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一種自動對位裝置和曝光設(shè)備及其曝光方法與流程

文檔序號:11589194閱讀:194來源:國知局

本發(fā)明涉及fpc生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,更具體地說是指一種自動對位裝置和曝光設(shè)備及其曝光方法。



背景技術(shù):

目前國內(nèi)fpc生產(chǎn)的曝光工序均采用片材對位模式。片材對位模式在生產(chǎn)中需人工把壓完鋼膜的基材裁切開來,裁切的過程會產(chǎn)生鋼膜屑,需反復(fù)清潔防止曝光不良。在對位過程中,需求大量的技術(shù)熟練的工人來完成菲林與基材的對位,這種生產(chǎn)方式效率低,且易產(chǎn)生不良品。

隨著產(chǎn)品的質(zhì)量要求越來越高,精度要求也越來越高,人工對位的生產(chǎn)方式越來越達(dá)不到生產(chǎn)的要求。國內(nèi)外市場也有部分實(shí)現(xiàn)自動化生產(chǎn),但是,現(xiàn)有的自動對位曝光設(shè)備也均采用片材對位,需人工放置基材,且用人工將基材上的掛孔位的鋼膜壓破掛入,在掛孔過程也會產(chǎn)生鋼膜屑,對后面的曝光等工序也存在很大的影響,而且生產(chǎn)效率亦比較低下。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷,提供一種自動對位裝置和曝光設(shè)備及其曝光方法。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:

一種自動對位裝置,包括安裝架,固定聯(lián)接于安裝架下側(cè)的下鏡頭機(jī)構(gòu),安裝于下鏡頭上側(cè)的下菲林機(jī)構(gòu),安裝于下菲林機(jī)構(gòu)上方的上菲林機(jī)構(gòu),及安裝于上菲林機(jī)構(gòu)上方的上鏡頭機(jī)構(gòu);所述上鏡頭機(jī)構(gòu)、下鏡頭機(jī)構(gòu)均設(shè)有若干個鏡頭組件,并通過鏡頭組件采集定位圖像,以相應(yīng)控制上菲林機(jī)構(gòu)、下菲林機(jī)構(gòu)的位置。

其進(jìn)一步技術(shù)方案為:所述的上菲林機(jī)構(gòu)和下菲林機(jī)構(gòu)均包括菲林安裝板,設(shè)于菲林安裝板一側(cè)的透明板,及固定于菲林安裝板且用于從二個方向調(diào)節(jié)透明板位置的若干個動力組件;所述透明板與菲林安裝板通過設(shè)有的若干個滑動件滑動聯(lián)接;所述動力組件包括菲林動力件,與菲林動力件傳動聯(lián)接的絲桿件,及設(shè)于絲桿件動力輸出端與透明板之間的鉸接件;所述鉸接件設(shè)有的鉸接桿一端與透明板滑動聯(lián)接,另一端與絲桿件的傳動螺母鉸接。

其進(jìn)一步技術(shù)方案為:所述的上菲林機(jī)構(gòu)的進(jìn)料端與出料端的上側(cè)對稱設(shè)有二個上鏡頭機(jī)構(gòu);所述的上鏡頭機(jī)構(gòu)包括上安裝座,滑動聯(lián)接于上安裝座的滑動板,及固定聯(lián)接于滑動板的鏡頭組件;所述上安裝座設(shè)有用于驅(qū)動滑動板滑動運(yùn)動的上鏡頭動力件;所述鏡頭組件朝下近于上菲林機(jī)構(gòu)設(shè)置;

所述鏡頭組件通過設(shè)有的調(diào)節(jié)組件與滑動板固定聯(lián)接;所述調(diào)節(jié)組件包括滑動聯(lián)接于滑動板的x向滑板,滑動聯(lián)接于x向滑板的y向滑板,及滑動聯(lián)接于y向滑板的z向滑板;所述滑動板設(shè)有用于調(diào)節(jié)x向滑板的x調(diào)節(jié)件;所述x向滑板設(shè)有用于調(diào)節(jié)y向滑板的y調(diào)節(jié)件;所述y向滑板設(shè)有用于調(diào)節(jié)z向滑板的z調(diào)節(jié)件;所述鏡頭組件設(shè)于z向滑板。

其進(jìn)一步技術(shù)方案為:所述的下菲林機(jī)構(gòu)的進(jìn)料端與出料端的下側(cè)對稱設(shè)有二個下鏡頭機(jī)構(gòu);所述的下鏡頭機(jī)構(gòu)包括y向安裝板,滑動聯(lián)接于y向安裝板兩側(cè)的x向安裝板,及固定于x向安裝板的鏡頭組件;所述鏡頭組件朝上近于下菲林機(jī)構(gòu)設(shè)置;所述y向安裝板設(shè)有用于驅(qū)動x向安裝板的y向動力件;所述x向安裝板設(shè)有用于驅(qū)動鏡頭組件的x向動力件;

