本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制作領(lǐng)域，特別涉及一種一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)動(dòng)平衡的修正裝置和修正方法。

背景技術(shù)：

光刻(photolithography)是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一個(gè)重要步驟，該步驟是利用曝光工藝和顯影工藝在光刻膠層中形成光刻圖形。然而，隨著芯片的集成度的不斷提高，這就要求光刻的特征尺寸不斷減小

曝光裝置的分辨率(R)決定了光刻的最小特征尺寸，曝光系統(tǒng)的分辨率(R)滿足關(guān)系式：R＝kλ/(NA)，其中k是與曝光工藝相關(guān)的系數(shù)，λ為曝光光源的波長，NA為曝光裝置的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑。由前述關(guān)系式可知，可以通過兩種途徑提高曝光裝置的分辨率：一種是增加光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑；另外一種是減小曝光光源的波長。

研究人員曾經(jīng)嘗試通過增加光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑的方法來提高分辨率，但是由于下一代光刻技術(shù)對(duì)最小特征尺寸存在非?？量痰囊?，需要光學(xué)提供具有非常大的數(shù)值孔徑，這不僅使得光刻系統(tǒng)的制備和調(diào)制變得異常復(fù)雜，而且數(shù)值孔徑的增大對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的焦深有較大的限制。

因而，研究人員開始考慮另外一種方式也即減小曝光光源波長的方式來提高分辨率，極紫外(extreme ultraviolet，EUV)光源是最新發(fā)展起來的光源，極紫外光源產(chǎn)生的曝光光線的波長為13.5納米，將極紫外光源應(yīng)用于曝光系統(tǒng)時(shí)，能獲得很小的光刻特征尺寸。

現(xiàn)有技術(shù)產(chǎn)生極紫外光的主流方式是激光產(chǎn)生等離子體輻射方式(Laser Produced Plasma，LPP)，該方式的原理是：激光源產(chǎn)生激光束轟擊錫(Sn)靶材，由此激發(fā)等離子體，等離子向外輻射極紫外光。

現(xiàn)有的極紫外光源的結(jié)構(gòu)，請(qǐng)參考圖1，包括，錫滴噴嘴101，所述錫滴噴嘴101間隔的向下方噴吐錫滴102；激光源103，所述激光源103適于產(chǎn)生激光束104，所述激光束104經(jīng)過透鏡單元105匯聚后，轟擊錫滴102，被轟 擊的錫滴102產(chǎn)生等離子體，等離子體輻射產(chǎn)生極紫外光108；聚光鏡107，所述聚光鏡107用于收集輻射的極紫外光108，并將輻射的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)109。

但是現(xiàn)有的極紫外光源產(chǎn)生的極紫外光的功率仍較小，不能滿足生產(chǎn)的要求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明解決的問題是怎樣提高一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的質(zhì)量分布均勻性。

為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)動(dòng)平衡的修正方法，包括：

提供一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括聚光鏡、與聚光鏡的一體連接的電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸，所述聚光鏡包括內(nèi)凹的第一表面以及相對(duì)的第二表面，第二表面與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸相連接，所述第一表面包括偏心且傾斜的橢球形反射面以及包圍橢球形反射面的非反射面；

一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值測(cè)量步驟，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的動(dòng)平衡偏移值；

進(jìn)行待轟擊位置獲得步驟，獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的第二表面上的待轟擊位置；

進(jìn)行轟擊步驟，采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的聚光鏡的第二表面，去除部分聚光鏡材料。

可選的，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值測(cè)量步驟，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的動(dòng)平衡偏移值的過程包括：一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干動(dòng)平衡偏移值。

可選的，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值測(cè)量步驟，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的動(dòng)平衡偏移值的過程包括：一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，測(cè)量獲得一體 式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干第一動(dòng)平衡偏移值；一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)大于或小于第一設(shè)定轉(zhuǎn)速，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干第二動(dòng)平衡偏移值，第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的第二動(dòng)平衡偏移值的數(shù)量與第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的第一動(dòng)平衡偏移值的數(shù)量相同，且第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面的位置與第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面的位置相同。

可選的，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面同一位置對(duì)應(yīng)的第一動(dòng)平衡偏移值和第二動(dòng)平衡偏移值相減獲得若干偏移值，偏移值最大值對(duì)應(yīng)的某一個(gè)第一動(dòng)平衡偏移值和某一個(gè)第二動(dòng)平衡偏移值為最大動(dòng)平衡偏移值。

可選的，獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速，當(dāng)實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速偏移設(shè)定轉(zhuǎn)速時(shí)，將實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速修正至設(shè)定轉(zhuǎn)速。

可選的，所述動(dòng)平衡偏移值為隨著時(shí)鐘基準(zhǔn)變化的若干數(shù)值。

可選的，還包括：獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間，所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間為一個(gè)測(cè)量周期。

可選的，所述時(shí)鐘基準(zhǔn)包括若干個(gè)連續(xù)的測(cè)量周期，每個(gè)測(cè)量周期內(nèi)具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)對(duì)應(yīng)測(cè)量獲得一個(gè)動(dòng)平衡偏移值，每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)定義第二表面的一個(gè)待轟擊位置。

可選的，獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的第二表面上的待轟擊位置即獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的目標(biāo)測(cè)量節(jié)點(diǎn)。

可選的，進(jìn)行轟擊步驟時(shí)，在某一個(gè)測(cè)量周期的目標(biāo)測(cè)量節(jié)點(diǎn)位置采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的聚光鏡的第二表面，去除部分聚光鏡材料。

可選的，所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)速度的范圍為0.1～1000krpm。

可選的，重復(fù)依次進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值測(cè)量步驟、待轟擊位置獲得步驟和轟擊步驟。

并本發(fā)明還提供了一種一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)動(dòng)平衡的修正裝置，包括：

夾持單元，適于夾持一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，并驅(qū)動(dòng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)按設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)；

偏移值測(cè)量單元，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的動(dòng)平衡偏移值；

計(jì)算單元，基于偏移值測(cè)量單元獲得的若干動(dòng)平衡偏移值獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的第二表面上的待轟擊位置；

轟擊單元，基于計(jì)算單元獲得的待轟擊位置采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的聚光鏡的第二表面，去除部分聚光鏡材料。

可選的，還包括：轉(zhuǎn)速測(cè)量單元，適于測(cè)量一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速，當(dāng)實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速與設(shè)定轉(zhuǎn)速存在差異時(shí)，向夾持單元發(fā)送調(diào)節(jié)反饋信號(hào)，所述加持單元在接收到調(diào)節(jié)反饋信號(hào)調(diào)節(jié)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)速到設(shè)定轉(zhuǎn)速；所述轉(zhuǎn)速測(cè)量單元還適于獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)按設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間。

可選的，還包括控制單元，所述控制單元與夾持單元、偏移值測(cè)量單元、計(jì)算單元、轟擊單元和轉(zhuǎn)速測(cè)量單元進(jìn)行通信，并向偏移值測(cè)量單元提供時(shí)鐘基準(zhǔn)。

可選的，所述控制單元將一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)案設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間定義為一個(gè)測(cè)量周期。

可選的，所述控制單元向偏移值測(cè)量單元提供的時(shí)鐘基準(zhǔn)中包括若干連續(xù)的測(cè)量周期，且每個(gè)測(cè)量周期內(nèi)具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)。

可選的，偏移值測(cè)量單元基于測(cè)量節(jié)點(diǎn)進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值的測(cè)量操作，并輸出隨測(cè)量節(jié)點(diǎn)變化的若干測(cè)量值。

可選的，所述計(jì)算單元獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的第二表面上的待轟擊位置的過程包括：獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的目標(biāo)測(cè)量節(jié)點(diǎn)，所述計(jì)算單元根據(jù)目標(biāo)測(cè)量節(jié)點(diǎn)獲得轟擊時(shí)間，并在轟擊時(shí)間時(shí)刻向轟擊單元發(fā)送轟擊信號(hào)。

可選的，所述轟擊單元基于計(jì)算單元獲得的待轟擊位置采用激光束轟擊 待轟擊位置對(duì)應(yīng)的聚光鏡的第二表面的過程包括：所述轟擊單元在接收到轟擊信號(hào)時(shí)采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的聚光鏡的第二表面，去除部分聚光鏡材料。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本發(fā)明的修正方法，在一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時(shí)，測(cè)量一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的動(dòng)平衡偏離值，然后獲得最大動(dòng)平衡偏移量對(duì)應(yīng)的待轟擊位置，然后采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的第二表面，去除部分的聚光鏡材料。通過本發(fā)明的方法可以使得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的最大質(zhì)量處(一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)上某個(gè)位置的質(zhì)量越大相應(yīng)的測(cè)量獲得的動(dòng)平衡偏移量越大)質(zhì)量減小，從而使得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的質(zhì)量分布均勻，當(dāng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一光軸為中心軸高速旋轉(zhuǎn)，不會(huì)產(chǎn)生偏移或者扭曲，當(dāng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)應(yīng)用于本發(fā)明的EUV光源時(shí)，有利于極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)，從而提高了EUV光源產(chǎn)生的極紫外光的功率大小和功率的穩(wěn)定性。

