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與外涂布光致抗蝕劑一起使用的涂料組合物的制作方法

文檔序號:12594098閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種形成光致抗蝕劑浮雕圖像的方法,其包含:

a)在襯底上涂覆涂料組合物層,所述涂料組合物包含一種或多種材料,所述一種或多種材料包含:

1)一個或多個縮水甘油基;

2)一個或多個芳香族基,每個芳香族基包含兩個或更多個包含羥基、硫醇和/或胺部分的取代基;以及

b)將光致抗蝕劑組合物層涂覆在所述涂料組合物層上。

2.根據(jù)權利要求1所述的方法,其中所述涂料組合物包含1)包含一個或多個縮水甘油基的第一樹脂和2)包含一個或多個芳香族基的第二樹脂,每個芳香族基包含兩個或更多個包含羥基、硫醇和/或胺部分的取代基。

3.根據(jù)權利要求1所述的方法,其中所述涂料組合物包含樹脂,所述樹脂包含1)一個或多個縮水甘油基和2)一個或多個芳香族基兩者,每個芳香族基包含兩個或更多個包含羥基、硫醇和/或胺部分的取代基。

4.根據(jù)權利要求1到3中任一項所述的方法,其中所述一個或多個芳香族基包含兒茶酚部分。

5.根據(jù)權利要求1到4中任一項所述的方法,其中所述光致抗蝕劑組合物用活化輻射成像,且所述成像的光致抗蝕劑組合物層經顯影以提供光致抗蝕劑浮雕圖像。

6.根據(jù)權利要求1到5中任一項所述的方法,其中光致抗蝕劑浮雕圖像通過濕式蝕刻工藝轉印到襯底。

7.一種用于制備包含兒茶酚部分的樹脂的方法,其包含使1)樹脂和2)包含反應性部分的兒茶酚化合物反應。

8.一種聚合物,其可通過權利要求7所述的方法獲得。

9.一種經涂布襯底,其包含:

襯底,其上具有:

a)包含一種或多種材料的涂料組合物,所述一種或多種材料包含:

1)一個或多個縮水甘油基;

2)一個或多個芳香族基,每個芳香族基包含兩個或更多個包含羥基、硫醇和/或胺部分的取代基;以及

b)在所述涂料組合物層上的光致抗蝕劑組合物層。

10.一種與外涂布的光致抗蝕劑組合物一起使用的涂料組合物,所述涂料組合物包含:

一種或多種樹脂,其包含:

(a)一個或多個縮水甘油基;和

(b)一個或多個芳香族基,每個芳香族基包含兩個或更多個包含羥基、硫醇和/或胺部分的取代基。

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