所述鏡頭組件滑動聯(lián)接于與x向安裝板,且x向安裝板設(shè)有豎直方向調(diào)節(jié)鏡頭組件的z向調(diào)節(jié)件。

其進(jìn)一步技術(shù)方案為:所述上菲林機(jī)構(gòu)或下菲林機(jī)構(gòu)均設(shè)有升降機(jī)構(gòu);所述升降機(jī)構(gòu)包括用于支撐上菲林機(jī)構(gòu)或下菲林機(jī)構(gòu)且固定于安裝架的若干個導(dǎo)向件,用于驅(qū)動上菲林機(jī)構(gòu)或下菲林機(jī)構(gòu)上下運(yùn)動的豎直動力件;所述上菲林機(jī)構(gòu)或下菲林機(jī)構(gòu)與安裝架之間設(shè)有緩沖件;

所述上菲林機(jī)構(gòu)或下菲林機(jī)構(gòu)均設(shè)有水平運(yùn)動機(jī)構(gòu);所述水平運(yùn)動機(jī)構(gòu)設(shè)有與升降機(jī)構(gòu)固定聯(lián)接的水平板,且所述上菲林機(jī)構(gòu)或下菲林機(jī)構(gòu)與水平板滑動聯(lián)接;所述水平板設(shè)有用于驅(qū)動上菲林機(jī)構(gòu)或下菲林機(jī)構(gòu)水平運(yùn)動的水平動力件。

一種帶有自動對位裝置的曝光設(shè)備,包括機(jī)架,上述的自動對位裝置,固定于機(jī)架進(jìn)料端的放料機(jī)構(gòu)及固定于機(jī)架出料端的收料機(jī)構(gòu);所述機(jī)架近于自動對位裝置的上菲林機(jī)構(gòu)上側(cè)設(shè)有上光源機(jī)構(gòu),近于下菲林機(jī)構(gòu)設(shè)有下光源機(jī)構(gòu)。

其進(jìn)一步技術(shù)方案為:所述的放料機(jī)構(gòu)、收料機(jī)構(gòu)均設(shè)有固定于機(jī)架的支撐板,旋轉(zhuǎn)聯(lián)接于支撐板的支座,旋轉(zhuǎn)聯(lián)接于支座一側(cè)的膨脹組件,及用于驅(qū)動膨脹組件旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的膨脹動力件;

其中,膨脹組件包括與支座旋轉(zhuǎn)聯(lián)接的空心軸,固定聯(lián)接于空心軸且遠(yuǎn)于支座一端的膨脹軸;空心軸與所述膨脹動力件傳動聯(lián)接,且空心軸內(nèi)側(cè)設(shè)有通孔;所述膨脹軸內(nèi)側(cè)設(shè)有內(nèi)腔;所述膨脹軸外周設(shè)有若干個與內(nèi)腔聯(lián)通的活動塊,且活動塊為楔形結(jié)構(gòu);所述內(nèi)腔設(shè)有往復(fù)運(yùn)動的錐形膨脹塊;所述錐形膨脹塊一端與設(shè)有的膨脹拉桿聯(lián)接;所述膨脹拉桿貫穿通孔并且延伸至空心軸外端,以使與設(shè)有的拉桿動力件傳動聯(lián)接;

所述拉桿動力件通過膨脹拉桿驅(qū)動錐形膨脹塊于內(nèi)腔往復(fù)運(yùn)動,錐形膨脹塊的錐形面與活動塊的楔形面相互滑動聯(lián)接,以推動活動塊徑向運(yùn)動。

其進(jìn)一步技術(shù)方案為:還包括近于自動對位裝置出料端設(shè)置的拉料機(jī)構(gòu);所述拉料機(jī)構(gòu)包括底板,固定聯(lián)接于底板的夾持組件,用于驅(qū)動夾持組件往復(fù)運(yùn)動的拉料動力件,及用于支撐基材的若干個支撐輪;所述拉料動力件通過設(shè)有的拉料絲桿驅(qū)動夾持組件往復(fù)運(yùn)動;

所述夾持組件包括滑動聯(lián)接于底板的移動板,滑動聯(lián)接于移動板的夾持板,及與夾持板傳動聯(lián)接的夾持動力件;所述移動板與夾持板之間設(shè)有的通過基材的縫隙;

所述夾持動力件驅(qū)動夾持板朝向移動板運(yùn)動以將通過縫隙的基材夾緊,并且通過與拉料動力件傳動聯(lián)接的拉料絲桿驅(qū)動夾持組件移動,以使基材移動。

其進(jìn)一步技術(shù)方案為:還包括設(shè)于自動對位裝置進(jìn)料端的除塵機(jī)構(gòu);所述除塵機(jī)構(gòu)包括固定于機(jī)架的除塵架,固定于除塵架上側(cè)的除塵動力件,傳動聯(lián)接于除塵動力件動力輸出端的壓輪組,及設(shè)置于壓輪組下側(cè)的固定輪組;所述壓輪組、固定輪組均設(shè)有若干個與基材接觸的除塵滾輪;

