驅(qū)動(dòng)微反射鏡的方法和裝置制造方法
【專利摘要】微光刻投射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng)(10)中的微反射鏡陣列(22)的微反射鏡(24)，可關(guān)于兩個(gè)傾斜軸(x、y)通過各傾斜角度(αx、αy)傾斜。微反射鏡(24)被分配三個(gè)驅(qū)動(dòng)器(E1、E2、E3)，所述三個(gè)驅(qū)動(dòng)器可以通過控制信號(hào)(U1、U2、U3)被分別驅(qū)動(dòng)，從而使得微反射鏡(24)關(guān)于所述兩個(gè)傾斜軸(x、y)傾斜。規(guī)定兩個(gè)控制變量(SGx、SGy)，其每個(gè)被分配給一個(gè)傾斜軸(x、y)且其兩者被分配給未被干擾的傾斜角度(αx、αy)。對(duì)于兩個(gè)控制變量(SGx、SGy)的任何希望的組合，根據(jù)兩個(gè)控制變量(SGx、SGy)，選擇三個(gè)驅(qū)動(dòng)器中的一個(gè)驅(qū)動(dòng)器(E1)并將其控制信號(hào)(U1)設(shè)為常數(shù)值，具體地0。確定控制信號(hào)(U1、U2、U3)，使得當(dāng)控制信號(hào)(U1、U2、U3)被施加到其它兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器(E2、E3)時(shí)，微反射鏡(24)根據(jù)兩個(gè)控制變量(SGx、SGy)采用未被干擾傾斜角度(αx、αy)。
【專利說明】驅(qū)動(dòng)微反射鏡的方法和裝置
[0001] 本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2009年10月6日且發(fā)明名稱為"驅(qū)動(dòng)微反射鏡的方法和裝置" 的中國專利申請(qǐng)No. 200980139821. 0的分案申請(qǐng)。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] 本發(fā)明涉及用于驅(qū)動(dòng)微反射鏡的方法和裝置，所述微反射鏡用于微光刻投射曝光 設(shè)備的照明系統(tǒng)中，從而影響投射光的照明角度分布。

【背景技術(shù)】
[0003] 最近已設(shè)想對(duì)微光刻投射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng)使用包括多個(gè)可單獨(dú)驅(qū)動(dòng)的微反 射鏡的所謂的多反射鏡陣列（MMAS，也稱為微反射鏡陣列或微反射鏡矩陣），從而使照明系 統(tǒng)的投射光的單獨(dú)的子光束（sub-beam)朝不同方向分離。借助于微反射鏡，例如，投射光 的各個(gè)子光束可因此被指引到照明系統(tǒng)的光瞳表面的不同位置。由于照明系統(tǒng)的光瞳表面 中的強(qiáng)度分布關(guān)鍵性地影響投射光的照明角度分布，因此照明角度分布由于微反射鏡的可 單獨(dú)驅(qū)動(dòng)性而可被規(guī)定得更加靈活。尤其對(duì)于在光瞳表面中照明環(huán)形區(qū)域或多極的所謂非 傳統(tǒng)的照明設(shè)置，MMAs的使用能夠使照明角度分布適應(yīng)于各個(gè)情況，且尤其適應(yīng)于要被投 射的掩模，而例如不需要替換衍射光學(xué)元件。
[0004] 諸如半導(dǎo)體技術(shù)已知的，這樣的MMAs通常通過光刻方法被制造為微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)。典型的結(jié)構(gòu)尺寸有時(shí)為幾微米。這樣的系統(tǒng)的已知示例例如為，其微反射鏡可關(guān) 于兩端位置之間的軸被數(shù)字化傾斜MMAs。這樣的數(shù)字MMAs通常用于顯示圖像或影像的數(shù) 字投影儀中。
