專利名稱：用于壓印工藝的光敏樹脂組合物以及用于在基板之上形成有機(jī)層的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于壓印工藝的光敏樹脂組合物以及一種使用該組合物在基板 之上形成有機(jī)層的方法。
背景技術(shù)：
近來，人們已經(jīng)廣泛使用微光刻術(shù)工藝來在LCD制造工藝和半導(dǎo)體制造工藝中形 成微圖案。 在光刻術(shù)工藝中，根據(jù)在曝光工藝中所使用的光的波長來確定設(shè)計規(guī)則(用于圖 案行寬)。因此，從當(dāng)前的技術(shù)水平來判斷，非常難于使用光刻術(shù)工藝來在基板上形成超微 圖案，例如，具有l(wèi)OOnm或者lOOnm以下的設(shè)計規(guī)則的超微圖案。 此外，要使用昂貴的曝光設(shè)備等來使圖案達(dá)到超微，這需要高昂的初期投資并且 顯著提高了高分辨掩模的價格，由此減少了該技術(shù)的優(yōu)點。 而且，由于每當(dāng)形成圖案時就必須執(zhí)行曝光、曝光后烘焙、顯影、顯影后烘焙、蝕
刻、清潔工藝等，因此需要相當(dāng)多的處理時間并且工藝會變得非常復(fù)雜。 為了克服這些局限，美國普林斯頓大學(xué)的St印hen Chou等開發(fā)了作為新型工藝的
壓印工藝，以壓印出第一個納米級圖案。該壓印工藝是一種用于形成圖案的方法，其涉及在
相對高強(qiáng)度材料的表面上預(yù)形成所需形狀，然后將該材料沖壓在另一材料上以形成圖案，
或者制備一其上形成有所期望的圖案的模子，將該模子粘接到涂覆在金屬膜或有機(jī)膜上的
可固化組合物，以及對所結(jié)合的模子和組合物進(jìn)行熱固化或光固化，并且該壓印工藝?yán)?br> 簡化工藝以及形成超微圖案。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實施方式提供了一種用于壓印以形成具有改善的恢復(fù)力、抗化學(xué)性、耐 熱性、尺寸穩(wěn)定性以及固化強(qiáng)度的有機(jī)膜的光敏樹脂組合物，以及一種使用該組合物在基 板上來形成有機(jī)膜的方法。 本發(fā)明的實施方式還提供了 一種用于壓印的光敏樹脂組合物，其包含由下列式1 、 2和3之一所表示的赤藻糖醇基單體或者低聚物。
式1)
<formula>formula see original document page 5</formula> 式2)
式3)
其中，R1、R2、R3和R4各自選自于由羥基、氫、烷基以及丙烯酸酯所組成的群組中，
R5、 R6、 R7和R8各自選自于由羥基、氫、烷基以及丙烯酸酯所組成的群組中，并且R9、 RIO、
R11、R12、R13和R14各自選自于由羥基、氫、烷基以及丙烯酸酯所組成的群組中。 在一個實施方式中，一種用于在基板上形成有機(jī)膜的方法包括在基板上設(shè)置光
敏樹脂組合物；在光敏樹脂上設(shè)置模制框架來形成預(yù)圖案；以及曝光形成預(yù)圖案的所述光
敏樹脂組合物來使其固化。 在另一個實施方式中，一種用于壓印的光敏樹脂組合物可包含一種赤藻糖醇基單 體或者低聚物。 因此，采用根據(jù)這些實施方式的用于壓印的光敏樹脂組合物所形成的有機(jī)膜具有 改善的恢復(fù)力、抗化學(xué)性、耐熱性、尺寸穩(wěn)定性以及固化強(qiáng)度。 因此，根據(jù)這些實施方式的光敏樹脂組合物適于壓印工藝，并且這些實施方式提 供了一種用于在基板上簡單地形成包括微圖案的有機(jī)膜的方法。 在以下附圖和描述中解釋了一個或多個實施方式的詳細(xì)情況。從該描述和附圖以 及從權(quán)利要求書中，其它特征也將清楚可見。