進(jìn)一步，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干第一動(dòng)平衡偏移值；一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干第二動(dòng)平衡偏移值，第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的第二動(dòng)平衡偏移值的數(shù)量與第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的第一動(dòng)平衡偏移值的數(shù)量相同，且第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面的位置與第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面的位置相同。后續(xù)通過將一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面同一位置對(duì)應(yīng)的第一動(dòng)平衡偏移值和第二動(dòng)平衡偏移值相減獲得若干偏移值，偏移值最大值對(duì)應(yīng)的某一個(gè)第一動(dòng)平衡偏移值和某一個(gè)第二動(dòng)平衡偏移值為最大動(dòng)平衡偏移值。由于第一設(shè)定轉(zhuǎn)速和第二設(shè)定轉(zhuǎn)速大小不同，因而在第一設(shè)定轉(zhuǎn)速和第二設(shè)定轉(zhuǎn)速下一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面同一位置對(duì)應(yīng)的第一動(dòng)平衡偏移值和第二動(dòng)平衡偏移值是不相同的，并且一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面質(zhì)量越重的地方，第一動(dòng)平衡偏移值和第二動(dòng)平衡偏移值兩者的差值會(huì)越大，通過兩者偏移值的大小可以精確確定一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面那個(gè)位置的質(zhì)量最重，因而該方法減小了修正過程中的 一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面不同位置形貌差異對(duì)修正精度的影響，提高了修正的精度。

進(jìn)一步，進(jìn)行修正的過程中，還包括：獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速，當(dāng)實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速偏移設(shè)定轉(zhuǎn)速時(shí)，將實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速修正至設(shè)定轉(zhuǎn)速，以使得整個(gè)修正過程中所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)均是以設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，以利于后續(xù)動(dòng)平衡偏移值的測(cè)量以及待轟擊位置的確定。

進(jìn)一步，所述動(dòng)平衡偏移值測(cè)量的過程基于時(shí)鐘基準(zhǔn)進(jìn)行，所述時(shí)鐘基準(zhǔn)包括若干個(gè)連續(xù)的測(cè)量周期，一個(gè)測(cè)量周期等于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間，每個(gè)測(cè)量周期內(nèi)具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)對(duì)應(yīng)測(cè)量獲得一個(gè)動(dòng)平衡偏移值，每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)定義第二表面的一個(gè)待轟擊位置，所述動(dòng)平衡偏移值測(cè)量的過程基于時(shí)鐘基準(zhǔn)進(jìn)行，使得偏移值的測(cè)量過程附有規(guī)律，使得測(cè)量結(jié)果可以既包括測(cè)量值又包括對(duì)應(yīng)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，便于對(duì)獲得的測(cè)量結(jié)果的處理以及獲得準(zhǔn)確的待轟擊位置。

在進(jìn)行修正時(shí)，當(dāng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)和第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述時(shí)鐘基準(zhǔn)包括若干個(gè)連續(xù)的第一測(cè)量周期和若干連續(xù)的第二測(cè)量周期，所述一個(gè)第一測(cè)量周期長度等于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間，每個(gè)第一測(cè)量周期中具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，所述一個(gè)第二測(cè)量周期的長度等于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間，每個(gè)第二測(cè)量周期中具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，且每個(gè)第二測(cè)量周期中測(cè)量節(jié)點(diǎn)的數(shù)量等于每個(gè)第一測(cè)量周期中測(cè)量節(jié)點(diǎn)的數(shù)量。通過該方法獲得的第一設(shè)定轉(zhuǎn)速下測(cè)量的第一動(dòng)平衡偏移值和第二設(shè)定轉(zhuǎn)速下測(cè)量的第二動(dòng)平衡偏移值的數(shù)量是相同的，并且每一個(gè)第一動(dòng)平衡偏移值與相應(yīng)的第二動(dòng)平衡偏移值均是對(duì)應(yīng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的同一位置，因而可以若干第一動(dòng)平衡偏移值和對(duì)應(yīng)第二動(dòng)平衡偏移值的差值可以精確的反應(yīng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)不同位置的動(dòng)平衡偏移量。

本發(fā)明的修正裝置對(duì)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面進(jìn)行修正，夾持單元，適于夾持一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，并驅(qū)動(dòng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)按設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，偏移值測(cè)量單元，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的動(dòng)平衡偏移值，計(jì)算單元，基于偏移值測(cè)量單元獲得的若干動(dòng)平 衡偏移值獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的第二表面上的待轟擊位置；轟擊單元，基于計(jì)算單元獲得的待轟擊位置采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的聚光鏡的第二表面，去除部分聚光鏡材料。通過本發(fā)明的修正裝置可以使得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的最大質(zhì)量處(一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)上某個(gè)位置的質(zhì)量越大相應(yīng)的測(cè)量獲得的動(dòng)平衡偏移量越大)的質(zhì)量減小，從而使得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的質(zhì)量分布均勻，當(dāng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一光軸為中心軸高速旋轉(zhuǎn)，不會(huì)產(chǎn)生偏移或者扭曲，當(dāng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)應(yīng)用于本發(fā)明的EUV光源時(shí)，有利于極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)，從而提高了EUV光源產(chǎn)生的極紫外光的功率大小和功率的穩(wěn)定性。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)EUV光源的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例EUV光源的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3～圖9為本發(fā)明實(shí)施例一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10為本發(fā)明實(shí)施例的EUV光源的控制信號(hào)圖；

圖11為本發(fā)明實(shí)施例未修正的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)質(zhì)量分布示意圖；

圖12為本發(fā)明實(shí)施例修正過程的流程示意圖；

圖13為本發(fā)明實(shí)施例修正裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖14為本發(fā)明實(shí)施例時(shí)鐘基準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖15為本發(fā)明實(shí)施例動(dòng)偏移值測(cè)量單元的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖16為本發(fā)明實(shí)施例修正后的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如背景技術(shù)所言，現(xiàn)有的極紫外光源產(chǎn)生的極紫外光的功率仍較小(大約為10～30W)，而在實(shí)際的光刻工藝中，要求光源的功率需要達(dá)到250W，現(xiàn)有的極紫外光源產(chǎn)生的極紫外光源不能達(dá)到實(shí)際生產(chǎn)的要求。

研究發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有的極紫外光源的錫滴噴嘴是通過機(jī)械的方式控制錫滴的噴吐，以使相鄰錫滴之間在空間上是分隔開的，激光束可以轟擊每一滴錫滴， 每一滴錫滴被轟擊時(shí)形成等離子體，等離子體輻射產(chǎn)生極紫外光，如果兩滴錫滴之間的距離過近或者兩個(gè)錫滴粘在一起，當(dāng)激光束在轟擊當(dāng)前錫滴時(shí)，產(chǎn)生的等離子體碎片會(huì)對(duì)下一滴錫滴產(chǎn)生影響，造成激光束轟擊的效果差或者輻射的極紫外光難以收集等問題，極紫外光源功率會(huì)產(chǎn)生影響。為了保證每一滴錫滴的完整性以及相鄰錫滴具有一定的距離，現(xiàn)有機(jī)械的方式控制的錫滴噴嘴的噴吐頻率極限大概在100Khz，因此單位時(shí)間內(nèi)的錫滴噴嘴噴吐的錫滴數(shù)量是有限的，因而單位之間內(nèi)激光束轟擊的錫滴的數(shù)量也是有限的，被轟擊的錫滴產(chǎn)生的等離子體以及等離子體輻射的極紫外光數(shù)量也是有限的，最終使得單位時(shí)間內(nèi)在中心焦點(diǎn)上匯聚的極紫外光數(shù)量也是有限的，因此中心焦點(diǎn)出匯聚的極紫外光的功率也較小。

為此，本發(fā)明一實(shí)施例提供了一種EUV光源，包括液滴整列、激光源和一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，所述液滴陣列包括若干噴嘴，若干噴嘴依次向下方的環(huán)形輻射位置噴吐液滴，增加了單位時(shí)間內(nèi)的液滴的供應(yīng)量，不同噴嘴依次噴吐液滴保證了相鄰液滴之間具有一定的距離，并且激光束掃描，依次轟擊到達(dá)環(huán)形輻射位置的液滴，形成極紫外光，因而不會(huì)浪費(fèi)到達(dá)環(huán)形輻射位置的任何液滴，形成的極紫外光的量增多，同時(shí)，聚光鏡旋轉(zhuǎn)掃描，激光鏡上的橢球性反射面收集不同液滴形成的等離子體輻射的極紫外光，并將收集的極紫外光匯聚于下方的中心焦點(diǎn)，使得中心焦點(diǎn)處輸出的極紫外光的功率增加。

但是上述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在制作時(shí)由于制作工藝的限制，容易使得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的質(zhì)量分布不均勻，當(dāng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一光軸為中心軸高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，容易產(chǎn)生偏移或者扭曲，不利用極紫外光的匯聚，影響了EUV光源的功率大小和功率的穩(wěn)定性。

為此，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種本發(fā)明的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)動(dòng)平衡的修正裝置和修正方法，其中所述修正方法在一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時(shí)，測(cè)量一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的動(dòng)平衡偏離值，然后獲得最大動(dòng)平衡偏移量對(duì)應(yīng)的待轟擊位置，然后采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的第二表面，去除部分的聚光鏡材料。通過本發(fā)明的方法可以使得聚光鏡的最大質(zhì)量處(聚光鏡上某個(gè)位置的質(zhì)量越大相應(yīng)的測(cè)量獲得的動(dòng)平衡偏移量越大)質(zhì)量減小，從而使得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的質(zhì)量分布均勻，當(dāng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一光軸為中心軸高速旋轉(zhuǎn)，不 會(huì)產(chǎn)生偏移或者扭曲，當(dāng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)應(yīng)用于本發(fā)明的EUV光源時(shí)，有利于極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)，從而提高了EUV光源產(chǎn)生的極紫外光的功率大小和功率的穩(wěn)定性。

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說明。在詳述本發(fā)明實(shí)施例時(shí)，為便于說明，示意圖會(huì)不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是示例，其在此不應(yīng)限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。此外，在實(shí)際制作中應(yīng)包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。