所述除塵動力件驅(qū)動壓輪組朝向固定輪組運(yùn)動,除塵滾輪與基材表面接觸并壓緊,以使除塵滾輪帶走雜物。

其進(jìn)一步技術(shù)方案為:所述機(jī)架外周設(shè)有殼體;所述殼體上端設(shè)有若干個空氣凈化機(jī)構(gòu)。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的有益效果是:本發(fā)明一種自動對位裝置和曝光設(shè)備及其曝光方法,采用卷對卷的基材自動對位曝光的模式,在基材壓完鋼膜后無需裁切,直接再卷成卷料后放入本發(fā)明進(jìn)行曝光。曝光過程采用圖像自動對位,無需人工收放料、對位,大大的節(jié)省了人工成本;有利于提高生產(chǎn)效率,提升了產(chǎn)品的精度及良品率。

本發(fā)明有效的避免了因裁切、沖掛孔所產(chǎn)生的鋼膜屑對曝光的影響,再有靜電棒消除靜電、除塵機(jī)構(gòu)除塵、空氣凈化等來保證基材的潔凈度。采用高分辨率鏡頭組件進(jìn)行實(shí)時監(jiān)控對位情況,提高了對位的精度。全過程自動化操作,節(jié)省人工成本,提高了生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一種自動對位裝置的立體結(jié)構(gòu)圖;

圖2為本發(fā)明一種自動對位裝置的上菲林機(jī)構(gòu)立體結(jié)構(gòu)圖;

圖3為本發(fā)明一種自動對位裝置的上菲林機(jī)構(gòu)立體結(jié)構(gòu)圖;

圖4為本發(fā)明一種帶有行星機(jī)構(gòu)的減速器的立體結(jié)構(gòu)圖的動力組件立體結(jié)構(gòu)圖;

圖5為圖4的側(cè)視圖;

圖6為本發(fā)明一種自動對位裝置的上鏡頭機(jī)構(gòu)立體結(jié)構(gòu)圖;

圖7為本發(fā)明一種自動對位裝置的上鏡頭機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)組件立體結(jié)構(gòu)圖;

圖8為本發(fā)明一種自動對位裝置的下鏡頭機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)圖;

圖9為本發(fā)明一種自動對位裝置的升降機(jī)構(gòu)、水平運(yùn)動機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)圖;

圖10為圖9的正視圖;

圖11為本發(fā)明一種帶有自動對位裝置的曝光設(shè)備的立體結(jié)構(gòu)圖;

圖12為本發(fā)明一種帶有自動對位裝置的曝光設(shè)備的放料機(jī)構(gòu)、收料機(jī)構(gòu)立體結(jié)構(gòu)圖;

圖13為本發(fā)明一種帶有自動對位裝置的曝光設(shè)備的膨脹組件的中間剖視圖;

圖14為本發(fā)明一種帶有自動對位裝置的曝光設(shè)備的拉料機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)圖;

圖15為本發(fā)明一種帶有自動對位裝置的曝光設(shè)備的除塵機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)圖;

圖16為本發(fā)明一種帶有自動對位裝置的曝光設(shè)備的上光源機(jī)構(gòu)、下光源機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)圖;

圖17為本發(fā)明一種帶有自動對位裝置的曝光設(shè)備的壓料機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)圖;

圖18為本發(fā)明一種帶有自動對位裝置的曝光設(shè)備的帶殼體和空氣凈化機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

為了更充分理解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容,下面結(jié)合具體實(shí)施例對本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)一步介紹和說明,但不局限于此。

如圖1至圖18所示,為本實(shí)施例的具體結(jié)構(gòu)視圖。

一種自動對位裝置q,如圖1所示,包括安裝架10,固定聯(lián)接于安裝架10下側(cè)的下鏡頭機(jī)構(gòu)40,安裝于下鏡頭機(jī)構(gòu)40上側(cè)的下菲林機(jī)構(gòu)30,安裝于下菲林機(jī)構(gòu)30上方的上菲林機(jī)構(gòu)20,及安裝于上菲林機(jī)構(gòu)20上方的上鏡頭機(jī)構(gòu)50。上鏡頭機(jī)構(gòu)50、下鏡頭機(jī)構(gòu)40均設(shè)有若干個鏡頭組件21,并通過鏡頭組件21采集定位圖像,以相應(yīng)控制上菲林機(jī)構(gòu)20、下菲林機(jī)構(gòu)30的位置。其中,鏡頭組件21為ccd鏡頭,為現(xiàn)有技術(shù)不作進(jìn)一步解釋。