圖1至圖4為圖解了使用根據(jù)本發(fā)明實施方式的光敏樹脂組合物來在基板上形成 有機(jī)膜的工藝的視圖。
具體實施例方式
在實施方式的描述中，應(yīng)當(dāng)理解，當(dāng)將基板、膜或者層提及為在各個基板、膜或者 層"上"或者"下"時，其可為直接地在另一基板、另一膜或者另一層"上"或者"下"，或者間 接地在另一基板、另一膜或者另一層"上"或者"下"。將參照附圖來描述各個元件的上或下。 為了描述可夸大各個元件在附圖中的尺寸，這并不意味著該尺寸為實際上所應(yīng)用的尺寸。
在本發(fā)明的一實施方式中，一種用于壓印的光敏樹脂組合物包含由下列式1、2和 3之一所表示的赤藻糖醇基單體或低聚物；一種乙烯基單體；一種具有至少兩個乙烯基雙 鍵的交聯(lián)劑；以及光聚合引發(fā)劑。
式1)
R2 式2)
式3)
其中，R1、R2、R3和R4各自選自于由羥基、氫、烷基以及丙烯酸酯所組成的群組中，
6R5、 R6、 R7和R8各自選自于由羥基、氫、烷基以及丙烯酸酯所組成的群組中，并且R9、 RIO、
R11、R12、R13和R14各自選自于由羥基、氫、烷基以及丙烯酸酯所組成的群組中。 在本發(fā)明的一實施方式中，R1至R14各自選自于由羥基、氫、甲基以及丙烯酸酯所
組成的群組中。 在本發(fā)明的一實施方式中，R1至R14各自選自于由羥基、氫、甲基以及下列式4所
組成的群組中。
式4)
<formula>formula see original document page 7</formula>
在式4中，R15可選自于氫或者烷基。更具體而言，R15可為氫或者甲基。 —種根據(jù)本發(fā)明一實施方式的用于壓印的光敏樹脂組合物包含通過由式1、2或3
所表示的單體或低聚物的聚合所形成的共聚物。 在本發(fā)明的一實施方式中，所述赤藻糖醇基單體、低聚物或共聚物的含量為該組合物重量的約1%至約20%。 更優(yōu)選地，所述赤藻糖醇基單體、低聚物或共聚物的含量為該組合物重量的約1%至約10%。 特別是，當(dāng)所述赤藻糖醇基單體、低聚物或共聚物的量低于該組合物重量的1%時，不僅很難提高其恢復(fù)力，而且很難預(yù)料到其固化強(qiáng)度和對酸或堿的混合物的抵抗能力可同時得到改善。 此外，當(dāng)所述赤藻糖醇基單體、低聚物或共聚物的量大于該組合物重量的20%時，可引起所述光敏樹脂組合物的粘度增大以及其與下膜的粘附力變差。 所述赤藻糖醇基單體、低聚物或共聚物的具體示例可為赤藻糖醇、單丙烯酸赤藻糖醇酯、二丙烯酸赤藻糖醇酯、三丙烯酸赤藻糖醇酯、四丙烯酸赤藻糖醇酯、季戊四醇、單丙烯酸季戊四醇酯、二丙烯酸季戊四醇酯、三丙烯酸季戊四醇酯、四丙烯酸季戊四醇酯、二赤藻糖醇、單丙烯酸二赤藻糖醇酯、二丙烯酸二赤藻糖醇酯、三丙烯酸二赤藻糖醇酯、四丙烯
酸二赤藻糖醇酯、五丙烯酸二赤藻糖醇酯、六丙烯酸二赤藻糖醇酯、二季戊四醇、單丙烯酸二季戊四醇酯、二丙烯酸二季戊四醇酯、三丙烯酸二季戊四醇酯、四丙烯酸二季戊四醇酯、
五丙烯酸二季戊四醇酯、六丙烯酸二季戊四醇酯、或者其衍生物、或者其酯化合物、或者其甲基丙烯酸酯。這些材料也可單獨(dú)使用或者至少其兩種混合使用，以制備用于壓印的光敏樹脂組合物。 在本發(fā)明的一實施方式中，所述乙烯基單體的含量為該組合物重量的約9%至約80%。 更優(yōu)選地，所述乙烯基單體的含量為該組合物重量的約20%至約60% 。 當(dāng)乙烯單體的量小于該組合物重量的約10%時，由于光敏樹脂組合物所形成的有