結(jié)合參考圖2和圖3，圖3為圖2中聚光鏡的結(jié)構(gòu)示意圖，所述EUV光源，包括：

液滴陣列201，所述液滴陣列201包括呈環(huán)形排布的若干噴嘴21，若干噴嘴21適于依次向下方的環(huán)形輻射位置202噴吐液滴；

激光源203，適于產(chǎn)生激光束31，使激光束31從液滴陣列201上方入射并旋轉(zhuǎn)掃描，依次轟擊到達(dá)環(huán)形輻射位置202的液滴，液滴受到激光轟擊時(shí)形成等離子體，等離子體輻射極紫外光；

一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215，位于液滴陣列201和激光源203之間，所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215包括聚光鏡214、與聚光鏡214一體連接的電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217，所述聚光鏡214包括內(nèi)凹的第一表面233以及與第一表面233相對(duì)的第二表面234，第一表面233與液滴整列201相對(duì)，第二表面234與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217相連接，所述第一表面233包括偏心且傾斜的橢球形反射面231以及包圍橢球形反射面231的非反射面232，所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215適于旋轉(zhuǎn)掃描，旋轉(zhuǎn)掃描時(shí)偏心且傾斜的橢球形反射面231收集輻射的極紫外光，并將收集的極紫外光匯聚于環(huán)形輻射位置202下方的中心焦點(diǎn)220。

所述液滴陣列201包括若干噴嘴21，所述EUV光源還包括液滴原料供應(yīng)腔(圖中未示出)，所述液滴原料供應(yīng)腔用于存儲(chǔ)液滴原料，若干噴嘴21通過中間管道(圖中未示出)與液滴原料供應(yīng)腔相連，液滴原料供應(yīng)腔中存儲(chǔ)的液滴原料通過噴嘴21噴出。

所述液滴陣列201還包括與若干噴嘴21對(duì)應(yīng)的若干開關(guān)，每個(gè)開關(guān)控制 對(duì)應(yīng)的噴嘴21是否噴吐液滴，所述開關(guān)可以設(shè)置在噴嘴21和液滴原料供應(yīng)腔之間的中間管道上，通過開關(guān)的閉合控制噴嘴與中間管道中液滴的通斷，以使每個(gè)噴嘴21能間隔的向環(huán)形輻射位置噴吐液滴22。所述開關(guān)為信號(hào)控制的機(jī)械開關(guān)，通過電信號(hào)控制開關(guān)的打開和關(guān)閉，以使噴嘴向下噴吐液滴和不噴吐液滴。

本實(shí)施例中，若干噴嘴21呈圓環(huán)形排布，圓環(huán)上的相鄰噴嘴之間的間距相等，且噴嘴21均向圓環(huán)的中心方向傾斜第一角度A，第一角度A的大小為20～40度。每個(gè)噴嘴21的口徑相同，每個(gè)噴嘴21的下沿位于同一平面上，若干噴嘴21的下沿與該平面的接觸點(diǎn)在平面上呈圓環(huán)排布，且該平面平行于環(huán)形輻射位置202所在的平面，使得每個(gè)噴嘴21噴吐的液滴到環(huán)形輻射位置202的距離相同，以方便對(duì)液滴陣列噴吐方式的控制。本實(shí)施中，若干噴嘴21的下沿所在的平面平行于xy軸所在的平面。

所述液滴的材料可以為錫、錫合金、錫化合物、氙或鋰。所述錫化合物可以為SnBr₄、SnBr₂、SnH₄等，所述錫合金可以為錫鎵合金、錫銦合金、錫銦鎵合金等。

根據(jù)選取的液滴的材料的不同，位于環(huán)形輻射位置202的液滴22的溫度可以不相同。

所述環(huán)形輻射位置202為一環(huán)形區(qū)域，環(huán)形輻射位置202位于液滴陣列201，環(huán)形輻射位置202所在的平面平行于若干噴嘴21的下沿所在的平面。本實(shí)施例中，所述環(huán)形輻射位置202所在的平面平行于xy軸所在的平面。

本實(shí)施例中，所述環(huán)形輻射位置202為呈圓環(huán)形的區(qū)域，所述環(huán)形輻射位置202所在圓環(huán)平行于若干噴嘴21所在圓環(huán)或者環(huán)形輻射位置202所在的平面平行于若干噴嘴21的下沿所在的平面，且所述環(huán)形輻射位置202所在圓環(huán)的半徑小于若干噴嘴21所在圓環(huán)的半徑，所述環(huán)形輻射位置202所在圓環(huán)的圓心位于若干噴嘴21所在圓環(huán)的圓心的正下方。

所述EUV光源中包括第一光軸205，所述第一光軸經(jīng)過所述環(huán)形輻射位置202所在圓環(huán)的圓心、若干噴嘴21所在圓環(huán)的圓心、一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215的中軸線。

所述環(huán)形輻射位置202位于若干噴嘴21的延長線上或者位于延長線的下方，環(huán)形輻射位置202與若干噴嘴21的具體距離根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置，在此不做限定。

本實(shí)施例中，中間焦點(diǎn)220位于環(huán)形輻射位置202的下方，且所述中間焦點(diǎn)220位于所述環(huán)形輻射位置220所在圓環(huán)的圓心與若干噴嘴21(的下沿)所在圓環(huán)的圓心兩者連線的延長線上。

所述聚光鏡214呈“碗型”，所述聚光鏡214包括內(nèi)凹的第一表面233以及與第一表面233相對(duì)的第二表面234，第一表面233與液滴整列201相對(duì)，第二表面234與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217相連接，所述第一表面233包括偏心且傾斜的橢球形反射面231以及包圍橢球形反射面231的非反射面232。

所述橢球型反射面231適于收集環(huán)形輻射位置202的液滴22被轟擊后形成的輻射極紫外光，并將收集的輻射極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220處，所述橢球型反射面231收集和匯聚輻射極紫外光的過程遵循反射定律。所述非反射面232不反射輻射極紫外光，或者即使反射部分的輻射極紫外光也不會(huì)匯聚于中心焦點(diǎn)220處。

所述第一光軸205通過聚光鏡214的中心，且第一光軸205與聚光鏡214的中軸線重合。所述橢球型反射面231具有第二光軸，所述第二光軸通過橢球型反射面231的中心且與橢球型反射面231的中軸線重合，橢球型反射面231偏心且傾斜是指，所述橢球型反射面231的中心偏移聚光鏡214的中心第一距離，所述橢球形反射面231的傾斜角度等于第一光軸和第二光軸之間的交角。

本實(shí)施例中所述橢球形反射面231偏心且傾斜，聚光鏡214旋轉(zhuǎn)掃描時(shí)，橢球形反射面231能夠收集依次到達(dá)輻射位置202的液滴22被轟擊后產(chǎn)生的輻射極紫外光，并將輻射極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220。

所述輻射位置202對(duì)應(yīng)橢球形反射面231的第一焦點(diǎn)，中心焦點(diǎn)220對(duì)應(yīng)于橢球形反射面231的第二焦點(diǎn)位置，聚光鏡214旋轉(zhuǎn)掃描時(shí)，第一焦點(diǎn)沿環(huán)形輻射位置202呈環(huán)形變化，而第二焦點(diǎn)(或中心焦點(diǎn)220)的位置保持不便，因而在旋轉(zhuǎn)掃描時(shí)，第一焦點(diǎn)(環(huán)形輻射位置202)出產(chǎn)生的輻射極紫 外光經(jīng)過橢球形反射面231收集反射后匯聚于第二焦點(diǎn)(或中心焦點(diǎn)220)。

本實(shí)施例中，所述聚光鏡214的第一表面233除了包括偏心且傾斜的橢球形反射面231還包括包圍橢球形反射面231的非反射面232，使得聚光鏡214的質(zhì)量以第一光軸205為中心分布較為均勻，當(dāng)聚光鏡231以第一光軸205為中心軸高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，使得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)維持較好的動(dòng)平衡，防止聚光鏡214產(chǎn)生偏移或者扭曲。

請(qǐng)結(jié)合參考圖3、圖4和圖5，圖4和圖5為一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖，所述聚光鏡214中還具有第一通孔237，所述第一通孔237貫穿聚光鏡214的第一表面233和第二表面234，所述第一通孔237的中心與橢球形反射面231的中心重合，所述第一通孔237作為激光束入射的通道，并且所述第一通孔237還用于放置聚光透鏡236，所述聚光透鏡236適于將上方入射的激光束31(請(qǐng)參考圖2)聚焦在環(huán)形輻射位置202(請(qǐng)參考圖2)。

聚光透鏡236安置在第一通孔237中時(shí)，聚光透鏡236與第一通孔237的側(cè)壁固定連接，并且聚光透鏡236的中軸線與第一光軸205平行，且聚光透鏡236的中軸線的延長線穿過下方的環(huán)形輻射位置202(請(qǐng)參考圖2)。

所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215還包括電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217，所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217的中心軸與第一光軸206重合，所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217與聚光鏡214的第二表面一體連接，即電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217和聚光鏡214是通過一個(gè)整體的加工材料加工形成，電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217和聚光鏡214的材料相同，因而提高了一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215的機(jī)械強(qiáng)度。

所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217作為無刷電機(jī)的轉(zhuǎn)子軸，圍繞所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217由內(nèi)向外還設(shè)置有無刷電機(jī)的定子線圈(圖中未示出)、以及定子線圈支架(圖中未示出)，所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217在無刷電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下以第一光軸205為中心軸旋轉(zhuǎn)時(shí)，由于電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217與聚光鏡214一體連接，電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217旋轉(zhuǎn)時(shí)，相應(yīng)的聚光鏡214和聚焦透鏡236也會(huì)以第一光軸205為中心軸旋轉(zhuǎn)掃描，在旋轉(zhuǎn)掃描時(shí)，經(jīng)過聚焦透鏡236聚焦后的激光束依次轟擊到達(dá)環(huán)形輻射位置202的液滴22形成的輻射極紫外光時(shí)，聚光鏡214上的橢球形反射面231收集輻射的極紫外光，并將收集的輻射極紫外光反射后匯聚于中心焦 點(diǎn)220。

