專利名稱：:靜電動作的雙態(tài)器件陣列及制造方法本發(fā)明關(guān)系到一種在目視顯示、開關(guān)矩陣、存儲器以及類似設(shè)備中作為一個(gè)陣列使用的靜電控制的機(jī)電雙態(tài)器件?，F(xiàn)有技術(shù)中有許多靜電顯示元件的例子。例如美國專利1，984，683及3，553，364中說明的一類器件，包括一種有與進(jìn)入光線相平行的蓋片的光閥，每個(gè)蓋片能用靜電方法控制，無論對于傳輸型的顯示或?qū)τ诜瓷湫偷娘@示，都是使蓋片在光的途徑上改變一個(gè)斜角。在美國專利3，897，997中，透露過一種電極，它是用靜電方法包在另一個(gè)曲線形的固定電極上，以便影響固定電極的光反射特性。還有一種現(xiàn)有技術(shù)，例如載在1970年12月7日出版的電子學(xué)雜志(Elec-tronics)第78～83頁上和IBM技術(shù)透露公報(bào)(IBMTechnicalDisclosureBulletin)VOI.13，№.3，1970年8月號上，這種技術(shù)采用一個(gè)電子槍，使選出的一部分可變形材料在靜電上充電，從而改變其光的傳輸特性或反射特性。從下面一些美國專利中，還可獲得用于顯示目的的靜電控制元件領(lǐng)域內(nèi)的另一些說明4，336，536Kalt等人4，266，339Kalt4，234，245Toda等人4，229，075Ueda等人4，208，103Kalt等人4，160，583Ueda等人4，160，582Yasuo4，105，294Peck4，094，590Kalt4，065，677Micheron等人3，989，357Kalt3，897，997Kalt888，241Kuhlmann本發(fā)明是從Simpson的美國專利4，248，501及Simpson等人的美國專利4，235，522中所透露的材料出發(fā)，這兩件專利在這里一并作為參考。在一些背景材料中，感興趣的還有W.R.Aiken."AnElectrostaticSingTheDistecSystem"，SocietyforInformationDisplay，June1972，pp.108-9;J.L.Bruneeletal"OpticalDisplayDeviceUsingBistableElements"，AppliedPhysicsLetters，Vol.30，№.8，15April1977，pp.382-3;以及R.T.Gallagher"MicroshuttersFliptoFormCharactersinDot-MatrixDisplay"，Electronics，14July1983，pp.81-2。這件應(yīng)用在主題本質(zhì)上，與我們的美國專利串號642，752、642，996及683，619有關(guān)。這三件應(yīng)用的透露在這里也一并作為參考。本發(fā)明對于光反射或光傳輸?shù)娘@示陣列、開關(guān)矩陣、存儲器以及類似的裝置，提供出一種靜電控制的機(jī)電雙態(tài)器件。陣列中每一個(gè)元件都能單獨(dú)控制。本發(fā)明將從目視顯示的應(yīng)用上來說明，目視顯示包括黑白及多色的文字?jǐn)?shù)字顯示和圖象顯示。本發(fā)明的一個(gè)顯示元件(象素)包括一個(gè)含有若干個(gè)固定電極的固定子和一個(gè)相鄰的活動蓋片，可以用靜電方法把蓋片控制在伸直的固定電極位置上或在離開固定電極的另一個(gè)位置上。在本發(fā)明的一種實(shí)用新型中，固定子有一垂直于光途徑的平表面，表面上有一卷曲的蓋片，在相吸的時(shí)候，蓋片從卷曲狀態(tài)伸展且攤平和復(fù)蓋住相鄰的固定子平表面上的固定電極。