專利名稱：著色層形成用放射線敏感性組合物、濾色器及彩色液晶顯示元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及著色層形成用放射線敏感性組合物、濾色器和彩色液晶 顯示元件，更具體地說，涉及對(duì)于透過型或反射型的彩色液晶顯示裝置、 彩色攝像管元件等中使用的濾色器有用的著色層的形成中使用的放射 線敏感性組合物，具有使用該放射線敏感性組合物形成的著色層的濾色 器以及具有該濾色器的彩色液晶顯示元件。
背景技術(shù)：
作為使用著色放射線敏感性樹脂組合物形成濾色器的方法，已知在 基板上或在預(yù)先形成有所需圖案的遮光層的基板上，形成著色放射線敏 感性樹脂組合物的涂膜，通過具有所需圖案形狀的光掩模照射放射線(下文稱為"曝光，，)，通過堿性顯影液(7A力U現(xiàn)像液)顯影并溶解除去未 曝光部，然后使用潔凈烘箱或加熱板進(jìn)行后烘(求7卜《—夕)，由此得到 各色的像素的方法(例如參照專利文獻(xiàn)1、 2)。近年，由于隨著彩色液晶顯示裝置的高色純度化，著色放射線敏感 性組合物中含有的顏料的濃度有日益增大的趨勢(shì)，顯影時(shí)在未曝光部的 基板上或遮光層上產(chǎn)生殘?jiān)?殘?jiān)?或浮污(地汚打)的問題變得顯著。進(jìn) 一步地，若著色放射線敏感性組合物中含有的顏料的濃度增大，則涂膜 在堿性顯影液中的溶解性有顯著降低的趨勢(shì)。因此，通過淋浴顯影法進(jìn) 行顯影時(shí)，如果剝離除去的未曝光部的涂膜在顯影槽中未完全溶解而漂 浮，最終作為異物再附著在濾色器上，成為制品收率降低的主要原因。此外，隨著彩色液晶顯示裝置的高對(duì)比度化，著色放射線敏感性組 合物中含有的顏料有日益微?；内厔?shì)，但是為了將微?；念伭戏€(wěn)定 地分散，不斷判明使用胺值高的分散劑是有效的。但是，若使用胺值高 的分散劑則由于利用堿性顯影液進(jìn)行的顯影本身變得困難，還未實(shí)際使 用。因此，強(qiáng)烈謀求可以解決這種近年的隨著要求高色純度化和高對(duì)比 度化而產(chǎn)生的各種問題的濾色器用放射線敏感性樹脂組合物。另一方面，對(duì)于顯影時(shí)在未曝光部的基板上或遮光層上產(chǎn)生殘?jiān)蚋∥鄣膯栴}，如專利文獻(xiàn)3所公開，已知使用含有羧基的多官能性單體 是有效的。但是，若將專利文獻(xiàn)3中公開的季戊四醇三丙烯酸酯與琥珀 酸的含游離羧基的單酯化物適用于顏料含量在全部固體成分中為30重 量％以上的高顏料濃度的著色放射線敏感性組合物中，則由于涂膜的固 化不充分，圖案的表面平滑性被顯著破壞，結(jié)果產(chǎn)生液晶的定向不良等 問題。此外，如專利文獻(xiàn)4所公開，已知通過含有具有1個(gè)以上酸性官能 團(tuán)和3個(gè)以上光固化性官能團(tuán)的光固化性化合物，改善著色圖案用固化 性樹脂組合物的顯影性等。但是，對(duì)于顏料的含量在全部固體成分中為 30重量％以上的高顏料濃度的紅色、綠色或藍(lán)色圖案用樹脂組合物所具 有的上述各種問題，未公開任何有效的解決方案。因此，強(qiáng)烈要求開發(fā)滿足近年對(duì)于濾色器制造時(shí)的顯影性或制品收 率的各種要求且圖案的表面平滑性優(yōu)異、進(jìn)一步得到改善的著色放射線 敏感性樹脂組合物。[專利文獻(xiàn)l]日本特開平2-144502號(hào)7>才艮[專利文獻(xiàn)2]日本特開平3-53201號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)3]日本特開平10-332929號(hào)7>才艮[專利文獻(xiàn)4]日本特開2004-287230號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供即使顏料濃度高也可以以高制品收率形成 不產(chǎn)生殘?jiān)蚋∥鄣臑V色器，此外可以形成具有充分表面平滑性的圖案 的著色層形成用放射線敏感性樹脂組合物等。