[0005] 然而為了在微光刻投射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng)中使用，MMAs的微反射鏡應(yīng)該能夠準(zhǔn) 連續(xù)地采用工作角度范圍內(nèi)的每個(gè)傾斜角度。具體地，微反射鏡應(yīng)該關(guān)于兩個(gè)傾斜軸為可 傾斜的。因此，例如存在已知的微反射鏡，該微反射鏡的反射鏡表面以通用懸掛的方式被安 裝，且可借助于驅(qū)動(dòng)器關(guān)于兩個(gè)傾斜軸被傾斜。驅(qū)動(dòng)器例如可被構(gòu)造為靜電或電磁驅(qū)動(dòng)器。 在已知的具有靜電驅(qū)動(dòng)器的布置中，具有兩個(gè)傾斜軸的微反射鏡被安裝在四個(gè)控制電極之 上并且在其背側(cè)具有配位電極或反射鏡電極。當(dāng)電壓被施加到控制電極與配位電極之間 時(shí)，在它們之間由于靜電吸引產(chǎn)生引力作用。依據(jù)被驅(qū)動(dòng)的電極，每個(gè)傾斜軸被分配兩個(gè)相 對(duì)的控制電極，且微反射鏡可朝一個(gè)方向或其它方向傾斜。通過關(guān)于兩個(gè)傾斜軸傾斜的各 種組合，反射鏡可傾斜進(jìn)入工作角度范圍內(nèi)的任何位置。
[0006] 為了驅(qū)動(dòng)單獨(dú)的驅(qū)動(dòng)器，每個(gè)驅(qū)動(dòng)器需要其自己的電壓或電流供應(yīng)線以及與之 連接的驅(qū)動(dòng)電路。為了減小費(fèi)用以及實(shí)現(xiàn)MMAs中的微反射鏡的最大的高排列密度，US 2003/0189389因此提出一種采用三個(gè)驅(qū)動(dòng)器的系統(tǒng)。然而由于當(dāng)采用三個(gè)驅(qū)動(dòng)器時(shí)單獨(dú)的 驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)不再獨(dú)立地按單個(gè)傾斜軸動(dòng)作，采用一種方法，通過該方法可從關(guān)于兩個(gè)傾 斜軸傾斜的兩個(gè)控制變量確定驅(qū)動(dòng)器的三個(gè)控制信號(hào)。在此方法中，通過采用線性方程系 統(tǒng)，從兩個(gè)控制變量計(jì)算得到三個(gè)控制信號(hào)。方程系統(tǒng)的解集被各種限制條件限制。例如， 此轉(zhuǎn)換的一個(gè)要求在于兩個(gè)控制變量分別引起關(guān)于彼此獨(dú)立的相關(guān)傾斜軸的傾斜。另一限 制條件在于由三個(gè)驅(qū)動(dòng)器施加到微反射鏡上的總力要保持為常數(shù)。
[0007] 由于微光刻投射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng)中的微反射鏡的使用對(duì)反射鏡對(duì)準(zhǔn)的準(zhǔn)確 性提出非常多的需要，因此，在此系統(tǒng)中，為驅(qū)動(dòng)器提供可變的控制信號(hào)的信號(hào)放大器，諸 如高壓輸出級(jí)，也必須在信號(hào)穩(wěn)定性以及可重復(fù)性方面滿足最嚴(yán)格的要求。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 因此，本發(fā)明的目的是提供用于驅(qū)動(dòng)微反射鏡的方法和裝置，借助于該方法和裝 置用于驅(qū)動(dòng)微反射鏡的驅(qū)動(dòng)器的費(fèi)用可被進(jìn)一步降低。
[0009] 關(guān)于方法，根據(jù)本發(fā)明通過提供微反射鏡陣列實(shí)現(xiàn)此目的，微反射鏡陣列布置于 微光刻透射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng)中且包括微反射鏡。微反射鏡可關(guān)于兩個(gè)傾斜軸通過各傾 斜角度傾斜。微反射鏡此外被分配有三個(gè)驅(qū)動(dòng)器，該三個(gè)驅(qū)動(dòng)器可通過控制信號(hào)被分別驅(qū) 動(dòng)，從而使得微反射鏡關(guān)于兩個(gè)傾斜軸傾斜。兩個(gè)控制變量隨后被規(guī)定，每個(gè)被分配給一 個(gè)傾斜軸且其兩者被分配給未被干擾傾斜角度。接著，對(duì)于兩個(gè)控制變量的任何希望的組 合，根據(jù)兩個(gè)控制變量，三個(gè)驅(qū)動(dòng)器中的一個(gè)被選擇且其控制信號(hào)被設(shè)為常數(shù)值，具體地為 0?？刂菩盘?hào)隨后被確定，使得當(dāng)控制信號(hào)被施加到其它兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器時(shí)，微反射鏡根據(jù)兩個(gè) 控制變量采用未被干擾傾斜角度。最后，控制信號(hào)被施加到驅(qū)動(dòng)器。
