專利名稱：細(xì)孔加工用放電加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及向細(xì)孔加工用電極與被加工物的極間供給加工電力進(jìn)行放電、利用放電能在被加工物上形成細(xì)孔的細(xì)孔加工用放電加工裝置的改良。
背景技術(shù)：
細(xì)孔加工用放電加工裝置例如與采用激光的細(xì)孔加工相比較，由于真圓度和孔徑的均勻性高，特別適合高精度的用途。又，細(xì)孔加工因在被加工物上形成大量細(xì)孔(如直徑0.1mm、1萬(wàn)個(gè)左右)，故要求可靠性高的自動(dòng)化。
作為細(xì)孔加工用放電加工裝置用的細(xì)孔加工用電極可使用銅或鎢等的細(xì)絲，但為了防止由加工造成消耗增加以及生產(chǎn)性下降，必須使用長(zhǎng)度長(zhǎng)的細(xì)孔加工用電極(如直徑為0.1mm，長(zhǎng)度200mm左右)。這樣，因細(xì)孔加工用電極非常細(xì)且又長(zhǎng)，故容易松弛，難以操作，在使用該細(xì)孔加工用電極的被加工物的細(xì)孔加工方面存在著加工精度和可靠性差的問(wèn)題。
又，為了提高鉆泥排出等引起的加工穩(wěn)定性及其真圓度等，細(xì)孔加工用電極例如在1000rpm左右速度回轉(zhuǎn)的狀態(tài)下使用時(shí)，特別是在加工中容易發(fā)生細(xì)孔加工用電極的松弛。若在產(chǎn)生這種細(xì)孔加工用電極松弛的狀態(tài)下進(jìn)行加工，則隨著細(xì)孔加工用電極的消耗，因不能正確地進(jìn)行電極送料等，故存在著不能獲得所需加工精度的問(wèn)題。
為了解決上述的問(wèn)題，圖6是表示日本專利特開(kāi)昭60-108234號(hào)公報(bào)中記載的傳統(tǒng)的細(xì)孔加工用放電加工裝置結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖，圖中，1是細(xì)孔加工用電極，2是被加工物，3是工作臺(tái)，4是主軸，5是夾頭，6是保持細(xì)孔加工用電極1的電極夾，6a是支承柄，7是設(shè)置有引導(dǎo)細(xì)孔加工用電極1的細(xì)孔的細(xì)孔引導(dǎo)器，8是中間引導(dǎo)器。又，在細(xì)孔加工用電極1與被加工物2的極間隔有未圖示的加工液，從未圖示的加工用電源裝置向細(xì)孔加工用電極1與被加工物2的極間供給加工電力，利用放電能在被加工物2上形成細(xì)孔。
細(xì)孔加工用電極1的中間部由中間引導(dǎo)器8進(jìn)行引導(dǎo)，該中間引導(dǎo)器8由支承柄6a驅(qū)動(dòng)，隨著主軸4的升降而使中間引導(dǎo)器8移動(dòng)(圖中的箭頭E)，以抑制細(xì)孔加工用電極1加工中的松弛，但采用由支承柄6a驅(qū)動(dòng)中間引導(dǎo)器8的結(jié)構(gòu)等，存在著細(xì)孔加工用電極1難以自動(dòng)交換的問(wèn)題。又，這種中間引導(dǎo)器8已不能適應(yīng)近年來(lái)所要求的更高精度化。
圖7是表示日本專利特開(kāi)平8-229747號(hào)公報(bào)中記載的傳統(tǒng)的細(xì)孔加工用放電加工裝置的結(jié)構(gòu)及其動(dòng)作說(shuō)明圖。圖中，1是細(xì)孔加工用電極，2是被加工物，3是工作臺(tái)，4是主軸，5是夾頭，6是保持細(xì)孔加工用電極1的電極夾，7是細(xì)孔引導(dǎo)器，9是感應(yīng)引導(dǎo)器。又，在細(xì)孔加工用電極1與被加工物2的極間，中介有未圖示的加工液。
這種細(xì)孔加工用放電加工裝置以細(xì)孔加工用電極的可自動(dòng)交換作為主要目的，其基本動(dòng)作為以下(1)至(4)，即(1)使主軸4上升，在將細(xì)孔加工用電極1與電極夾6一起自動(dòng)交換之后，感應(yīng)引導(dǎo)器9向細(xì)孔加工用電極1的上部上升，松弛狀地將細(xì)孔加工用電極1夾持(圖7中的(a))，(2)在保持松弛狀地夾持細(xì)孔加工用電極1的狀態(tài)下，感應(yīng)引導(dǎo)器9下降至細(xì)孔加工用電極1的下部(圖7中的(b))，(3)使主軸4下降，將細(xì)孔加工用電極1插入細(xì)孔引導(dǎo)器7的細(xì)孔中(圖7中的(c))，(4)將感應(yīng)引導(dǎo)器9退避至被加工物2的加工區(qū)域之外(圖7中的(d))。在這種結(jié)構(gòu)的細(xì)孔加工用放電加工裝置中雖然可進(jìn)行細(xì)孔加工用電極的自動(dòng)交換，但因不能抑制加工中的細(xì)孔加工用電極1的松弛，故存在不能適應(yīng)高精度用途的問(wèn)題。
