專利名稱：雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的
相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板 場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，特別涉及一種雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器 及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管是一種新型的冷陰極材料，不需要施加額外的能量，就能夠在外加足夠 電場(chǎng)強(qiáng)度的作用下發(fā)射出大量電子；由于碳納米管材料的這一非凡特性，使其能夠作為一 種優(yōu)良的陰極材料來使用，并被有效應(yīng)用到場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器中。場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器 是最近幾年中的新興平板器件，具有許多優(yōu)異特性，諸如高圖像質(zhì)量、低制作成本、快響應(yīng) 速度、薄型化、寬工作溫區(qū)等，幾乎集成了現(xiàn)有各種顯示器的優(yōu)點(diǎn)，因此被公認(rèn)為是下一代 平板顯示器件的理想市場(chǎng)產(chǎn)品。而碳納米管材料的加盟，更加速了場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器的 研究進(jìn)展。在目前所研發(fā)的三極結(jié)構(gòu)場(chǎng)致發(fā)射顯示器中，對(duì)于碳納米管陰極的制作工藝和 制作結(jié)構(gòu)，還沒有一個(gè)令人滿意的制作方案，不同研究人員的制作方法不一，但是都不能達(dá) 到最佳效果；而對(duì)于柵極結(jié)構(gòu)，不僅存在著對(duì)于柵極制作材料要求過于苛刻的不利之處，還 對(duì)于柵極結(jié)構(gòu)的制作工藝存在著過于復(fù)雜化等缺陷，這些都不利于場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器的 研究進(jìn)展；對(duì)于整體器件而言，普遍都存在著柵極工作電壓偏高、柵極工作電流偏大等缺 點(diǎn)，這明顯不符合低壓平板器件的原則，還需要進(jìn)一步的研究和改進(jìn)。此外，對(duì)于整體平板 顯示器件的制作，制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠也是不可忽視的一個(gè)重要方面。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本 低廉、制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器 及其制作工藝。 本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的 —種雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板1、陽極 玻璃面板20和玻璃邊框16所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極底層18、 陽極連線層23、陽極分隔層19以及制備在陽極底層上面的熒光粉層17 ;位于陽極玻璃面板 和陰極玻璃面板之間的隔離支撐器22和消氣劑21 ;其特征在于 所述的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的基底材料為陰極玻璃面板；在陰極玻璃 面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成陰極阻擋層2 ;陰極阻擋層上面存在陰極底層3，陰極底 層呈現(xiàn)條形形狀；陰極底層的周圍存在陰極連線層4，陰極連線層和陰極底層是相互連通 的；陰極底層上面存在陰極提升層5，陰極提升層呈現(xiàn)圓柱型形狀，其上下表面均為平面， 下表面和陰極底層相接觸；陰極提升層上面存在陰極增高層6，陰極增高層由兩個(gè)半月型形狀組成，并且相向排列，即兩個(gè)半月型形狀都是凸起部分面向外，凹陷部分面向內(nèi)，兩個(gè) 半月型形狀的向外凸起部分外邊緣與陰極提升層上表面邊緣相重合；陰極增高層上面存在 陰極過渡層7，陰極過渡層布滿陰極增高層的上表面，且和陰極增高層是相互連通的；陰極 過渡層上面存在陰極犧牲層8，陰極犧牲層布滿陰極過渡層的上表面，且和陰極過渡層是相 互連通的；陰極底層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成隔離一層9 ;隔離一層的高度高于陰 極犧牲層的高度；隔離一層的上下表面均為平面，其下表面和陰極底層相接觸；隔離一層 中存在圓形電子孔，暴露出底部的部分陰極底層、陰極提升層、陰極增高層、陰極過渡層、陰 極犧牲層，圓形電子孔的側(cè)壁是垂直于陰極底層表面的；隔離一層上面存在平面柵極傳導(dǎo) 層IO，平面柵極傳導(dǎo)層布滿隔離一層的上表面，其前端延伸到圓形電子孔中，呈現(xiàn)懸空狀 態(tài)；平面柵極傳導(dǎo)層的周圍存在柵極連線層ll，柵極連線層和平面柵極傳導(dǎo)層是相互連通 的；平面柵極傳導(dǎo)層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成隔離二層12 ;隔離二層呈現(xiàn)圓環(huán)型形 狀，位于隔離一層中圓型電子孔的上方，隔離二層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住平 面柵極傳導(dǎo)層的前端部分，隔離二層的內(nèi)外側(cè)壁均垂直于平面柵極傳導(dǎo)層；隔離二層的外 側(cè)壁上存在垂直柵極傳導(dǎo)層13，垂直柵極傳導(dǎo)層布滿隔離二層的外側(cè)壁，并且和平面柵極 傳導(dǎo)層是相互連通的；隔離二層和隔離一層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成隔離三層14， 隔離三層覆蓋平面柵極傳導(dǎo)層、垂直柵極傳導(dǎo)層和柵極連線層；碳納米管15制備在陰極犧 牲層的上面。所述的陰極底層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ；陰極連線層為金 屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ；陰極提升層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之 一 ；陰極增高層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ；陰極過渡層為金屬鐵、鈷、鎳之 一 ；陰極犧牲層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；平面柵極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、 鉬之一 ；垂直柵極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ；平面柵極傳導(dǎo)層的走 向和陰極底層的走向是相互垂直的。 —種雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平面顯示器的制作工藝，其特征在于，其 制作步驟如下 1)陰極玻璃面板1的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陰極玻璃面板；
