本發(fā)明涉及一種液晶面板生產(chǎn)技術(shù)，特別是一種用光阻烘烤設(shè)備。

背景技術(shù)：

現(xiàn)階段液晶顯示業(yè)Color Filter(CF彩膜)制程中，有一道制程相對(duì)比較重要，即Over Coat(OC平坦層)制程，簡(jiǎn)稱OC制程，該制程作用為隔絕有金屬元素的RGB，防止污染液晶，以及作為平坦層使液晶排布更均勻，顯示效果更佳，該制程和其他黃光制程不同，整面存留，無需進(jìn)行曝光顯影過程，制程相對(duì)比較簡(jiǎn)單，整個(gè)制作過程只有基板清洗，涂布、真空干燥和烘烤過程，其中烘烤分為預(yù)烘烤和后烘烤。

預(yù)烘烤為使用熱板接觸式烘烤，溫度低于后烘烤裝置，僅起到初步固化作業(yè)，減少后烘烤部分化學(xué)質(zhì)析出，由于單片腔式(單片所占空間較大)烘烤，為滿足整條產(chǎn)線的節(jié)拍，實(shí)際烘烤時(shí)間較短，實(shí)際功能性較低。

后烘烤為熱風(fēng)烘烤爐，實(shí)際烘烤溫度較高(為了使光阻徹底固化，且將大部分無用化學(xué)物質(zhì)析出)，由于使用Center Fork形式(單片所占空間較小)，可以大批量烘烤，烘烤時(shí)間可以很長，而且OC制程最重要的制程參數(shù)——平坦度，主要影響的是光阻熔體流動(dòng)(Melt Flow)階段，OC的光阻在一定溫度后會(huì)軟化具有流動(dòng)性，在固化溫度前，光阻都會(huì)具有一定流動(dòng)效應(yīng)，以現(xiàn)有的預(yù)烘烤和后烘烤裝置，制程只能設(shè)定一個(gè)溫度，所有玻璃進(jìn)出后按同一升溫曲線進(jìn)行，相對(duì)的Melt Flow時(shí)間很短，無法達(dá)到預(yù)期要求，從常溫加熱至指定溫度非?？欤鶡o法達(dá)到平坦層流平所需的Melt Flow時(shí)間需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種光阻烘烤設(shè)備，從而提高平坦層的平坦度。

本發(fā)明提供了一種光阻烘烤設(shè)備，包括箱體，所述箱體內(nèi)分別設(shè)有加熱溫度不同的第一烘烤區(qū)和第二烘烤區(qū)，在第一烘烤區(qū)和第二烘烤區(qū)之間設(shè)有豎向設(shè)置的第一隔板，所述第一烘烤區(qū)與第二烘烤區(qū)內(nèi)分別設(shè)有至少二個(gè)加熱器，所述第一烘烤區(qū)的加熱溫度從下至上逐步升高，第二烘烤區(qū)的加熱溫度從上至下逐步升高；在箱體的下部位于第一烘烤區(qū)處設(shè)有玻璃放置口，箱體的下部位于第二烘烤區(qū)處設(shè)有與玻璃放置口位置相對(duì)應(yīng)的玻璃取出口，所述第一烘烤區(qū)以及第二烘烤區(qū)分別設(shè)有可帶動(dòng)玻璃支架垂直上升或下降的第一傳送機(jī)構(gòu)、第二傳送機(jī)構(gòu)，在第一傳送機(jī)構(gòu)與第二傳送機(jī)構(gòu)上分別設(shè)有多排用于固定玻璃支架的傳送架，傳送架分別與玻璃放置口以及玻璃取出口相對(duì)，所述第一傳送機(jī)構(gòu)與第二傳送機(jī)構(gòu)之間的上下兩端后側(cè)分別設(shè)有輸送機(jī)構(gòu)，所述輸送機(jī)構(gòu)用于將第一烘烤區(qū)的玻璃支架輸送至第二烘烤區(qū)或?qū)⒌诙婵緟^(qū)內(nèi)的玻璃支架輸送至第一烘烤區(qū)，在第一隔板上位于輸送機(jī)構(gòu)處設(shè)有輸送口。

進(jìn)一步地，每排傳送架包括至少兩個(gè)開口與玻璃支架相對(duì)并且水平設(shè)置的C型支架，在C型支架開口的上下兩端分別設(shè)有相對(duì)設(shè)置的滾筒導(dǎo)軌，所述滾筒導(dǎo)軌分別穿過每一個(gè)C型支架的開口，在上下兩個(gè)滾筒導(dǎo)軌之間形成用于與玻璃支架卡接的卡接部，至少一個(gè)滾筒導(dǎo)軌上的滾筒連接第二電機(jī)，第二電機(jī)驅(qū)動(dòng)滾筒將玻璃支架7輸送至輸送機(jī)構(gòu)中。

