技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種自動(dòng)對(duì)位裝置和曝光設(shè)備及其曝光方法。一種自動(dòng)對(duì)位裝置包括安裝架，固定聯(lián)接于安裝架下側(cè)的下鏡頭機(jī)構(gòu)，安裝于下鏡頭上側(cè)的下菲林機(jī)構(gòu)，安裝于下菲林機(jī)構(gòu)上方的上菲林機(jī)構(gòu)，及安裝于上菲林機(jī)構(gòu)上方的上鏡頭機(jī)構(gòu)；上鏡頭機(jī)構(gòu)、下鏡頭機(jī)構(gòu)均設(shè)有若干個(gè)鏡頭組件，并通過(guò)鏡頭組件采集定位圖像，以相應(yīng)控制上菲林機(jī)構(gòu)、下菲林機(jī)構(gòu)的位置。本發(fā)明有效的避免了因裁切、沖掛孔所產(chǎn)生的鋼膜屑對(duì)曝光的影響，再有靜電棒消除靜電、除塵機(jī)構(gòu)除塵、空氣凈化等來(lái)保證基材的潔凈度。采用高分辨率鏡頭組件進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控對(duì)位情況，提高了對(duì)位的精度。全過(guò)程自動(dòng)化操作，節(jié)省人工成本，提高了生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：葉永祿
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市前海野馬自動(dòng)化設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.16
技術(shù)公布日：2017.08.08