本
發(fā)明內(nèi)容
由于近年來(lái)的科學(xué)技術(shù)的急速進(jìn)步以及產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的增強(qiáng)等，對(duì)于細(xì)孔加工用放電加工裝置來(lái)講，高精度化以及提高生產(chǎn)性和可靠性的要求也越來(lái)越高。本發(fā)明為解決上述問(wèn)題，其目的在于提供一種能適應(yīng)進(jìn)一步的高精度化且自動(dòng)化、能與上述高精度化以及提高生產(chǎn)性和可靠性要求相應(yīng)的的細(xì)孔加工用放電加工裝置。
本發(fā)明的細(xì)孔加工用放電加工裝置包括保持細(xì)孔加工用電極的電極夾；沿其長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述電極夾和細(xì)孔加工用電極的驅(qū)動(dòng)裝置；設(shè)置有引導(dǎo)所述細(xì)孔加工用電極的細(xì)孔、配置在被加工物附近的細(xì)孔引導(dǎo)器；以及向所述細(xì)孔加工用電極與所述被加工物的極間供給加工電力的加工用電源裝置，利用放電能在所述被加工物上形成細(xì)孔，其特征在于，還包括將所述細(xì)孔加工用電極支承在所述電極夾與所述細(xì)孔引導(dǎo)器之間、同時(shí)具有可開(kāi)閉的夾頭的至少由2個(gè)引導(dǎo)器構(gòu)成的中間引導(dǎo)器；沿所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述中間引導(dǎo)器的第1驅(qū)動(dòng)裝置；開(kāi)閉所述中間引導(dǎo)器的各引導(dǎo)器的夾頭的第2驅(qū)動(dòng)裝置；以及使所述中間引導(dǎo)器的各引導(dǎo)器間的所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向的距離可變化的第3驅(qū)動(dòng)裝置。
又，本發(fā)明的細(xì)孔加工用放電加工裝置包括保持細(xì)孔加工用電極的電極夾；沿其長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述電極夾和細(xì)孔加工用電極的驅(qū)動(dòng)裝置；設(shè)有引導(dǎo)所述細(xì)孔加工用電極的細(xì)孔、配置在被加工物附近的細(xì)孔引導(dǎo)器；以及向所述細(xì)孔加工用電極與所述被加工物的極間供給加工電力的加工用電源裝置，利用放電能在所述被加工物上形成細(xì)孔，其特征在于，還包括具有將所述細(xì)孔加工用電極支承在所述細(xì)孔引導(dǎo)器附近的第1引導(dǎo)器和支承在所述電極夾與所述細(xì)孔引導(dǎo)器間的第2引導(dǎo)器、并在所述第2引導(dǎo)器上具有可開(kāi)閉的夾頭的中間引導(dǎo)器；沿所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述中間引導(dǎo)器的第1驅(qū)動(dòng)裝置；開(kāi)閉所述中間引導(dǎo)器的第2引導(dǎo)器的夾頭的第2驅(qū)動(dòng)裝置；以及使所述中間引導(dǎo)器的第1引導(dǎo)器和第2引導(dǎo)器間的所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向的距離可變化的第3驅(qū)動(dòng)裝置。
