本發(fā)明涉及激光直寫領(lǐng)域，具體涉及激光直寫領(lǐng)域的感興區(qū)域使用方法。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的激光直寫設(shè)備中，經(jīng)常使用到數(shù)字微鏡器件(Digital Micromirror Devices，簡稱DMD)，DMD是用數(shù)字電壓信號控制微鏡片執(zhí)行機械運動來實現(xiàn)光學(xué)功能的裝置.。目前的硅微加工技術(shù)已經(jīng)能夠加工出符合工藝要求的高質(zhì)量DMD芯片，在一個硅片上可一次制造成型幾十萬或上百萬個微反射鏡，這些微反射鏡一般呈矩形整列布置在DMD上。

現(xiàn)有技術(shù)中，DMD的使用方法是這樣的，DMD一般安裝在一個掃描軸上，DMD沿著掃描軸來回直線運動的方向叫掃描方向，或者DMD固定不動，待曝光物體在DMD下來回做直線運動，這個直線運動的方向也叫掃描方向。在掃描過程中，DMD的安裝位置存在兩種情況，一種是正向安裝也叫DMD直掃，即DMD上微鏡陣列的行方向或列方向與掃描方向相同；另一種是斜向安裝也叫DMD傾斜使用，即DMD上微鏡陣列的行方向和列方向均與掃描方向不同，他們存在一個夾角。當(dāng)DMD傾斜使用時，DMD微鏡單元都有自己的運動軌跡，我們稱為該微鏡單元的掃描線。在特定的角度下，DMD的相鄰的掃描線之間的間距相等。在這種情況下，如果DMD中參與掃描的行數(shù)足夠多，則同一條掃描線上，會存在至少有兩個或兩個以上DMD微鏡單元，這些相同掃描線的DMD微鏡單元之間最小的間隔的行數(shù)，是周期性出現(xiàn)的，把這個行數(shù)周期稱為傾斜因子。

現(xiàn)有技術(shù)中，激光直寫設(shè)備上的數(shù)字微鏡器件往往整版面使用，由于數(shù)字微鏡器件由大量的微鏡單元組成，當(dāng)部分微鏡單元功能失效時整個數(shù)字微鏡器件報廢，另外微鏡單元經(jīng)過長期使用后也會老化失效導(dǎo)致DMD報廢，也會因個別微鏡單元的損壞而提前報廢；DMD的過早報廢，造成了數(shù)字微鏡器件利用率不高以及服役壽命相對較短的缺點。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明目的在于提供一種激光直寫領(lǐng)域的感興區(qū)域使用方法，可以提高數(shù)字微鏡器件的利用率，延長數(shù)字微鏡器件的服役壽命。

為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供一種激光直寫領(lǐng)域的感興區(qū)域使用方法，選擇數(shù)字微鏡器件中部分區(qū)域作為感興區(qū)域投入使用，其他部分閑置；感興區(qū)域的微鏡單元老化或部分微鏡單元損壞，不能滿足生產(chǎn)需求時，啟用閑置區(qū)域。

優(yōu)選的，當(dāng)數(shù)字微鏡器件傾斜使用時，所述的感興區(qū)域開啟的微鏡單元行數(shù)為數(shù)字微鏡器件傾斜因子的整數(shù)倍。

優(yōu)選的，所述的感興區(qū)域的微鏡單元行數(shù)低于數(shù)字微鏡器件總微鏡單元行數(shù)的一半。

優(yōu)選的，所述的感興區(qū)域的微鏡單元行寬選擇與數(shù)字微鏡器件的微鏡單元行寬相同。

本發(fā)明的技術(shù)效果在于：

（1）選擇數(shù)字微鏡器件中部分區(qū)域作為感興區(qū)域投入使用，其他部分閑置；感興區(qū)域的微鏡單元老化后，反射效率下降到不能滿足生產(chǎn)要求時，啟用閑置區(qū)域。這樣感興區(qū)域上老化失效后，閑置區(qū)域可以接著使用，使得DMD重新獲得一個服役周期。這樣可以提高數(shù)字微鏡器件重復(fù)利用率，減少了后期維護時硬件成本的投入，延長了DMD的服務(wù)年限；另外部分使用DMD，可以加大數(shù)字微鏡器件的刷新率，同時也減少了數(shù)據(jù)通訊過程中的數(shù)據(jù)量。