進(jìn)一步地，所述第一傳送機(jī)構(gòu)以及第二傳送機(jī)構(gòu)為鏈條傳動(dòng)，包括設(shè)于第一烘烤區(qū)和第二烘烤區(qū)上下其中一端的電機(jī)、設(shè)于電機(jī)輸出軸上的主動(dòng)齒輪以及設(shè)于第一烘烤區(qū)和第二烘烤區(qū)另一端的從動(dòng)齒輪，在主動(dòng)齒輪與從動(dòng)齒輪上套有與其嚙合的O形鏈條，傳送架均勻分布固定在O形鏈條的表面上。

進(jìn)一步地，所述輸送機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力式滾筒輸送機(jī)，動(dòng)力式滾筒輸送機(jī)與設(shè)置在C型支架開口下端的滾筒導(dǎo)軌設(shè)于同一水平面上。

進(jìn)一步地，所述傳送架中與輸送機(jī)構(gòu)相鄰的C型支架的開口中設(shè)有可封閉或開啟該C型支架開口的撥桿。

進(jìn)一步地，所述C型支架上位于撥桿處設(shè)有氣動(dòng)閥。

進(jìn)一步地，所述第一傳送機(jī)構(gòu)和第二傳送機(jī)構(gòu)的上下兩端分別設(shè)有用于控制氣動(dòng)閥復(fù)動(dòng)以及第二電機(jī)啟動(dòng)的傳感單元。

進(jìn)一步地，所述第一烘烤區(qū)內(nèi)設(shè)有水平設(shè)置的第二隔板，第二隔板將第一烘烤區(qū)劃分為多個(gè)溫度不同的第一烘烤子區(qū)，每個(gè)第一烘烤子區(qū)中對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)加熱器，第二隔板上設(shè)有第一玻璃支架出入口；所述第二烘烤區(qū)內(nèi)設(shè)有水平設(shè)置的第三隔板，第三隔板將第二烘烤區(qū)劃分為多個(gè)溫度不同的第二烘烤子區(qū)，每個(gè)第二烘烤子區(qū)中對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)加熱器，第三隔板上設(shè)有第二玻璃支架出入口。

進(jìn)一步地，所述第二隔板以及第三隔板分別設(shè)有兩塊，兩塊第二隔板將第一烘烤區(qū)劃分為3個(gè)第一烘烤子區(qū)；兩塊第三隔板將第二烘烤區(qū)劃分為3個(gè)第二烘烤子區(qū)。

進(jìn)一步地，所述輸送機(jī)構(gòu)還包括與動(dòng)力式滾筒輸送機(jī)相對(duì)設(shè)置的滾筒輸送機(jī)，滾筒輸送機(jī)與設(shè)置在C型支架開口上端的滾筒導(dǎo)軌設(shè)于同一水平面上，在動(dòng)力式滾筒輸送機(jī)與滾筒輸送機(jī)之間設(shè)有供玻璃支架經(jīng)過的通道。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，通過將預(yù)烘烤以及后烘烤裝置集成在一起，并通過對(duì)局部不同的區(qū)域進(jìn)行溫度控制，達(dá)到平坦層光阻所需的熔體流動(dòng)的時(shí)間延長，從而提升平坦層的平坦度。

附圖說明

圖1-1是本發(fā)明的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖1-2是本發(fā)明的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖2-1是本發(fā)明第一傳送機(jī)構(gòu)以及第二傳送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖一；

圖2-2是本發(fā)明第一傳送機(jī)構(gòu)以及第二傳送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖二；

圖3是本發(fā)明傳送架的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明玻璃支架運(yùn)動(dòng)方向的示意圖；

圖5是本發(fā)明C型支架的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明玻璃支架的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。