[0010] 因此，根據(jù)本發(fā)明，對(duì)于可通過三個(gè)驅(qū)動(dòng)器關(guān)于兩個(gè)傾斜軸傾斜的微反射鏡，選擇 將被分配給關(guān)于傾斜軸的傾斜角度的兩個(gè)控制變量轉(zhuǎn)換成三個(gè)控制信號(hào)，使得在每種情況 下驅(qū)動(dòng)器中的一個(gè)接收設(shè)為0或至少設(shè)為常數(shù)的控制信號(hào)。這樣，為了驅(qū)動(dòng)特定的傾斜角 度組合，分別僅需要兩個(gè)信號(hào)放大器，該兩個(gè)信號(hào)放大器產(chǎn)生對(duì)應(yīng)改變的控制信號(hào)并將它 們施加到其它兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器。其控制信號(hào)被設(shè)為常數(shù)（具體地被設(shè)為0)的驅(qū)動(dòng)器例如通過簡 單的多路電路可被設(shè)為預(yù)定值。此預(yù)定值通過信號(hào)放大器可被選擇為對(duì)微反射鏡陣列的微 反射鏡的所有組均相等，使得對(duì)于每個(gè)單獨(dú)的微反射鏡總共需要小于三個(gè)的信號(hào)放大器。 [0011] 控制變量被優(yōu)選線性分配為未被干擾傾斜角度，這是因?yàn)榻?jīng)由三個(gè)驅(qū)動(dòng)器的微反 射鏡的驅(qū)動(dòng)通過這樣的分配就在先步驟而言（例如控制和調(diào)節(jié)算法）更加簡單。
[0012] 其控制信號(hào)被設(shè)為常數(shù)值（具體地被設(shè)為0)的驅(qū)動(dòng)器可被選擇，通過將具有方向 的二維控制變量向量分配給兩個(gè)控制變量，該兩個(gè)控制變量被分配到關(guān)于兩個(gè)傾斜軸的未 被干擾的傾斜角度。有效傾斜向量被進(jìn)一步分配給每個(gè)單獨(dú)的驅(qū)動(dòng)器，且隨后驅(qū)動(dòng)器被選 擇，該驅(qū)動(dòng)器的有效傾斜向量的方向與控制變量向量的方向不直接相鄰。這使得可以將二 維控制變量向量表示為兩個(gè)直接相鄰的有效傾斜向量的線性組合。不直接相鄰的并且具有 與控制變量向量相反的分量的有效傾斜向量因此從線性組合被去除。不直接相鄰的有效傾 斜向量的方向也旨在包括其中控制變量向量和有效傾斜向量相符且驅(qū)動(dòng)器的控制信號(hào)均 因此被設(shè)為0的情況。
[0013] 驅(qū)動(dòng)器的前述有效傾斜向量在此情況下由控制變量獲得，該控制變量被分配給當(dāng) 僅此驅(qū)動(dòng)器被驅(qū)動(dòng)時(shí)微反射鏡采用的未被干擾的傾斜角度。有效傾斜向量因此表示每個(gè)單 獨(dú)的驅(qū)動(dòng)器影響微反射鏡的傾斜的方式，即，如何烈地影響以及在哪個(gè)方向上影響。
[0014] 替代由設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)確定有效傾斜向量，通過測量確定有效傾斜向量是有利的。制造 微反射鏡以及各分配的驅(qū)動(dòng)器時(shí)的制造公差將由此被考慮。
[0015] 在前述方法中，控制變量向量以及有效傾斜向量的方向優(yōu)選根據(jù)下式確定：
[0016]

【權(quán)利要求】
1. 一種驅(qū)動(dòng)微反射鏡（24)的方法，包括下面的步驟： a) 提供微反射鏡陣列（22)，其布置于微光刻投射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng)（10)中且包括 所述微反射鏡（24)，所述微反射鏡（24)可關(guān)于兩個(gè)傾斜軸（x、y)通過各傾斜角度（a x、 ay)傾斜，且所述微反射鏡（24)被分配三個(gè)驅(qū)動(dòng)器（Ei、E2、E 3)，所述三個(gè)驅(qū)動(dòng)器（Ei、E2、E3) 可通過控制信號(hào)（UpU 2、U3)被分別驅(qū)動(dòng)，從而使得所述微反射鏡（24)關(guān)于所述兩個(gè)傾斜軸 (x、y)傾斜； b) 規(guī)定兩個(gè)控制變量（SGX、SGy)，其每個(gè)被分配給一個(gè)傾斜軸（x、y)且其兩者被分配 給未被干擾的傾斜角度（a x、a y); c) 對(duì)于所述兩個(gè)控制變量（SGx、SGy)的任何希望的組合，根據(jù)所述兩個(gè)控制變量（SG X、 SGy)，選擇所述三個(gè)驅(qū)動(dòng)器中的一個(gè)驅(qū)動(dòng)器（E1)并將其控制信號(hào)（U 