（2）現(xiàn)有技術(shù)中，當(dāng)DMD傾斜使用時，DMD上沿著掃描方向的直線上，每經(jīng)過一個固定的行數(shù)周期出現(xiàn)一個微鏡單元，這個行數(shù)周期的行數(shù)叫數(shù)字微鏡器件的傾斜因子。本發(fā)明優(yōu)選方案中，感興區(qū)域開啟的微鏡單元行數(shù)為數(shù)字微鏡器件傾斜因子的整數(shù)倍。這樣可以使得DMD上感興區(qū)域投入使用后，保證每個曝光位置的被重復(fù)照射的次數(shù)相同。

（3）若感興區(qū)域的微鏡單元行數(shù)高于數(shù)字微鏡器件總微鏡單元行數(shù)的一半，那么感興區(qū)域和閑置區(qū)域替換使用時，閑置區(qū)域?qū)]有足夠的可用行數(shù)來替代感興區(qū)域，替換前后的曝光效果無法保持一致。本發(fā)明的優(yōu)選方案要求感興區(qū)域的微鏡單元行數(shù)低于數(shù)字微鏡器件總微鏡單元行數(shù)的一半。這樣可以確保感興區(qū)域老化失效后，閑置區(qū)域可以完全替代感興區(qū)域進行工作，確保了替換前后曝光效果的一致性。

（4）為了達到對DMD的最大化利用，感興區(qū)域上微鏡單元的行寬盡可能最大化，這樣單次掃描的掃描條帶的覆蓋面積最大，可以提高曝光速率。作為本發(fā)明的優(yōu)選方案，感興區(qū)域的微鏡單元的行寬采用DMD的微鏡單元行寬，使得感興區(qū)域的掃描效率最大化。

附圖說明

圖1為實施例1中感興區(qū)域在DMD中的位置示意圖；

圖2為實施例2中感興區(qū)域在DMD中的位置示意圖；

圖3為實施例3中感興區(qū)域在DMD中的位置示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。

實施例1：

參照附圖1，實施例1的具體實施情況如下：

（1）數(shù)字微鏡器件3正向直掃使用；

（2）數(shù)字微鏡器件3等分為兩個區(qū)域，一個為感興區(qū)域1和另一個為閑置區(qū)域2；感興區(qū)域1先投入使用，感興區(qū)域1老化失效或損壞后，啟用閑置區(qū)域2。這樣可以成倍地延長數(shù)字微鏡器件3的使用壽命。

（3）感興區(qū)域1的微鏡單元行寬為數(shù)字微鏡器件3的微鏡單元行寬。這樣可以最大化數(shù)字微鏡器件3的掃描效率。

實施例2：

參照附圖2，實施例2的具體實施情況如下：

（1）數(shù)字微鏡器件3正向直掃使用；

（2）數(shù)字微鏡器件3等分為4個區(qū)域，一個為感興區(qū)域1和閑置區(qū)域2、閑置區(qū)域5、閑置區(qū)域6；

（3）感興區(qū)域1先投入使用，感興區(qū)域1老化失效或損壞后，啟用閑置區(qū)域2。

（4）閑置區(qū)域2老化失效或損壞后，啟用閑置區(qū)域5。

（5）閑置區(qū)域5老化失效或損壞后，啟用閑置區(qū)域6。

（6）感興區(qū)域1的微鏡單元行寬為數(shù)字微鏡器件3的微鏡單元行寬。這樣可以最大化數(shù)字微鏡器件3的掃描效率。

本實施例中，一塊數(shù)字微鏡器件3分為4份，使得數(shù)字微鏡器件3的使用壽命提高4倍。

實施例3：

參照附圖3，實施例3的具體實施情況如下：

（1） 數(shù)字微鏡器件3傾斜使用；

（2） 數(shù)字微鏡器件3的傾斜因子為2；

（3）數(shù)字微鏡器件3分為兩個區(qū)域，一個為感興區(qū)域1和另一個為閑置區(qū)域2；

（4）要求感興區(qū)域1的重復(fù)次數(shù)為4，感興區(qū)域1開啟的微鏡單元行數(shù)等于傾斜因子乘以重復(fù)次數(shù)。本實施例中，感興區(qū)域1開啟的微鏡單元行數(shù)為8行。感興區(qū)域1投入使用后，每個曝光位置的被感興區(qū)域1重復(fù)照射4次。

（5）感興區(qū)域1先投入使用，感興區(qū)域1老化失效或損壞后，啟用閑置區(qū)域2。這樣可以延長數(shù)字微鏡器件3的使用壽命。

（6）感興區(qū)域1的微鏡單元行寬為數(shù)字微鏡器件3的微鏡單元行寬。這樣可以最大化數(shù)字微鏡器件3的掃描效率。

應(yīng)當(dāng)理解的是，上述實施例僅僅用于解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明，所有根據(jù)本發(fā)明原理得出的其他實施例，均在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。