如圖2至圖5所示,上菲林機(jī)構(gòu)20和下菲林機(jī)構(gòu)30均包括菲林安裝板22,設(shè)于菲林安裝板22一側(cè)的透明板23,及固定于菲林安裝板22且用于從二個方向調(diào)節(jié)透明板23位置的若干個動力組件24。透明板23與菲林安裝板22通過設(shè)有的若干個滑動件25滑動聯(lián)接。透明板23外周設(shè)有連接框231,且滑動件25通過連接框231與菲林安裝板22滑動聯(lián)接。優(yōu)選的,透明板23上設(shè)有若干個用于吸附菲林膠片的氣孔及氣槽232,氣槽設(shè)置在透明板23貼合一側(cè),氣孔與氣槽232聯(lián)通,且氣孔也與設(shè)有的真空氣源聯(lián)通。

其中,滑動件25為萬向球。透明板23通過均布在下側(cè)的萬向球與菲林安裝板22滑動接觸。同時,為了不至于透明板23在滑動過程中跳動,透明板23通過萬向球與透明板23上側(cè)滑動聯(lián)接,還有通過支板251固定萬向球延伸至遠(yuǎn)于透明板23的下側(cè)與菲林安裝板22滑動聯(lián)接,從而形成透明板23通過萬向球滑動聯(lián)接于菲林安裝板22兩側(cè)。

動力組件24包括菲林動力件241,與菲林動力件241傳動聯(lián)接的絲桿件242,及設(shè)于絲桿件242動力輸出端與透明板23之間的鉸接件243。鉸接件243設(shè)有的鉸接桿244一端與透明板23滑動聯(lián)接,另一端與絲桿件242的傳動螺母245鉸接。其中,菲林動力件241為電動機(jī)。

動力組件24安裝于菲林安裝板22同一側(cè),在同一水平面對透明板23的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)。透明板23下方的萬向球有助于動力組件24的調(diào)節(jié)。本實(shí)施例中,動力組件24為三個,分別安裝在相互相互垂直的兩個方向上,從兩個方向上對透明板23的水平位置調(diào)節(jié)。優(yōu)選的,為了平衡調(diào)節(jié)菲林機(jī)構(gòu),在垂直于基材的進(jìn)料方向設(shè)置兩個動力組件24,在進(jìn)料方向上設(shè)置一個動力組件24。

其中,鉸接件243不僅包括鉸接桿244,其中,還包括固定于傳動螺母245鉸接座246,鉸接桿244一端通過銷軸247與鉸接座246鉸接,鉸接桿244另一端通過滑軌滑座與透明板23滑動聯(lián)接。還有,鉸接座246也通過滑座滑軌與菲林安裝板22滑動聯(lián)接。傳動螺母245運(yùn)動方向與鉸接桿243和透明板23滑動方向相互垂直。優(yōu)選的,菲林動力件241通過設(shè)有的聯(lián)軸器248與絲桿件242傳動聯(lián)接。

其中,上菲林機(jī)構(gòu)20和下菲林機(jī)構(gòu)30不同的是:上菲林機(jī)構(gòu)20的連接框231的高度大于下菲林機(jī)構(gòu)30的連接框231高度。

優(yōu)選的,菲林安裝板22設(shè)有若干個用于檢測透明板23的位置傳感器,便于自動化控制。

如圖6至圖7所示,上菲林機(jī)構(gòu)20的進(jìn)料端與出料端的上側(cè)對稱設(shè)有二個上鏡頭機(jī)構(gòu)50。上鏡頭機(jī)構(gòu)50包括上安裝座51,滑動聯(lián)接于上安裝座51的滑動板52,及固定聯(lián)接于滑動板52的鏡頭組件21。上安裝座51設(shè)有用于驅(qū)動滑動板52滑動運(yùn)動的上鏡頭動力件53(優(yōu)選的,上鏡頭動力件53為氣缸)。其中,滑動板52在上鏡頭動力件53的驅(qū)動下做與進(jìn)料方向平行的直線運(yùn)動。鏡頭組件21朝下近于上菲林機(jī)構(gòu)20設(shè)置。每個上鏡頭機(jī)構(gòu)50均設(shè)有二個鏡頭組件21,所以上菲林機(jī)構(gòu)20上方形成有四個鏡頭組件21,從四個角的位置進(jìn)行采集對位圖像。

鏡頭組件21通過設(shè)有的調(diào)節(jié)組件54與滑動板52固定聯(lián)接。調(diào)節(jié)組件54包括滑動聯(lián)接于滑動板52的x向滑板541,滑動聯(lián)接于x向滑板541的y向滑板542,及滑動聯(lián)接于y向滑板542的z向滑板543?;瑒影?2設(shè)有用于調(diào)節(jié)x向滑板541的x調(diào)節(jié)件544。x向滑板541設(shè)有用于調(diào)節(jié)y向滑板542的y調(diào)節(jié)件545。y向滑板542設(shè)有用于調(diào)節(jié)z向滑板543的z調(diào)節(jié)件546。鏡頭組件21設(shè)于z向滑板543上。調(diào)節(jié)組件54可以從x、y、z三個方向上調(diào)節(jié)鏡頭組件21,從而保持圖像采集的位置準(zhǔn)確性。