所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217中具有第二通孔，所述第二通孔與聚光鏡214中的第一通孔237相互貫穿，所述第二通孔的尺寸大于第一通孔237的尺寸，第一通孔的中心軸與第一光軸205重合。

所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215還包括與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217一體連接的推力軸承230，所述推力軸承230與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217一體連接，推力軸承230的中軸線與第一光軸205重合，所述推力軸承230中具有第三通孔，推力軸承230中的第三通孔與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217中的第二通孔相互貫穿，所述第三通孔的尺寸與第二通孔的尺寸相同，所述第三通孔和第二通孔均作為上方的激光束的入射通道，第三通孔的中軸線與第一光軸205重合。

通過推力軸承230與固定支架(圖中未示出)相連接，使得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215懸掛在空中，并且無刷電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下旋轉(zhuǎn)掃描。

結(jié)合參考圖4、圖6和圖7，所述推力軸承230包括內(nèi)圈(237、238)、外圈(240、241)以及位于內(nèi)圈(237、238)和外圈(240、241)之間的滾動(dòng)體239。

所述內(nèi)圈(237、238)與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217一體連接，所述內(nèi)圈(237、238)中具有第三通孔，本實(shí)施例中，所述內(nèi)圈包括第一部分237和與第一部分237一體連接的第二部分238，第二部分位于第一部分237上方，部分第一部分237和第二部分238凸出于電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217的外表面，并且第一部分237的外表面和第二部分238的外表面相對(duì)于第一光軸205傾斜，第一部分237的外表面和第二部分238的外表面相交，兩者的交角小于90度，在一實(shí)施例中，所述第一部分237的外表面和第二部分238的外表面的剖面形狀呈“＜＞”型。

所述滾動(dòng)體239可以為圓柱形或球形滾珠，所述滾動(dòng)體239包括第一滾動(dòng)體和第二滾動(dòng)體，第一滾動(dòng)體位于內(nèi)圈的第一部分237外表面，所述第二滾動(dòng)體位于內(nèi)圈的第二部分238外表面。

所述外圈用于限制滾動(dòng)體，并與固定支架相連接，所述外圈包括第一外圈241和第二外圈240，所述第一外圈241用于限制第一滾動(dòng)體，使得第一滾 動(dòng)體在內(nèi)圈的第一部分237外表面和第一外圈241的內(nèi)表面之間滾動(dòng)，所述第二外圈240用于限制第二滾動(dòng)體，使得第二滾動(dòng)體在內(nèi)圈的第二部分238外表面和第二外圈240的內(nèi)表面之間滾動(dòng)。

本發(fā)明的實(shí)施例中推力軸承的內(nèi)圈與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217一體連接，增強(qiáng)了一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215的機(jī)械強(qiáng)度，并且推力軸承的內(nèi)圈包括兩個(gè)傾斜相交的外表面，相應(yīng)的設(shè)置分別與兩個(gè)傾斜相交的外表面接觸的兩個(gè)滾動(dòng)體，以及分別限制兩個(gè)滾動(dòng)體的兩個(gè)外圈，使得該推力軸承在垂直方向和水平方向的擺動(dòng)幅度很小，并且受力均勻，因而當(dāng)聚光鏡在旋轉(zhuǎn)掃描時(shí)，使得聚光鏡垂直方向和水平方向的擺動(dòng)幅度也很小，提高了中心焦點(diǎn)處的極紫外光強(qiáng)度的均勻性。

在其他實(shí)施例中，所述推力軸承與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217是分立的，通過焊接等方式將推力軸承的內(nèi)圈與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217的一端外表面固定連接。

請(qǐng)參考圖8和圖9，圖8和圖9為本發(fā)明的液滴陣列201的放大結(jié)構(gòu)示意圖，圖9為圖8的俯視結(jié)構(gòu)示意圖，所述液滴陣列201包括呈環(huán)形排布的若干噴嘴21，所述若干噴嘴21依次包括第一噴嘴21a₁、第二噴嘴21a₂、第三噴嘴21a₃……第N(N≥3)噴嘴21a_n。

液滴陣列201中兩個(gè)相鄰噴嘴21之間的間距是恒定的，若干噴嘴可以很規(guī)律的依次向環(huán)形輻射位置噴吐液滴，的相鄰液滴在空間上的距離也是恒定的，使得液滴陣列201依次向環(huán)形輻射位置噴吐液滴，當(dāng)激光束掃描，依次轟擊到達(dá)環(huán)形輻射位置202的液滴22時(shí)，下一滴待轟擊的液滴不會(huì)受到前一滴被轟擊的液滴產(chǎn)生的等離子體碎片的影響。需要說明的是，所述相鄰噴嘴21之間的間距為噴嘴的下沿所在圓環(huán)的圓弧長度。

在一具體的實(shí)施例中，所述在輻射位置相鄰液滴22之間的間距為45～75微米，噴嘴噴吐的液滴22的尺寸為25～35微米。

若干噴嘴21依次向下方的環(huán)形輻射位置202噴吐液滴22的過程包括：在第一噴嘴21a₁噴吐第一液滴后，第二噴嘴噴21a₂滯后于第一噴嘴21a₁第一時(shí)間噴吐第二液滴，第三噴嘴21a₃滯后于第二噴嘴21a₂第一時(shí)間噴吐第三液滴……第N噴嘴21a_n滯后于第N-1噴嘴21a_n-1第一時(shí)間噴吐第N液滴。

因而，當(dāng)?shù)谝粐娮?1a₁噴吐的第一液滴到達(dá)環(huán)形輻射位置202后，第二噴嘴噴21a₂噴吐的第二液滴滯后于第一噴嘴21a₁噴吐的第一液滴第一時(shí)間到達(dá)環(huán)形輻射位置202，第三噴嘴21a₃噴吐的第三液滴滯后于第二噴嘴噴21a₂噴吐的第二液滴第一時(shí)間到達(dá)環(huán)形輻射位置202……第N噴嘴21a_n噴吐的第N液滴滯后于第N-1噴嘴21a_n-1噴吐的第N液滴第一時(shí)間到達(dá)環(huán)形輻射位置202。

結(jié)合參考圖2和圖8，在若干噴頭依次向下方的環(huán)形輻射位置202噴吐液滴時(shí)，所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215旋轉(zhuǎn)掃描，所述激光源203產(chǎn)生的激光束經(jīng)過聚光透鏡后也旋轉(zhuǎn)掃描，依次轟擊到達(dá)環(huán)形輻射位置202的第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴，具體過程為：激光源203產(chǎn)生的激光束在轟擊完處于環(huán)形輻射位置202的第一液滴后，激光束在旋轉(zhuǎn)的聚光透鏡的作用下沿環(huán)形輻射位置202旋轉(zhuǎn)掃描，第二液滴到達(dá)環(huán)形輻射位置202時(shí)，激光束轟擊位于環(huán)形輻射位置202的第二液滴，激光束繼續(xù)沿環(huán)形輻射位置202旋轉(zhuǎn)掃描，第三液滴到達(dá)環(huán)形輻射位置202時(shí)，激光束轟擊位于環(huán)形輻射位置202的第三液滴……激光束繼續(xù)環(huán)形輻射位置202旋轉(zhuǎn)掃描，當(dāng)?shù)贜液滴到達(dá)環(huán)形輻射位置時(shí)，激光束轟擊位于環(huán)形輻射位置202的第N液滴。

在激光束依次轟擊第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴，第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴被激光束轟擊時(shí)，相應(yīng)的產(chǎn)生等離子體，產(chǎn)生的等離子體向外輻射極紫外光時(shí)，同時(shí)所述聚光鏡214旋轉(zhuǎn)掃描，聚光鏡214上的橢球形反射面231(參考圖3)依次收集第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴被轟擊時(shí)輻射的極紫外光，并將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220，具體過程為：橢球形反射面231在收集完第一液滴被轟擊時(shí)產(chǎn)生的極紫外光將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220后，橢球形反射面231在一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215的作用下旋轉(zhuǎn)掃描，橢球形反射面231收集第二液滴被轟擊時(shí)產(chǎn)生的極紫外光并將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220，橢球形反射面231繼續(xù)旋轉(zhuǎn)掃描，橢球形反射面231收集第三液滴被轟擊時(shí)產(chǎn)生的極紫外光并將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220……橢球形反射面231繼續(xù)旋轉(zhuǎn)掃描，橢球形反射面231收集第N液滴被轟擊時(shí)產(chǎn)生的極紫外光并將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220。

