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一種三明治對(duì)位圖形轉(zhuǎn)移工藝的制作方法

文檔序號(hào):12116386閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種三明治對(duì)位圖形轉(zhuǎn)移工藝,其特征在于,包括以下具體步驟:

a、制作底片,在底片BOT面邊緣繪制4~6個(gè)蝶形靶標(biāo),在底片TOP面邊緣繪制4~6個(gè)與BOT面的蝶形靶標(biāo)大小和位置相適應(yīng)的蝶形靶標(biāo)孔;

b、架底片,將底片TOP面層疊于BOT面之上;

c、三明治對(duì)位,將底片上繪制的蝶形靶標(biāo)對(duì)位至蝶形靶標(biāo)孔內(nèi)后對(duì)底片進(jìn)行固定;

d、上板定位,在底片TOP面與BOT面之間夾入SUS材料定位;

e、曝光和下板,將定位完成的底片進(jìn)行曝光處理后將SUS材料下板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三明治對(duì)位圖形轉(zhuǎn)移工藝,其特征在于,所述制作底片步驟中,所述蝶形靶標(biāo)呈實(shí)心十字形狀,所述蝶形靶標(biāo)孔呈空心十字形狀,所述蝶形靶標(biāo)與蝶形靶標(biāo)孔的內(nèi)心空隙相吻合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三明治對(duì)位圖形轉(zhuǎn)移工藝,其特征在于,所述上板定位步驟中,在底片TOP面與BOT面之間的單側(cè)邊緣處設(shè)置膠粘層以實(shí)現(xiàn)底片固定,形成三明治疊構(gòu)。

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