2)陰極阻擋層2的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成陰極阻擋層； 3)陰極底層3的制作在陰極阻擋層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成 陰極底層； 4)陰極連線層4的制作在陰極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成陰極連線層； 5)陰極提升層5的制作在陰極底層的上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成陰極提升層； 6)陰極增高層6的制作在陰極提升層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后 形成陰極增高層； 7)陰極過渡層7的制作在陰極增高層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后 形成陰極過渡層； 8)陰極犧牲層8的制作在陰極過渡層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后 形成陰極犧牲層；
6
9)隔離一層9的制作在陰極底層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成隔離一層； 10)平面柵極傳導(dǎo)層10的制作在隔離一層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工 藝后形成平面柵極傳導(dǎo)層； 11)柵極連線層11的制作在平面柵極傳導(dǎo)層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié) 工藝后形成柵極連線層； 12)隔離二層12的制作在隔離一層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成隔離二層； 13)垂直柵極傳導(dǎo)層13的制作在隔離二層的外側(cè)壁上制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)烘 烤、燒結(jié)工藝后形成垂直柵極傳導(dǎo)層； 14)隔離三層14的制作在隔離一層和隔離二層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘 烤、燒結(jié)工藝后形成隔離三層； 15)雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)雙月陰極型上懸平側(cè)輔 柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵； 16)碳納米管15的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層的上面；
17)陽極玻璃面板20的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陽極玻璃面板；
18)陽極底層18的制作在陽極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻蝕 工藝后形成陰極底層； 19)陽極連線層23的制作在陽極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成陽極連線層； 20)陽極分隔層19的制作在陽極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工 藝后形成陽極分隔層； 21)熒光粉層17的制作在陽極底層的上面印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成 熒光粉層； 22)器件裝配將陽極玻璃面板、陰極玻璃面板、隔離支撐器22、玻璃邊框16裝配
到一起，并將消氣劑21安裝到空室當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定； 23)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝，形成成品件。 所述步驟20具體為在陽極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽極底層中間的空余位置
印刷絕緣漿料；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行
高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟21體為在陽極玻璃面板顯示區(qū)域中陽極底層上面印刷熒光粉，在烘箱 當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟23具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入 烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī) 上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。 本發(fā)明具有如下的積極效果本發(fā)明中的主要特點(diǎn)在于制作了具有雙月陰極型上 懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射平板顯示器件。其一，采用了雙月陰極 型結(jié)構(gòu)，充分利用了碳納米管陰極邊緣部分電場(chǎng)高度集中的原理，能夠極大地提升碳納米 管的發(fā)射效率；其二，采用了上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)，不僅簡化了柵極結(jié)構(gòu)的制作工藝，降低了制作難度，而且還兼顧具有電子束聚焦的效果；其三，在本發(fā)明中，是在陽極結(jié)構(gòu)和柵極控制結(jié)構(gòu)全部制作完畢的情況下，最后才進(jìn)行碳納米管陰極的制作，極大減少了碳納米管陰極的損傷，提高了顯示器件制作的成功率。 此外，在本發(fā)明中的器件制作過程中，并沒有采用特殊的器件制作材料以及特殊的器件制作工藝，降低了器件制作成本，具有成本低廉、制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠的優(yōu)越之處。


圖1給出了雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵
圖2給出了雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵
圖3給出了雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵器的結(jié)構(gòu)示意圖。
控結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖?？亟Y(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖。[控結(jié)構(gòu)的、碳納米管陰極場(chǎng)致發(fā)射平板顯示
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明，但本發(fā)明并不局限于實(shí)施例。