本發(fā)明第 一方面包含著色層形成用放射線敏感性組合物，該著色層 形成用放射線敏感性組合物含有(A)選自紅色顏料、綠色顏料和藍(lán)色顏料 中的至少l種顏料、(B)分散劑、(C)堿可溶性樹脂、(D)下式(l)所示的多 官能性單體以及(E)光聚合引發(fā)劑，其特征在于，(A)顏料的含量在全部固體成分中為30~60重量％。[化1]<formula>formula see original document page 5</formula>(式中，Ri表示氫原子或曱基，R2表示選自亞甲基、碳原子數(shù)為2-8的 直鏈或支鏈亞烷基、直鏈或支鏈亞烯基、可以具有取代基的亞苯基、可 以具有取代基的亞環(huán)己基和可以具有取代基的亞環(huán)己基的 一部分為不 飽和鍵的基團(tuán)中的基團(tuán)。)本發(fā)明第二方面包含具有使用上述著色層形成用放射線敏感性樹 脂組合物形成的著色層的濾色器。本發(fā)明第三方面包含具有上述濾色器的彩色液晶顯示裝置。本發(fā)明的著色層形成用放射線敏感性樹脂組合物，可以形成即使著且具有i二Z面平滑性的濾色器。；進(jìn)一步地:涂膜在堿性顯影i^的溶 解性高，即使對(duì)于利用淋浴顯影法O卞<7—現(xiàn)像法)進(jìn)行的顯影也可以達(dá)到 高的制品收率。
具體實(shí)施方式
以下對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體的說明。著色層形成用放射線敏感性樹脂組合物-(A)顏料-料紅166、 C.I 料紅175、 C.I 料紅179、 C.I 料紅202、 C.I 料紅214、 C.I 料紅242、 C.I顏泮牛紅171、 C.I.顏 顏誶牛紅178、 C丄顏 顏泮牛紅187、 C.I.顏 顏泮牛紅209、 C.I.顏 顏泮牛紅224、 C.I.顏 顏泮牛紅255、 C.I.顏本發(fā)明中的顏料若含有選自紅色顏料、綠色顏料和藍(lán)色顏料中的至 少l種則不特別限定，可以為有機(jī)顏料、無機(jī)顏料中的任意一種。其中， 由于對(duì)于濾色器要求高純度下的高透過性的顯色和耐熱性，特別優(yōu)選為 有機(jī)顏料。作為上述有機(jī)顏料，可以舉出例如在色彩索引(Color Index)中分類 為顏料(pigment)的化合物，具體地說，可以舉出具有下述色彩索引(C丄) 號(hào)的有機(jī)顏料。作為紅色顏料，C丄顏料紅1、 C丄顏料紅2、 C.I.顏料紅5、 C.I. 顏泮牛紅17、 C丄顏*+紅31、 CI.顏升牛紅32、 C.I.顏泮牛紅41、 C.I.顏 料紅122、 C丄顏料紅123、 C.I.顏料紅144、 C丄顏料紅149、 C.I.顏 .顏泮牛紅168、 C丄顏4牛紅170、 C丄 .顏料紅176、 C.I.顏料紅177、 C.I. .顏泮牛紅180、 C.I.顏3牛紅185、 C丄 .顏料紅206、 C.I.顏料紅207、 C丄 .顏料紅220、 C丄顏料紅221、 C.I. .顏一牛紅243、 C.I.顏料紅254、 C.I. 料紅262、 C.I.顏料紅264、 C.I.顏術(shù)牛紅272;作為綠色顏料，C.I.顏料綠7、 C丄顏料綠36、 C.I.顏料綠58; 作為藍(lán)色顏料，C丄顏料藍(lán)15、 C.I.顏料藍(lán)15:3、 C.I.顏料藍(lán) 15:4、 C.I.顏料藍(lán)15:6、 C.I.顏泮牛藍(lán)60、 C.I.顏灃牛藍(lán)80;此外，在制備紅色、綠色或藍(lán)色的著色層形成用放射線敏感性樹脂 組合物時(shí)，通常使用黃色顏料、紫色顏料等進(jìn)行調(diào)色。作為黃色、紫色 等的有機(jī)顏料，具體地說，可以舉出具有下述色彩索引(C.I.)號(hào)的有機(jī)顏 料。C.I.顏料黃12、 C.I.顏料黃13、 C丄顏料黃14、 C.I.顏料黃17、 C丄顏料黃20、 C.I.顏料黃24、 C.I.顏料黃31、 C.I.顏料黃55、 C丄 顏料黃83、 C.I.顏料黃93、 C.I.顏料黃109、 C.I.顏料黃110、 C丄顏 料黃138、 C丄顏料黃139、 C.I.顏料黃150、 C.I.顏料黃153、 C.I.顏 料黃154、 C.I.顏料黃155、 C.I.顏料黃166、 C.I.顏料黃168、 C.I.顏 料黃211;C.I.顏料橙5、 C.I.顏料橙13、 C丄顏料橙14、 C丄顏料橙24、 C.I.