其中,x調(diào)節(jié)件544、y調(diào)節(jié)件545、z調(diào)節(jié)件546均為千分尺。x調(diào)節(jié)件544固定在滑動板52上,活動的一端止抵于x向滑板541設(shè)有的凸起塊547上,旋轉(zhuǎn)千分尺,活動端能推動x向滑板541運(yùn)動,從而調(diào)節(jié)鏡頭組件的21x向上的位置。

y調(diào)節(jié)件545固定在x向滑板541上,活動的一端止抵于y向滑板542設(shè)有的凸起塊上,旋轉(zhuǎn)千分尺,活動端能推動y向滑板542運(yùn)動,從而調(diào)節(jié)鏡頭組件21的y向上的位置。

z調(diào)節(jié)件546固定在y向滑板542上,活動的一端止抵于z向滑板543設(shè)有的凸起塊上,旋轉(zhuǎn)千分尺,活動端能推動z向滑板543運(yùn)動,從而調(diào)節(jié)鏡頭組件的21z向上的位置。

優(yōu)選的,上鏡頭機(jī)構(gòu)50設(shè)有若干個用于檢測鏡頭組件21位置的光電傳感器。

如圖8所示,下菲林機(jī)構(gòu)30的進(jìn)料端與出料端的下側(cè)對稱設(shè)有二個下鏡頭機(jī)構(gòu)40。下鏡頭機(jī)構(gòu)40包括y向安裝板41,滑動聯(lián)接于y向安裝板41兩側(cè)的x向安裝板42,及固定于x向安裝板42的鏡頭組件21。鏡頭組件21朝上近于下菲林機(jī)構(gòu)30設(shè)置。y向安裝板41設(shè)有用于驅(qū)動x向安裝板42的y向動力件43。x向安裝板42設(shè)有用于驅(qū)動鏡頭組件21的x向動力件44。具體的,x向動力件44、y向動力件43均為電機(jī)。優(yōu)選的,x向安裝板42及安裝在其上的部件對稱設(shè)置在y向安裝板41上。

鏡頭組件21滑動聯(lián)接于與x向安裝板42,且x向安裝板42設(shè)有豎直方向調(diào)節(jié)鏡頭組件21的z向調(diào)節(jié)件45。其中,z向調(diào)節(jié)件45設(shè)有千分尺,其安裝和調(diào)節(jié)原理和上鏡頭機(jī)構(gòu)50的千分尺相同,在此不做累贅。

具體的,下鏡頭機(jī)構(gòu)40通過支架46固定在安裝架10上。y向動力件43固定在支架上,即控制y向的電機(jī)固定在支架46上,電機(jī)動力輸出端設(shè)有的動力輪47通過設(shè)有的傳動帶48與設(shè)在支架46上的從動輪49傳動聯(lián)接,y向安裝板41固定在傳動帶48上。傳動帶48的轉(zhuǎn)動驅(qū)動y向安裝板41移動,從而在y方向上調(diào)節(jié)鏡頭組件21的位置。

控制x向的電機(jī)固定在y向安裝板41上,電機(jī)動力輸出端設(shè)有的動力輪通過設(shè)有的傳動帶與設(shè)在y向安裝板41上的從動輪傳動聯(lián)接,x向安裝板42固定在傳動帶48上,傳動帶48的轉(zhuǎn)動驅(qū)動x向安裝板42移動,從而在x方向上調(diào)節(jié)鏡頭組件21的位置。其中,z向調(diào)節(jié)件45與x向安裝板42通過設(shè)有的滑軌滑座的方式滑動聯(lián)接。

如圖9至圖10所示,上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30均設(shè)有升降機(jī)構(gòu)60。升降機(jī)構(gòu)60包括用于支撐上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30且固定于安裝架10的若干個導(dǎo)向件61,用于驅(qū)動上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30上下運(yùn)動的豎直動力件62。其中,上菲林機(jī)構(gòu)20的豎直動力件62為電機(jī),并通過升降絲桿件64與上菲林機(jī)構(gòu)20傳動聯(lián)接。下菲林機(jī)構(gòu)30的豎直動力件62為氣缸,直接驅(qū)動下菲林機(jī)構(gòu)30升降運(yùn)動。

上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30與安裝架10之間設(shè)有緩沖件63。其中,導(dǎo)向件61為滑塊滑軌,具體的,安裝架10上設(shè)有滑軌,升降機(jī)構(gòu)60設(shè)有與滑軌相互匹配的滑座。豎直動力件62為電機(jī),且通過設(shè)有的絲桿與上菲林機(jī)構(gòu)20傳動聯(lián)接。還有緩沖件63為氣缸,數(shù)量為四個,上菲林機(jī)構(gòu)20通過均布在四周的氣缸與安裝架10聯(lián)接。氣缸具有緩沖和支撐的作用,在工作中可以抵消菲林機(jī)構(gòu)20的重力,便于靈活控制??偟膩碚f,升降機(jī)構(gòu)60控制上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30上下運(yùn)動,使二者貼合或分離。其中,升降機(jī)構(gòu)60還設(shè)有距離傳感器,用于檢測上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30的距離,避免二者相互擠壞。