如圖1、2、3所示，一種雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板1、陽極玻璃面板20和玻璃邊框16所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板20上的陽極底層18、陽極連線層23、陽極分隔層19以及制備在陽極底層18上面的熒光粉層17 ;位于陽極玻璃面板20和陰極玻璃面板1之間的隔離支撐器22和消氣劑21 ;其特征在于 所述的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的基底材料為陰極玻璃面板；在陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成陰極阻擋層；陰極阻擋層上面存在陰極底層，陰極底層呈現(xiàn)條形形狀；陰極底層的周圍存在陰極連線層，陰極連線層和陰極底層是相互連通的；陰極底層上面存在陰極提升層，陰極提升層呈現(xiàn)圓柱型形狀，其上下表面均為平面，下表面和陰極底層相接觸；陰極提升層上面存在陰極增高層，陰極增高層由兩個(gè)半月型形狀組成，并且相向排列，即兩個(gè)半月型形狀都是凸起部分面向外，凹陷部分面向內(nèi)，兩個(gè)半月型形狀的向外凸起部分外邊緣與陰極提升層上表面邊緣相重合；陰極增高層上面存在陰極過渡層，陰極過渡層布滿陰極增高層的上表面，且和陰極增高層是相互連通的；陰極過渡層上面存在陰極犧牲層，陰極犧牲層布滿陰極過渡層的上表面，且和陰極過渡層是相互連通的；陰極底層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成隔離一層；隔離一層的高度高于陰極犧牲層的高度；隔離一層的上下表面均為平面，其下表面和陰極底層相接觸；隔離一層中存在圓形電子孔，暴露出底部的部分陰極底層、陰極提升層、陰極增高層、陰極過渡層、陰極犧牲層，圓形電子孔的側(cè)壁是垂直于陰極底層表面的；隔離一層上面存在平面柵極傳導(dǎo)層，平面柵極傳導(dǎo)層布滿隔離一層的上表面，其前端延伸到圓形電子孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；平面柵極傳導(dǎo)層的周圍存在柵極連線層，柵極連線層和平面柵極傳導(dǎo)層是相互連通的；平面柵極傳導(dǎo)層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成隔離二層；隔離二層呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，位于隔離一層中圓型電子孔的上方，隔離二層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住平面柵極傳導(dǎo)層的前端部分，隔離二層的內(nèi)外側(cè)壁均垂直于平面柵極傳導(dǎo)層；隔離二層的外側(cè)壁上存在垂直柵極傳導(dǎo)層，垂直柵極傳導(dǎo)層布滿隔離二層的外側(cè)壁，并且和平面柵極傳導(dǎo)層是相互連通的；隔
8離二層和隔離一層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成隔離三層，隔離三層覆蓋平面柵極傳導(dǎo) 層、垂直柵極傳導(dǎo)層和柵極連線層；碳納米管制備在陰極犧牲層的上面。 所述的陰極底層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ；陰極連線層為金屬 金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ；陰極提升層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之 一 ；陰極增高層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ；陰極過渡層為金屬鐵、鈷、鎳之 一 ；陰極犧牲層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；平面柵極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、 鉬之一 ；垂直柵極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ；平面柵極傳導(dǎo)層的走 向和陰極底層的走向是相互垂直的。 —種雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平面顯示器的制作工藝，其特征在于，其 制作步驟如下 1)陰極玻璃面板1的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陰極玻璃面板；
2)陰極阻擋層2的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成陰極阻擋層； 3)陰極底層3的制作在陰極阻擋層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成 陰極底層； 4)陰極連線層4的制作在陰極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成陰極連線層； 5)陰極提升層5的制作在陰極底層的上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成陰極提升層； 6)陰極增高層6的制作在陰極提升層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后 形成陰極增高層； 7)陰極過渡層7的制作在陰極增高層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后 形成陰極過渡層； 8)陰極犧牲層8的制作在陰極過渡層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后 形成陰極犧牲層； 9)隔離一層9的制作在陰極底層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成隔離一層； 10)平面柵極傳導(dǎo)層10的制作在隔離一層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工 藝后形成平面柵極傳導(dǎo)層； 11)柵極連線層11的制作在平面柵極傳導(dǎo)層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié) 工藝后形成柵極連線層； 12)隔離二層12的制作在隔離一層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成隔離二層； 13)垂直柵極傳導(dǎo)層13的制作在隔離二層的外側(cè)壁上制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)烘 烤、燒結(jié)工藝后形成垂直柵極傳導(dǎo)層； 14)隔離三層14的制作在隔離一層和隔離二層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘 烤、燒結(jié)工藝后形成隔離三層； 15)雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)雙月陰極型上懸平側(cè)輔 柵控結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；