請(qǐng)繼續(xù)參考圖8和圖9，本實(shí)施例中，液滴陣列201中的第一噴嘴21a₁、第二噴嘴21a₂、第三噴嘴21a₃……第N(N≥3)噴嘴21a_n依次向下方的環(huán)形輻射位置202噴吐液滴22的具體過程包括：在第一噴嘴21a₁噴吐第一滴第一液滴后，第二噴嘴噴21a₂滯后于第一噴嘴21a₁第一時(shí)間噴吐第一滴第二液滴，第三噴嘴21a₃滯后于第二噴嘴21a₂第一時(shí)間噴吐第一滴第三液滴……第N噴嘴21a_n滯后于第N-1噴嘴21a_n-1第一時(shí)間噴吐第一滴第N液滴；所述第一噴嘴21a₁在噴吐第一滴第一液滴后，依次間隔第二時(shí)間噴吐第二滴第一液滴、第三滴第一液滴、第四滴第一液滴……第M(M大于等于4)滴第一液滴，同樣，所述第二噴嘴21a₂在噴吐第一滴第二液滴后，依次間隔第二時(shí)間噴吐第二滴第二液滴、第三滴第二液滴、第四滴第二液滴……第M(M大于等于4)滴第二液滴，第三噴嘴21a₃在噴吐第一滴第三液滴后，依次間隔第二時(shí)間噴吐第二滴第三液滴、第三滴第三液滴、第四滴第三液滴……第M(M大于等于4)滴第三液滴，第N噴嘴21a_n在噴吐第一滴第N液滴后，依次間隔第二時(shí)間噴吐第二滴第N液滴、第三滴第N液滴、第四滴第N液滴……第M(M大于等于4)滴第N液滴。本發(fā)明實(shí)施例的液滴整列201的噴吐方式，實(shí)現(xiàn)液滴向環(huán)形輻射位置202的有規(guī)律的和不間斷的供應(yīng)，增大了單位時(shí)間內(nèi)的液滴的供應(yīng)量，并且激光源203產(chǎn)生的激光束可以有規(guī)律的掃描，依次轟擊位于環(huán)形輻射位置202的液滴22，聚光鏡214上的橢球形反射面231可以有規(guī)律的旋轉(zhuǎn)掃描并同時(shí)收集輻射的極紫外光，并將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220，提高中心焦點(diǎn)220處的極紫外光的功率。

本實(shí)施例中，所述激光源203還包括固定的反射鏡209，固定的反射鏡209呈45度角傾斜，所述激光器204位于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215的側(cè)上方，所述固定的反射鏡209將激光器發(fā)射的激光束21反射后透過第二通孔和第三通孔入射到聚焦透鏡236表面。固定的反射鏡209設(shè)置于第一光軸205的延長線上。

在其他實(shí)施例中，可以不設(shè)置反射鏡，所述激光器可以直接設(shè)置與第一光軸205的延長線上，激光器產(chǎn)生的激光束直接沿與第一光軸205重合的方向透過第二通孔和第三通孔入射到聚焦透鏡236。

本實(shí)施例中，所述聚焦透鏡236與聚光鏡214的相對(duì)位置是固定的，聚 焦透鏡236的中心軸偏移第一光軸205第一距離，無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215旋轉(zhuǎn)掃描時(shí)，所述聚焦透鏡236也旋轉(zhuǎn)掃描，使得經(jīng)過聚焦透鏡236聚焦后的激光束也沿著環(huán)形輻射位置202旋轉(zhuǎn)掃描，依次轟擊到達(dá)環(huán)形輻射位置202的液滴。

所述聚焦透鏡236與聚光鏡214固定連接時(shí)，所述聚焦透鏡236的光軸平行于第一光軸205。

所述激光器204采用脈沖頻率較高的泵浦的脈沖輸出激光器，使得產(chǎn)生的激光束在單位時(shí)間內(nèi)完成對(duì)更多的液滴的轟擊。所述泵浦激光器可以為調(diào)Q激光器或鎖模激光器等。

所述激光器204脈沖的發(fā)射需要同液滴22噴吐以及聚光鏡214旋轉(zhuǎn)掃描同步，使得液滴22在到達(dá)環(huán)形輻射位置202時(shí)，相應(yīng)的激光束能夠轟擊到液滴22，并且聚光鏡214能夠收集到該液滴22被轟擊后產(chǎn)生的輻射極紫外光并匯聚于中心焦點(diǎn)。

在一具體的實(shí)施例中，所述激光器204為CO₂激光器，激光器204的輸出功率為10～1000KW。

本實(shí)施例中，由于液滴陣列201的若干噴嘴21可以依次連續(xù)不斷的向環(huán)形輻射位置202供應(yīng)液滴，無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)聚光鏡和聚焦透鏡236同時(shí)旋轉(zhuǎn)掃描，經(jīng)過聚焦透鏡236聚焦后的激光束旋轉(zhuǎn)掃描一周依次轟擊到達(dá)環(huán)形輻射位置202的第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴后，無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)聚光鏡和聚焦透鏡236繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，經(jīng)過聚焦透鏡236聚焦后的激光束繼續(xù)旋轉(zhuǎn)掃描依次轟擊到達(dá)環(huán)形輻射位置202的下一滴第一液滴、第二液滴、第三液滴……第N液滴。

本實(shí)施例中，所述經(jīng)過聚焦透鏡236聚焦后的旋轉(zhuǎn)掃描的方向?yàn)轫槙r(shí)鐘方向。在本發(fā)明的其他實(shí)施例中，所述旋轉(zhuǎn)掃描方向可以為逆時(shí)鐘方向。

所述EUV光源還包括控制單元(圖中未示出)，所述控制單元輸出同步的第一信號(hào)、第二信號(hào)，第一信號(hào)控制若干噴嘴依次噴吐液滴，第二信號(hào)控制所述無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)所述聚光鏡和聚焦透鏡同步旋轉(zhuǎn)。

所述第一信號(hào)和第二信號(hào)同步于驅(qū)動(dòng)激光器204產(chǎn)生脈沖激光束的脈沖 信號(hào)。

所述EUV光源還包括清潔系統(tǒng)，適于清潔聚光鏡的反射面上污染物(比如液滴被轟擊時(shí)產(chǎn)生的飛濺碎末等)。

參考圖10，圖10為本發(fā)明實(shí)施例的控制信號(hào)圖，包括第一信號(hào)、第二信號(hào)305，所述第一信號(hào)包括31a、31b、31c……31n。

第一信號(hào)、第二信號(hào)基于同一時(shí)鐘信號(hào)產(chǎn)生，第一信號(hào)的數(shù)量等于噴嘴的數(shù)量，所述第一信號(hào)31a₁、第一信號(hào)31a₂、第一信號(hào)31a₃……第一信號(hào)31a_n分別控制第一噴嘴21a₁(參考圖9)、第二噴嘴21a₂(參考圖9)、第三噴嘴21a₃(參考圖9)……第N噴嘴21a_n(參考圖9)對(duì)應(yīng)的開關(guān)的打開和關(guān)閉，所述第二信號(hào)305用于控制所述無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)聚光鏡214和聚焦透鏡236(參考圖2)旋轉(zhuǎn)掃描。

下面結(jié)合附圖2、圖9和圖10對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的EUV光源的工作過程進(jìn)行詳細(xì)的描述。

第一信號(hào)31a₁、第一信號(hào)31a₂、第一信號(hào)31a₃……第一信號(hào)31a_n為脈沖信號(hào)，相鄰脈沖之間的時(shí)間間隔為第二時(shí)間T2，且第一信號(hào)31a₂滯后于第一信號(hào)31a₁第一時(shí)間T1，第一信號(hào)31a₃滯后于第一信號(hào)31a₂第一時(shí)間TI，依次類推第一信號(hào)31a_n滯后前一第一信號(hào)第一時(shí)間T1，并且每個(gè)第一信號(hào)的相鄰脈沖之間的時(shí)間間隔為第二時(shí)間T2。

若干第一信號(hào)滿足NT1＝T2，N為第一信號(hào)的數(shù)量(噴嘴的數(shù)量)，T1為第一時(shí)間，T2為第二時(shí)間，以使得液滴陣列21中的若干噴嘴可以有規(guī)律的依次向環(huán)形輻射位置202供應(yīng)液滴，激光源203產(chǎn)生的激光束可以循環(huán)的旋轉(zhuǎn)掃描依次轟擊到達(dá)環(huán)形輻射位置202的液滴，聚光鏡214上的橢球形反射面也可以循環(huán)的旋轉(zhuǎn)掃描收集對(duì)應(yīng)的液滴被轟擊后形成的輻射極紫外光，并將收集的輻射極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220。

因而將第一信號(hào)31a₁、第一信號(hào)31a₂、第一信號(hào)31a₃……第一信號(hào)31a_n施加在液滴陣列201上若干噴嘴21(參考圖4中第一噴嘴21a₁、第二噴嘴21a₂、第三噴嘴21a₃……第N(N≥3)噴嘴21a_n)對(duì)應(yīng)的開關(guān)時(shí)，液滴陣列201向下方的環(huán)形輻射位置202依次噴吐液滴，具體過程為：在第一噴嘴21a₁噴吐 第一滴第一液滴后，第二噴嘴噴21a₂滯后于第一噴嘴21a₂第一時(shí)間噴吐第一滴第二液滴，第三噴嘴21a₃滯后于第二噴嘴21a₂第一時(shí)間噴吐第一滴第三液滴……第N噴嘴21a_n滯后于第N-1噴嘴21a_n-1第一時(shí)間噴吐第一滴第N液滴；所述第一噴嘴21a₁在噴吐第一滴第一液滴后，依次間隔第二時(shí)間噴吐第二滴第一液滴、第三滴第一液滴、第四滴第一液滴……第M(M大于等于4)滴第一液滴，同樣，所述第二噴嘴21a₂在噴吐第一滴第二液滴后，依次間隔第二時(shí)間噴吐第二滴第二液滴、第三滴第二液滴、第四滴第二液滴……第M(M大于等于4)滴第二液滴，第三噴嘴21a₃在噴吐第一滴第三液滴后，依次間隔第二時(shí)間噴吐第二滴第三液滴、第三滴第三液滴、第四滴第三液滴……第M(M大于等于4)滴第三液滴，……第N噴嘴21a_n在噴吐第一滴第N液滴后，依次間隔第二時(shí)間噴吐第二滴第N液滴、第三滴第N液滴、第四滴第N液滴……第M(M大于等于4)滴第N液滴。