上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30均設(shè)有水平運(yùn)動機(jī)構(gòu)70。水平運(yùn)動機(jī)構(gòu)70設(shè)有與升降機(jī)構(gòu)60固定聯(lián)接的水平板71,且上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30與水平板71滑動聯(lián)接。水平板71設(shè)有用于驅(qū)動上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30水平運(yùn)動的水平動力件72。其中,水平動力件72為氣缸。

具體的,上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30下端均設(shè)有滑軌,與滑軌相互配合的滑座固定在水平板71上,并且氣缸固定在水平板71上,活塞端與上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30固定聯(lián)接,氣缸的工作以使上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30水平伸出安裝架10外,便于對上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30的清潔和安裝菲林件。

一種帶有自動對位裝置的曝光設(shè)備,如圖11所示,包括機(jī)架80,上述的自動對位裝置q,固定于機(jī)架80進(jìn)料端的放料機(jī)構(gòu)81及固定于機(jī)架80出料端的收料機(jī)構(gòu)82。機(jī)架80近于自動對位裝置q的上菲林機(jī)構(gòu)20上側(cè)設(shè)有上光源機(jī)構(gòu)83,近于下菲林機(jī)構(gòu)30設(shè)有下光源機(jī)構(gòu)84。放料機(jī)構(gòu)81、收料機(jī)構(gòu)82均設(shè)有旋轉(zhuǎn)的膨脹組件813,便于卷對卷基材的生產(chǎn)。

如圖12至13所示,放料機(jī)構(gòu)81、收料機(jī)構(gòu)82均設(shè)有固定于機(jī)架80的支撐板811,旋轉(zhuǎn)聯(lián)接于支撐板811的支座812,旋轉(zhuǎn)聯(lián)接于支座812一側(cè)的膨脹組件813,及用于驅(qū)動膨脹組件813旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的膨脹動力件814。其中,膨脹組件813包括與支座812旋轉(zhuǎn)聯(lián)接的空心軸815,固定聯(lián)接于空心軸815且遠(yuǎn)于支座812一端的膨脹軸816??招妮S815與膨脹動力件814傳動聯(lián)接,且空心軸815內(nèi)側(cè)設(shè)有通孔817。

膨脹軸816內(nèi)側(cè)設(shè)有內(nèi)腔818,膨脹軸816外周設(shè)有若干個與內(nèi)腔818聯(lián)通的活動塊819,且活動塊819為楔形結(jié)構(gòu)。還有,內(nèi)腔818設(shè)有往復(fù)運(yùn)動的錐形膨脹塊821。錐形膨脹塊821一端與設(shè)有的膨脹拉桿822聯(lián)接。膨脹拉桿822貫穿通孔817并且延伸至空心軸815外端(延伸至遠(yuǎn)于膨脹軸816一端),以使與設(shè)有的拉桿動力件823傳動聯(lián)接;優(yōu)選的,拉桿動力件823為氣缸。

優(yōu)選的,每個活動塊819外側(cè)均設(shè)有弧形塊824,且多個弧形塊824圍成一圓形膨脹伸縮軸。

拉桿動力件823通過膨脹拉桿822驅(qū)動錐形膨脹塊821于內(nèi)腔往復(fù)運(yùn)動,錐形膨脹塊821的錐形面與活動塊的楔形面相互滑動聯(lián)接,以推動活動塊819徑向運(yùn)動。

膨脹軸816的活動塊819徑向運(yùn)動帶動弧形塊824伸縮運(yùn)動,便于將卷裝的基材安裝。裝料時,拉桿動力件823通過膨脹拉桿822將錐形膨脹塊821往前推,活動塊819帶動弧形塊824徑向收縮,卷裝的基材從膨脹軸816一端裝進(jìn),然后反向驅(qū)動拉桿動力件823,將卷裝的基材固定。卸料的工作過程跟裝料的相反。

優(yōu)選的,為了整個放料機(jī)構(gòu)81或收料機(jī)構(gòu)82的受力均勻,膨脹軸816上料端設(shè)有的延伸軸825,且機(jī)架80設(shè)有與延伸軸825旋轉(zhuǎn)聯(lián)接的支重板826。因為膨脹組件813旋轉(zhuǎn)在支座812上,所以膨脹軸816也繞著旋轉(zhuǎn)中心水平旋轉(zhuǎn),為了防止在膨脹組件813工作過程中轉(zhuǎn)動,支重板826設(shè)有將延伸軸825卡緊在支重板826的鎖緊銷827。