機(jī)膜不具有足夠的分子量，因而其強(qiáng)度會減小。此外，當(dāng)乙烯單體的量大于該組合物重量的約80%時，由于未反應(yīng)的光敏樹脂組合物的量增加，因而該有機(jī)膜會顯著地收縮。 所述乙烯單體的具體示例可為丙烯酸異丁酯、丙烯酸叔丁酯、丙烯酸月桂醇酯、甲
基丙烯酸甲酯、丙烯酸烷酯、丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸芐酯、丙烯酸芐
酯、2-羥基丙烯酸酯、丙烯酸三甲氧基丁酯、丙烯酸乙基卡必醇酯、丙烯酸苯氧基乙酯、丙
烯酸4-羥基丁酯、丙烯酸苯氧基聚乙二醇酯、丙烯酸2-羥基乙酯、丙烯酸2-羥基丙酯、酞
酸2_丙氧基乙基_2_羥基丙酉旨(2-acryloxyethyl-2-hydroxypropylphthalate)、丙烯酸
2-羥基-3-苯氧基丙酯(2-hydroxy-3-phenoxypropylacrylate)、以及其甲基丙烯酸酯。此
外，它們還包括包含鹵代化合物的丙烯酸酯，例如丙烯酸3-氟乙酯和丙烯酸4-氟丙酯，以
及其甲基丙烯酸酯。它們包括包含硅氧烷基的丙烯酸酯，例如丙烯酸三乙基硅氧基乙酯，以
及其甲基丙烯酸酯。它們還包括包含芳基的烯烴，例如苯乙烯和4-甲氧基苯乙烯。這些材
料可單獨(dú)使用或者至少其兩種以上混合使用，以制備用于壓印的光敏樹脂組合物。 在本發(fā)明的一實施方式中，所述交聯(lián)劑的含量為該組合物重量的約9%至約
80%。 更優(yōu)選地，所述交聯(lián)劑的含量為該組合物重量的約20%至約60%。當(dāng)交聯(lián)劑的量小于該組合物重量的約10%時，由光敏樹脂組合物所形成的有機(jī)膜的固化程度不夠，引起了圖案的不完全形成。此外，當(dāng)交聯(lián)劑的量大于該組合物重量的80%時，有機(jī)膜的固化程度會過度增大，或者可出現(xiàn)光敏樹脂組合物的不完全反應(yīng)。 所述交聯(lián)劑的具體示例可為丙烯酸1，4-丁二醇酯、二丙烯酸1，3-丁二醇酯、二丙烯酸聚乙二醇酯、三丙烯酸山梨醇酯、二丙烯酸雙酚A酯衍生物、三丙烯酸三甲基丙酯、或者其甲基丙烯酸酯。這些材料可單獨(dú)使用或者至少其兩種以上混合使用，以制備用于壓印的光敏樹脂組合物。 在本發(fā)明的一實施方式中，所述光聚合引發(fā)劑的含量為該組合物重量的約0. 1%至10%。 更優(yōu)選地，所述光聚合引發(fā)劑的含量為該組合物重量的約1%至6%。當(dāng)所述光聚合引發(fā)劑的量小于組合物重量的約O. 1%時，所述光敏樹脂組合物的光固化速度降低。此外，當(dāng)所述光聚合引發(fā)劑的量大于組合物重量的約10%時，所要形成的有機(jī)膜的性質(zhì)、透射率或者固化幅度(curingmargin)可由于光敏樹脂組合物的反應(yīng)抑制效應(yīng)出現(xiàn)而變差。
所述光聚合引發(fā)劑的具體示例可為苯乙酮基化合物，例如，2，2' -二乙氧基苯乙酮、2， 2' - 二丁氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基苯丙酮、p-t- 丁基三氯苯乙酮、p-t- 丁基二氯苯乙酮、二苯甲酮、4-氯苯乙酮、4，4' _二甲氨基二苯甲酮、4，4' _二氯二苯甲酮、3，3' -二甲基-2-甲氧基二苯甲酮、2，2' -二氯_4-苯氧基苯乙酮、2-甲基-1-(4-(甲基硫代)苯基)-2-嗎啉丙-l-酮、以及2-節(jié)基-2-二甲氨基-l-(4-嗎啉苯基)-丁-l-酮。它們還包括二苯甲酮基化合物，例如，二苯甲酮、苯甲酰苯甲酸、苯甲酰苯甲酸甲酯(benzoylbenzoic acid methyl) 、4-苯基二苯甲酮、羥基二苯甲酮、丙烯酸二苯甲酮、4，4' _二 (二甲氨基)二苯甲酮、以及4，4' _二 (二乙氨基)二苯甲酮。