1)設(shè)為常數(shù)值，具體地 〇 ； (1)確定所述控制信號(hào)卬1、％、舊，使得當(dāng)所述控制信號(hào)卬1、％、叫被施加到其它兩個(gè) 驅(qū)動(dòng)器（E2、E3)時(shí)，所述微反射鏡（24)根據(jù)所述兩個(gè)控制變量（SGX、SG y)采用所述未被干 擾傾斜角度； e)將所述控制信號(hào)（HU3)施加到所述驅(qū)動(dòng)器（Ei、E2、E 3)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1的所述方法，其特征在于所述控制變量（SGX、SGy)被線性分配給所 述未被干擾的傾斜角度（a x、a y)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求I或2的所述方法，其特征在于通過將具有方向（0)的二維控制 變量向量（SGV)分配給所述兩個(gè)控制變量（SG X、SGy)，所述兩個(gè)控制變量（SGX、SGy)被分 配給關(guān)于所述兩個(gè)傾斜軸（x、y)的所述未被干擾的傾斜角度（a x、a y)，將有效傾斜向量 (Wl，w2，w3)分配給每個(gè)單獨(dú)的驅(qū)動(dòng)器低、E 2、E3)，隨后選擇所述驅(qū)動(dòng)器（E1),所述驅(qū)動(dòng)器 (E1)的有效傾斜向量（W 1)的方向（0)與所述控制變量向量（SGV)的方向（0)不直接相 鄰，從而在步驟c)中選擇其控制信號(hào)（U 1)被設(shè)為常數(shù)，具體地被設(shè)為0的驅(qū)動(dòng)器（E1),。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)器（Ei、E2、E3)的所述有效傾斜向 量（ Wl，w2, W3)從所述控制變量（SGX、SGy)獲得，所述控制變量（SG X、SGy)被分配給當(dāng)僅此驅(qū) 動(dòng)器（Ep E2、E3)被驅(qū)動(dòng)時(shí)所述微反射鏡（24)采用的所述未被干擾的傾斜角度（ax、a y)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于所述有效傾斜向量（Wl，w2, w3)通過測量確 定。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于所述控制變量向量（SGV)以及所述有效傾 斜向量（W1, W2, W3)的方向根據(jù)下式被確定：
其中SGx和SGy是分配給關(guān)于各個(gè)傾斜軸（x、 y)的所述未被干擾的傾斜角度（a x、a y) 的所述控制變量（SGx、SGy)，且0表示所述各個(gè)向量與方向y所成角度，所述方向y與所述 兩個(gè)傾斜軸（x、y)中的一個(gè)一致。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于所述驅(qū)動(dòng)器（Ei、E2、E3)以三重對(duì)稱性 被布置。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于第一驅(qū)動(dòng)器（E1)的所述有效傾斜向量 (W1)的方向與方向y在排列角度(p內(nèi)一致，所述第二驅(qū)動(dòng)器（E2)的有效傾斜向量（W2)與 所述第一驅(qū)動(dòng)器（E1)的所述有效傾斜向量（W1)實(shí)質(zhì)上成120°，所述第三驅(qū)動(dòng)器（E3)的 有效傾斜向量（W3)與所述第二驅(qū)動(dòng)器（E2)的所述有效傾斜向量（W2)實(shí)質(zhì)上成120°，其 特征還在于所述控制變量向量（SGV)的方向0被確定，且隨后所述第三驅(qū)動(dòng)器（E3)被選 擇
，所述第一驅(qū)動(dòng)器（E1)被選擇
且所述第二驅(qū)動(dòng)器 (E2)隨后被選擇
9. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于在步驟b)中通過控制算法￠2)、調(diào)節(jié) 算法（58)或組合的控制和調(diào)節(jié)算法（54)由設(shè)置點(diǎn)傾斜角度確定所述兩個(gè)控制變量（SGX、 SGy)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于規(guī)定目標(biāo)傾斜角度以及包括一系列的設(shè) 置點(diǎn)傾斜角度的軌跡，所述軌跡表示實(shí)際傾斜角度向所述目標(biāo)傾斜角度的轉(zhuǎn)變，微反射鏡 瞬時(shí)通過所述實(shí)際傾斜角度傾斜。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于當(dāng)確定所述設(shè)置點(diǎn)傾斜角度時(shí)考慮校準(zhǔn) 數(shù)據(jù)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于所述兩個(gè)控制變量（SGx、SGy)通過所述調(diào) 節(jié)算法（58)被規(guī)定或由此被修正，所述調(diào)節(jié)算法（58)接收調(diào)節(jié)差異，所述調(diào)節(jié)差異由所述 設(shè)置點(diǎn)傾斜角度以及監(jiān)控系統(tǒng)（60)測得的實(shí)際傾斜角度的負(fù)反饋確定，微反射鏡瞬時(shí)通 過所述實(shí)際傾斜角度傾斜。
13. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于通過借助于采用反向系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)模型的 預(yù)測控制算法￠2)將所述兩個(gè)控制變量（SGX、SGy)分配給所述設(shè)置點(diǎn)傾斜角度，從而所述 兩個(gè)控制變量（SGX、SGy)被規(guī)定。
14. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于在步驟c)和d)中包括下面的步驟： 根據(jù)分配表，對(duì)于給定控制變量（SGX、SGy)，確定所述控制信號(hào)（UpU2、U3)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于通過將各控制信號(hào)（UpU2、U3)施加到所 述驅(qū)動(dòng)器（EpE2、E3)，測量因此導(dǎo)致的所述傾斜角度（ax、Ciy)并隨后將所述兩個(gè)控制變 量（SGX、SGy)線性分配給所述導(dǎo)致的傾斜角度（ax、ay)，當(dāng)所述控制信號(hào)（UpU2、U3)被施 加時(shí)，一個(gè)控制信號(hào)（UpU2、U3)被分別保持為常數(shù)，具體地0,從而所述兩個(gè)控制變量（SGX、 SGy)與所述三個(gè)控制信號(hào)（UpU2、U3)之間的所述分配表在參數(shù)化階段被編譯。
16. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于在步驟c)和d)中包括下面的步驟： 借助于使用參數(shù)向量的計(jì)算法則，對(duì)給定的控制變量（SGX、SGy)確定控制信號(hào)。
17. 根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于通過從傾斜角度（ax、ay)與所述三個(gè) 驅(qū)動(dòng)器（EpE2、E3)的所述控制信號(hào)叫、U2、U3)之間的至少3個(gè)分配的估算，從而所述參數(shù) 向量在參數(shù)化階段被確定，通過將各控制信號(hào)（UpU2、U3)施加到驅(qū)動(dòng)器（EpE2、E3)并且測 量由此導(dǎo)致的傾斜角度（ax、ay)，從而確定所述至少3個(gè)分配。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17中的任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于所述參數(shù)向量通過最小二乘 估算器被估算。
19. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于所述微反射鏡（24)可分別采用至少 3個(gè)關(guān)于所述傾斜軸（x、y)的不同的傾斜角度（ax、ay)。