如圖1-1和圖1-2所示，本發(fā)明的一種光阻烘烤設(shè)備，包括一個(gè)箱體1，箱體1內(nèi)分別設(shè)有加熱溫度不同的第一烘烤區(qū)2和第二烘烤區(qū)3，其中第一烘烤區(qū)2為預(yù)烘烤區(qū)，第二烘烤區(qū)3為后烘烤區(qū)；在第一烘烤區(qū)2和第二烘烤區(qū)3之間設(shè)有豎向設(shè)置的第一隔板19，第一隔板19用于將兩個(gè)烘烤區(qū)進(jìn)行隔離，防止溫度相互串?dāng)_；所述第一烘烤區(qū)2與第二烘烤區(qū)3內(nèi)分別設(shè)有至少二個(gè)加熱器4，此處加熱器4設(shè)置有至少三個(gè)，從而使第一烘烤區(qū)2的加熱溫度從下至上逐步升高，第二烘烤區(qū)3的加熱溫度從上之下逐步升高，實(shí)現(xiàn)烘烤設(shè)備中兩個(gè)烘烤區(qū)的溫度逐步提升；在箱體1的下部位于第一烘烤區(qū)2處設(shè)有玻璃放置口5，玻璃放置口5的長度以及寬度大于玻璃支架7的長度以及高度；箱體1的下部位于第二烘烤區(qū)處設(shè)有與玻璃放置口5位置相對(duì)應(yīng)的玻璃取出口6，玻璃取出口6的長度以及寬度與玻璃放置口5的長度以及寬度相同；所述第一烘烤區(qū)2以及第二烘烤區(qū)3分別設(shè)有可帶動(dòng)玻璃支架7垂直上升或下降的第一傳送機(jī)構(gòu)、第二傳送機(jī)構(gòu)，所述第一傳送機(jī)構(gòu)與第二傳送機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)方向相反，其中，第一傳送機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)方向?yàn)閺南轮辽希诙魉蜋C(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)方向?yàn)閺纳现?，這樣能夠?qū)崿F(xiàn)玻璃支架在第一烘烤區(qū)2和第二烘烤區(qū)3中循環(huán)，在箱體1外還設(shè)有為加熱器4、第一傳送機(jī)構(gòu)、第二傳送機(jī)構(gòu)以及輸送機(jī)構(gòu)供電的電源30。

在第一傳送機(jī)構(gòu)與第二傳送機(jī)構(gòu)上分別設(shè)有多排用于固定玻璃支架7的傳送架8，傳送架8分別與玻璃放置口5以及玻璃取出口6相對(duì)，所述第一傳送機(jī)構(gòu)與第二傳送機(jī)構(gòu)之間的上下兩端后側(cè)分別設(shè)有運(yùn)動(dòng)方向相反的輸送機(jī)構(gòu)，所述輸送機(jī)構(gòu)用于將第一烘烤區(qū)2的玻璃支架7輸送至第二烘烤區(qū)3或?qū)⒌诙婵緟^(qū)3內(nèi)的玻璃支架7輸送至第一烘烤區(qū)2，在第一隔板19上位于輸送機(jī)構(gòu)處設(shè)有輸送口21，輸送口21的長度和寬度大于玻璃支架7的長度以及高度。

放入光阻烘烤設(shè)備中的玻璃均放置在玻璃支架7上，玻璃支架7采用如圖6所示的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)，其為叉子狀，包括用于與傳送架8相互卡接的橫桿71以及設(shè)置在橫桿71上的多根支臂72，支臂72上形成玻璃放置平臺(tái)。

如圖1-1所示，為了能夠?qū)Φ谝缓婵緟^(qū)2和第二烘烤區(qū)3中的加熱溫度分別控制，在此第一烘烤區(qū)2和第二烘烤區(qū)3分別劃分為多個(gè)烘烤子區(qū)，具體為，在第一烘烤區(qū)2內(nèi)設(shè)有水平設(shè)置的第二隔板20，第二隔板20將第一烘烤區(qū)2劃分為多個(gè)溫度不同的第一烘烤子區(qū)28，每個(gè)第一烘烤子區(qū)中對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)加熱器4，第二隔板20上設(shè)有第一玻璃支架出入口22，第一玻璃支架出入口22的長度和寬度大于玻璃支架7長度和寬度；所述第二烘烤區(qū)3內(nèi)設(shè)有水平設(shè)置的第三隔板23，第三隔板23將第二烘烤區(qū)3劃分為多個(gè)溫度不同的第二烘烤子區(qū)29，每個(gè)第二烘烤子區(qū)29中對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)加熱器4，第三隔板23上設(shè)有第二玻璃支架出入口24，第二玻璃支架出入口24與第一玻璃支架出入口22的大小相等。

優(yōu)選地，第二隔板20以及第三隔板23分別設(shè)有兩塊，兩塊第二隔板20將第一烘烤區(qū)2劃分為3個(gè)第一烘烤子區(qū)；兩塊第三隔板23將第二烘烤區(qū)3劃分為3個(gè)第二烘烤子區(qū)，第二隔板20與第三隔板23的設(shè)置位置相對(duì)應(yīng)，從而使第一烘烤區(qū)2和第二烘烤區(qū)3中的烘烤子區(qū)分別一一對(duì)應(yīng)設(shè)備，這樣能夠保證加熱溫度逐步升高。

