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薄膜晶體管陣列基板及制作方法和液晶顯示面板與流程

文檔序號(hào):12175113閱讀:來源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
一種薄膜晶體管陣列基板及制作方法和液晶顯示面板,其中薄膜晶體管陣列基板包括襯底;形成在襯底上的第一金屬層,第一金屬層包括掃描線和柵極;覆蓋在第一金屬層上的第一絕緣層;形成在第一絕緣層上的有源層;形成在第一絕緣層上的第二金屬層,第二金屬層包括源極和漏極;覆蓋在第二金屬層上的第二絕緣層,第二絕緣層中設(shè)有第一接觸孔和第二接觸孔;形成在第二絕緣層上的第三金屬層,第三金屬層包括數(shù)據(jù)線和導(dǎo)電塊,數(shù)據(jù)線通過第一接觸孔與源極連接,導(dǎo)電塊通過第二接觸孔與漏極連接;覆蓋在第三金屬層上的第三絕緣層,第三絕緣層中設(shè)有第三接觸孔;形成在第三絕緣層上的像素電極,像素電極通過第三接觸孔與導(dǎo)電塊連接。

技術(shù)研發(fā)人員:徐蕓;劉颯
受保護(hù)的技術(shù)使用者:昆山龍騰光電有限公司
文檔號(hào)碼:201611193128
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.21
技術(shù)公布日:2017.03.08

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