顏料橙34、 C丄顏料橙36、 C.I.顏料橙38、 C丄顏料橙40、 C丄顏料橙43、 C.I.顏料橙46、 C丄顏料橙49、 C丄顏料橙61、 C丄顏 并+才登64、 C.I.顏4牛才登68、 C丄顏剩"險(xiǎn)70、 C.I.顏剩"險(xiǎn)71、 C.I.顏剩_ 橙72、 C丄顏料橙73、 C.I.顏料橙74;C.I.顏料紫1、 C丄顏料紫19、 C.I.顏料紫23、 C.I.顏料紫29、 C.I.顏料紫32、 C丄顏料紫36、 C.I.顏料紫38;C.I.顏料棕23、 C.I,顏料椋25;C丄顏料黑1、 C.I.顏料黑7。這些有機(jī)顏料可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。這些有機(jī)顏料中，優(yōu)選選自C丄顏料紅177、 C丄顏料紅242、 C丄顏料紅254、 C.I.顏泮牛綠7、 C.I.顏料綠36、 C丄顏津牛綠58、 C.I. 顏料藍(lán)15:3、 C丄顏料藍(lán)15:4、 C丄顏料藍(lán)15:6、 C丄顏料藍(lán)60、 C丄顏料藍(lán)80、 C丄顏料黃83、 C丄顏料黃138、 C.I.顏料黃139、 C丄顏料黃150、 C丄顏料黃180、 C.I.顏料紫23中的至少l種。本發(fā)明中，有機(jī)顏料可以通過重結(jié)晶法、再沉淀法、溶劑洗滌法、 升華法、真空加熱法或它們的組合純化使用。此外，作為上述無機(jī)顏料，可以舉出例如氧化鈦、硫酸鋇、碳酸鈣、 鋅白、硫酸鉛、鉻黃(黃色鉑.)、鋅鉻黃(亜鉛黃)、氧化鐵紅(紅色氧化 纟失(III))、鎘紅、群青、普魯士藍(lán)、氧化鉻緣、鈷綠(〕A少卜緑)、棕土 (7〉八'一)、鈥黑(于夕>7》、乂夕)、合成纟失黑(合成鉄黒)、炭黑等。這些無機(jī)顏料可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。進(jìn)一步地，本發(fā)明中根據(jù)需要也可以與上述顏料一起并用l種以上 的染料、天然色素。本發(fā)明中，顏料根據(jù)需要可以用聚合物對(duì)其粒子表面進(jìn)行改性來使 用。作為對(duì)顏料的粒子表面進(jìn)行改性的聚合物，可以舉出例如日本特開 平8-259876號(hào)公報(bào)中記載的聚合物、市售的各種顏料分散用聚合物或低 聚物等。本發(fā)明中，(A)顏料的含量從得到充分的色純度和顯影性方面考慮， 在本發(fā)明組合物的全部固體成分中通常為30~60重量％,優(yōu)選為30 ~ 50重量％。其中，固體成分指的是后述溶劑以外的成分。-(B)分散劑-作為本發(fā)明中的(B)分散劑，例如可以使用陽離子類、陰離子類、非 離子類或兩性等適當(dāng)?shù)姆稚?，但是為了穩(wěn)定地分散實(shí)現(xiàn)具有超過1000:1的高對(duì)比度比的彩色液晶顯示裝置的微粒化顏料，優(yōu)選含有胺值 (單位mgKOH/g。以下相同)為70~400的分散劑(下文稱為"高胺值分散 劑")，進(jìn)一步優(yōu)選含有胺值為70~200的分散劑。其中，胺值表示與中 和分散劑固體成分lg所需要的HC1當(dāng)量的KOH的mg數(shù)。作為上述高胺值分散劑，可以舉出Disperbyk-106(不揮發(fā)成分=85%、 胺值=74)、 t:、夕亇三一(BYK)社制)、Disperbyk-108(不揮發(fā)成分二970/0、 胺值=71、 t:》夕亇三一(BYK)社制)、Disperbyk國(guó)140(不揮發(fā)成分-520/0、胺 值=76、匕、夕亇S — (BYK)社制)、Disperbyk-142(不揮發(fā)成分二600/。、胺值 =43、 t:、夕亇S — (BYK)社制)、Disperbyk-145(不揮發(fā)成分二1000/0、胺值 =71、匕、v夕亇S — (BYK)社制)、Disperbyk-2150(不揮發(fā)成分-520/0、胺值 =57、匕'、乂夕亇S — (BYK)社制)、7夕只 一PB-711(不揮發(fā)成分-400/0、胺 值=45、味Q素:7 7* O亍夕乂(林)制)等。