16)碳納米管15的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層的上面；
17)陽極玻璃面板20的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陽極玻璃面板；
18)陽極底層18的制作在陽極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極底層； 19)陽極連線層23的制作在陽極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極連線層； 20)陽極分隔層19的制作在陽極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極分隔層； 21)熒光粉層17的制作在陽極底層的上面印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成熒光粉層； 22)器件裝配將陽極玻璃面板、陰極玻璃面板、隔離支撐器22、玻璃邊框16裝配
到一起，并將消氣劑21安裝到空室當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定； 23)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝，形成成品件。 所述步驟20具體為在陽極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽極底層中間的空余位置
印刷絕緣漿料；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行
高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟21體為在陽極玻璃面板顯示區(qū)域中陽極底層上面印刷熒光粉，在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時(shí)間10分鐘。 所述步驟23具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。 所述的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板1、陽極玻璃面板20和玻璃邊框16所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板20上的陽極底層18、陽極連線層23、陽極分隔層19以及制備在陽極底層18上面的熒光粉層17 ;位于陽極玻璃面板20和陰極玻璃面板1之間的隔離支撐器22和消氣劑21。所述的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板1 、陰極阻擋層2、陰極底層3、陰極連線層4、陰極提升層5、陰極增高層6、陰極過渡層7、陰極犧牲層8、隔離一層9、平面柵極傳導(dǎo)層10、柵極連線層11、隔離二層12、垂直柵極傳導(dǎo)層13、隔離三層14、碳納米管15部分。所述的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的基底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃之一。
權(quán)利要求
一種雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陰極玻璃面板(1)、陽極玻璃面板(20)和玻璃邊框(16)所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極底層(18)、陽極連線層(23)、陽極分隔層(19)以及制備在陽極底層上面的熒光粉層(17)；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的隔離支撐器(22)和消氣劑(21)；其特征在于所述的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的基底材料為陰極玻璃面板；在陰極玻璃面板上印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成陰極阻擋層(2)；陰極阻擋層上面存在陰極底層(3)，陰極底層呈現(xiàn)條形形狀；陰極底層的周圍存在陰極連線層(4)，陰極連線層和陰極底層是相互連通的；陰極底層上面存在陰極提升層(5)，陰極提升層呈現(xiàn)圓柱型形狀，其上下表面均為平面，下表面和陰極底層相接觸；陰極提升層上面存在陰極增高層(6)，陰極增高層由兩個(gè)半月型形狀組成，并且相向排列，即兩個(gè)半月型形狀都是凸起部分面向外，凹陷部分面向內(nèi)，兩個(gè)半月型形狀的向外凸起部分外邊緣與陰極提升層上表面邊緣相重合；陰極增高層上面存在陰極過渡層(7)，陰極過渡層布滿陰極增高層的上表面，且和陰極增高層是相互連通的；陰極過渡層上面存在陰極犧牲層(8)，陰極犧牲層布滿陰極過渡層的上表面，且和陰極過渡層是相互連通的；陰極底層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成隔離一層(9)；隔離一層的高度高于陰極犧牲層的高度；隔離一層的上下表面均為平面，其下表面和陰極底層相接觸；隔離一層中存在圓形電子孔，暴露出底部的部分陰極底層、陰極提升層、陰極增高層、陰極過渡層、陰極犧牲層，圓形電子孔的側(cè)壁是垂直于陰極底層表面的；隔離一層上面存在平面柵極傳導(dǎo)層(10)，平面柵極傳導(dǎo)層布滿隔離一層的上表面，其前端延伸到圓形電子孔中，呈現(xiàn)懸空狀態(tài)；平面柵極傳導(dǎo)層的周圍存在柵極連線層(11)，柵極連線層和平面柵極傳導(dǎo)層是相互連通的；平面柵極傳導(dǎo)層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成隔離二層(12)；隔離二層呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀，位于隔離一層中圓型電子孔的上方，隔離二層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住平面柵極傳導(dǎo)層的前端部分，隔離二層的內(nèi)外側(cè)壁均垂直于平面柵極傳導(dǎo)層；隔離二層的外側(cè)壁上存在垂直柵極傳導(dǎo)層(13)，垂直柵極傳導(dǎo)層布滿隔離二層的外側(cè)壁，并且和平面柵極傳導(dǎo)層是相互連通的；隔離二層和隔離一層上面印刷并燒結(jié)的絕緣漿料形成隔離三層(14)，隔離三層覆蓋平面柵極傳導(dǎo)層、垂直柵極傳導(dǎo)層和柵極連線層；碳納米管(15)制備在陰極犧牲層的上面。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在 于所述的陰極底層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ；陰極連線層為金屬金、銀、 銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ；陰極提升層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ；陰極 增高層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ；陰極過渡層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；陰極 犧牲層為金屬鐵、鈷、鎳之一 ；平面柵極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一 ; 垂直柵極傳導(dǎo)層為金屬金、銀、銅、錫、銦、鉻、鉛、鋁、鉬之一；平面柵極傳導(dǎo)層的走向和陰極 底層的走向是相互垂直的。
