技術總結
本發(fā)明公開一種三明治對位圖形轉(zhuǎn)移工藝，包括以下具體步驟：制作底片、架底片、三明治對位、上板定位、曝光和下板。通過上述方式，本發(fā)明提供一種三明治對位圖形轉(zhuǎn)移工藝，針對現(xiàn)有對位工藝易造成層間錯位和偏移的問題，本發(fā)明采用4～6個蝶形十字靶標孔，能實現(xiàn)高精度的三明治對位，極大提高生產(chǎn)效率，同時免去對位設備的采購成本，提高生產(chǎn)利潤。

技術研發(fā)人員：夏玉龍;楊海濤
受保護的技術使用者：昆山維嘉益材料科技有限公司
文檔號碼：201610851480
技術研發(fā)日：2016.09.27
技術公布日：2017.03.22