又，本發(fā)明的細(xì)孔加工用放電加工裝置包括保持細(xì)孔加工用電極的電極夾；沿其長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述電極夾和細(xì)孔加工用電極的驅(qū)動(dòng)裝置；設(shè)有引導(dǎo)所述細(xì)孔加工用電極的細(xì)孔、配置在被加工物附近的細(xì)孔引導(dǎo)器；以及向所述細(xì)孔加工用電極與所述被加工物的極間供給加工電力的加工用電源裝置，利用放電能在所述被加工物上形成細(xì)孔，其特征在于，還包括具有將所述細(xì)孔加工用電極支承在所述細(xì)孔引導(dǎo)器附近的第1引導(dǎo)器和支承在所述電極夾與所述細(xì)孔引導(dǎo)器間的第1引導(dǎo)器以外的多個(gè)引導(dǎo)器、并在所述第1引導(dǎo)器以外的多個(gè)引導(dǎo)器上具有可開(kāi)閉的夾頭的中間引導(dǎo)器；沿所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述中間引導(dǎo)器的第1驅(qū)動(dòng)裝置；開(kāi)閉所述中間引導(dǎo)器的第1引導(dǎo)器以外的多個(gè)引導(dǎo)器的夾頭的第2驅(qū)動(dòng)裝置；以及使所述中間引導(dǎo)器的第1引導(dǎo)器和第1引導(dǎo)器以外的多個(gè)引導(dǎo)器之間的所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向的距離可變化的第3驅(qū)動(dòng)裝置。
又，本發(fā)明的細(xì)孔加工用放電加工裝置的特征在于，具有沿所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述細(xì)孔引導(dǎo)器的第4驅(qū)動(dòng)裝置。
又，本發(fā)明的細(xì)孔加工用放電加工裝置的特征在于，在所述中間引導(dǎo)器的第1引導(dǎo)器上具有可開(kāi)閉的夾頭。
由于本發(fā)明的細(xì)孔加工用放電加工裝置采用了如上的結(jié)構(gòu)，因此具有能可靠地抑制細(xì)孔加工用電極1加工中的松弛、同時(shí)能可靠地進(jìn)行細(xì)孔加工用電極1的自動(dòng)交換、可實(shí)現(xiàn)高精度化以及提高生產(chǎn)性和可靠性的效果。
附圖的簡(jiǎn)單說(shuō)明
圖1為表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1中的細(xì)孔加工用放電加工裝置結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。
圖2為本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1中的細(xì)孔加工用放電加工裝置的中間引導(dǎo)器的動(dòng)作說(shuō)明圖。
圖3為本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1的細(xì)孔加工用放電加工裝置中細(xì)孔加工用電極的大部分消耗情況下的中間引導(dǎo)器的動(dòng)作說(shuō)明圖。
圖4為本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1的細(xì)孔加工用放電加工裝置中的細(xì)孔加工用電極自動(dòng)交換動(dòng)作的說(shuō)明圖。
圖5為本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)2中的細(xì)孔加工用放電加工裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。
圖6為表示傳統(tǒng)的細(xì)孔加工用放電加工裝置結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。
圖7為表示傳統(tǒng)的細(xì)孔加工用放電加工裝置的結(jié)構(gòu)及其動(dòng)作說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式