這種顯示元件能控制光的傳輸，或者對于光的反射器件，能影響光的反射性質(zhì)。這種元件是雙態(tài)的。它可被鎖定在任一狀態(tài)。本發(fā)明的顯示元件或象素在固定子和蓋片上都有導(dǎo)電電極區(qū)。當(dāng)把它們作為兩維象素陣列使用時(shí)，有一些電極區(qū)被指定為X電極，另一些電極區(qū)被指定為Y電極。一行中所有的X電極都接在一起，一列中所有的Y電極也都接在一起?？墒剐泻土薪唤缣幍哪莻€(gè)象素發(fā)生動作而改變其狀態(tài)。在這里推薦的實(shí)用新型中，X或Y電極區(qū)中有一個(gè)區(qū)布置在蓋片上，而另一區(qū)則布置在固定子上。蓋片和固定子兩者都有另外的電極區(qū)，這些電極區(qū)被指定為保持電極區(qū)，用來在動作狀態(tài)下X和Y電極都斷電后仍能鎖定這動作過的象素。一種能制造有極大數(shù)量小象素的，且每個(gè)象素都可單獨(dú)訪址的陣列的制作方法，加上光蝕技術(shù)或?qū)щ娪湍苯佑∷?，是可以采用的。附圖的簡短說明圖1是按照本發(fā)明的靜電動作雙態(tài)元件蓋片部件的平面圖。圖2是固定子部件的平面圖。圖3是這個(gè)裝配件沿著圖1及圖2線段Ⅲ-Ⅲ的截面圖。圖4是圖1～3雙態(tài)元件陣列底板的部分截面。圖5是制作這陣列用的夾具簡圖。圖6是制作這陣列用的兩個(gè)夾具的簡圖。圖7是一個(gè)未完成陣列雙態(tài)元件的部分放大圖。圖8是完成的元件沿著圖7線段Ⅷ-Ⅷ的截面圖。圖1表示出活動蓋片10上用V字形間隙分開的一種重復(fù)導(dǎo)電區(qū)圖形的形狀?？蓮澢牡装?1是一片薄膜，例如可采用聚對酞酸乙二醇酯(Polyethyleneterephthalate，PET)，市場上稱為聚酯薄膜“MYLAR”。導(dǎo)電區(qū)12、14和16以及導(dǎo)體的引線17和X，在圖1的圖形中，都用導(dǎo)電油墨直接印刷或用光蝕方法形成，光蝕方法是把底板11上已經(jīng)真空沉積好的導(dǎo)電鍍層(例如鋁膜)蝕去不需要的部分。導(dǎo)電區(qū)12是保持區(qū)，它與區(qū)16有電的聯(lián)接。導(dǎo)電區(qū)14是X區(qū)，并且和電聯(lián)接用的導(dǎo)體引線X是一個(gè)整體。區(qū)16是保持區(qū)，且和導(dǎo)體引線17是一個(gè)整體。做成導(dǎo)電區(qū)圖形后，再開一條槽(圖中用虛線18表示)，最好用激光束來切割開槽，使這蓋片有三條邊可以自由活動。圖2表示3固定子部件20上由V字形間隙分開的導(dǎo)電區(qū)。PET底板21上提供了導(dǎo)電區(qū)22、24和26以及和說明蓋片10時(shí)類似情況的導(dǎo)體引線Y和27。區(qū)24是Y區(qū)且和引線Y是一整體。保持區(qū)22和26與引線27是一整體。圖3是把固定子部件20(圖2)與蓋片部件10(圖1)重迭后沿線段Ⅲ-Ⅲ的一個(gè)截面。由于蓋片10上已經(jīng)例如用激光束開了一條槽18，現(xiàn)在這蓋片可以如圖那樣自由卷曲。當(dāng)蓋片伸直時(shí)，蓋片10的X區(qū)14將處在固定子20的保持區(qū)22的下面;固定子的Y區(qū)24將處在蓋片的保持區(qū)16的上面;固定子的保持區(qū)26將處在蓋片的保持區(qū)16的上面。下面將說明圖1-3所示的顯示元件(象素)陣列的制造步驟。象印刷品完整一頁大小的顯示陣列例如可以約為10.8×14.0英寸，并且對于70行、每行90個(gè)字母、每個(gè)字母為6×9個(gè)象素的陣列，共有540×630＝340，200象素。這個(gè)陣列例子中，每個(gè)象素為22密耳高及20密耳寬，1密耳即是千分之一英寸。