技術(shù)編號：12249478
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種旋覆與狹縫液簾配合的顯影設(shè)備，屬于掩膜版制造工藝中顯影設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)LTPS低溫多晶硅技術(shù)已經(jīng)成為一項(xiàng)發(fā)展相對完整的技術(shù)，現(xiàn)已廣泛的應(yīng)用于發(fā)光面板中，其優(yōu)點(diǎn)是發(fā)光面板具有更大的可視角度(如應(yīng)用于曲屏智能手機(jī))，色彩還原好，畫面更加逼真絢麗。該技術(shù)陸續(xù)推出的第5.5代，第6代生產(chǎn)線對掩膜版的圖形精度要求越來越高。隨著市場的需求，LTPS推出了第8.5代甚至10.5代液晶生產(chǎn)線，這些生產(chǎn)線對掩膜版尺寸要求越來越大，這就提出了對顯示圖形精細(xì)度要求越來越高的要求。其中，6代的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。