技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種旋覆與狹縫液簾配合的顯影設(shè)備，包括可以裝載掩膜版并且能夠進(jìn)行自身旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)載盤和兩根具有朝自身長度方向延伸的狹縫出液臂，所述狹縫出液臂能夠移動至所述旋轉(zhuǎn)載盤的上方任意位置；所述狹縫出液臂朝向旋轉(zhuǎn)載盤的一側(cè)安裝狹縫列陣，所述狹縫列陣由若干個狹縫組成。本裝置應(yīng)用于掩膜版制造中的顯影工藝，可以保證顯影液的出液壓力、出液面積以及出液角度的一致性，在極短的時間內(nèi)在大尺寸掩膜版上完全覆蓋足夠厚的顯影液層，阻止顯影液收縮，滿足圖形精度和精度均勻性的要求。

技術(shù)研發(fā)人員：熊啟龍;鄢紅軍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳清溢光電股份有限公司
文檔號碼：201621043632
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.07
技術(shù)公布日：2017.05.31