與其他實(shí)施例中,膨脹組件813可以為現(xiàn)有的氣脹軸。

其中,如圖14所示,還包括近于自動對位裝置q出料端設(shè)置的拉料機(jī)構(gòu)85。拉料機(jī)構(gòu)85包括底板851,滑動聯(lián)接于底板851的夾持組件852,用于驅(qū)動夾持組件852往復(fù)運(yùn)動的拉料動力件853,及用于支撐基材的若干個支撐輪854。拉料動力件853通過設(shè)有的拉料絲桿855驅(qū)動夾持組件852往復(fù)運(yùn)動;

所述夾持組件852包括滑動聯(lián)接于底板851的移動板856,滑動聯(lián)接于移動板856的夾持板857,及與夾持板857傳動聯(lián)接的夾持動力件858。移動板856與夾持板857之間設(shè)有的通過基材的縫隙;

夾持動力件858驅(qū)動夾持板857朝向移動板856運(yùn)動以將通過縫隙的基材夾緊,并且通過與拉料動力件853傳動聯(lián)接的拉料絲桿855驅(qū)動夾持組件852移動,以使基材移動,進(jìn)而完成拉料的工序。

其中,如圖15所示,還包括設(shè)于自動對位裝置q進(jìn)料端的除塵機(jī)構(gòu)86。除塵機(jī)構(gòu)86包括固定于機(jī)架10的除塵架861,固定于除塵架861上側(cè)的除塵動力件862,傳動聯(lián)接于除塵動力件862動力輸出端的壓輪組863,及設(shè)置于壓輪組863下側(cè)的固定輪組864。壓輪組863通過滑柱與除塵架861滑動聯(lián)接。壓輪組863、固定輪組864均設(shè)有若干個與基材接觸的除塵滾輪865。本實(shí)施例中,基材從壓輪組863和固定輪組864的除塵滾輪865之間通過,以將基材的雜物沾上帶走。同時,壓輪組863、固定輪組864各還設(shè)有與除塵滾輪865相互的接觸的兩個粘塵輪。

除塵動力件862驅(qū)動壓輪組863朝向固定輪組864運(yùn)動,除塵滾輪865與基材表面接觸并壓緊,以使除塵滾輪865帶走雜物。同時,粘塵輪也會將除塵滾輪865帶走,確保除塵的連續(xù)性。

其中,如圖16所示,上光源機(jī)構(gòu)83、下光源機(jī)構(gòu)84結(jié)構(gòu)相同,只是安裝位置不一樣。上光源機(jī)構(gòu)83、下光源機(jī)構(gòu)84包括光源安裝板831,滑動聯(lián)接于光源安裝板831的發(fā)光件832,及用于驅(qū)動發(fā)光件832運(yùn)動的光源動力件833。發(fā)光件832朝下近于菲林機(jī)構(gòu)安裝,且光源動力件833可以驅(qū)動發(fā)光件832運(yùn)動,以使發(fā)光件832能處于最佳曝光位置。其中,發(fā)光件832為發(fā)出紫外光的led燈組。

優(yōu)選的,光源安裝板831設(shè)有檢測發(fā)光件832位置的傳感器。

如圖17所示,自動對位裝置q的進(jìn)料端與出料端均設(shè)有壓料機(jī)構(gòu)87。壓料機(jī)構(gòu)87包括壓料架871,滑動聯(lián)接于壓料架871的活動壓板872,及用于驅(qū)動活動壓板872運(yùn)動的壓料動力件873?;顒訅喊?72下側(cè)設(shè)有固定壓板874,且固定壓板874與活動壓板872之間設(shè)有的通過基材的縫隙;壓料動力件873驅(qū)動活動壓板872朝定壓板874運(yùn)動,以使將通過二者縫隙的基材壓緊。

其中,放料機(jī)構(gòu)81的出料端及收料機(jī)構(gòu)82的進(jìn)料端均設(shè)有靜電除塵棒88,防止靜電對生產(chǎn)的干擾。

如圖18所示,機(jī)架80外周設(shè)有殼體90。殼體90上端設(shè)有若干個空氣凈化機(jī)構(gòu)91??諝鈨艋瘷C(jī)構(gòu)91為現(xiàn)有技術(shù),在此不做說明。

一種自動對位曝光方法,包括以下步驟:

步驟一,打開空氣凈化機(jī)構(gòu)91,并調(diào)節(jié)適宜的濕度和溫度,放料機(jī)構(gòu)81旋轉(zhuǎn)放料后,基材在拉料機(jī)構(gòu)85的作用下,分別經(jīng)過靜電除塵棒88對基材消除靜電;除塵機(jī)構(gòu)86對基材表面進(jìn)行除塵。

步驟二,安裝架10設(shè)有的供基材進(jìn)出的進(jìn)料口與出料口。在工作前,下菲林機(jī)構(gòu)30與上菲林機(jī)構(gòu)20的透明板23均通過真空氣源將菲林膠片吸附在透明板23一側(cè),基材是在下菲林機(jī)構(gòu)30與上菲林機(jī)構(gòu)20的透明板23之間通過。消除靜電和除塵后的基材進(jìn)入自動對位裝置后,自動對位裝置兩端的壓料機(jī)構(gòu)87將基材壓緊,防止移位。

