專(zhuān)利名稱：雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
顯示技術(shù)是整個(gè)信息技術(shù)的重要組成部分，而顯示器件則是顯示技術(shù)當(dāng)中的關(guān)鍵設(shè)備。利用碳納米管作為陰極材料而制作的場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器具有高質(zhì)量的顯示圖像，清晰逼真，器件超薄量輕，是一種多功能和數(shù)字化的顯示設(shè)備。這種顯示器多用于軍事領(lǐng)域，如頭盔式目視鏡，火炮武器定位系統(tǒng)，高清晰地形顯示屏幕等方面。它將陰極射線管顯示器的高圖像質(zhì)量，等離子體顯示器的大面積性以及液晶顯示器的超薄型等優(yōu)點(diǎn)集于一身，業(yè)已成為了新一代國(guó)際平板顯示技術(shù)的發(fā)展方向。
在目前所報(bào)道的三極結(jié)構(gòu)場(chǎng)致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，普遍都存在著柵極電壓居高不下，器件的顯示亮度不高，圖像顯示不均勻等缺點(diǎn)，還需要進(jìn)一步的加以改進(jìn)。要想進(jìn)一步提高器件的顯示亮度，一方面需要進(jìn)一步增大碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極來(lái)參與電子發(fā)射，這樣陽(yáng)極的工作電流也就隨之增大了，很顯然器件的顯示亮度也就增高了；另一方面就是在碳納米管陰極的面積已經(jīng)固定的情況下需要提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，使得碳納米管陰極在相同柵極電壓下能夠發(fā)射出更多的電子，也能夠提高器件的亮度。此外，在兼顧絕緣材料的制作工藝、材料屬性等因素的情況下需要盡可能的縮減柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，從而降低柵極的工作電壓。因此，在實(shí)際器件的制作過(guò)程中，這些都是值得認(rèn)真考慮的實(shí)際問(wèn)題。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件，在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層、碳納米管以及雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)。
所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極增高層；柵極增高層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住柵極引線層以及空余的阻滯層部分；柵極增高層中存在斜面孔，即斜面孔在柵極增高層的上表面形成一個(gè)中空的圓孔，從柵極增高層的上表面開(kāi)始，依次逐漸向柵極增高層的內(nèi)部凹陷，直至達(dá)到柵極增高層的下表面位置為止，其側(cè)面形成一個(gè)傾斜面，整個(gè)斜面孔類(lèi)似于一個(gè)倒置的圓臺(tái)型形狀；柵極增高層中斜面孔的底部要暴露出柵極引線層；柵極增高層斜面孔內(nèi)側(cè)壁上面的刻蝕后的金屬層形成柵極延長(zhǎng)線層；柵極延長(zhǎng)線層依附于斜面孔的內(nèi)側(cè)壁上，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極延長(zhǎng)線層上面的印刷的銀漿層形成柵極管制層；柵極管制層呈現(xiàn)三角形形狀，其底邊位于柵極延長(zhǎng)線層的上面，其尖角指向斜向上方向；柵極管制層為兩個(gè)尖角三角形形狀，其中位于上部的尖角三角形要比位于下部的尖角三角形短；柵極管制層環(huán)繞在斜面孔內(nèi)側(cè)壁的周?chē)?，形成兩個(gè)三角環(huán)形椎型形狀；柵極增高層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離一層；隔離一層要完全覆蓋住柵極增高層的上表面；柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離二層；隔離一層和隔離二層是相互連接在一起的；隔離二層的下表面要完全覆蓋住柵極引線層、柵極管制層以及柵極延長(zhǎng)線層；隔離二層的上表面為一個(gè)直線加弧線型形狀，即位于底部柵極引線層上面的隔離二層的上表面為平面，而位于兩側(cè)柵極管制層上面的隔離二層的上表面則是弧線型形狀，即從斜面孔側(cè)壁與柵極增高層交界處開(kāi)始，依次逐漸向下傾斜，直至到達(dá)底部的平面型隔離二層上表面位置為止，形成一個(gè)向上凸起的弧線型形狀，整個(gè)隔離二層的上表面形成一個(gè)類(lèi)似于倒置弧形圓臺(tái)面型形狀；隔離二層弧形側(cè)面的上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層布滿隔離二層弧形側(cè)面；陰極過(guò)渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；隔離一層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過(guò)渡層以及陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；柵極延長(zhǎng)線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過(guò)渡層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種帶有雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制作出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)柵極增高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極增高層；5)柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在柵極增高層斜面孔內(nèi)側(cè)壁上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極延長(zhǎng)線層；6)柵極管制層[6]的制作在柵極延長(zhǎng)線層的上面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極管制層；7)隔離一層[7]的制作在柵極增高層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離一層；8)隔離二層[8]的制作在柵極增高層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離二層；9)陰極過(guò)渡層[9]的制作在隔離二層弧形側(cè)面的上面制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過(guò)渡層；10)陰極導(dǎo)電層[10]的制作在陰極過(guò)渡層的上面制備出一個(gè)金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；11)陰極引線層[11]的制作在隔離一層的上面制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；
