chǎn)生模塊包含多個(gè)電磁鐵，其設(shè)置于該研磨料容置空間的側(cè)邊，并分別耦接一電源而產(chǎn)生多個(gè)磁場(chǎng)，且藉由調(diào)變所提供的該電源的強(qiáng)度，以調(diào)變?cè)撔┐艌?chǎng)的強(qiáng)度，以帶動(dòng)該些驅(qū)動(dòng)材位移。
10.如權(quán)利要求6所述的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置，其特征在于，其中該磁力研磨加工單元更包含: 二固定座；以及 二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器，其分別設(shè)置于該二固定座，該磁性產(chǎn)生模塊設(shè)置于該二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器，該二旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器帶動(dòng)該磁性產(chǎn)生模塊轉(zhuǎn)動(dòng)，以改變?cè)撔┐判援a(chǎn)生模塊所產(chǎn)生的該磁場(chǎng)，使該些驅(qū)動(dòng)材位移。
11.如權(quán)利要求1所述的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工裝置，其特征在于，其中該移動(dòng)單元包含: 一旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其夾持該工件，并帶動(dòng)該工件作轉(zhuǎn)動(dòng)；以及 一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其承載該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，并帶動(dòng)該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)沿該軸向作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，以交替進(jìn)行該電化學(xué)加工及該磁力研磨加工； 其中，該研磨料容置空間設(shè)置于該電解液容置空間的上方，且該電化學(xué)加工單元及該磁力研磨加工單元之間具有一通道，使該工件通過該通道移行其間。
12.一種電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工方法，其特征在于，其包含: 提供一電化學(xué)加工單元，以進(jìn)行一電化學(xué)加工； 提供一磁力研磨加工單元，其與該電化學(xué)加工單元排列于一軸向上，以進(jìn)行一磁力研磨加工,該磁力研磨加工 單元與該電化學(xué)加工單元相互分離設(shè)置 '及 帶動(dòng)一工件沿該軸向往復(fù)移動(dòng)于該電化學(xué)加工單元與該磁力研磨加工單元，以對(duì)該工件交替進(jìn)行該電化學(xué)加工及該磁力研磨加工。
13.如權(quán)利要求12所述的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工方法，其特征在于，其中該電化學(xué)加工單元對(duì)該工件進(jìn)行該電化學(xué)加工的步驟更包含: 移動(dòng)該工件而對(duì)應(yīng)該電化學(xué)加工單元的一加工電極，并提供一電源至該工件及該加工電極，而對(duì)該工件進(jìn)行該電化學(xué)加工，并依據(jù)對(duì)應(yīng)于該加工電極的該工件的面積變化而調(diào)整該電源的電壓的強(qiáng)度。
14.如權(quán)利要求12所述的電化學(xué)復(fù)合磁力研磨加工方法，其特征在于，其中該電化學(xué)加工單元對(duì)該工件進(jìn)行該電化學(xué)加工的步驟更包含: 移動(dòng)該工件而對(duì)應(yīng)該電化學(xué)加工單元的一加工電極，并提供一電源至該工件及該加工電極，而對(duì)該工件進(jìn)行該電化學(xué)加工，并依據(jù)該工件的移動(dòng)速度而調(diào)整該電源的電壓的強(qiáng)度。
【文檔編號(hào)】B23H5/08GK103909311SQ201210595570
【公開日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月28日
【發(fā)明者】林大裕, 張振暉 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人金屬工業(yè)研究發(fā)展中心