實(shí)施形態(tài)1圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1中的細(xì)孔加工用放電加工裝置結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖中，1是細(xì)孔加工用電極，2是被加工物，3是工作臺(tái)，4是主軸，5是夾頭，6是保持細(xì)孔加工用電極1的電極夾，10是設(shè)置有引導(dǎo)細(xì)孔加工用電極1的細(xì)孔的細(xì)孔引導(dǎo)器，11是中間引導(dǎo)器，11a是上部引導(dǎo)器，11b是下部引導(dǎo)器。又，在細(xì)孔加工用電極1與被加工物2的極間隔有未圖示的加工液，從未圖示的加工用電源裝置向細(xì)孔加工用電極1與被加工物2的極間供給加工電力，利用放電能在被加工物2上形成細(xì)孔。
主軸4通過(guò)未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置沿著細(xì)孔加工用電極1的長(zhǎng)度方向進(jìn)行驅(qū)動(dòng)(圖中的箭頭Z)，例如，對(duì)應(yīng)于細(xì)孔加工用電極1的消耗而下降。又，細(xì)孔引導(dǎo)器10對(duì)應(yīng)于被加工物2的厚度，通過(guò)未圖示驅(qū)動(dòng)裝置沿著細(xì)孔加工用電極1的長(zhǎng)度方向進(jìn)行驅(qū)動(dòng)(圖中的箭頭A)。并且，中間引導(dǎo)器11通過(guò)未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置沿著細(xì)孔加工用電極1的長(zhǎng)度方向進(jìn)行驅(qū)動(dòng)(圖中的箭頭B)，在加工中以及細(xì)孔加工用電極1的自動(dòng)交換時(shí)對(duì)細(xì)孔加工用電極1進(jìn)行引導(dǎo)。
主軸4、細(xì)孔引導(dǎo)器10和中間引導(dǎo)器11各自的Z方向、A方向、B方向的驅(qū)動(dòng)可采用由滾珠絲桿等直動(dòng)式變換伺服電動(dòng)機(jī)輸出的驅(qū)動(dòng)裝置或直線電動(dòng)機(jī)型的驅(qū)動(dòng)裝置等。又，各驅(qū)動(dòng)裝置的直動(dòng)式支承可采用直線引導(dǎo)器等的直線引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。
在以上的結(jié)構(gòu)中，中間引導(dǎo)器11的驅(qū)動(dòng)裝置既可在細(xì)孔引導(dǎo)器10的驅(qū)動(dòng)裝置上構(gòu)成，也可與細(xì)孔引導(dǎo)器10的驅(qū)動(dòng)裝置分開(kāi)獨(dú)立構(gòu)成。中間引導(dǎo)器11的驅(qū)動(dòng)裝置在細(xì)孔引導(dǎo)器10的驅(qū)動(dòng)裝置上構(gòu)成時(shí)，特別是在細(xì)孔加工用電極1的自動(dòng)交換時(shí)，在使中間引導(dǎo)器11上升至電極夾6附近、將細(xì)孔加工用電極的上部保持的場(chǎng)合，因可利用細(xì)孔引導(dǎo)器10的A方向的行程，故可縮短中間引導(dǎo)器11的B方向的行程。
圖2是中間引導(dǎo)器11的動(dòng)作說(shuō)明圖。上部引導(dǎo)器11a與下部引導(dǎo)器11b間的距離L可通過(guò)未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置來(lái)改變，如圖2的(b)所示，可將上部引導(dǎo)器11a與下部引導(dǎo)器11b間的距離減小(圖中的箭頭C)。又，如圖2的(c)和(d)所示，上部引導(dǎo)器11a和下部引導(dǎo)器11b的夾頭11c和11d的結(jié)構(gòu)為可通過(guò)未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置開(kāi)閉(圖中的箭頭D)。