12)陰極覆蓋層[12]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；13)雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；14)碳納米管[13]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；15)陽(yáng)極玻璃面板[14]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；16)陽(yáng)極導(dǎo)電層[15]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；17)絕緣漿料層[16]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；18)熒光粉層[17]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；19)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[18]和四周玻璃圍框[19]裝到一起，將消氣劑[20]放入到空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；20)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟17具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟18具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟20具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)中，柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)的斜下方。其中，柵極引線層能夠?qū)⑼饨珉妷簜鬟f到器件內(nèi)部，而柵極管制層則控制著碳納米管陰極的電子發(fā)射，柵極延長(zhǎng)線層起到了將二者相互連接起來(lái)的作用。當(dāng)在柵極結(jié)構(gòu)上施加適當(dāng)電壓以后，就會(huì)在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大的電場(chǎng)強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出大量的電子，體現(xiàn)了柵極的控制功能。由于柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)的下方，因此從碳納米管陰極所發(fā)射的電子不會(huì)受到柵極結(jié)構(gòu)的截留，這就極大地減小了柵極電流，增大了陽(yáng)極結(jié)構(gòu)的工作電流，有助于提高器件的顯示亮度。由于柵極管制層呈現(xiàn)兩個(gè)圓環(huán)尖角三角形形狀，更容易在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大電場(chǎng)強(qiáng)度，更加容易使得電場(chǎng)相對(duì)比較集中，從而能夠在間接角度上降低了柵極的工作電壓。
其次，在所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)中，將碳納米管制備在了呈現(xiàn)弧形形狀的陰極導(dǎo)電層的上面。極大的增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都參與電子發(fā)射，有助于提高器件的顯示亮度。由于碳納米管陰極很容易接近于柵極管制層的尖端部分，這樣就極大地縮短了柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，降低了柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。將柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)高度集成到一起，有助于促進(jìn)整體器件的高度集成化發(fā)展；此外，在所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)中，并沒(méi)有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒(méi)有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡(jiǎn)化了器件的制作過(guò)程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了帶有雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明，但并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種帶有雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板[14]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[19]所構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[15]以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[17]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[13]以及雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[18]以及消氣劑[20]附屬元件。
所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、阻滯層[2]、柵極引線層[3]、柵極增高層[4]、柵極延長(zhǎng)線層[5]、柵極管制層[6]、隔離一層[7]、隔離二層[8]、陰極過(guò)渡層[9]、陰極導(dǎo)電層[10]、陰極引線層[11]、陰極覆蓋層[12]和碳納米管[13]部分。