每個(gè)象素是圖1至3印有圖形的底板的重迭，并且安裝在一個(gè)深約15密耳的槽內(nèi)，這個(gè)槽是在一片平的例如玻璃這種堅(jiān)硬材料上由許多厚約3密耳的平行壁形成的。圖4是一截面圖，表示出一塊12×16×0.125英寸的玻璃板40，其上涂有15密耳厚的耐光蝕聚合物42。耐蝕涂層通過掩模負(fù)片44在準(zhǔn)直(平行)光源46下曝光，掩模片上有照相產(chǎn)生的不透明柵格45，后者代表將要保留而不被蝕刻的圖形。耐蝕層42經(jīng)過曝光的面積對于除去這層的浸蝕劑或溶劑是敏感的，但未曝光的那部分面積43在浸蝕后仍將留在原處，這樣就形成3×15密耳的許多壁，從而形成20密耳寬的許多槽。也可使用相反的耐蝕層，即曝光部分是耐蝕的，但此時(shí)需采用相反的掩模片。除光蝕外，用其它方法也能做成有許多壁的槽。大量生產(chǎn)已經(jīng)確認(rèn)了模制的方法，用適當(dāng)?shù)臒崴芫酆衔?，可把壁和底?0作為整體一起沖壓或澆鑄出來。圖5也是一個(gè)截面圖，表示一片0.06密耳厚的聚對酞酸乙二醇酯(PET)薄膜52(MYLAR聚酯模)包在金屬或玻璃心子或夾具50上。利用液體的表面張力或利用靜電力，都能使極薄的PET膜攤平整。然后用已知的真空蒸發(fā)沉積技術(shù)在薄膜兩面都鍍一層鋁。再把攤平的薄膜加熱到約212°F，以便消除應(yīng)力。圖6的截面圖表示了一個(gè)類似的夾具60，在其上包有一層0.06密耳厚干凈的未鍍鋁的PET薄膜62，這層薄膜已在如圖雙箭頭表示的方向上受到張力拉伸。再把夾具60上單軸方向受應(yīng)力的薄膜62迭在夾具50上沒有應(yīng)力的鍍鋁薄膜52上。把薄膜62和薄膜52做成迭片的一種方法是對PET薄膜52解除應(yīng)力，同時(shí)在鋁鍍層53和54之間保持一個(gè)電位。要做到這一點(diǎn)，可使PET變?yōu)榫哂杏谰渺o電荷的駐極體。這種電荷足以使薄膜52和62粘成迭片。在以下步驟中，把薄膜52和62切割成蓋片10時(shí)，激光束切割就可把薄膜52和62的邊緣焊在一起。然后把受張力的薄膜62和已解除應(yīng)力的鍍鋁薄膜52迭片粘合在耐蝕聚合物壁73的頂面，這些壁就是圖4所述的光蝕步驟中留下來的槽壁。把結(jié)果放大后即如圖7所示。槽壁73在典型情況下為3密耳厚、15密耳高以及相隔20密耳的一個(gè)象素的寬度。薄膜52的兩面都有極薄的鋁層53和54。底板40是一片在其上有光蝕壁槽的玻璃。迭層薄膜52的上表面要噴一層耐光蝕材料。再用制造集成電路時(shí)廣泛應(yīng)用的分步重復(fù)照相方法，把蓋片導(dǎo)電區(qū)的圖形投影在其上。其次，刻蝕鍍鋁層53，在陣列中340，200個(gè)象素的每一象素地方，產(chǎn)生出圖1所示的導(dǎo)體圖形。然后用程序控制的激光束切割裝置，沿著蓋片10的三條邊開槽，使這三條邊能夠自由活動。切割線在圖1中已用虛線18表示。把受應(yīng)力的PET膜62迭合在已解除應(yīng)力的PET膜52上，就形成了一個(gè)能自由活動的蓋片10，它卷曲得如圖8所示。利用一個(gè)基本上和圖5同樣的夾具，對0.06密耳厚的第三片PET薄膜84進(jìn)行應(yīng)力消除。薄膜84上，鍍有透明的鍍層82，后者是外表面上(圖8薄膜84的下表面)稍微能導(dǎo)電的一層，還在里表面(圖8薄膜84的上表面)鍍以銦一錫氧化物鍍層86，這是一層透明的良導(dǎo)體。利用這個(gè)夾具，把鍍層后已經(jīng)消除應(yīng)力的薄膜84，粘合在蓋片迭層52、62的薄膜52的上表面，如圖8所示。利用對蓋片10形成導(dǎo)電區(qū)圖形同樣的光蝕技術(shù)，可在透明的、導(dǎo)電銦-錫氧化物鍍層86上涂一耐蝕層，在圖2所示的圖形下進(jìn)行曝光和蝕刻，形成圖2及圖3中的固定子導(dǎo)電區(qū)22、24、26。