為使中間引導(dǎo)器11的上部引導(dǎo)器11a與下部引導(dǎo)器11b的距離L可變化，該驅(qū)動(dòng)(C方向或與C方向相反的方向)可采用由滾珠絲桿等直動(dòng)式變換伺服電動(dòng)機(jī)輸出的驅(qū)動(dòng)裝置、直線電動(dòng)機(jī)型的驅(qū)動(dòng)裝置或氣缸式的驅(qū)動(dòng)裝置等，為使中間引導(dǎo)器11的夾頭11c和11d開(kāi)閉，該D方向的驅(qū)動(dòng)可采用氣缸式的驅(qū)動(dòng)裝置等，又，各驅(qū)動(dòng)裝置的直動(dòng)式支承可采用直線引導(dǎo)器等直線引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。
中間引導(dǎo)器11例如在圖1所示的細(xì)孔加工中，由于是由上下隔開(kāi)距離L的上部引導(dǎo)器11a和下部引導(dǎo)器11b在其中間部的2個(gè)點(diǎn)上支承細(xì)孔加工用電極1，故具有能可靠地抑制易發(fā)生松弛、難以操作的細(xì)孔加工用電極1的松弛的功能。
又，即使在細(xì)孔加工用電極1消耗而使主軸4、夾頭5和電極夾6下降時(shí)，也可例如圖3所示通過(guò)使上部引導(dǎo)器11a與下部引導(dǎo)器11b的間隔減小而使中間引導(dǎo)器11配置在細(xì)孔引導(dǎo)器10的附近，因不會(huì)與所述電極夾6碰撞，故可不浪費(fèi)地、有效地使用細(xì)孔加工用電極1。
圖4為細(xì)孔加工用電極1的自動(dòng)交換動(dòng)作的說(shuō)明圖。其基本動(dòng)作為以下的(1)至(3)。即(1)使用未圖示的自動(dòng)交換用支臂從夾頭5取下電極夾6和細(xì)孔加工用電極1之后，使中間引導(dǎo)器11上升(至安裝有電極夾6時(shí)的電極夾6附近)，在打開(kāi)中間引導(dǎo)器11的夾頭(如圖2中的11c和11d)的狀態(tài)下使用未圖示的自動(dòng)交換用支臂將細(xì)孔加工用電極1與電極夾6一起安裝在夾頭5上之后，關(guān)閉中間引導(dǎo)器11的夾頭，并松弛狀地夾持細(xì)孔加工用電極1(圖4中的(a))，(2)在保持松弛狀地夾持細(xì)孔加工用電極1的狀態(tài)下，中間引導(dǎo)器11下降至細(xì)孔加工用電極1的下部(圖4中的(b))，(3)使主軸4下降，將細(xì)孔加工用電極1插入細(xì)孔引導(dǎo)器10的細(xì)孔中(圖4中的(c))。在上述(1)所示使中間引導(dǎo)器11上升并打開(kāi)中間引導(dǎo)器11的夾頭的狀態(tài)下進(jìn)行細(xì)孔加工用電極1的安裝，將該細(xì)孔加工用電極1盡可能的上部裝入中間引導(dǎo)器11的夾頭后，因?qū)⒅虚g引導(dǎo)器11的夾頭關(guān)閉，故可將容易松弛、難以操作的細(xì)孔加工用電極1可靠地保持在盡可能的上部，同時(shí)如上述(2)和(3)所示，可引導(dǎo)細(xì)孔加工用電極1可靠地插入細(xì)孔引導(dǎo)器10的細(xì)孔中，故可提高自動(dòng)化的可靠性。
這樣，本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)1中的細(xì)孔加工用放電加工裝置能可靠地抑制細(xì)孔加工用電極1加工中的松弛，同時(shí)能可靠地進(jìn)行細(xì)孔加工用電極1的自動(dòng)交換，可實(shí)現(xiàn)高精度化以及提高生產(chǎn)性和可靠性。
實(shí)施形態(tài)2圖5為本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)2中的細(xì)孔加工用放電加工裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。細(xì)孔加工用放電加工裝置的結(jié)構(gòu)與實(shí)施形態(tài)1的圖1相同。
如實(shí)施形態(tài)1所示，即使在由中間引導(dǎo)器11對(duì)細(xì)孔加工用電極1的中間部進(jìn)行2點(diǎn)支承的場(chǎng)合，例如圖5(a)所示，在中間引導(dǎo)器11的的下部引導(dǎo)器11b與細(xì)孔引導(dǎo)器10的距離分開(kāi)時(shí)，有時(shí)會(huì)出現(xiàn)通過(guò)細(xì)孔引導(dǎo)器10后的細(xì)孔加工用電極1的前端傾斜而降低加工精度的現(xiàn)象。在這種場(chǎng)合，如圖5(b)所示，通過(guò)將下部引導(dǎo)器11b配置在細(xì)孔引導(dǎo)器10的附近，可抑制通過(guò)細(xì)孔引導(dǎo)器10后的細(xì)孔加工用電極1的前端傾斜。又，在此場(chǎng)合，若中間引導(dǎo)器11的上部引導(dǎo)器11a將細(xì)孔加工用電極1的中間部支承，則也可抑制細(xì)孔加工用電極1的松弛。
