本發(fā)明涉及顯示裝置的制造領域，尤其涉及一種顯示裝置制作工藝過程中的一種烘烤設備。

背景技術：

液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)具有機身薄、省電、無輻射等眾多優(yōu)點，得到了廣泛的應用，如：移動電話、個人數(shù)字助理(PDA)、數(shù)字相機、計算機屏幕或筆記本電腦屏幕等?，F(xiàn)有液晶顯示制作過程中，形成某一膜層時，通常需要利用光阻(Photo resist，PR)經(jīng)過涂布、曝光、顯影工藝形成光阻圖形，其中在光阻涂布之后，還需要通過抽真空(VCD)單元抽出PR中的部分溶劑(Solvent)，再經(jīng)過烘烤設備對其進行干燥和固化，去除經(jīng)VCD環(huán)節(jié)后PR中殘留的溶劑，以增強PR與基板的粘著性，從而達到更好的顯影效果。

在烘烤設備的加熱過程中，目前業(yè)界內(nèi)主要是通過熱風或者紅外線輻射加熱基板，烘烤設備的加熱室(Chamber)內(nèi)的溫度通常在90°至120°之間，加熱固化光阻的同時會使光阻中的溶劑揮發(fā)，從加熱室取放基板時，由于出入口處的開關門(Shutter)的開啟便會造成包含有揮發(fā)物的熱氣外泄，造成熱量的浪費，另外，由于加熱室外的溫度較低，含揮發(fā)物的熱氣外泄到加熱室旁的隔離室(Booth)內(nèi)后，會造成熱氣在隔離室內(nèi)聚集凝結(jié)而附著在Booth內(nèi)壁上，久而久之附著在Booth內(nèi)壁的光阻溶劑變干后會脫落而掉在基板上，造成基板缺陷，影響產(chǎn)品品質(zhì)。

因此，有必要設計一種具有防止有機物揮發(fā)從加熱室泄漏的烘烤設備，以解決上述問題。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種烘烤設備，可對加熱室在開關門開啟過程中散出熱氣進行回收，能夠減少熱氣外流而造成的能量浪費，并能夠降低基板被污染而造成缺陷的風險。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種烘烤設備，包括用于對基板進行加熱的加熱室、及用于對從加熱室散出的熱氣進行回收的熱量回收系統(tǒng)；

所述加熱室的一側(cè)壁上設有出入口，所述出入口上設有開關門；

所述熱量回收系統(tǒng)包括設于所述出入口上方的蓋板、及與所述蓋板相連通的氣流引出管道；

所述蓋板包括從加熱室的頂部上方向出入口所在側(cè)壁外延伸的蓋板本體，所述蓋板本體的底部開設有貫穿蓋板本體的氣流引出槽；所述氣流引出管道的一端與所述氣流引出槽的頂部相接通；

使用過程中，當開關門被打開時，從加熱室散出的熱氣向上進入蓋板的氣流引出槽中，并通過氣流引出槽而進入氣流引出管道中。

所述氣流引出槽為倒置形的漏斗狀。

所述氣流引出槽的內(nèi)側(cè)壁上設有可拆卸的隔板。

所述氣流引出管道上設有可拆卸的濾芯。

所述氣流引出管道的另一端與加熱室相連接。

所述熱量回收系統(tǒng)還包括加熱裝置，用于對所述氣流引出管道中經(jīng)所述濾芯過濾后的氣流在進入加熱室之前進行加熱。

所述加熱室內(nèi)通過熱風方式加熱所述基板。

所述蓋板還包括從蓋板本體遠離所述加熱室一端向下延伸的擋板。

所述加熱室外側(cè)設有隔離室，所述加熱室與所述熱量回收系統(tǒng)設于隔離室內(nèi)，所述加熱室通過出入口與所述隔離室相連通。

所述的烘烤設備用于液晶顯示面板的制程中，對在基板上涂布的光阻進行干燥和固化。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明的烘烤設備，包括加熱室、及熱量回收系統(tǒng)；所述加熱室的一側(cè)壁上設有出入口，所述出入口上設有開關門；所述熱量回收系統(tǒng)包括設于所述出入口上方的蓋板、及與所述蓋板相連通的氣流引出管道；通過在出入口上側(cè)增加蓋板，當開關門打開時，從加熱室散出的熱氣向上進入蓋板中，減少了大部分熱氣外流所造成的能量浪費，并避免了熱氣凝結(jié)在加熱室外而造成外部環(huán)境污染，進而降低了基板被污染而造成缺陷的風險。