在其上可以加裝一片玻璃88或透明的不導(dǎo)電的聚合材料，這樣可保護(hù)這個(gè)陣列并增強(qiáng)整個(gè)部件的強(qiáng)度。當(dāng)然，也可在玻璃片88上復(fù)以光蝕好的銦一錫鍍層，來代替上述分開的PET薄膜84。上述制造陣列的方法，由于電極區(qū)都用光學(xué)或印刷技術(shù)制成，所以不僅保證了重復(fù)生產(chǎn)這些陣列的一致性，而且在一個(gè)陣列中，也保證了每個(gè)元件各電極區(qū)的對齊和配準(zhǔn)。因此，一個(gè)象素的尺寸可以做得非常小，小到祗被材料上的考慮所限制。再從圖1至圖3可以看到，陣列中每個(gè)象素的X引線都與每行相鄰各象素的X引線聯(lián)成一體。同樣，每列相鄰象素的Y引線也是一個(gè)整體。因此，在陣列的兩個(gè)邊緣，能聯(lián)接到每行的X引線，而每列的Y引線則出現(xiàn)在頂端和底端。有意義的是其中沒有交叉或“底板穿過”(即導(dǎo)線穿過底板)。全部的導(dǎo)電元件和它們的聯(lián)接，純粹是兩維的。陣列中某特定X-Y地址處的象素，都可使之獨(dú)立于所有其它象素而動作。對所選一行的X引線施加驅(qū)動電位，可以部分地吸引該行中所有的蓋片10，因?yàn)樵撔械腦電極區(qū)14都通了電。再對所選一列的Y引線施加驅(qū)動電位，則除了所需地址處的象素外，該列任何其它的象素都不相吸。這是因?yàn)閅電極區(qū)24與所選一列中所有其它的蓋片10離得遠(yuǎn)些。但由于在所選一行中，所有的X電極14都受到吸引而部分地動作，所以只有所選象素的蓋片10才足夠接近電極24，以致被它吸引過去。因此，只有所選地址處的象素才能動作。蓋片10的所有保持區(qū)12、16全接在一起，固定子20的所有保持區(qū)22、26也都接在一起。把電位施加在蓋片和固定子保持區(qū)引線之間，就可使剛才動作的象素在去掉X和Y驅(qū)動電位之后，仍能保持動作(伸直)。以前、以后或現(xiàn)在訪址過的每個(gè)象素，也都在保持電位去掉之前將保持動作。這個(gè)陣列也能相反動作，這可從所有象素都動作后開始，去掉保持電位，對所有的X及Y的列和行都加電，然后對每個(gè)所選的象素依次地去掉X和Y電位。再恢復(fù)保持電位，以便保留未訪址的象素的未受影響的狀態(tài)。這種工作模式很適合在光亮(銀色)背景下顯示暗色的字母，或者用于從陣列后面發(fā)光源來的發(fā)光字母。也許最容易從圖1-3中看出，相鄰電極區(qū)之間的間隙對于蓋片的運(yùn)動方向來說是斜向的。V字形間隙使伸直蓋片10的靜電力具有對稱性而不偏斜。斜的或V字形狀，保證了固定子和蓋片的加電區(qū)在開始作伸直運(yùn)動的初始時(shí)刻就具有某種程度的重迭。應(yīng)該注意，蓋片X電極區(qū)14遠(yuǎn)端(圖3中右邊)邊界所形成的間隙，能對準(zhǔn)其附近的固定子保持電極區(qū)22的遠(yuǎn)端邊界的間隙，從而也能使固定子Y電極區(qū)24的附近邊界對準(zhǔn)蓋片遠(yuǎn)端保持電極區(qū)16的附近邊界。當(dāng)固定子和蓋片彼此對齊時(shí)，這種幾何關(guān)系可保證X電極區(qū)14與固定子附近的電極區(qū)22相互對準(zhǔn)，從而給出最大的靜電力，同時(shí)亦保證固定子的Y電極區(qū)24同樣與蓋片的遠(yuǎn)端保持電極區(qū)16相互對準(zhǔn)。按照本發(fā)明的象素陣列可作為電容開關(guān)陣列使用，且把控制一個(gè)顯示陣列所需的外部引線數(shù)目減少一個(gè)很大的因子。權(quán)利要求1.