技術編號：2745264
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于壓印工藝的光敏樹脂組合物以及一種使用該組合物在基板 之上形成有機層的方法。背景技術近來，人們已經廣泛使用微光刻術工藝來在LCD制造工藝和半導體制造工藝中形 成微圖案。 在光刻術工藝中，根據(jù)在曝光工藝中所使用的光的波長來確定設計規(guī)則(用于圖 案行寬)。因此，從當前的技術水平來判斷，非常難于使用光刻術工藝來在基板上形成超微 圖案，例如，具有l(wèi)OOnm或者lOOnm以下的設計規(guī)則的超微圖案。 此外，要使用昂貴的曝光設備等來使圖案達到超微，這需要...
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