技術總結
本發(fā)明提供一種自由曲面折反式光刻投影物鏡，屬于高分辨力投影光刻物鏡技術領域，包括第一透鏡組G1，第二反射鏡組G2，第三透鏡組G3，其中第一透鏡組G1為雙高斯結構，保證物方遠心的同時將掩膜(物平面)成像到第一中間像，第二反射鏡組G2為反射結構，將第一中間像成像到第二中間像，第三透鏡組G3為會聚透鏡組，將第二中間像成像到硅片(像平面)，實現(xiàn)像方高數(shù)值孔徑，最終實現(xiàn)系統(tǒng)1/4的物像縮放倍率；系統(tǒng)共使用23個光學元件，其中4個表面使用自由曲面，數(shù)值孔徑達到1.2，通過對各自由曲面參數(shù)進行調(diào)整，使得所述投影物鏡具有優(yōu)良的成像質(zhì)量，結構緊湊，節(jié)約材料，綜合單色波像差均方根(RMS)值小于0.005λ，全視場畸變小于1nm。

技術研發(fā)人員：李艷秋;毛姍姍;劉巖;姜家華
受保護的技術使用者：北京理工大學
文檔號碼：201710177514
技術研發(fā)日：2017.03.23
技術公布日：2017.05.31