在第一信號(hào)施加在液滴陣列201上時(shí)，所述第二信號(hào)305也施加在無刷電機(jī)216上。

在液滴陣列201噴吐液滴之前，所述聚光鏡214和聚焦透鏡236位于第一初始位置，EUV光源工作時(shí)，聚光鏡214和聚焦透鏡236從第一初始位置加速到第二初始位置，然后從第二初始位置開始勻速旋轉(zhuǎn)，聚焦透鏡236位于第二初始位置時(shí)，經(jīng)過聚焦透鏡236聚焦后的激光束的能夠轟擊達(dá)到環(huán)形輻射位置202的第一液滴(第一噴嘴21a噴吐的)，同時(shí)聚光鏡214收集第一液滴被轟擊時(shí)產(chǎn)生的極紫外光并匯聚于中心焦點(diǎn)220。

本實(shí)施例中，第二信號(hào)305的上升沿滯后于第一信號(hào)31a的第一脈沖，所述第二信號(hào)305滯后的時(shí)間為第一噴嘴21a噴吐第一滴第一液滴后，第一滴第一液滴達(dá)到環(huán)形輻射位置202的時(shí)間。

EUV光源具體的工作過程為，液滴陣列201在接收到第一信號(hào)，無刷電機(jī)216接收第二信號(hào)305，第一信號(hào)使得液滴陣列201中的若干噴嘴開始依次向環(huán)形輻射位置202噴吐液滴(包括依次到達(dá)環(huán)形輻射位置202的第一滴第一液滴、第一滴第二液滴、第一滴第三液滴……第二滴第N液滴、第二滴第一液滴、第二滴第二液滴、第二滴第三液滴……第二滴第N液滴、……第M(M≥3)滴第N液滴、第M滴第一液滴、第M滴第二液滴、第M滴第三液 滴……第M滴第N液滴)，當(dāng)?shù)谝坏蔚谝灰旱蔚竭_(dá)環(huán)形輻射位置202時(shí)，聚光鏡214和聚焦透鏡236從第一初始位置加速到第二初始位置，經(jīng)過聚焦透鏡236聚焦后的激光束轟擊位于環(huán)形輻射位置202的第一滴第一液滴，同時(shí)聚光鏡214上的橢球形反射面收集第一滴第一液滴被轟擊時(shí)輻射的極紫外光，并將收集極紫外光通過反射匯聚于中心焦點(diǎn)220，接著，第二信號(hào)305使得無刷電機(jī)216驅(qū)動(dòng)聚光鏡214和聚焦透鏡236勻速旋轉(zhuǎn)掃描，經(jīng)過聚焦透鏡236聚焦后的激光束旋轉(zhuǎn)掃描依次轟擊到達(dá)環(huán)形輻射位置202的其他液滴，同時(shí)聚光鏡214上的橢球形反射面依次收集其他液滴被轟擊時(shí)形成的極紫外光，并將收集的極紫外光匯聚于中心焦點(diǎn)220。

所述聚光鏡214旋轉(zhuǎn)的速度為勻速，聚光鏡214的角速度等于聚光鏡214在收集相鄰兩液滴轟擊時(shí)產(chǎn)生的極紫外光時(shí)的聚光鏡214旋轉(zhuǎn)角度除以第一時(shí)間T1。

本實(shí)施例中，還提供了一種曝光裝置，所述曝光裝置包括前述所述的EUV光源，所述EUV光源作為曝光裝置進(jìn)行曝光時(shí)的曝光光源。關(guān)于曝光裝置的具體結(jié)構(gòu)，請(qǐng)參考現(xiàn)有的曝光裝置的結(jié)構(gòu)，在此不再贅述。

本發(fā)明的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)一般是通過數(shù)控機(jī)床加工處理，但是在加工過程中，由于聚光鏡第一表面的形貌比較復(fù)雜，加工難度相應(yīng)的增加，因而最終形成的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的質(zhì)量分布有可能不均勻，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在旋轉(zhuǎn)掃描時(shí)，動(dòng)平衡容易發(fā)生偏移，請(qǐng)參考圖11，圖中虛線框出的區(qū)域250表示聚光鏡的質(zhì)量偏重的區(qū)域，交點(diǎn)251表示旋轉(zhuǎn)中心(旋轉(zhuǎn)中心軸的中心)，交點(diǎn)252表示質(zhì)量中心，即旋轉(zhuǎn)中心和質(zhì)量中心不在同一點(diǎn)，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在旋轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)產(chǎn)生動(dòng)平衡偏移。

本發(fā)明實(shí)施例提供了一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)動(dòng)平衡的修正方法，請(qǐng)參考圖12，包括：

步驟S501，提供一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括聚光鏡、與聚光鏡的一體連接的電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸，所述聚光鏡包括內(nèi)凹的第一表面以及相對(duì)的第二表面，第二表面與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸相連接，所述第一表面包括偏心且傾斜的橢球形反射面以及包圍橢球形反射面的非反射面；

步驟S502，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值測(cè)量步驟，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的動(dòng)平衡偏移值；

步驟S503，進(jìn)行待轟擊位置獲得步驟，獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的第二表面上的待轟擊位置；

步驟S504，進(jìn)行轟擊步驟，采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的聚光鏡的第二表面，去除部分聚光鏡材料；

步驟S505，重復(fù)依次進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值測(cè)量步驟、待轟擊位置獲得步驟和轟擊步驟。

下面對(duì)上述過程進(jìn)行進(jìn)一步描述。

進(jìn)行步驟S501，提供一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)。本發(fā)明實(shí)施例中，提供的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的聚光鏡呈“碗型”，所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)包括第一光軸，所述第一光軸穿過聚光鏡的對(duì)稱中心，第一光軸與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸的中心對(duì)稱軸重合。在進(jìn)行修正時(shí)，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一光軸為中心軸旋轉(zhuǎn)。

在進(jìn)行修正時(shí)，所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)置于真空環(huán)境中，以防止空氣的阻力影響修正的準(zhǔn)確性。

進(jìn)行步驟S502，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值測(cè)量步驟，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的動(dòng)平衡偏移值。

所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)可以通過夾持單元夾持，并驅(qū)動(dòng)所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一光軸為中心軸進(jìn)行勻速旋轉(zhuǎn)。

進(jìn)行修正的過程中，還包括：獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速，當(dāng)實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速偏移設(shè)定轉(zhuǎn)速時(shí)，將實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速修正至設(shè)定轉(zhuǎn)速，以使得整個(gè)修正過程中所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)均是以設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，以利于后續(xù)動(dòng)平衡偏移值的測(cè)量以及待轟擊位置的確定。

在一實(shí)施例中，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值測(cè)量步驟，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的動(dòng)平衡 偏移值的過程包括：一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干動(dòng)平衡偏移值。

所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面可以劃分為等角度分布的若干位置，位置的數(shù)量可以為30個(gè)(相鄰位置之間的角度為360/30)、40個(gè)(相鄰位置之間的角度為360/40)、50個(gè)(相鄰位置之間的角度為360/50)、100個(gè)(相鄰位置之間的角度為360/100)、360個(gè)(相鄰位置之間的角度為360/360)或者其他數(shù)量的位置。

在另一實(shí)施例中，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值測(cè)量步驟，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的動(dòng)平衡偏移值的過程包括：一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干第一動(dòng)平衡偏移值；一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干第二動(dòng)平衡偏移值，第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的第二動(dòng)平衡偏移值的數(shù)量與第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的第一動(dòng)平衡偏移值的數(shù)量相同，且第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面的位置與第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面的位置相同。后續(xù)通過將一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面同一位置對(duì)應(yīng)的第一動(dòng)平衡偏移值和第二動(dòng)平衡偏移值相減獲得若干偏移值，偏移值最大值對(duì)應(yīng)的某一個(gè)第一動(dòng)平衡偏移值和某一個(gè)第二動(dòng)平衡偏移值為最大動(dòng)平衡偏移值。由于第一設(shè)定轉(zhuǎn)速和第二設(shè)定轉(zhuǎn)速大小不同，因而在第一設(shè)定轉(zhuǎn)速和第二設(shè)定轉(zhuǎn)速下一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面同一位置對(duì)應(yīng)的第一動(dòng)平衡偏移值和第二動(dòng)平衡偏移值是不相同的，并且一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面質(zhì)量越重的地方，第一動(dòng)平衡偏移值和第二動(dòng)平衡偏移值兩者的差值會(huì)越大，通過兩者偏移值的大小可以精確確定一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面那個(gè)位置的質(zhì)量最重，因而該方法減小了修正過程中的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面不同位置形貌差異對(duì)修正精度的影響，提高了修正的精度。

進(jìn)行修正的過程中，在一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)時(shí)，獲得一 體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間，所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間可以定義為一個(gè)測(cè)量周期。在一實(shí)施例中，所述實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速和一體式旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間可以通過轉(zhuǎn)速測(cè)量單元測(cè)量。

所述動(dòng)平衡偏移值測(cè)量的過程基于時(shí)鐘基準(zhǔn)進(jìn)行，所述時(shí)鐘基準(zhǔn)包括若干個(gè)連續(xù)的測(cè)量周期，一個(gè)測(cè)量周期等于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間，每個(gè)測(cè)量周期內(nèi)具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)對(duì)應(yīng)測(cè)量獲得一個(gè)動(dòng)平衡偏移值，每個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)定義第二表面的一個(gè)待轟擊位置，所述動(dòng)平衡偏移值測(cè)量的過程基于時(shí)鐘基準(zhǔn)進(jìn)行，使得偏移值的測(cè)量過程附有規(guī)律，使得測(cè)量結(jié)果可以既包括測(cè)量值又包括對(duì)應(yīng)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，便于對(duì)獲得的測(cè)量結(jié)果的處理以及獲得準(zhǔn)確的待轟擊位置。

