專利名稱：下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
場致發(fā)射顯示器是一種固體真空平面型顯示裝置，它利用點(diǎn)陣排列式冷陰極來發(fā)射電子，以保證顯示性能的穩(wěn)定可靠、色彩鮮艷以及高分辨率。碳納米管能夠在外加電場強(qiáng)度的作用下發(fā)射出大量電子，是一種性能優(yōu)異的冷陰極材料。因此，碳納米管場致發(fā)射顯示器也就隨之應(yīng)運(yùn)而生了。隨著高新技術(shù)的不斷發(fā)展與進(jìn)步，這種顯示器的顯示質(zhì)量已經(jīng)完全可與目前常用的陰極射線管顯示器相媲美，并在超薄型、完全平板化以及大面積型等方面更具有競爭力。
為了降低總體器件成本，以便于和常規(guī)的集成驅(qū)動(dòng)電路相結(jié)合，制作三極結(jié)構(gòu)的場致發(fā)射顯示器件已經(jīng)成為了一種必然的選擇。而在目前大多數(shù)的碳納米管場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，都采用了柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)上方的控制模式，其柵極結(jié)構(gòu)的控制作為較為顯著，但柵極電壓居高不下卻是其致命缺陷。此外，在這種控制模式下，受到柵極結(jié)構(gòu)的限制，碳納米管陰極的有效電子發(fā)射面積無法進(jìn)行擴(kuò)大，也就無法進(jìn)一步提高器件的顯示亮度。碳納米管陰極的宏觀形狀也會(huì)對(duì)其電場強(qiáng)度產(chǎn)生一定的影響作用，如果能夠讓碳納米管陰極在較低的電壓下就能夠發(fā)射電子，那么也是從間接角度降低柵極工作電壓的一條途徑。而這些缺點(diǎn)和不足目前還沒有太好的解決辦法，需要眾多科研人員認(rèn)真地考慮并加以解決。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)。
所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極升高層；柵極升高層呈現(xiàn)圓柱體型形狀，上下表面均為平面，下表面坐落于柵極引線層的上面；柵極升高層側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿柵極升高層的整個(gè)側(cè)面，形成一個(gè)圓筒面形狀，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極升高層的上頂面是不存在柵極管制層的；柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層的上表面為平面，下表面要完全覆蓋住柵極升高層、柵極管制層、柵極引線層以及空余的絕緣層部分；提升層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的上下表面均為平面，下表面和提升層的上表面相互接觸；間隔層中存在凹面孔，即此凹面孔在間隔層上表面所形成的截面為一個(gè)中空的圓型面，此處圓型面的直徑最大，凹面孔的底面要暴露出提升層的上表面；間隔層中凹面孔的側(cè)面形成一個(gè)略向內(nèi)凹陷的弧形面，從間隔層的上表面開始，直至到達(dá)提升層的上表面位置為止；間隔層中凹面孔的底面也為一個(gè)圓型面，且其直徑不能小于柵極管制層的直徑；間隔層中凹面孔的內(nèi)側(cè)壁上和底面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層布滿間隔層凹面孔的內(nèi)側(cè)壁上，但在凹面孔的底面上形成一個(gè)圓環(huán)型形狀，位于凹面孔底面的周圍；底面圓環(huán)型陰極過渡層位于柵極管制層的正上方，圓環(huán)型陰極過渡層底面的外直徑要大于柵極管制層的直徑，而圓環(huán)型陰極過渡層底面的內(nèi)直徑要小于柵極管制層的直徑；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層位于側(cè)壁上陰極過渡層的下半部分上面、底面圓環(huán)型陰極過渡層的上面；位于底面圓環(huán)型陰極過渡層上面的陰極導(dǎo)電層的內(nèi)邊緣部分要斜向上抬升，形成一個(gè)斜面懸空態(tài)；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
一種下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制作出陰極玻璃面板；
2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層上面制金屬層，刻蝕形成柵極引線層；4)柵極升高層[4]的制作在柵極引線層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高層；5)柵極管制層[5]的制作在柵極升高層的側(cè)面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；6)提升層[6]的制作在柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；7)間隔層[7]的制作在提升層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；8)陰極過渡層[8]的制作在間隔層凹面孔的表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；9)陰極導(dǎo)電層[9]的制作在陰極過渡層上面制金屬鎳層，刻蝕成陰極導(dǎo)電層；10)陰極引線層[10]的制作在間隔層上表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；11)陰極覆蓋層[11]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；12)下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)陽極玻璃面板[13]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制作出陽極玻璃面板；
15)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝配到一起，將消氣劑[19]放入到空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；19)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟19具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)中，將圓筒型柵極結(jié)構(gòu)制作在了碳納米管陰極結(jié)構(gòu)的正下方。當(dāng)在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓以后，就會(huì)在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大的電場強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子，體現(xiàn)了柵極結(jié)構(gòu)的強(qiáng)有力控制功能。由于柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)的下方，且被提升層所覆蓋，因此柵極結(jié)構(gòu)不會(huì)截留碳納米管陰極所發(fā)射的電子束，減小了柵極電流。柵極管制層的上端可以盡可能的接近于碳納米管陰極，因此可以縮減二者之間的距離，有助于降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。