附圖說明

為了能更進一步了解本發(fā)明的特征以及技術內(nèi)容，請參閱以下有關本發(fā)明的詳細說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。

附圖中，

圖1為本發(fā)明烘烤設備的結(jié)構示意圖；

圖2為本發(fā)明烘烤設備中蓋板本體的剖面結(jié)構示意圖及蓋板本體與氣流引出管道的連接示意圖。

具體實施方式

為更進一步闡述本發(fā)明所采取的技術手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實施例及其附圖進行詳細描述。

請參閱圖1至圖2，本發(fā)明提供一種烘烤設備，包括用于對基板進行加熱的加熱室1、及用于對從加熱室1散出的熱氣進行回收的熱量回收系統(tǒng)2；

所述加熱室1的一側(cè)壁上設有出入口11，所述出入口11上設有開關門12；

所述熱量回收系統(tǒng)2包括設于所述出入口11上方的蓋板21、及與所述蓋板21相連通的氣流引出管道22；

如圖2所示，所述蓋板21包括從加熱室1的頂部上方向出入口11所在側(cè)壁外延伸的蓋板本體211，所述蓋板本體211的底部開設有貫穿蓋板本體211的氣流引出槽212；所述氣流引出管道22的一端與所述氣流引出槽212的頂部相接通；

使用過程中，當開關門12被打開時，從加熱室1散出的熱氣向上進入蓋板21的氣流引出槽212中，并通過氣流引出槽212而進入氣流引出管道22中。

本發(fā)明的烘烤設備，通過在出入口11上側(cè)增加蓋板21，當開關門12打開時，從加熱室1散出的熱氣向上進入蓋板21中，并通過氣流引出槽212而進入氣流引出管道22中，能夠?qū)崿F(xiàn)對散出熱氣的循環(huán)利用，減少了大部分熱氣外流所造成的能量浪費，并避免了熱氣凝結(jié)在加熱室1外而造成外部環(huán)境例如加熱室外的隔離室污染，進而降低了基板被污染而造成缺陷的風險。

具體地，所述加熱室1外側(cè)設有隔離室3，所述加熱室1與所述熱量回收系統(tǒng)2設于隔離室3內(nèi)，所述加熱室1通過出入口11與所述隔離室3相連通。

具體地，所述加熱室1內(nèi)通過熱風加熱方式加熱所述基板。

具體地，所述氣流引出槽212為倒置形的漏斗狀，以利于從加熱室1散出的熱氣向上進入蓋板21中的。

具體地，從加熱室1散出的熱氣通常附帶較多的溶劑，例如，光阻中的溶劑，由于加熱室1外的溫度相比室內(nèi)較低，因此在漏斗狀的氣流引出槽212的內(nèi)壁遇冷極易凝結(jié)，所以在氣流引出槽212內(nèi)壁加裝易拆卸型的隔板214，利于凝結(jié)的溶劑的清除。

具體地，所述氣流引出管道22上設有可拆卸的濾芯221，用于將熱氣中的有機溶劑徹底過濾掉，以達到可利用回收熱氣的目的。

具體地，所述氣流引出管道22的另一端與加熱室1相連接。

具體地，所述熱量回收系統(tǒng)2還包括加熱裝置23，用于對所述氣流引出管道22中經(jīng)所述濾芯221過濾后的氣流在進入加熱室1之前進行加熱，使得從加熱室1散出的熱氣經(jīng)過回收及再次加熱后加以利用，減少能量的浪費。

具體地，所述蓋板21還包括從蓋板本體211遠離所述加熱室1一端向下延伸的擋板213。

具體地，在本實施例中，所述烘烤設備用于液晶顯示面板的制程中，對在基板上涂布的光阻進行干燥和固化。

綜上所述，本發(fā)明的烘烤設備，包括加熱室、及熱量回收系統(tǒng)；所述加熱室的一側(cè)壁上設有出入口，所述出入口上設有開關門；所述熱量回收系統(tǒng)包括設于所述出入口上方的蓋板、及與所述蓋板相連通的氣流引出管道；通過在出入口上側(cè)增加蓋板，當開關門打開時，從加熱室散出的熱氣向上進入蓋板中，減少了大部分熱氣外流所造成的能量浪費，并避免了熱氣凝結(jié)在加熱室外而造成外部環(huán)境污染，進而降低了基板被污染而造成缺陷的風險。

以上所述，對于本領域的普通技術人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術方案和技術構思作出其他各種相應的改變和變形，而所有這些改變和變形都應屬于本發(fā)明后附的權利要求的保護范圍。