所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極增高層；柵極增高層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住柵極引線層以及空余的阻滯層部分；柵極增高層中存在斜面孔，即斜面孔在柵極增高層的上表面形成一個(gè)中空的圓孔，從柵極增高層的上表面開(kāi)始，依次逐漸向柵極增高層的內(nèi)部凹陷，直至達(dá)到柵極增高層的下表面位置為止，其側(cè)面形成一個(gè)傾斜面，整個(gè)斜面孔類(lèi)似于一個(gè)倒置的圓臺(tái)型形狀；柵極增高層中斜面孔的底部要暴露出柵極引線層；柵極增高層斜面孔內(nèi)側(cè)壁上面的刻蝕后的金屬層形成柵極延長(zhǎng)線層；柵極延長(zhǎng)線層依附于斜面孔的內(nèi)側(cè)壁上，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極延長(zhǎng)線層上面的印刷的銀漿層形成柵極管制層；柵極管制層呈現(xiàn)三角形形狀，其底邊位于柵極延長(zhǎng)線層的上面，其尖角指向斜向上方向；柵極管制層為兩個(gè)尖角三角形形狀，其中位于上部的尖角三角形要比位于下部的尖角三角形短；柵極管制層環(huán)繞在斜面孔內(nèi)側(cè)壁的周?chē)?，形成兩個(gè)三角環(huán)形椎型形狀；柵極增高層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離一層；隔離一層要完全覆蓋住柵極增高層的上表面；柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離二層；隔離一層和隔離二層是相互連接在一起的；隔離二層的下表面要完全覆蓋住柵極引線層、柵極管制層以及柵極延長(zhǎng)線層；隔離二層的上表面為一個(gè)直線加弧線型形狀，即位于底部柵極引線層上面的隔離二層的上表面為平面，而位于兩側(cè)柵極管制層上面的隔離二層的上表面則是弧線型形狀，即從斜面孔側(cè)壁與柵極增高層交界處開(kāi)始，依次逐漸向下傾斜，直至到達(dá)底部的平面型隔離二層上表面位置為止，形成一個(gè)向上凸起的弧線型形狀，整個(gè)隔離二層的上表面形成一個(gè)類(lèi)似于倒置弧形圓臺(tái)面型形狀；隔離二層弧形側(cè)面的上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層布滿隔離二層弧形側(cè)面；陰極過(guò)渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；隔離一層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過(guò)渡層以及陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；柵極延長(zhǎng)線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過(guò)渡層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下
1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)柵極增高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極增高層；5)柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在柵極增高層斜面孔內(nèi)側(cè)壁上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極延長(zhǎng)線層；6)柵極管制層[6]的制作在柵極延長(zhǎng)線層的上面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極管制層；7)隔離一層[7]的制作在柵極增高層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離一層；8)隔離二層[8]的制作在柵極增高層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離二層；9)陰極過(guò)渡層[9]的制作在隔離二層弧形側(cè)面的上面制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過(guò)渡層；10)陰極導(dǎo)電層[10]的制作在陰極過(guò)渡層的上面制備出一個(gè)金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；11)陰極引線層[11]的制作在隔離一層的上面制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；12)陰極覆蓋層[12]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；13)雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；14)碳納米管[13]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；15)碳納米管的后處理對(duì)碳納米管進(jìn)行后處理，改善場(chǎng)致發(fā)射特性；16)陽(yáng)極玻璃面板[14]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；17)陽(yáng)極導(dǎo)電層[15]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；18)絕緣漿料層[16]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；19)熒光粉層[17]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；20)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[18]和四周玻璃圍框[19]裝配到一起，并將消氣劑[20]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；21)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟18具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟19具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟21具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板[14]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[19]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極導(dǎo)電層[15]以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[17]；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[18]以及消氣劑附屬元件[20]；其特征在于在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層[3]、碳納米管[13]以及雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成阻滯層；阻滯層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極增高層；柵極增高層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住柵極引線層以及空余的阻滯層部分；柵極增高層中存在斜面孔，即斜面孔在柵極增高層的上表面形成一個(gè)中空的圓孔，從柵極增高層的上表面開(kāi)始，依次逐漸向柵極增高層的內(nèi)部凹陷，直至達(dá)到柵極增高層的下表面位置為止，其側(cè)面形成一個(gè)傾斜面，整個(gè)斜面孔類(lèi)似于一個(gè)倒置的圓臺(tái)型形狀；柵極增高層中斜面孔的底部要暴露出柵極引線層；柵極增高層斜面孔內(nèi)側(cè)壁上面的刻蝕后的金屬層形成柵極延長(zhǎng)線層；柵極延長(zhǎng)線層依附于斜面孔的內(nèi)側(cè)壁上，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極延長(zhǎng)線層上面的印刷的銀漿層形成柵極管制層；柵極管制層呈現(xiàn)三角形形狀，其底邊位于柵極延長(zhǎng)線層的上面，其尖角指向斜向上方向；柵極管制層為兩個(gè)尖角三角形形狀，其中位于上部的尖角三角形要比位于下部的尖角三角形短；柵極管制層環(huán)繞在斜面孔內(nèi)側(cè)壁的周?chē)?