它們還包括噻噸酮基化合物，例如噻噸酮、2-cro1噻噸酮(2-crolthioxanthone) 、2-甲基噻噸酮、異丙基噻噸酮、2， 4-二乙基噻噸酮、以及2， 4- 二異丙基噻噸酮、2-氯噻噸酮；以及安息香基化合物，例如，安息香、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香異丙醚、安息香異丁醚、以及節(jié)基二甲基縮酮。它們還包括三嗪基化合物，例如，2，4，6，-三氯-8-三嗪、2-苯基-4，6-二 (三氯甲基)-s-三嗪、2-(3' ，4' -二甲氧基苯乙烯基)-4，6-二(三氯甲基)-8-三嗪、2-(4'-甲氧基萘基)_4，6_ 二 (三氯甲基)-s-三嗪、2- (p-甲氧基苯基)-4， 6- 二 (三氯甲基)-s-三嗪、2- (p-甲苯基)-4，6-二 (三氯甲基)-s-三嗪、2-聯(lián)苯基-4，6-二 (三氯甲基)-s-三嗪、二 (三氯甲基)-6-苯乙烯基-s-三嗪、2-(萘酚基)-4， 6- 二 (三氯甲基)-s-三嗪、2- (4-甲氧基萘酚基)-4，6-二 (三氯甲基)-s-三嗪、2-4-三氯甲基(胡椒基)-6-三嗪、以及2-4-三氯甲基(4'-甲氧基苯乙烯基)-e-三嗪。這些材料可單獨(dú)使用或者至少其兩種以上混合使用，以制備用于壓印的光敏樹脂組合物。更優(yōu)選地，可將苯乙酮基化合物用作光聚合引發(fā)劑，以有效地確保所要形成的有機(jī)膜的固化幅度。 圖1至圖4為圖解了使用根據(jù)本發(fā)明實施方式的用于壓印的光敏樹脂組合物來在基板上形成有機(jī)膜的工藝的截面圖。 參照圖l，將光敏樹脂組合物涂覆到基板100上以形成光敏樹脂層201。 該基板可為包括金屬層、聚合物層或者無機(jī)層的硅基板、陶瓷基板、玻璃基板或者
薄膜基板。 該光敏樹脂組合物具有如上所述的成分比率。將所述用于壓印的光敏樹脂組合物通過諸如旋轉(zhuǎn)涂覆、滾筒涂覆或者狹縫涂覆的工藝來涂覆在基板100上。光敏樹脂層201的厚度可為約0. 5 ii m至10 ii m。 參照圖2，將模子300設(shè)置在光敏樹脂層201上。該模子300為一用于模制光敏樹脂層201的模制框架。該模子300可由有機(jī)材料或者無機(jī)材料所構(gòu)成，該模子300的示例可包括聚二甲基硅氧烷(P匿S)。 此外，在模子300的底部形成溝槽圖案。該模子300為透明的。 通過模子300將壓力施加在光敏樹脂層201上，將預(yù)圖案202a形成在光敏樹脂層
201上。S卩，通過壓力使溝槽圖案填充有光敏樹脂組合物。 參照圖3，將紫外光照射在其上形成有預(yù)圖案202a的光敏樹脂層202上，將其上形成有預(yù)圖案202a的光敏樹脂層202進(jìn)行固化，形成包括該圖案的有機(jī)膜200。于是，可將波長在約190nm至約450nm之間的紫外光照射在光敏樹脂層201上。更優(yōu)選地，可將波長在約200nm至約400nm之間的紫外光照射在光敏樹脂層201上。
或者，可將電子束照射在光敏樹脂層201上。 參照圖4，從有機(jī)膜200上移去模子300，在基板100上形成了具有圖案200a的有機(jī)膜200。 然后，在有機(jī)膜200上執(zhí)行另外的熱處理，以改善有機(jī)膜200的機(jī)械強(qiáng)度和耐酸性以及其與基板100的粘附力。 有機(jī)膜200可為有機(jī)絕緣層、外涂層以及隔層，特別是，包括隔層的有機(jī)膜必須具有一定水平的恢復(fù)力。 于是，由于光敏樹脂組合物包括赤藻糖醇基單體、低聚物或者共聚物，因此有機(jī)膜200具有改善的恢復(fù)力。