如圖2-1所示，為本發(fā)明第一傳送機(jī)構(gòu)以及第二傳送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，在本發(fā)明中，第一傳送機(jī)構(gòu)與第二傳送機(jī)構(gòu)采用相同結(jié)構(gòu)，因此針對(duì)第一傳送機(jī)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明，值得注意的是，第一傳送機(jī)構(gòu)以及第二傳送機(jī)構(gòu)的區(qū)別僅在于運(yùn)動(dòng)方向的不同。

本發(fā)明中第一傳送機(jī)構(gòu)以及第二傳送機(jī)構(gòu)為鏈條傳動(dòng)，包括設(shè)于第一烘烤區(qū)2和第二烘烤區(qū)3上下其中一端的與電源30連接的第一電機(jī)12、設(shè)于第一電機(jī)12輸出軸上的主動(dòng)齒輪13以及設(shè)于第一烘烤區(qū)2和第二烘烤區(qū)3另一端的從動(dòng)齒輪14，在主動(dòng)齒輪13與從動(dòng)齒輪14上套有與其嚙合的O形鏈條15，傳送架8均勻分布固定在O形鏈條15的表面上。

具體地，如圖2-2所示，在第一烘烤區(qū)2和第二烘烤區(qū)3中分別設(shè)有傳送機(jī)構(gòu)支架，第一電機(jī)12優(yōu)選地固定位置為第一傳送機(jī)構(gòu)的第一電機(jī)12固定在傳送機(jī)構(gòu)支架的上端，第二傳送機(jī)構(gòu)的第一電機(jī)12固定在傳送機(jī)構(gòu)支架的下端，主動(dòng)齒輪13設(shè)有多個(gè)，通過軸桿串接在一起，軸桿通過軸承座固定在傳送機(jī)構(gòu)支架上，軸桿與第一電機(jī)12的輸出軸之間通過聯(lián)軸器聯(lián)接，從動(dòng)齒輪14設(shè)置在與主動(dòng)齒輪13相對(duì)的傳送機(jī)構(gòu)支架的另一側(cè)上，從動(dòng)齒輪14的設(shè)置數(shù)量與主動(dòng)齒輪13的設(shè)置數(shù)量相一致；從動(dòng)齒輪14通過軸桿串接在一起并通過軸承座固定在傳送機(jī)構(gòu)支架上，O形鏈條15的數(shù)量可與主動(dòng)齒輪13的數(shù)量相一致，也可以為相互拼接形成具有一定寬度的帶狀結(jié)構(gòu)，O形鏈條15的設(shè)置放置不限，傳送架7固定在O形鏈條15的表面上。

如圖3所示，每排傳送架8包括至少兩個(gè)開口與玻璃支架7相對(duì)并且水平設(shè)置的C型支架9，在C型支架9開口的上下兩端分別設(shè)有相對(duì)設(shè)置的滾筒導(dǎo)軌10，所述滾筒導(dǎo)軌10分別穿過每一個(gè)C型支架9的開口，在上下兩個(gè)滾筒導(dǎo)軌10之間形成用于與玻璃支架7卡接的卡接部11，至少一個(gè)滾筒導(dǎo)軌10中的滾筒與第二電機(jī)31連接，第二電機(jī)31與電源30連接，第二電機(jī)31驅(qū)動(dòng)滾筒將玻璃支架7輸送至輸送機(jī)構(gòu)中，具體地，滾筒導(dǎo)軌10包括導(dǎo)軌101以及設(shè)于導(dǎo)軌101凹槽內(nèi)的滾筒102，第二電機(jī)31與其中一個(gè)滾筒102連接，優(yōu)選地，第二電機(jī)31與滾筒導(dǎo)軌10中部的滾筒102連接。滾筒導(dǎo)軌也可以采用內(nèi)部具有電機(jī)的滾筒，這樣無需另外設(shè)置第二電機(jī)31。

優(yōu)選地，C型支架9設(shè)有五個(gè)，其中兩個(gè)設(shè)于與玻璃支架7兩端位置相對(duì)應(yīng)處，另外三個(gè)設(shè)置在最外側(cè)兩個(gè)玻璃支架7之間，并且等距離分布。

如圖1-1和圖3所示，所述輸送機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力式滾筒輸送機(jī)16，動(dòng)力式滾筒輸送機(jī)16與設(shè)置在C型支架9開口下端的滾筒導(dǎo)軌10設(shè)于同一水平面上。