所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)設(shè)置有起始位置檢測(cè)單元，在進(jìn)行修正時(shí)，用于檢測(cè)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時(shí)的起始位置，在檢測(cè)到起始位置時(shí)，發(fā)出起點(diǎn)信號(hào)，起點(diǎn)信號(hào)發(fā)出的時(shí)間決定時(shí)鐘基準(zhǔn)中第一個(gè)測(cè)量周期的開始時(shí)間。需要說明的是，本發(fā)明實(shí)施例中將測(cè)量周期中第一個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)對(duì)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面的某一位置動(dòng)平衡偏移值進(jìn)行測(cè)量，將該位置定義為一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面位置劃分的起始點(diǎn)，所述起始點(diǎn)作為一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面位置劃分的起始點(diǎn)，即從起始點(diǎn)旋轉(zhuǎn)360°為一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面一周。在其他實(shí)施例中可以采用其他的起始點(diǎn)劃分方式。

需要說明的是，在進(jìn)行修正時(shí)，當(dāng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)和第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述時(shí)鐘基準(zhǔn)包括若干個(gè)連續(xù)的第一測(cè)量周期和若干連續(xù)的第二測(cè)量周期，所述一個(gè)第一測(cè)量周期長度等于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間，每個(gè)第一測(cè)量周期中具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，所述一個(gè)第二測(cè)量周期的長度等于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間，每個(gè)第二測(cè)量周期中具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，且每個(gè)第二測(cè)量周期中測(cè)量節(jié)點(diǎn)的數(shù)量等于每個(gè)第一測(cè)量周期中測(cè)量節(jié)點(diǎn)的數(shù)量。一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，根據(jù)時(shí)鐘基準(zhǔn)中的第一測(cè)量周期測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干第一動(dòng)平衡偏移值，即一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)一周時(shí)，基于每個(gè)第一測(cè)量周期中的若干測(cè)量節(jié)點(diǎn)進(jìn)行若干 次的偏移值測(cè)量，獲得若干第一動(dòng)平衡偏移值；一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干第二動(dòng)平衡偏移值，即一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)一周時(shí)，基于每個(gè)第二測(cè)量周期中的若干測(cè)量節(jié)點(diǎn)進(jìn)行若干次的偏移值測(cè)量，獲得若干第二動(dòng)平衡偏移值。通過上述方法獲得的第一設(shè)定轉(zhuǎn)速下測(cè)量的第一動(dòng)平衡偏移值和第二設(shè)定轉(zhuǎn)速下測(cè)量的第二動(dòng)平衡偏移值的數(shù)量是相同的，并且每一個(gè)第一動(dòng)平衡偏移值與相應(yīng)的第二動(dòng)平衡偏移值均是對(duì)應(yīng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的同一位置，因而可以若干第一動(dòng)平衡偏移值和對(duì)應(yīng)第二動(dòng)平衡偏移值的差值可以精確的反應(yīng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)不同位置的動(dòng)平衡偏移量。

本實(shí)施例中，所述動(dòng)平衡偏移值為隨著時(shí)鐘基準(zhǔn)變化的若干數(shù)值。

本實(shí)施例中，由于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，動(dòng)平衡偏移值測(cè)量步驟是按時(shí)鐘基準(zhǔn)一個(gè)測(cè)量周期一個(gè)測(cè)量周期的進(jìn)行測(cè)量，由于一個(gè)測(cè)量周期等于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間，測(cè)量周期是連續(xù)的，每個(gè)測(cè)量周期內(nèi)具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，使得每一個(gè)測(cè)量周期內(nèi)的相同的測(cè)量節(jié)點(diǎn)對(duì)應(yīng)測(cè)量一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的同一位置動(dòng)平衡偏移值，因而一個(gè)測(cè)量周期內(nèi)的若干測(cè)量節(jié)點(diǎn)可以對(duì)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面一周的位置進(jìn)行標(biāo)記。

在一實(shí)施例中，所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)速度的范圍為0.1～1000krpm。

進(jìn)行步驟S503，進(jìn)行待轟擊位置獲得步驟，獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的第二表面上的待轟擊位置。

最大動(dòng)平衡偏移值表示一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)過程中一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面與質(zhì)量中心的距離最遠(yuǎn)。

在一實(shí)施例中，當(dāng)獲得若干第一動(dòng)平衡偏移值和若干第二動(dòng)平衡偏移值時(shí)，將一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面同一位置對(duì)應(yīng)的第一動(dòng)平衡偏移值和第二動(dòng)平衡偏移值相減獲得若干偏移值，偏移值最大值對(duì)應(yīng)的某一個(gè)第一動(dòng)平衡偏移值和某一個(gè)第二動(dòng)平衡偏移值為最大動(dòng)平衡偏移值。

獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的第二表面上的待轟擊位置即獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的目標(biāo)測(cè)量節(jié)點(diǎn)。

進(jìn)行步驟S504，進(jìn)行轟擊步驟，采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的聚光鏡的第二表面，去除部分聚光鏡材料

進(jìn)行轟擊步驟時(shí)，在某一個(gè)測(cè)量周期的目標(biāo)測(cè)量節(jié)點(diǎn)位置采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的聚光鏡的第二表面，去除部分聚光鏡材料。

在進(jìn)行轟擊步驟時(shí)，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)仍以前述進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值測(cè)量步驟時(shí)的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。

還包括：重復(fù)依次進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值測(cè)量步驟、待轟擊位置獲得步驟和轟擊步驟。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)動(dòng)平衡的修正裝置，請(qǐng)參考圖13，包括：

夾持單元(圖中未示出)，適于夾持一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215，并驅(qū)動(dòng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215按設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)；

偏移值測(cè)量單元403，測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面234的不同位置的對(duì)應(yīng)的動(dòng)平衡偏移值；

計(jì)算單元406，基于偏移值測(cè)量單元403獲得的若干動(dòng)平衡偏移值獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的第二表面上的待轟擊位置；

400轟擊單元，基于計(jì)算單元40獲得的待轟擊位置采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的聚光鏡的第二表面234，去除部分聚光鏡材料。

所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215包括聚光鏡214、與聚光鏡214的一體連接的電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217，所述聚光鏡214包括內(nèi)凹的第一表面233以及相對(duì)的第二表面234，第二表面234與電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217相連接，所述第一表面233包括偏心且傾斜的橢球形反射面以及包圍橢球形反射面的非反射面，還包括與所述電極驅(qū)動(dòng)軸217的一體連接的推力軸承230。關(guān)于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215具體描述請(qǐng)參考前述實(shí)施例相關(guān)部分的描述，在此不再贅述。

所述加持單元包括支撐單元和驅(qū)動(dòng)單元，所述支撐單元與推力軸承230連接，適于將一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215支撐懸空，所述驅(qū)動(dòng)單元適于驅(qū)動(dòng)所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)。在一實(shí)施例中，所述驅(qū)動(dòng)單元可以為電極，一體式旋轉(zhuǎn) 結(jié)構(gòu)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)軸217作為電極的轉(zhuǎn)動(dòng)軸。

所述修正裝置還包括：轉(zhuǎn)速測(cè)量單元405，適于測(cè)量一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)215的實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速，當(dāng)實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速與設(shè)定轉(zhuǎn)速存在差異時(shí)，向夾持單元發(fā)送調(diào)節(jié)反饋信號(hào)，所述加持單元在接收到調(diào)節(jié)反饋信號(hào)調(diào)節(jié)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)速到設(shè)定轉(zhuǎn)速。

所述轉(zhuǎn)速測(cè)量單元405還適于獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)按設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間，并將獲得的時(shí)間發(fā)送給控制單元。

還包括控制單元407，所述控制單元407與夾持單元、偏移值測(cè)量單元403、計(jì)算單元406、轟擊單元400和轉(zhuǎn)速測(cè)量單元405進(jìn)行通信，并向夾持單元、偏移值測(cè)量單元403、計(jì)算單元406、轟擊單元400和轉(zhuǎn)速測(cè)量單元405提供時(shí)鐘基準(zhǔn)。

所述控制單元407將一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)案設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間定義為一個(gè)測(cè)量周期。所述控制單元407向偏移值測(cè)量單元403提供的時(shí)鐘基準(zhǔn)中包括若干連續(xù)的測(cè)量周期，且每個(gè)測(cè)量周期內(nèi)具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)。具體請(qǐng)參考圖14，圖14為本發(fā)明一實(shí)施例時(shí)鐘基準(zhǔn)的部分結(jié)構(gòu)示意圖，所述時(shí)鐘基準(zhǔn)包括若干連續(xù)的測(cè)量周期T，且每個(gè)測(cè)量周期內(nèi)具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)。

所述一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)設(shè)置有起始位置檢測(cè)單元(可以通過光學(xué)的原理或其他合適的原理進(jìn)行檢測(cè))，在進(jìn)行修正時(shí)，用于檢測(cè)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)時(shí)的起始位置，在檢測(cè)到起始位置時(shí)，發(fā)出起點(diǎn)信號(hào)，控制單元407起點(diǎn)信號(hào)發(fā)出的時(shí)間決定時(shí)鐘基準(zhǔn)中第一個(gè)測(cè)量周期的開始時(shí)間。需要說明的是，本發(fā)明實(shí)施例中將測(cè)量周期中第一個(gè)測(cè)量節(jié)點(diǎn)對(duì)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面的某一位置動(dòng)平衡偏移值進(jìn)行測(cè)量，將該位置定義為一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面位置劃分的起始點(diǎn)，所述起始點(diǎn)作為一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面位置劃分的起始點(diǎn)，即從起始點(diǎn)旋轉(zhuǎn)360°為一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面一周。在其他實(shí)施例中可以采用其他的起始點(diǎn)劃分方式。