因而，有機(jī)膜200可包括性能增強(qiáng)的隔層。 在本說明書中任何對"一個實施方式"、"一實施方式"、"示例性實施方式"等的涉及是指結(jié)合實施方式所描述的特定特征、結(jié)構(gòu)或者特性被包括在本發(fā)明的至少一個實施方式中。該短語在說明書中各處的出現(xiàn)并非必然都涉及同一實施方式。此外，當(dāng)結(jié)合任何實施方式來描述特定特征、結(jié)構(gòu)或者特性時，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為將該特征、結(jié)構(gòu)或者特性連同這些實施方式的其它特征、結(jié)構(gòu)或者特性一起實現(xiàn)是在本領(lǐng)域技術(shù)人員的認(rèn)知范圍之內(nèi)。 盡管已經(jīng)參照多個例證性實施方式描述了這些實施方式，但是應(yīng)當(dāng)理解，本領(lǐng)域
技術(shù)人員可設(shè)計出許多其它將落入本說明書的原理的精神和范圍內(nèi)的修改和實施方式。更
具體地，在本說明書、附圖以及所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)，在主體結(jié)合設(shè)置的構(gòu)成部分和/或
設(shè)置方面的各種變型和修改都是可能的。除了在構(gòu)成部分和/或設(shè)置的變型和修改之外，
選擇使用對于本領(lǐng)域技術(shù)人員也是清楚可見的。 實驗性實施例1 將以組合物的重量計，大約10%的二丙烯酸赤藻糖醇酯、大約30%的丙烯酸羥基 丁酯、大約30%的丙烯酸苯氧基乙酯、大約25%的二丙烯酸1，4-丁二醇酯、以及大約5%的 作為光聚合引發(fā)劑的Irga-cure 369 (Ciba-Geigy)彼此均勻混合6小時，以形成光敏樹脂 組合物#1。 隨后，將光敏樹脂組合物#1以大約2. 5 ii m的厚度均勻涂覆在一玻璃基板上，然后
使具有平整底面的PDMS模子與所涂覆的光敏樹脂組合物#1相接觸。 隨后，將波長約365nm的紫外光通過該P(yáng)DMS模子照射在光敏樹脂組合物#1上約
l分鐘。 這樣，在玻璃基板上形成有機(jī)膜#1。
實驗性實施例2 將以組合物的重量計，大約10%的三丙烯酸赤藻糖醇酯、大約30%的丙烯酸羥丁 酯、大約25%的丙烯酸苯氧基乙酯、大約30%的二丙烯酸1，4-丁二醇酯、以及大約5%的作 為光聚合引發(fā)劑的Irga-cure 369按照與實驗性實施例1相同的條件混合來形成光敏樹脂 組合物#2。 隨后，使用光敏樹脂組合物#2，執(zhí)行與實驗性實施例1相同的步驟來形成有機(jī)膜 #2。 實驗性實施例3 將以組合物的重量計，大約10%的單丙烯酸二赤藻糖醇酯、大約30%的丙烯酸羥 丁酯、大約25%的丙烯酸苯氧基乙酯、大約30%的二丙烯酸1，4-丁二醇酯、以及大約5%的 作為光聚合引發(fā)劑的Irga-cure 369按照與實驗性實施例1相同的條件混合來形成光敏樹 脂組合物#3。 隨后，使用光敏樹脂組合物#3，執(zhí)行與實驗性實施例1相同的步驟來形成有機(jī)膜 #3。 實驗性實施例4 將以組合物的重量計，大約10%的二丙烯酸二赤藻糖醇酯、大約30%的丙烯酸羥 丁酯、大約25%的丙烯酸苯氧基乙酯、大約30%的二丙烯酸1，4-丁二醇酯、以及大約5%的 作為光聚合引發(fā)劑的Irga-cure 369按照與實驗性實施例1相同的條件混合來形成光敏樹 脂組合物#4。 隨后，使用光敏樹脂組合物#4，執(zhí)行與實驗性實施例1相同的步驟來形成有機(jī)膜 #4。 比較實施例 將以組合物的重量計，大約40%的丙烯酸羥丁酯、大約25%的丙烯酸苯氧基乙酯、大約30%的二丙烯酸1，4-丁二醇酯、以及大約5%的作為光聚合引發(fā)劑的Irga-cure