其次，在所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制備在了呈現(xiàn)環(huán)形的陰極導(dǎo)電層的上面。充分利用了碳納米管陰極中邊緣位置能夠發(fā)射出大量電子的特有現(xiàn)象，使得碳納米管陰極能夠發(fā)射出更多的電子，提高了碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，有利于進(jìn)一步提高器件的顯示亮度和圖像質(zhì)量。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展；此外，在所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)中，并沒有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的、碳納米管場致發(fā)射平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明，但并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種帶有下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[18]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層[14]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[16]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[12]以及下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑[19]附屬元件。
所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、柵極引線層[3]、柵極升高層[4]、柵極管制層[5]、提升層[6]、間隔層[7]、陰極過渡層[8]、陰極導(dǎo)電層[9]、陰極引線層[10]、陰極覆蓋層[11]和碳納米管[12]部分。
所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極升高層；柵極升高層呈現(xiàn)圓柱體型形狀，上下表面均為平面，下表面坐落于柵極引線層的上面；柵極升高層側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿柵極升高層的整個(gè)側(cè)面，形成一個(gè)圓筒面形狀，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極升高層的上頂面是不存在柵極管制層的；柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層的上表面為平面，下表面要完全覆蓋住柵極升高層、柵極管制層、柵極引線層以及空余的絕緣層部分；提升層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的上下表面均為平面，下表面和提升層的上表面相互接觸；間隔層中存在凹面孔，即此凹面孔在間隔層上表面所形成的截面為一個(gè)中空的圓型面，此處圓型面的直徑最大，凹面孔的底面要暴露出提升層的上表面；間隔層中凹面孔的側(cè)面形成一個(gè)略向內(nèi)凹陷的弧形面，從間隔層的上表面開始，直至到達(dá)提升層的上表面位置為止；間隔層中凹面孔的底面也為一個(gè)圓型面，且其直徑不能小于柵極管制層的直徑；間隔層中凹面孔的內(nèi)側(cè)壁上和底面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層布滿間隔層凹面孔的內(nèi)側(cè)壁上，但在凹面孔的底面上形成一個(gè)圓環(huán)型形狀，位于凹面孔底面的周圍；底面圓環(huán)型陰極過渡層位于柵極管制層的正上方，圓環(huán)型陰極過渡層底面的外直徑要大于柵極管制層的直徑，而圓環(huán)型陰極過渡層底面的內(nèi)直徑要小于柵極管制層的直徑；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層位于側(cè)壁上陰極過渡層的下半部分上面、底面圓環(huán)型陰極過渡層的上面；位于底面圓環(huán)型陰極過渡層上面的陰極導(dǎo)電層的內(nèi)邊緣部分要斜向上抬升，形成一個(gè)斜面懸空態(tài)；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)柵極升高層[4]的制作在柵極引線層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高層；5)柵極管制層[5]的制作在柵極升高層的側(cè)面上制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極管制層；
6)提升層[6]的制作在柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；7)間隔層[7]的制作在提升層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；8)陰極過渡層[8]的制作在間隔層凹面孔的表面上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；9)陰極導(dǎo)電層[9]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個(gè)金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；10)陰極引線層[10]的制作在間隔層上表面上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；11)陰極覆蓋層[11]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；12)下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)碳納米管的后處理對(duì)碳納米管進(jìn)行后處理，改善場致發(fā)射特性；15)陽極玻璃面板[13]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；16)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；17)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；18)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；19)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝配到一起，并將消氣劑[19]