這樣，通過(guò)將中間引導(dǎo)器11的下部引導(dǎo)器11b配置在細(xì)孔引導(dǎo)器10的附近，同時(shí)將中間引導(dǎo)器11的上部引導(dǎo)器11a配置成支承細(xì)孔加工用電極1的中間部，可進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)高精度化。
在上述的說(shuō)明中表示的是由上部引導(dǎo)器11a和下部引導(dǎo)器11b的2個(gè)引導(dǎo)器構(gòu)成中間引導(dǎo)器11、上部引導(dǎo)器11a和下部引導(dǎo)器11b間的距離可變化的結(jié)構(gòu)，但也可由3個(gè)以上的引導(dǎo)器構(gòu)成中間引導(dǎo)器11，各引導(dǎo)器間的距離可變化。這樣，因增加了細(xì)孔加工用電極1的支承點(diǎn)，故可更可靠地抑制易松弛、難操作的細(xì)孔加工用電極1的松弛。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性綜上所述，本發(fā)明的細(xì)孔加工用放電加工裝置特別適用于高精度細(xì)孔加工作業(yè)。
權(quán)利要求
1.一種細(xì)孔加工用放電加工裝置，包括保持細(xì)孔加工用電極的電極夾；沿其長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述電極夾和細(xì)孔加工用電極的驅(qū)動(dòng)裝置；設(shè)有引導(dǎo)所述細(xì)孔加工用電極的細(xì)孔、配置在被加工物附近的細(xì)孔引導(dǎo)器；以及向所述細(xì)孔加工用電極與所述被加工物的極間供給加工電力的加工用電源裝置，利用放電能在所述被加工物上形成細(xì)孔，其特征在于，還包括將所述細(xì)孔加工用電極支承在所述電極夾與所述細(xì)孔引導(dǎo)器之間、同時(shí)具有可開(kāi)閉的夾頭的至少由2個(gè)引導(dǎo)器構(gòu)成的中間引導(dǎo)器；沿所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述中間引導(dǎo)器的第1驅(qū)動(dòng)裝置；開(kāi)閉所述中間引導(dǎo)器的各引導(dǎo)器的夾頭的第2驅(qū)動(dòng)裝置；以及使所述中間引導(dǎo)器的各引導(dǎo)器間的所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向的距離可變化的第3驅(qū)動(dòng)裝置。
2.一種細(xì)孔加工用放電加工裝置，包括保持細(xì)孔加工用電極的電極夾；沿其長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述電極夾和細(xì)孔加工用電極的驅(qū)動(dòng)裝置；設(shè)有引導(dǎo)所述細(xì)孔加工用電極的細(xì)孔、配置在被加工物附近的細(xì)孔引導(dǎo)器；以及向所述細(xì)孔加工用電極與所述被加工物的極間供給加工電力的加工用電源裝置，利用放電能在所述被加工物上形成細(xì)孔，其特征在于，還包括具有將所述細(xì)孔加工用電極支承在所述細(xì)孔引導(dǎo)器附近的第1引導(dǎo)器和支承在所述電極夾與所述細(xì)孔引導(dǎo)器間的第2引導(dǎo)器、并在所述第2引導(dǎo)器上具有可開(kāi)閉的夾頭的中間引導(dǎo)器；沿所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述中間引導(dǎo)器的第1驅(qū)動(dòng)裝置；開(kāi)閉所述中間引導(dǎo)器的第2引導(dǎo)器的夾頭的第2驅(qū)動(dòng)裝置；以及使所述中間引導(dǎo)器的第1引導(dǎo)器和第2引導(dǎo)器間的所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向的距離可變化的第3驅(qū)動(dòng)裝置。
