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一種旋覆與狹縫液簾配合的顯影設備的制作方法

文檔序號:12249478閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種旋覆與狹縫液簾配合的顯影設備,其特征在于包括可以裝載掩膜版并且能夠進行自身旋轉的旋轉載盤和兩根具有朝自身長度方向延伸的狹縫出液臂,所述狹縫出液臂能夠移動至所述旋轉載盤的上方任意位置;所述狹縫出液臂朝向旋轉載盤的一側安裝狹縫列陣,所述狹縫列陣由若干個狹縫組成。

2.如權利要求1所述的一種旋覆與狹縫液簾配合的顯影設備,其特征在于,所述每一個狹縫直徑為1~10mm,狹縫圓間距為1~10mm。

3.如權利要求1所述的一種旋覆與狹縫液簾配合的顯影設備,其特征在于,所述旋轉載盤具有支撐旋轉軸。

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