具體地，設(shè)置在上端的輸送機(jī)構(gòu)朝第二烘烤區(qū)3的方向轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使位于第一烘烤區(qū)2中到達(dá)輸送機(jī)構(gòu)處的玻璃支架7輸送轉(zhuǎn)移至第二烘烤區(qū)3中；設(shè)置在下端的輸送機(jī)構(gòu)朝第一烘烤區(qū)2的方向轉(zhuǎn)動(dòng)，將經(jīng)過第一烘烤區(qū)2和第二烘烤區(qū)3后的玻璃在需要再次烘烤時(shí)通過輸送機(jī)構(gòu)送回至第一烘烤區(qū)2中繼續(xù)烘烤。

優(yōu)選地，輸送機(jī)構(gòu)還包括與動(dòng)力式滾筒輸送機(jī)16相對(duì)設(shè)置的滾筒輸送機(jī)26，滾筒輸送機(jī)26與設(shè)置在C型支架9開口上端的滾筒導(dǎo)軌10設(shè)于同一水平面上，在動(dòng)力式滾筒輸送機(jī)16與滾筒輸送機(jī)26之間設(shè)有供玻璃支架7經(jīng)過的通道，值得注意的是，此處的滾筒輸送機(jī)26也可以為具有動(dòng)力的動(dòng)力式滾筒輸送機(jī)，若為動(dòng)力式滾筒輸送機(jī)時(shí)，設(shè)于下端的動(dòng)力式滾筒輸送機(jī)16與設(shè)于上端的滾筒輸送機(jī)26的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反，使夾在通道中的玻璃支架7能夠朝指定的方向移動(dòng)。

如圖5所示，與輸送機(jī)構(gòu)相鄰的C型支架9的開口中設(shè)有可封閉或開啟該C型支架9的開口的撥桿17，所述撥桿17通過氣動(dòng)閥27控制，氣動(dòng)閥27設(shè)于C型支架9上，優(yōu)選地，撥桿17設(shè)有一對(duì)，分別設(shè)置在C型支架9開口的上下兩端，氣動(dòng)閥27為SDA氣動(dòng)閥。

在本發(fā)明中，撥桿17可以設(shè)置在每排傳送架8最外側(cè)的兩個(gè)C型支架9上，在第一傳送機(jī)構(gòu)和第二傳送機(jī)構(gòu)的上、下兩端位于傳送機(jī)構(gòu)支架上分別設(shè)有用于控制氣動(dòng)閥27復(fù)動(dòng)以及第二電機(jī)31啟動(dòng)的傳感單元25，傳感單元25可采用常規(guī)的位置傳感器或者是紅外傳感器等具有觸動(dòng)功能的傳感器，在此不做具體限定。

本發(fā)明的工作流程如下，如圖4所示，玻璃支架7依次通過玻璃放置口5放入第一烘烤區(qū)2內(nèi)，玻璃支架7與傳送架8卡接，第一傳送機(jī)構(gòu)帶動(dòng)傳送架8上升，玻璃支架7上的玻璃依次在不同第一烘烤子區(qū)中進(jìn)行烘烤后到達(dá)第一烘烤區(qū)2的上方，此時(shí)傳感單元25感知到達(dá)此處的傳送架8時(shí)，向氣動(dòng)閥發(fā)送信息，氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)撥桿17開啟；輥?zhàn)訉?dǎo)軌將傳送架8推出至上端的輸送機(jī)構(gòu)，輸送機(jī)構(gòu)將傳送架8輸送至第二烘烤區(qū)3中，傳送架8進(jìn)入第二傳送機(jī)構(gòu)中的傳送架8后，第二傳送機(jī)構(gòu)帶動(dòng)傳送架8下降，傳送架遠(yuǎn)離位于第二傳送機(jī)構(gòu)上端的傳感單元25后，向該傳送架8上的氣動(dòng)閥發(fā)送信號(hào)，氣動(dòng)閥驅(qū)動(dòng)撥桿17關(guān)閉，玻璃支架7上的玻璃依次在不同第二烘烤子區(qū)中進(jìn)行烘烤后到達(dá)第二烘烤區(qū)3的下方，選擇通過玻璃取出口6取出玻璃或繼續(xù)進(jìn)入第一烘烤區(qū)2中進(jìn)行循環(huán)烘烤，直到烘烤完成。

本發(fā)明的輥?zhàn)訉?dǎo)軌、第一傳送機(jī)構(gòu)、第二傳送機(jī)構(gòu)、輸送機(jī)構(gòu)以及傳感單元均可通過控制器進(jìn)行控制，在此不做具體限定。

雖然已經(jīng)參照特定實(shí)施例示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解：在不脫離由權(quán)利要求及其等同物限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可在此進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)上的各種變化。