作為高胺值分散劑以外的分散劑，除了聚氧乙烯十二烷基醚、聚氧 乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚，聚氧乙烯正辛基苯 基醚、聚氧乙烯正壬基苯基醚等聚氧乙烯烷基苯基醚，聚乙二醇二月桂 酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯等聚乙二醇二脂肪酸酯，脫水山梨醇脂肪酸 酯，脂肪酸改性聚酯，叔胺改性聚氨酯，聚乙烯亞胺類之外，還可以舉 出例如，以下商品名KP(信越化學(xué)工業(yè)(抹)制)，水卩7口一(共榮社化 學(xué)(抹)制)，工7卜、乂7。(卜一 少厶，口夕、、夕少社制)，/力77、乂夕(大曰本^f >《化學(xué)工業(yè)(林)制)，7 口 ，一卜'(住友只卩 一工厶(抹)制)，7廿匕方、一 卜'、廿一7口x(以上由旭硝子(才朱)制)，Disperbyk國(guó)101、 Disperbyk畫103、 Disperbyk-llO 、 Disperbyk-l 11 、 Disperbyk畫160 、 Disperbyk畫161 、 Dispe勿k-162 、 Disperbyk-163 、 Disperbyk畫164 、 Disperbyk畫165 、 Dispe勿k醒166 、 Dispe勿k畫170 、 Dispe勿k腸182 、 Disperbyk國(guó)2000 、 Disperbyk陽2001、 Disperbyk畫2020(以上由匕、v夕亇S —(BYK)制)，；/^只 一7 S5000、 乂7l^只7《一只S12000、 乂/k只^^一只S17000、 乂乂L只乂《一 只S20000、 乂^久Z—7 S22000、 乂A義 一只S24000、 乂^7^ — ^ S24000GR、 乂^義乂《一只S26000、 乂y^7Z—只S27000、 乂A只 —只S28000(以上由y^—7、、 ！i 乂、、一》(抹)制)，EFKA46、 EFKA47(以上由 工7力少；、力/k乂(才朱)制)，只^—PB-821、 只^—PB國(guó)822(以 上由味0素7 7 4 ^亍夕乂(林)制)等。本發(fā)明中，分散劑可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。本發(fā)明中的分散劑的含量(換算成固體成分)從組合物的保存穩(wěn)定性和顯影性方面考慮，相對(duì)于(A)顏料100重量份，優(yōu)選為1 60重量份、 進(jìn)一步優(yōu)選為3 ~ 50重量份。 -(C)堿可溶性樹脂-作為本發(fā)明中的(C)堿可溶性樹脂，若為對(duì)于(A)顏料發(fā)揮粘合劑的 作用，且對(duì)于制造濾色器時(shí)的顯影步驟中使用的顯影液、特別優(yōu)選對(duì)于 堿性顯影液具有可溶性的堿可溶性樹脂則不特別限定。其中，優(yōu)選為具 有羧基的堿可溶性樹脂，特別優(yōu)選為具有1個(gè)以上羧基的乙烯性不飽和 單體(下文稱為"含羧基不飽和單體")與其它的可以共聚的乙烯性不飽 和單體(下文稱為"共聚性不飽和單體")的共聚物(下文稱為"含羧基共 聚物，，)。作為含羧基不飽和單體，可以舉出例如(甲基)丙烯酸、丁烯酸、oc-氯丙烯酸、肉桂酸等不飽和單羧酸， 馬來酸、馬來酸酐、富馬酸、衣康酸、衣康酸酐、檸康酸、擰康酸 酐、中康酸等不飽和二元羧酸或其酸酐類， 3元以上的不^fe和多元羧酸或其酸酐類，琥珀酸單P-(曱基)丙烯酰氧基乙基]酯、苯二甲酸單[2-(曱基)丙烯酰 氧基乙基]酯等2元以上的多元羧酸的單[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯類，o-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯等兩末端具有羧基和羥基的聚合 物的單(甲基)丙烯酸酯類等。這些含羧基不飽和單體中，琥珀酸單[2-丙烯酰氧基乙基]酯和苯二 甲酸單[2-丙烯酰氧基乙基]酯分別以，>f卜工義^AHOA-MS和，4卜 工只亍A HOA-MPE(以上由共榮社化學(xué)(抹)制)的商品名市售。上述含羧基不飽和單體可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。