一種靜電動作的雙態(tài)元件，它包括一個(gè)具有若干個(gè)電極區(qū)的固定子部件，以及一個(gè)可被靜電吸動的蓋片部件，它有一端固定在固定子部件上，且具有若干個(gè)電極區(qū)，這個(gè)蓋片部件有一離開這固定子傾向的永久機(jī)械偏置，當(dāng)有電位施加于一個(gè)固定子電極區(qū)及一個(gè)與所說固定子電極區(qū)鄰近的蓋片電極區(qū)之間時(shí)，這個(gè)偏置抵不住作用在蓋片上的靜電力。2.權(quán)項(xiàng)1的元件，其中無論是蓋片部件或固定子部件，它們的電極區(qū)之中每個(gè)電極區(qū)與其相鄰的電極區(qū)之間用一個(gè)間隙來分開，這個(gè)間隙的走向?qū)ιw片運(yùn)動方向來說是傾斜的。3.權(quán)項(xiàng)2的元件，其中所說的間隙是V字形的。4.一種靜電動作的雙態(tài)元件，它包括一個(gè)具有若干個(gè)電極區(qū)的固定子部件，以及一個(gè)可被靜電吸動的蓋片部件，它有一端固定在固定子部件上，且具有若干個(gè)電極區(qū)，這個(gè)蓋片部件有一離開這固定子傾向的永久機(jī)械偏置，當(dāng)有電位施加于一個(gè)固定子電極區(qū)及一個(gè)與所說固定子電極區(qū)鄰近的蓋片電極區(qū)之間時(shí)，這個(gè)偏置抵不住作用在蓋片上的靜電力，從而使這蓋片部件蓋在固定子部件上。5.權(quán)項(xiàng)4的元件，其中當(dāng)蓋片部件已經(jīng)動作并蓋在固定子部件上時(shí)，至少有一個(gè)蓋片上的間隙是對準(zhǔn)了固定子部件上的間隙。6.一種靜電動作的雙態(tài)元件，它包括一個(gè)具有若干個(gè)電極區(qū)的固定子部件，這些電極區(qū)彼此都用V字形間隙分開，一個(gè)可被靜電吸動的蓋片部件，它有一端固定在固定子部件上，且具有若干個(gè)彼此都由V字形間隙分開的電極區(qū)，當(dāng)這蓋片部件動作時(shí)，蓋片部件上至少有一間隙是對準(zhǔn)了固定子部件上的一個(gè)間隙，這個(gè)蓋片部件有一離開這固定子部件傾向的永久機(jī)械偏置，當(dāng)有電位施加于一個(gè)固定子電極區(qū)及一個(gè)與所說固定子電極區(qū)鄰近的蓋片電極區(qū)之間時(shí)，這個(gè)偏置抵不住作用在蓋片上的靜電力，從而使這蓋片吸至并蓋在固定子部件上。7.權(quán)項(xiàng)6的元件，其中的固定子部件至少有三個(gè)電極區(qū)。8.權(quán)項(xiàng)6的元件，其中的蓋片部件至少有三個(gè)電極區(qū)。9.一種靜電動作的雙態(tài)元件，它包括一個(gè)蓋片部件，它有三條邊能自由活動且有若干個(gè)電極區(qū)，以及一個(gè)與這蓋片相隨的固定子部件，這個(gè)固定子具有若干個(gè)固定子電極區(qū)，這個(gè)蓋片有一離開固定子部件傾向的永久機(jī)械偏置。10.一種靜電動作雙態(tài)元件的行和列的陣列，每一元件包括一個(gè)有三條邊能自由活動的蓋片部件，它有一使它卷曲的永久機(jī)械偏置，且至少具有第一、第二及第三蓋片電極區(qū)，以及一個(gè)和這蓋片對齊的固定子部件，蓋片卷曲時(shí)蓋片就離開這固定子部件，這個(gè)固定子至少具有第一、第二及第三固定子電極區(qū)，蓋片部件是在一個(gè)第一底板上形成，固定子部件是在第二底板上形成，第一底板和第二底板對齊后重合在一起。11.權(quán)項(xiàng)10的陣列，其中第二固定子電極和第二蓋片電極區(qū)均與它們的相鄰電極區(qū)用V字形間隙分開。12.