20. -種用于驅(qū)動(dòng)微反射鏡（24)的驅(qū)動(dòng)電子裝置（39)，所述微反射鏡（24)包含在微 反射鏡陣列（22)中，所述微反射鏡陣列布置在微光刻透射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng)（10)中，所 述微反射鏡（24)具有兩個(gè)傾斜軸（x、y)且三個(gè)驅(qū)動(dòng)器（EpE2、E3)被分配到所述微反射鏡 (24)，從而使得所述微反射鏡（24)關(guān)于所述兩個(gè)傾斜軸（x、y)傾斜，且所述驅(qū)動(dòng)電子裝置 (39)包括： a) 轉(zhuǎn)換器（46)，具有控制變量（SGX、SGy)的輸入，所述控制變量（SGX、SGy)被分配給關(guān) 于所述兩個(gè)傾斜軸（x、y)的未被干擾的傾斜角度（ax、Ciy)， b) 兩個(gè)信號(hào)放大器（50、52)，其可通過所述轉(zhuǎn)換器（46)被控制，以及 c) 切換單元（48)，通過所述切換單元（48)，控制信號(hào)（UpU2、U3)可被施加到所述三個(gè) 驅(qū)動(dòng)器（E1、E2、E3), 其特征在于， d) 根據(jù)施加到所述轉(zhuǎn)換器（46)的輸入的所述控制變量（SGX、SGy)，所述三個(gè)驅(qū)動(dòng)器 (E"E2、E3)中的一個(gè)驅(qū)動(dòng)器的所述控制信號(hào)（U"U2、U3)可借助于所述轉(zhuǎn)換器（46)以及所 述切換單元（48)可被設(shè)為常數(shù)值，具體地0,以及 e) 所述其它兩個(gè)控制信號(hào)（UpU2、U3)可借助于所述轉(zhuǎn)換器（46)、所述切換單元（48)以 及所述兩個(gè)信號(hào)放大器（50、52)被施加到所述驅(qū)動(dòng)器（EpE2、E3),使得所述微反射鏡（24) 采用所述未被干擾的傾斜角度（ax、ay)，關(guān)于所述兩個(gè)傾斜軸（x、y)的所述未被干擾的傾 斜角度（ax、ay)分配給所述控制變量（SGX、SGy)。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的驅(qū)動(dòng)電子裝置（39)，其特征在于所述轉(zhuǎn)換器（46)的控 制變量（SGX、SGy)的輸入連接到控制系統(tǒng)（62)、調(diào)節(jié)系統(tǒng)（58)或組合的控制和調(diào)節(jié)系統(tǒng) (54)，通過所述控制系統(tǒng)（62)、所述調(diào)節(jié)系統(tǒng)（58)或所述組合的控制和調(diào)節(jié)系統(tǒng)（54)可由 設(shè)置點(diǎn)傾斜角度確定所述控制變量（SGX、SGy)。
22. 根據(jù)權(quán)利要求20或21所述的驅(qū)動(dòng)電子裝置（39)，其特征在于所述轉(zhuǎn)換器（46)包 括用于分配表的存儲(chǔ)器（45)，由所述分配表，根據(jù)施加到所述轉(zhuǎn)換器（46)的輸入的所述控 制變量（SGx、SGy)，可確定所述三個(gè)驅(qū)動(dòng)器（Ei、E2、E3)的所述控制信號(hào)（Ui、U2、U3)。
23. 根據(jù)權(quán)利要求20或21所述的驅(qū)動(dòng)電子裝置（39)，其特征在于所述轉(zhuǎn)換器（46)包 括計(jì)算單元（47)，通過所述計(jì)算單元（47)借助于使用參數(shù)向量的計(jì)算法則，根據(jù)施加到所 述轉(zhuǎn)換器（46)的所述輸入的所述控制變量（SGX、SGy)，可計(jì)算所述三個(gè)驅(qū)動(dòng)器（EpE2、E3) 的所述控制信號(hào)叫、U2、U3)。
24. 微反射鏡系統(tǒng)，具有根據(jù)權(quán)利要求20至23中的任一項(xiàng)所述的驅(qū)動(dòng)電子裝置（39) 以及微反射鏡（24)，所述微反射鏡（24)包含在所述微反射鏡陣列（22)中，所述微反射鏡陣 列（22)布置在微光刻透射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng)（10)中，所述微反射鏡（24)具有兩個(gè)傾斜 軸且三個(gè)驅(qū)動(dòng)器（EpE2、E3)被分配到所述微反射鏡（24)，從而使得所述微反射鏡（24)關(guān) 于所述兩個(gè)傾斜軸（x、y)傾斜。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK104267495SQ201410453043
【公開日】2015年1月7日 申請(qǐng)日期:2009年10月6日 優(yōu)先權(quán)日:2008年10月8日
【發(fā)明者】簡.霍恩, 克里斯琴.肯普特 申請(qǐng)人:卡爾蔡司Smt有限責(zé)任公司