369按照與實驗性實施例1相同的條件混合來形成光敏樹脂組合物#5。 隨后，使用光敏樹脂組合物#5，執(zhí)行與實驗性實施例1相同的步驟來形成有機(jī)膜#5。
0085] 根據(jù)下文來測量有機(jī)膜#1、 #2、 #3、 #4以及#5的性能。
0086] 當(dāng)使用恢復(fù)力測量儀器將大約lOOmN的力各自施加在這些有機(jī)膜上時，測量了各自的圖案恢復(fù)度。根據(jù)下文來評定這些有機(jī)膜各自的恢復(fù)力。
ABCD
將這些有機(jī)膜通過在爐中于約23(TC加熱約60分鐘來各自進(jìn)行熱固，各自浸在濃度為15%的鹽酸溶液中，來測量厚度變化率。根據(jù)下文來評定這些有機(jī)膜各自的耐化學(xué)性。
0087]0088]0089]0090]0091]
當(dāng)恢復(fù)力為大約70%或70%以上當(dāng)恢復(fù)力為大約60%或60%以上當(dāng)恢復(fù)力為大約50%或50%以上當(dāng)恢復(fù)力為大約40%或40%以上。
0092]0093]0094]0095]0096]
當(dāng)厚度變化率為小于約1%
當(dāng)厚度變化率為約1%或1%以上，且小于約3%當(dāng)厚度變化率為約3%或3%以上，且小于約5%當(dāng)厚度變化率為約5%或5%以上。
ABCD
各自采集這些有機(jī)膜中的一部分，將這些膜保持在約23(TC約30分鐘，通過熱重
分析儀(TGA)來》:ABCD
根據(jù)下文來評定這些有機(jī)膜各自的耐熱性
0097]0098]0099]0100]0101]
前后效0102]0103]0104]0105]
0106] 當(dāng)使用動力超微硬度試驗機(jī)將約50mN的力各自施加在這些有機(jī)膜上時J自的最大變形。然后，根據(jù)下文來評定這些有機(jī)膜各自的固化強(qiáng)度。0107] A:當(dāng)變形小于約30X
0108] B :當(dāng)變形為約30%或者以上，且小于約60%0109](]:當(dāng)變形為約60%或者以上，且小于約80%0110] D :當(dāng)變形為約80%或者80%以上。
0111] 如表1所示，可知由包含赤藻糖醇基單體、低聚物或者共聚物的光敏樹脂組合物#1、#2、#3以及#4所形成的各個有機(jī)膜不僅具有改善的恢復(fù)力、耐化學(xué)性以及固化強(qiáng)度，而且具有一定水平的耐熱性和尺寸穩(wěn)定性。即，可確定光敏樹脂組合物#1、#2、#3以及#4適于壓印工藝。
量各自的重量減少J減少量小于約1%
減少量為約1%或者1%以上，且小于約3%減少量為約3%或者3%以上，且小于約5%減少量為約5%或者5%以上。將這些有機(jī)膜通過在爐中于約23(TC加熱約60分鐘來各自進(jìn)行熱固，并且在熱固它們的重量。然后，根據(jù)下文來評定這些有機(jī)膜各自的尺寸穩(wěn)定性。A:當(dāng)厚度減少量為約5X
當(dāng)厚度減少量為約5%或者5%以上，且小于約10%
減少量為約10%或者10%以上，且小于約15%減少量為大于約15%。
:各
表1
類別恢復(fù)力抗化學(xué)性耐熱性尺寸穩(wěn)定性固化強(qiáng)度
實驗性實施例1BBBBB
實驗性實施例2BBBBB
實驗性實施例3ABBBA
實驗性實施例4BBBBB
比較實施例DCBAC
1權(quán)利要求