制造雙態(tài)元件行列陣列的一種方法，每一元件包括一個(gè)可被靜電吸動的且其上有若干個(gè)電極區(qū)的蓋片部件和一個(gè)具有若干個(gè)電極區(qū)的固定子，制造方法包括以下步驟a、在一塊底板上形成由許多彼此以雙態(tài)元件的寬度分隔的直立壁所組成的平行槽，b、在兩面都有導(dǎo)電鍍層的沒有應(yīng)力的第一聚合薄膜的一個(gè)面上，迭合一層第二聚合薄膜，所說的第二薄膜受有單軸方向的張力，c、把迭層第二薄膜的暴露面粘合到槽壁的頂上，d、或者在步驟(b)之前，或者在步驟(c)之后，在每個(gè)元件的所在處，在第一薄膜暴露面的導(dǎo)電鍍層上對該蓋片形成各個(gè)電極區(qū)，e、沿著每個(gè)蓋片的三條邊緣切割這迭層，使蓋片能自由活動，f、在迭層的暴露面上迭一層不導(dǎo)電的材料，以及g、在步驟(f)之前或后，在每個(gè)元件的所在處，在不導(dǎo)電材料層上對該固定子形成各個(gè)電極區(qū)。13.權(quán)項(xiàng)12的方法，其中步驟(a)的槽是由下列步驟形成a、在一塊堅(jiān)硬的底板上涂一層耐光蝕的聚合材料，b、使耐光蝕聚合材料通過一塊掩模板進(jìn)行曝光，掩模板上具有所需槽的圖形，c、把經(jīng)過曝光后變?yōu)榭扇苄缘哪遣糠帜凸馕g材料溶解掉，剩下就是由原來耐光蝕聚合材料做成的槽壁。14.權(quán)項(xiàng)12的方法，其中步驟(b)中的第一薄膜是聚對酞酸乙二醇酯薄膜，且其兩面具有真空沉積的鋁鍍層，以及其中的第一薄膜是用升高溫度來消除應(yīng)力的方法使它沒有應(yīng)力的。15.權(quán)項(xiàng)12的方法，其中步驟(b)中的第二薄膜是聚對酞酸乙二醇酯薄膜。16.權(quán)項(xiàng)12的方法，其中步驟(d)中的電極區(qū)是在步驟(c)之后在迭層第一薄膜的暴露面上用光蝕導(dǎo)電層的方法形成。17.權(quán)項(xiàng)12的方法，其中步驟(d)中的電極區(qū)是在步驟(b)之前用導(dǎo)電油墨印刷的方法形成。18.權(quán)項(xiàng)12的方法，其中步驟(f)中的這層材料是一層第三聚對酞酸乙二醇酯薄膜。19.權(quán)項(xiàng)12的方法，其中第三薄膜在離開迭層迭合面的面上具有一層透明的導(dǎo)電層。20.權(quán)項(xiàng)19的方法，其中的透明導(dǎo)電層在步驟(f)之后用光蝕方法蝕成固定子電極的圖形。21.權(quán)項(xiàng)19的方法，其中固定子電極的圖形是在步驟(f)之前用印刷方法在透明鍍層中形成。22.制造雙態(tài)元件行列陣列的方法，每一元件包括一個(gè)可被靜電吸動的且其上有若干個(gè)電極區(qū)的蓋片部件和一個(gè)具有若干個(gè)電極區(qū)的固定子，制造方法包括以下步驟a、在一塊底板上形成由許多彼此以雙態(tài)元件的寬度分隔的直立壁所組成的平行槽，b、在兩面都有真空沉積鋁層的沒有應(yīng)力的第一聚對酞酸乙二醇酯薄膜上，迭合一層第二聚對酞酸乙二醇酯薄膜，且所說的第二薄膜受有單軸方向的張力，c、把迭層第二薄膜的暴露面粘合到槽壁的頂上，d、對迭層第一薄膜暴露面上的鋁鍍層進(jìn)行光蝕，以形成蓋片的電極區(qū)，e、沿著每個(gè)蓋片的三條邊緣切割這迭層，使蓋片能自由活動，f、在迭層的暴露面上迭一層第三聚對酞酸乙二醇酯薄膜，第三薄膜的暴露面上具有透明的導(dǎo)電鍍層，g、對第三薄膜的透明導(dǎo)電鍍層進(jìn)行光蝕，以形成固定子的電極區(qū)。23.一種靜電動作雙態(tài)元件的行和列的陣列，它包括一個(gè)第一平面部件，它在每個(gè)雙態(tài)元件的位置都至少有三個(gè)彼此用間隙分開的固定子電極區(qū)，一個(gè)位在第一部件下面的平面第二部件，第二部件在每個(gè)雙態(tài)元件的位置都具有一個(gè)可被靜電吸動的三條邊都能自由活動的蓋片，每個(gè)蓋片至少有三個(gè)彼此用間隙分開的電極區(qū)，這些蓋片都有離開固定子部件傾向的永久機(jī)械偏置，當(dāng)有電位施加于一個(gè)固定子電極區(qū)及一個(gè)與所說固定子電極區(qū)鄰近的蓋片電極區(qū)之間時(shí)，這個(gè)偏置抵不住作用在蓋片上的靜電力，從而這蓋片被吸至固定子部件。