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；20)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟18具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟20具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[13]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[18]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[14]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[16]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[17]以及消氣劑附屬元件[19]；其特征在于在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層[3]、碳納米管[12]以及下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極升高層；柵極升高層呈現(xiàn)圓柱體型形狀，上下表面均為平面，下表面坐落于柵極引線層的上面；柵極升高層側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成柵極管制層；柵極管制層布滿柵極升高層的整個(gè)側(cè)面，形成一個(gè)圓筒面形狀，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極升高層的上頂面是不存在柵極管制層的；柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層的上表面為平面，下表面要完全覆蓋住柵極升高層、柵極管制層、柵極引線層以及空余的絕緣層部分；提升層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的上下表面均為平面，下表面和提升層的上表面相互接觸；間隔層中存在凹面孔，即此凹面孔在間隔層上表面所形成的截面為一個(gè)中空的圓型面，此處圓型面的直徑最大，凹面孔的底面要暴露出提升層的上表面；間隔層中凹面孔的側(cè)面形成一個(gè)略向內(nèi)凹陷的弧形面，從間隔層的上表面開始，直至到達(dá)提升層的上表面位置為止；間隔層中凹面孔的底面也為一個(gè)圓型面，且其直徑不能小于柵極管制層的直徑；間隔層中凹面孔的內(nèi)側(cè)壁上和底面上的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層布滿間隔層凹面孔的內(nèi)側(cè)壁上，但在凹面孔的底面上形成一個(gè)圓環(huán)型形狀，位于凹面孔底面的周圍；底面圓環(huán)型陰極過渡層位于柵極管制層的正上方，圓環(huán)型陰極過渡層底面的外直徑要大于柵極管制層的直徑，而圓環(huán)型陰極過渡層底面的內(nèi)直徑要小于柵極管制層的直徑；陰極過渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；陰極導(dǎo)電層位于側(cè)壁上陰極過渡層的下半部分上面、底面圓環(huán)型陰極過渡層的上面；位于底面圓環(huán)型陰極過渡層上面的陰極導(dǎo)電層的內(nèi)邊緣部分要斜向上抬升，形成一個(gè)斜面懸空態(tài)；間隔層上表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；柵極管制層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)柵極升高層[4]的制作在柵極引線層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極升高層；5)柵極管制層[5]的制作在柵極升高層的側(cè)面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極管制層；6)提升層[6]的制作在柵極管制層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；7)間隔層[7]的制作在提升層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；8)陰極過渡層[8]的制作在間隔層凹面孔的表面上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；9)陰極導(dǎo)電層[9]的制作在陰極過渡層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；10)陰極引線層[10]的制作在間隔層上表面上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；11)陰極覆蓋層[11]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；12)下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；13)碳納米管[12]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；14)陽極玻璃面板[13]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制出陽極玻璃面板；15)陽極導(dǎo)電層[14]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；16)絕緣漿料層[15]的制作在陽極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；17)熒光粉層[16]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；18)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[17]和四周玻璃圍框[18]裝到一起，將消氣劑[19]放入空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；19)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟16具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟19具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及下柵控懸環(huán)形陰極發(fā)射結(jié)構(gòu)；能夠進(jìn)一步提高整體器件的顯示亮度和圖像質(zhì)量；具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J9/00GK101071749SQ20071005463
公開日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2007年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月20日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院