3.一種細(xì)孔加工用放電加工裝置，包括保持細(xì)孔加工用電極的電極夾；沿其長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述電極夾和細(xì)孔加工用電極的驅(qū)動(dòng)裝置；設(shè)有引導(dǎo)所述細(xì)孔加工用電極的細(xì)孔、配置在被加工物附近的細(xì)孔引導(dǎo)器；以及向所述細(xì)孔加工用電極與所述被加工物的極間供給加工電力的加工用電源裝置，利用放電能在所述被加工物上形成細(xì)孔，其特征在于，還包括具有將所述細(xì)孔加工用電極支承在所述細(xì)孔引導(dǎo)器附近的第1引導(dǎo)器和支承在所述電極夾與所述細(xì)孔引導(dǎo)器間的第1引導(dǎo)器以外的多個(gè)引導(dǎo)器、并在所述第1引導(dǎo)器以外的多個(gè)引導(dǎo)器上具有可開(kāi)閉的夾頭的中間引導(dǎo)器；沿所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述中間引導(dǎo)器的第1驅(qū)動(dòng)裝置；開(kāi)閉所述中間引導(dǎo)器的第1引導(dǎo)器以外的多個(gè)引導(dǎo)器的夾頭的第2驅(qū)動(dòng)裝置；以及使所述中間引導(dǎo)器的第1引導(dǎo)器和第1引導(dǎo)器以外的多個(gè)引導(dǎo)器各自之間的所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向的距離可變化的第3驅(qū)動(dòng)裝置。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的細(xì)孔加工用放電加工裝置，其特征在于，還具有沿所述細(xì)孔加工用電極的長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)所述細(xì)孔引導(dǎo)器的第4驅(qū)動(dòng)裝置。
5.如權(quán)利要求2或3所述的細(xì)孔加工用放電加工裝置，其特征在于，在所述中間引導(dǎo)器的第1引導(dǎo)器上具有可開(kāi)閉的夾頭。
全文摘要
一種細(xì)孔加工用放電加工裝置，包括保持細(xì)孔加工用電極(1)的電極夾(6)；沿其長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)電極夾(6)和細(xì)孔加工用電極(1)的驅(qū)動(dòng)裝置；設(shè)有引導(dǎo)細(xì)孔加工用電極(1)的細(xì)孔的細(xì)孔引導(dǎo)器(10)；以及向細(xì)孔加工用電極(1)與被加工物(2)的極間供給加工電力的加工用電源裝置，其特點(diǎn)是還包括將細(xì)孔加工用電極(1)支承在電極夾(6)與細(xì)孔引導(dǎo)器(10)之間、由2點(diǎn)支承的上部引導(dǎo)器(11a)和下部引導(dǎo)器(11b)以及可分別開(kāi)閉這些引導(dǎo)器的夾頭構(gòu)成的中間引導(dǎo)器(11)；沿細(xì)孔加工用電極(1)的長(zhǎng)度方向驅(qū)動(dòng)中間引導(dǎo)器(11)的第1驅(qū)動(dòng)裝置；開(kāi)閉中間引導(dǎo)器(11)的各引導(dǎo)器的夾頭的第2驅(qū)動(dòng)裝置；使中間引導(dǎo)器(11)的上部引導(dǎo)器(11a)和下部引導(dǎo)器(11b)間的細(xì)孔加工用電極(1)的長(zhǎng)度方向的距離L可變化的第3驅(qū)動(dòng)裝置。可獲得適于高精度自動(dòng)化的細(xì)孔加工用放電加工裝置。
文檔編號(hào)B23H9/00GK1452533SQ00819546
公開(kāi)日2003年10月29日 申請(qǐng)日期2000年5月22日 優(yōu)先權(quán)日2000年5月22日
發(fā)明者鈴木智, 片桐明房, 安棲久雄, 金谷隆史, 毛呂俊夫 申請(qǐng)人:三菱電機(jī)株式會(huì)社