步驟三,固定基材后,上菲林機(jī)構(gòu)20由升降機(jī)構(gòu)60帶動下降到預(yù)定位置(此時,下菲林機(jī)構(gòu)30不動作);下菲林機(jī)構(gòu)30以基材為基準(zhǔn)進(jìn)行對位,隨后下鏡頭機(jī)構(gòu)40的下置的四個鏡頭組件21移動至四個角的mark點(diǎn)位置進(jìn)行圖像采集,經(jīng)過計算機(jī)系統(tǒng)運(yùn)算后,發(fā)送信號指令至動力組件24以控制下菲林機(jī)構(gòu)30移動至目標(biāo)位置;下菲林機(jī)構(gòu)30首次動作完成后再經(jīng)過校檢,鏡頭組件21再取相確認(rèn)下菲林機(jī)構(gòu)30與基材的mark點(diǎn)是否完全重合,如未達(dá)到要求,則經(jīng)過多次圖像采集、位置校正,直至對位完全重合為止。

步驟四,下菲林機(jī)構(gòu)30對位后,上菲林機(jī)構(gòu)20以下菲林機(jī)構(gòu)30為基準(zhǔn)進(jìn)行對位,上鏡頭機(jī)構(gòu)50的鏡頭組件21移動至下菲林機(jī)構(gòu)30的外部mark點(diǎn)位置進(jìn)行圖像采集,經(jīng)過計算機(jī)系統(tǒng)運(yùn)算后,動力組件24驅(qū)使上菲林機(jī)構(gòu)20完成對位動作;

步驟五,上菲林機(jī)構(gòu)20與下菲林機(jī)構(gòu)30對位完成后,上鏡頭機(jī)構(gòu)50與下鏡頭機(jī)構(gòu)40均移動至曝光區(qū)域外部,上菲林機(jī)構(gòu)20下降或下菲林機(jī)構(gòu)30上升,直至上菲林機(jī)構(gòu)20和下菲林機(jī)構(gòu)30的透明板23吸附菲林膠片的一側(cè)完全與基材貼合;然后打開設(shè)有的真空氣源,抽取上菲林機(jī)構(gòu)20和下菲林機(jī)構(gòu)30的透明板23之間的空氣,使基材兩側(cè)的透明板23完全貼合,不留氣泡。

步驟六,再打開上光源機(jī)構(gòu)83、下光源機(jī)構(gòu)84,并將光源移動至預(yù)定位置,以使對基材曝光更加均勻可靠;曝光完成后,上菲林機(jī)構(gòu)20與下菲林機(jī)構(gòu)30分開并移動至待機(jī)位。

步驟七,拉料機(jī)構(gòu)85的拉動曝光后的基材,并且設(shè)置在收料機(jī)82構(gòu)前端的靜電棒對曝光后基材進(jìn)行消除靜電,收料機(jī)構(gòu)82對曝光后的基材進(jìn)行收料,并且使下一段待曝光的基材進(jìn)入至曝光區(qū)域;待曝光的基材進(jìn)入自動對位裝置后,繼續(xù)像上述的步驟,直至卷型基材曝光完畢。

其中,在上述過程還可以增加以下步驟:上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30需要清潔或者換取菲林膠片時,在升降機(jī)構(gòu)40作用下分別可上升或下降至初始位置,并在水平運(yùn)動機(jī)構(gòu)70作用下分別伸出機(jī)架外側(cè),進(jìn)而對上菲林機(jī)構(gòu)20或下菲林機(jī)構(gòu)30進(jìn)行操作。

綜上所述,本發(fā)明一種自動對位裝置和曝光設(shè)備及其曝光方法,采用卷對卷的基材自動對位曝光的模式,在基材壓完鋼膜后無需裁切,直接再卷成卷料后放入本發(fā)明進(jìn)行曝光。曝光過程采用圖像自動對位,無需人工收放料、對位,大大的節(jié)省了人工成本;有利于提高生產(chǎn)效率,提升了產(chǎn)品的精度及良品率。

本發(fā)明有效的避免了因裁切、沖掛孔所產(chǎn)生的鋼膜屑對曝光的影響,再有靜電棒消除靜電、除塵機(jī)構(gòu)除塵、空氣凈化等來保證基材的潔凈度。采用高分辨率鏡頭組件進(jìn)行實(shí)時監(jiān)控對位情況,提高了對位的精度。全過程自動化操作,節(jié)省人工成本,提高了生產(chǎn)效率。

上述僅以實(shí)施例來進(jìn)一步說明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容,以便于讀者更容易理解,但不代表本發(fā)明的實(shí)施方式僅限于此,任何依本發(fā)明所做的技術(shù)延伸或再創(chuàng)造,均受本發(fā)明的保護(hù)。本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書為準(zhǔn)。

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