一種用于壓印的光敏樹脂組合物，其包含由下列式1、2和3之一所表示的赤藻糖醇基單體或者低聚物式1)式2)式3)其中，R1、R2、R3和R4各自選自于由羥基、氫、烷基以及丙烯酸酯所組成的群組中，R5、R6、R7和R8各自選自于由羥基、氫、烷基以及丙烯酸酯所組成的群組中，R9，R10、R11、R12、R13和R14各自選自于由羥基、氫、烷基以及丙烯酸酯所組成的群組中。F2009102117894C00011.tif,F2009102117894C00012.tif,F2009102117894C00013.tif
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，包含乙烯基單體或者低聚物。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的組合物，包含 交聯(lián)劑；以及光聚合引發(fā)劑。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的組合物，其中，所述赤藻糖醇基單體或低聚物占組合物重量 的約1 %至約20% ，所述乙烯基單體或低聚物占組合物重量的約9%至約80% ，并且所述光 聚合引發(fā)劑占組合物重量的約O. 1%至約10%。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，包含二丙烯酸赤藻糖醇酯、三丙烯酸二赤藻糖醇酯、 單丙烯酸二赤藻糖醇酯、或者二丙烯酸二赤藻糖醇酯。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的組合物，包含丙烯酸羥丁酯、丙烯酸苯氧基乙酯、或者二丙烯 酸l，4-丁二醇酯。
7. —種用于在基板上形成有機(jī)膜的方法，包括 在基板上設(shè)置由下式1、2和3之一所表示的光敏樹脂組合物； 在光敏樹脂上設(shè)置模制框架來形成預(yù)圖案；以及 曝光形成預(yù)圖案的所述光敏樹脂組合物來使其固化， 式l)r <formula>formula see original document page 3</formula> 其中，R1、R2、R3和R4各自選自于由羥基、氫、烷基以及丙烯酸酯所組成的群組中，R5、 R6、R7和R8各自選自于由羥基、氫、烷基以及丙烯酸酯所組成的群組中，R9，R10、R11、R12、 R13和R14各自選自于由羥基、氫、烷基以及丙烯酸酯所組成的群組中。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述光敏樹脂組合物包含乙烯基單體或低聚物 乙烯基交聯(lián)劑；以及光聚合引發(fā)劑。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中，所述光敏樹脂組合物包含二丙烯酸赤藻糖醇酯、 三丙烯酸二赤藻糖醇酯、單丙烯酸二赤藻糖醇酯、或者二丙烯酸二赤藻糖醇酯。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種光敏樹脂組合物以及一種用于在基板上形成有機(jī)膜的方法。由于所述用于壓印的光敏樹脂組合物包含赤藻糖醇基單體或低聚物，因而由該光敏樹脂組合物所形成的有機(jī)膜具有改善的恢復(fù)力。因此，該光敏樹脂組合物適于壓印工藝。
文檔編號G03F7/028GK101738860SQ200910211789
公開日2010年6月16日 申請日期2009年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月14日
發(fā)明者南妍熙, 宋晙溶, 宋泰俊, 李命洙, 申承協(xié), 趙圣弼, 金柄郁, 金珍郁 申請人:樂金顯示有限公司;東進(jìn)世美肯株式會社