，形成兩個(gè)三角環(huán)形椎型形狀；柵極增高層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離一層；隔離一層要完全覆蓋住柵極增高層的上表面；柵極管制層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離二層；隔離一層和隔離二層是相互連接在一起的；隔離二層的下表面要完全覆蓋住柵極引線層、柵極管制層以及柵極延長(zhǎng)線層；隔離二層的上表面為一個(gè)直線加弧線型形狀，即位于底部柵極引線層上面的隔離二層的上表面為平面，而位于兩側(cè)柵極管制層上面的隔離二層的上表面則是弧線型形狀，即從斜面孔側(cè)壁與柵極增高層交界處開(kāi)始，依次逐漸向下傾斜，直至到達(dá)底部的平面型隔離二層上表面位置為止，形成一個(gè)向上凸起的弧線型形狀，整個(gè)隔離二層的上表面形成一個(gè)類(lèi)似于倒置弧形圓臺(tái)面型形狀；隔離二層弧形側(cè)面的上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層布滿隔離二層弧形側(cè)面；陰極過(guò)渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；隔離一層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層、陰極過(guò)渡層以及陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻；柵極延長(zhǎng)線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過(guò)渡層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)阻滯層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成阻滯層；3)柵極引線層[3]的制作在阻滯層上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線層；4)柵極增高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極增高層；5)柵極延長(zhǎng)線層[5]的制作在柵極增高層斜面孔內(nèi)側(cè)壁上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極延長(zhǎng)線層；6)柵極管制層[6]的制作在柵極延長(zhǎng)線層的上面印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極管制層；7)隔離一層[7]的制作在柵極增高層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離一層；8)隔離二層[8]的制作在柵極增高層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離二層；9)陰極過(guò)渡層[9]的制作在隔離二層弧形側(cè)面的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極過(guò)渡層；10)陰極導(dǎo)電層[10]的制作在陰極過(guò)渡層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；11)陰極引線層[11]的制作在隔離一層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；12)陰極覆蓋層[12]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；13)雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；14)碳納米管[13]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；15)陽(yáng)極玻璃面板[14]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制出陽(yáng)極玻璃面板；16)陽(yáng)極導(dǎo)電層[15]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；17)絕緣漿料層[16]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；18)熒光粉層[17]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；19)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[18]和四周玻璃圍框[19]裝到一起，將消氣劑[20]放入空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；20)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟18具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟20具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及雙尖側(cè)柵控型結(jié)構(gòu)；能夠提高碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，增強(qiáng)柵極的控制功能；具有制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡(jiǎn)單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J1/30GK101071750SQ20071005463
公開(kāi)日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2007年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月20日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院