24.權(quán)項(xiàng)23的陣列，其中對于每個(gè)元件來說，固定子電極區(qū)之間的間隙中至少有一間隙和蓋片電極區(qū)之間的間隙中至少有一間隙在這元件動作時(shí)是對準(zhǔn)的。25.權(quán)項(xiàng)23的陣列，其中所有相鄰固定子電極區(qū)之間的間隙和所有相鄰蓋片電極區(qū)之間的間隙都是V字形的。26.權(quán)項(xiàng)23的陣列，其中每個(gè)雙態(tài)元件都具有用V字形間隙分開的第一、第二及第三固定子電極區(qū)，以及用V字形間隙分開的第一、第二及第三蓋片電極區(qū)，所有第一及第三固定子電極區(qū)在電氣上接在一起，陣列每列所有元件固定子的第二固定子電極區(qū)都接在一起，且接至該列的一個(gè)輸入引線，所有第一及第三蓋片電極區(qū)都接在一起，陣列每行蓋片的第二蓋片電極區(qū)都接在一起，且接至該行的一個(gè)輸入引線，對于陣列中某一選定的元件，當(dāng)有電位施加于該列的第二電極區(qū)和該行的第二電極區(qū)之間時(shí)，該元件就能動作。27.一種靜電動作的雙態(tài)元件，它包括一個(gè)有若干個(gè)電極區(qū)的可被靜電吸動的蓋片和一個(gè)有若干個(gè)電極區(qū)的固定子，這些電極區(qū)在蓋片運(yùn)動方向上按順序排列且有斜的間隙分開，蓋片有離開這固定子傾向的永久機(jī)械偏置，當(dāng)有電位施加于一個(gè)固定子電極區(qū)和一個(gè)與所說固定子電極區(qū)附近的蓋片電極區(qū)之間時(shí)，這個(gè)偏置抵不住靜電力，從而蓋片被吸向固定子。28.一種獨(dú)立選擇靜電動作的電開關(guān)器件的行列列陣，每個(gè)器件包括一個(gè)有分離電極區(qū)的固定子，以及一個(gè)有分離電極區(qū)的可被靜電吸動的蓋片，固定子具有第一、第二及第三電極區(qū)，第一及第三電極區(qū)在電氣上接在一起，陣列的一列中每個(gè)器件的第二固定子電極區(qū)都接在一起，且接至該列的一個(gè)輸入引線，蓋片有一個(gè)第一電極區(qū)，它的位置將與固定子第一電極區(qū)對準(zhǔn)，還有一個(gè)第二電極區(qū)，它的位置將與固定子的第二和第三電極區(qū)對準(zhǔn)，陣列的一行中每個(gè)蓋片的第一蓋片電極區(qū)都接在一起，且接至該行的一個(gè)輸入引線，陣列中每個(gè)蓋片的第二蓋片電極都接至一個(gè)輸出引線，蓋片有一離開這固定子傾向的永久機(jī)械偏置，對于所選的器件，當(dāng)有電位施加在該行輸入引線及該列輸入引線之間時(shí)，這偏置抵不住作用于蓋片上的靜電力。專利摘要靜電動作的雙態(tài)器件陣列具有可被靜電吸動的蓋片，這樣就能改變狀態(tài)。蓋片上有若干個(gè)電極區(qū)，固定子上也有若干個(gè)電極區(qū)，蓋片可被吸向固定子。一種制造陣列的方法可以保證生產(chǎn)的重復(fù)性和準(zhǔn)確性。這種陣列能在字母——數(shù)字顯示或目視圖象顯示、開關(guān)矩陣以及存儲器中使用。文檔編號G02F1/19GK85106866SQ85106866公開日1987年3月11日申請日期1985年9月12日發(fā)明者喬治·R·辛普森,赫伯特·W·沙利文申請人:喬治·R·辛普森,赫伯特·W·沙利文導(dǎo)出引文BiBTeX,EndNote,RefMan