3. —種如權(quán)利要求1所述的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工 藝，其特征在于，其制作步驟如下1) 陰極玻璃面板(1)的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陰極玻璃面板；2) 陰極阻擋層(2)的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成陰極阻擋層；3) 陰極底層(3)的制作在陰極阻擋層上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形成陰極底層；4) 陰極連線層(4)的制作在陰極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成 陰極連線層；5) 陰極提升層(5)的制作在陰極底層的上面印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形成 陰極提升層；6) 陰極增高層(6)的制作在陰極提升層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形 成陰極增高層；7) 陰極過渡層(7)的制作在陰極增高層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形 成陰極過渡層；8) 陰極犧牲層(8)的制作在陰極過渡層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝后形 成陰極犧牲層；9) 隔離一層(9)的制作在陰極底層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成隔離一層；10) 平面柵極傳導(dǎo)層(10)的制作在隔離一層的上面制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工藝 后形成平面柵極傳導(dǎo)層；11) 柵極連線層(11)的制作在平面柵極傳導(dǎo)層的周圍印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工 藝后形成柵極連線層；12) 隔離二層(12)的制作在隔離一層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后 形成隔離二層；13) 垂直柵極傳導(dǎo)層(13)的制作在隔離二層的外側(cè)壁上制備出金屬層，經(jīng)常規(guī)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成垂直柵極傳導(dǎo)層；14) 隔離三層(14)的制作在隔離一層和隔離二層的上面印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、 燒結(jié)工藝后形成隔離三層；15) 雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控 結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；16) 碳納米管(15)的制備將碳納米管制備在陰極犧牲層的上面；17) 陽極玻璃面板(20)的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行切割，制作出陽極玻璃面板；18) 陽極底層(18)的制作在陽極玻璃面板上制備出錫銦氧化物膜層，經(jīng)常規(guī)刻蝕工 藝后形成陰極底層；19) 陽極連線層(23)的制作在陽極玻璃面板上印刷銀漿，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝后形 成陽極連線層；20) 陽極分隔層(19)的制作在陽極玻璃面板上印刷絕緣漿料，經(jīng)常規(guī)烘烤、燒結(jié)工藝 后形成陽極分隔層；21) 熒光粉層(17)的制作在陽極底層的上面印刷熒光粉，經(jīng)常規(guī)烘烤工藝后形成熒 光粉層；22) 器件裝配將陽極玻璃面板、陰極玻璃面板、隔離支撐器(22)、玻璃邊框(16)裝配 到一起，并將消氣劑(21)安裝到空室當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；23) 成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝，形成成品件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟20具體為在陽極玻璃面板的非顯示區(qū)域以及陽極底層中間的空余 位置印刷絕緣漿料；經(jīng)過烘烤，烘烤溫度22(TC，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中 進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度58(TC，保持時(shí)間10分鐘。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟21具體為在陽極玻璃面板顯示區(qū)域中陽極底層上面印刷熒光粉，在 烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度12(TC，保持時(shí)間10分鐘。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟23具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放 入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消 機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明特別涉及一種雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陰極玻璃面板、陽極玻璃面板和玻璃邊框所構(gòu)成的密封真空室；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極底層、陽極連線層、陽極分隔層以及制備在陽極底層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的隔離支撐器和消氣劑；所述的雙月陰極型上懸平側(cè)輔柵控結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板、陰極阻擋層、陰極底層、陰極連線層、陰極提升層、陰極增高層、陰極過渡層、陰極犧牲層、隔離一層、平面柵極傳導(dǎo)層、柵極連線層、隔離二層、垂直柵極傳導(dǎo)層、隔離三層、碳納米管部分；具有成本低廉、制作工藝簡單、制作過程穩(wěn)定可靠的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J9/02GK101728194SQ20091022735
公開日2010年6月9日 申請(qǐng)日期2009年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月8日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院