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一種三明治對(duì)位圖形轉(zhuǎn)移工藝的制作方法

文檔序號(hào):12116386閱讀:497來源:國知局

本發(fā)明涉及影像轉(zhuǎn)移生產(chǎn)加工與制造領(lǐng)域,尤其涉及一種三明治對(duì)位圖形轉(zhuǎn)移工藝。



背景技術(shù):

在SUS生產(chǎn)行業(yè),圖形轉(zhuǎn)移制程菲林對(duì)位的技術(shù)會(huì)造成層間錯(cuò)位、偏移等不必要的不良,對(duì)位精度較低。普遍地,現(xiàn)有SUS廠家規(guī)模較小,需要采購先進(jìn)的自動(dòng)對(duì)位設(shè)備,導(dǎo)致生產(chǎn)成本急劇增加。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明主要解決的技術(shù)問題是提供一種三明治對(duì)位圖形轉(zhuǎn)移工藝,針對(duì)現(xiàn)有對(duì)位工藝易造成層間錯(cuò)位和偏移的問題,本發(fā)明采用4~6個(gè)蝶形十字靶標(biāo)孔,能實(shí)現(xiàn)高精度的三明治對(duì)位,極大提高生產(chǎn)效率,同時(shí)免去對(duì)位設(shè)備的采購成本,提高生產(chǎn)利潤。

為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用的一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種三明治對(duì)位圖形轉(zhuǎn)移工藝,包括以下具體步驟:

a、制作底片,在底片BOT面邊緣繪制4~6個(gè)蝶形靶標(biāo),在底片TOP面邊緣繪制4~6個(gè)與BOT面的蝶形靶標(biāo)大小和位置相適應(yīng)的蝶形靶標(biāo)孔;

b、架底片,將底片TOP面層疊于BOT面之上;

c、三明治對(duì)位,將底片上繪制的蝶形靶標(biāo)對(duì)位至蝶形靶標(biāo)孔內(nèi)后對(duì)底片進(jìn)行固定;

d、上板定位,在底片TOP面與BOT面之間夾入SUS材料定位;

e、曝光和下板,將定位完成的底片進(jìn)行曝光處理后將SUS材料下板。

在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中,所述制作底片步驟中,所述蝶形靶標(biāo)呈實(shí)心十字形狀,所述蝶形靶標(biāo)孔呈空心十字形狀,所述蝶形靶標(biāo)與蝶形靶標(biāo)孔的內(nèi)心空隙相吻合。

在本發(fā)明一個(gè)較佳實(shí)施例中,所述上板定位步驟中,在底片TOP面與BOT面之間的單側(cè)邊緣處設(shè)置膠粘層以實(shí)現(xiàn)底片固定,形成三明治疊構(gòu);

本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明提供的一種三明治對(duì)位圖形轉(zhuǎn)移工藝,針對(duì)現(xiàn)有對(duì)位工藝易造成層間錯(cuò)位和偏移的問題,本發(fā)明采用4~6個(gè)蝶形十字靶標(biāo)孔,能實(shí)現(xiàn)高精度的三明治對(duì)位,極大提高生產(chǎn)效率,同時(shí)免去對(duì)位設(shè)備的采購成本,提高生產(chǎn)利潤。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖,其中:

圖1 是本發(fā)明一種三明治對(duì)位圖形轉(zhuǎn)移工藝的一較佳實(shí)施例的流程圖。

具體實(shí)施方式

下面將對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅是本發(fā)明的一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

如圖1所示,本發(fā)明實(shí)施例包括:

一種三明治對(duì)位圖形轉(zhuǎn)移工藝,包括以下具體步驟:

a、制作底片,在底片BOT面邊緣繪制4~6個(gè)蝶形靶標(biāo),在底片TOP面邊緣繪制4~6個(gè)與BOT面的蝶形靶標(biāo)大小和位置相適應(yīng)的蝶形靶標(biāo)孔;

b、架底片,將底片TOP面層疊于BOT面之上;

c、三明治對(duì)位,將底片上繪制的蝶形靶標(biāo)對(duì)位至蝶形靶標(biāo)孔內(nèi)后對(duì)底片進(jìn)行固定;

d、上板定位,在底片TOP面與BOT面之間夾入SUS材料定位;

e、曝光和下板,將定位完成的底片進(jìn)行曝光處理后將SUS材料下板。

其中,所述制作底片步驟中,所述蝶形靶標(biāo)呈實(shí)心十字形狀,所述蝶形靶標(biāo)孔呈空心十字形狀,所述蝶形靶標(biāo)與蝶形靶標(biāo)孔的內(nèi)心空隙相吻合。通過上述方式,較好地實(shí)現(xiàn)高精度對(duì)位。

進(jìn)一步的,所述上板定位步驟中,在底片TOP面與BOT面之間的單側(cè)邊緣處設(shè)置膠粘層以實(shí)現(xiàn)底片固定,形成三明治疊構(gòu)。通過上述方式,提高生產(chǎn)效率,降低人工成本。

綜上所述,本發(fā)明提供了一種三明治對(duì)位圖形轉(zhuǎn)移工藝,針對(duì)現(xiàn)有對(duì)位工藝易造成層間錯(cuò)位和偏移的問題,本發(fā)明采用4~6個(gè)蝶形十字靶標(biāo)孔,能實(shí)現(xiàn)高精度的三明治對(duì)位,極大提高生產(chǎn)效率,同時(shí)免去對(duì)位設(shè)備的采購成本,提高生產(chǎn)利潤。

以上所述僅為本發(fā)明的實(shí)施例,并非因此限制本發(fā)明的專利范圍,凡是利用本發(fā)明說明書內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換,或直接或間接運(yùn)用在其它相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域,均同理包括在本發(fā)明的專利保護(hù)范圍內(nèi)。

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