需要說明的是，在進(jìn)行修正時(shí)，當(dāng)一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)和第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述時(shí)鐘基準(zhǔn)包括若干個(gè)連續(xù)的第一測(cè)量周期 和若干連續(xù)的第二測(cè)量周期，所述一個(gè)第一測(cè)量周期長度等于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間，每個(gè)第一測(cè)量周期中具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，所述一個(gè)第二測(cè)量周期的長度等于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間，每個(gè)第二測(cè)量周期中具有若干等距的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，且每個(gè)第二測(cè)量周期中測(cè)量節(jié)點(diǎn)的數(shù)量等于每個(gè)第一測(cè)量周期中測(cè)量節(jié)點(diǎn)的數(shù)量。一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，偏移值測(cè)量單元403根據(jù)時(shí)鐘基準(zhǔn)中的第一測(cè)量周期測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干第一動(dòng)平衡偏移值，即一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)一周時(shí)，偏移值測(cè)量單元403基于每個(gè)第一測(cè)量周期中的若干測(cè)量節(jié)點(diǎn)進(jìn)行若干次的偏移值測(cè)量，獲得若干第一動(dòng)平衡偏移值；一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，偏移值測(cè)量單元403測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干第二動(dòng)平衡偏移值，即一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)一周時(shí)，偏移值測(cè)量單元403基于每個(gè)第二測(cè)量周期中的若干測(cè)量節(jié)點(diǎn)進(jìn)行若干次的偏移值測(cè)量，獲得若干第二動(dòng)平衡偏移值。

請(qǐng)繼續(xù)參考圖13，偏移值測(cè)量單元403基于測(cè)量節(jié)點(diǎn)進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值的測(cè)量操作，并輸出隨測(cè)量節(jié)點(diǎn)變化的若干測(cè)量的動(dòng)平衡偏移值，所述偏移值測(cè)量單元403輸出的動(dòng)平衡偏移值不僅包括測(cè)量值還包括與測(cè)量值對(duì)應(yīng)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)。

所述偏移值測(cè)量單元403固定不動(dòng)，并與一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面邊緣保持一定的距離，在一實(shí)施例中，請(qǐng)參考圖15，所述偏移值測(cè)量單元403包括光發(fā)射單403a、反射鏡403b和光接收單元403c，所述光發(fā)射單元403a適于發(fā)射檢測(cè)光，所述反射鏡403b將水平方向傳輸?shù)臋z測(cè)光轉(zhuǎn)化為垂直方向傳輸?shù)臋z測(cè)光，所述光接收單元403c適于接收反射光并產(chǎn)生電信號(hào)，并根據(jù)電信號(hào)計(jì)算獲得測(cè)量值。光接收單元403c上具有感光平面，感光平面由矩陣分布的若干光敏傳感器51構(gòu)成，在一實(shí)施例中每個(gè)光敏傳感器51尺寸可以為2um*2um大小，以保證測(cè)量精度在2um左右，在進(jìn)行修正時(shí)，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)214的邊緣會(huì)將部分垂直入射的檢測(cè)光擋住，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)214旋轉(zhuǎn)時(shí)不同位置的動(dòng)平衡偏移量是不同的，使得不同邊緣位置對(duì)垂直入射的檢測(cè) 光擋住的量是不同的，因而光接收單元403c的感光平面上接受的光斑52的大小和位置是不同的，通過測(cè)量光斑52的邊緣(靠近一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)一側(cè)的邊緣)與感光平面上預(yù)設(shè)邊框53(設(shè)置于感光平面上的遠(yuǎn)離一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的一側(cè))的距離D即可獲得若干測(cè)量值，若干測(cè)量值反應(yīng)了一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)在旋轉(zhuǎn)時(shí)不同位置對(duì)應(yīng)的動(dòng)平衡偏移值。需要說明的是，在其他實(shí)施例中，所述偏移值測(cè)量單元可以采用邁克爾遜干涉儀的原理或其他合適的測(cè)量方式進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值的測(cè)量。

一般認(rèn)為測(cè)量值越小，對(duì)應(yīng)的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的動(dòng)平衡偏移值越大。

由于一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的外部形貌肯能對(duì)測(cè)量值會(huì)有影響(即測(cè)量值越小的位置并不一定是質(zhì)量越重的位置)，為了提高修正的精度，可以在兩種轉(zhuǎn)速下分別進(jìn)行動(dòng)平衡偏移值的測(cè)量，具體包括：一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，偏移值測(cè)量單元403測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第一設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干第一動(dòng)平衡偏移值；一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)，第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)大于或小于第一設(shè)定轉(zhuǎn)速，偏移值測(cè)量單元403測(cè)量獲得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)以第二設(shè)定轉(zhuǎn)速勻速旋轉(zhuǎn)至少一周時(shí)第二表面的不同位置的對(duì)應(yīng)的若干第二動(dòng)平衡偏移值，第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的第二動(dòng)平衡偏移值的數(shù)量與第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的第一動(dòng)平衡偏移值的數(shù)量相同，且第二設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面的位置與第一設(shè)定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)時(shí)測(cè)量的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面的位置相同。

偏移值測(cè)量單元403獲得動(dòng)平衡偏移值后，將獲得的動(dòng)平衡偏移值發(fā)送給計(jì)算單元406，所述計(jì)算單元406計(jì)算獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)，該測(cè)量節(jié)點(diǎn)作為目標(biāo)測(cè)量節(jié)點(diǎn)。

當(dāng)具有第一動(dòng)平衡偏移值和第二動(dòng)平衡偏移值時(shí)，所述計(jì)算單元406將一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面同一位置對(duì)應(yīng)的第一動(dòng)平衡偏移值和第二動(dòng)平衡偏移值相減獲得若干偏移值，偏移值最大值對(duì)應(yīng)的某一個(gè)第一動(dòng)平衡偏移值和某一個(gè)第二動(dòng)平衡偏移值為最大動(dòng)平衡偏移值，并獲得該最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的測(cè)量節(jié)點(diǎn)。

所述計(jì)算單元406獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的第二表面上的待轟擊位置的過程包括：獲得最大動(dòng)平衡偏移值對(duì)應(yīng)的目標(biāo)測(cè)量節(jié)點(diǎn)，所述計(jì)算單元根據(jù)目標(biāo)測(cè)量節(jié)點(diǎn)獲得轟擊時(shí)間，并在轟擊時(shí)間時(shí)刻向轟擊單元400發(fā)送轟擊信號(hào)。

本實(shí)施例中，所述轟擊單元400位于偏移值測(cè)量單元403的正上方或正下方，使得一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面的位置分布相對(duì)于轟擊單元400和偏移值測(cè)量單元403是相同的，即轟擊單元400可以在至少一個(gè)測(cè)量周期后再經(jīng)過T2時(shí)刻進(jìn)行轟擊操作，即計(jì)算單元403在接收到起點(diǎn)信號(hào)后的(NT+T2)時(shí)刻(轟擊時(shí)間時(shí)刻)向轟擊單元400發(fā)送轟擊信號(hào)，使得轟擊時(shí)間的計(jì)算方式相對(duì)簡單，簡化了修正的過程。

在其他實(shí)施例中，當(dāng)轟擊單元403不是位于偏移值測(cè)量單元403的正上方或正下方時(shí)，由于轟擊單元403與偏移值測(cè)量單元403的位置是固定的，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的第二表面上的起始點(diǎn)從偏移值測(cè)量單元403對(duì)應(yīng)的位置旋轉(zhuǎn)到轟擊單元403對(duì)應(yīng)的位置的時(shí)間是固定的，每一個(gè)測(cè)量周期是以檢測(cè)到起始點(diǎn)作為開始，而目標(biāo)測(cè)量節(jié)點(diǎn)在每一個(gè)測(cè)量周期中的位置是已知的，在一實(shí)施例中，所述轟擊時(shí)間的計(jì)算方法為：當(dāng)T2≤S/V時(shí)，Th＝(S/V)-T2；當(dāng)T2＞S/V時(shí)，Th＝T1-(S/V)+T2，其中，Th表示轟擊時(shí)間，S表示一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的起始點(diǎn)從始點(diǎn)測(cè)量單元對(duì)應(yīng)的位置旋轉(zhuǎn)到轟擊單元403對(duì)應(yīng)的位置旋轉(zhuǎn)的角度，V表示一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的角速度，T2表示目標(biāo)測(cè)量節(jié)點(diǎn)距離與還測(cè)量周期開始位置的時(shí)間長度，T1表示一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)一周的時(shí)間。在檢測(cè)到初始位置后，經(jīng)過轟擊時(shí)間Th對(duì)應(yīng)的時(shí)間段時(shí)，計(jì)算單元406向轟擊單元403發(fā)送轟擊信號(hào)，相應(yīng)的一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)第二表面對(duì)應(yīng)的待轟擊位置旋轉(zhuǎn)到轟擊單元403對(duì)應(yīng)的位置。

所述轟擊單元403基于計(jì)算單元406獲得的待轟擊位置采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的聚光鏡的第二表面的過程包括：轟擊單元403在接收到轟擊信號(hào)時(shí)采用激光束轟擊待轟擊位置對(duì)應(yīng)的聚光鏡的第二表面，去除部分聚光鏡材料。

需要說明的是，本發(fā)明的其他實(shí)施例中，待轟擊位置和轟擊時(shí)刻的確定可以采用其他的方式。

參考圖16，通過本發(fā)明的修正方法，使得質(zhì)量偏重的區(qū)域250對(duì)應(yīng)的邊緣的部分聚光鏡材料被去除，如圖中形成凹陷255，從而減小了質(zhì)量偏重的區(qū)域250的質(zhì)量，一體式旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)214在旋轉(zhuǎn)使得旋轉(zhuǎn)中心和質(zhì)量中心重合，如圖中交點(diǎn)253。

雖然本發(fā)明披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。