此外，作為共聚性不飽和單體，可以舉出例如馬來酰亞胺，N-苯基馬來酰亞胺、N-鄰羥基苯基馬來酰亞胺、N-間羥基苯基馬來 酰亞胺、N-對(duì)羥基苯基馬來酰亞胺、N-爺基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來 酰亞胺、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來酰亞胺苯曱酸酯(N-7夕、^Y^力k一3 —7U^fSK^O、/工一卜)、N-琥珀酰亞胺基-4-馬來酰亞胺丁酸酯(N-7夕、乂X^、:^/v—4一7i^f5:K:7、、于k一卜)、N-琥珀酰亞胺基-6曙馬來酰亞胺己酸酉旨(N-7夕、乂y^fS、^W—6 —7UM^K力7。口工一卜)、N國(guó)琥珀酰亞胺基國(guó)3國(guó)馬200810161968.7說明書第8/29頁來酰亞胺丙酸酯(<formula>formula see original document page 10</formula>)、N-(吖 啶基)馬來酰亞胺等N-位取代馬來酰亞胺，苯乙烯、a-曱基苯乙烯、鄰乙烯基曱苯、間乙烯基曱苯、對(duì)乙烯基 曱苯、對(duì)氯苯乙烯、鄰曱氧基苯乙烯、間甲氧基苯乙烯、對(duì)甲氧基苯乙 烯、對(duì)羥基-oc-甲基苯乙烯、鄰乙烯基千基甲基醚、間乙烯基節(jié)基甲基醚、 對(duì)乙烯基千基甲基醚、鄰乙烯基千基縮水甘油基醚、間乙烯基千基縮水 甘油基醚、對(duì)乙烯基節(jié)基縮水甘油基醚等芳族乙烯基化合物，茚、l-曱基茚等茚類，(曱基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸正丙基酯、(曱 基)丙烯酸異丙基酯、(曱基)丙烯酸正丁基酯、(甲基)丙烯酸異丁基酯、(曱 基)丙烯酸仲丁基酯、(甲基)丙烯酸叔丁基酯、(甲基)丙烯酸厶乙基己基 酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙基酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙基酯、(曱基) 丙烯酸3-羥基丙基酯、(曱基)丙烯酸2-羥基丁基酯、(甲基)丙烯酸3-羥 基丁基酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁基酯、(甲基)丙烯酸烯丙基酯、(甲基) 丙烯酸節(jié)基酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己基酯、(甲基)丙烯酸苯基酯、(曱基)丙 烯酸2-甲氧基乙基酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙基酯、甲氧基二乙二醇 (甲基)丙烯酸酯、甲氧基三乙二醇(曱基)丙烯酸酯、甲氧基丙二醇(甲基) 丙烯酸酯、甲氧基二丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸異水片酯、三 環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基(曱基)丙烯酸酯、2-羥基-3-苯氧基丙基(甲基)丙烯 酸酯、甘油單(曱基)丙烯酸酯、4-羥基苯基(曱基)丙烯酸酯、對(duì)枯基苯紛 的EO改性(甲基)丙烯酸酯等不飽和羧酸酯，(甲基)丙烯酸2-氨基乙基酯、(甲基)丙烯酸2-二曱基氨基乙基酯、(曱 基)丙烯酸2-氨基丙基酯、(甲基)丙烯酸2-二甲基氨基丙基酯、(曱基)丙 烯酸3-氨基丙基酯、(曱基)丙烯酸3-二曱基氨基丙基酯等不飽和羧酸氨 基烷基酯，(甲基)丙烯酸縮水甘油基酯等不飽和羧酸縮水甘油酯， 乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯酯，乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基縮水甘油基醚等其它的不飽 和酸,(甲基)丙烯腈、a-氯丙烯腈、亞乙烯基二氰等乙烯基氰化合物 (少7>化匕'二幾化合物)，(甲基)丙烯酰胺、oc-氯丙烯酰胺、N-2-羥基乙基(甲基)丙烯酰胺等不飽和酰胺，1,3-丁二烯、異戊二烯、氯丁二烯等脂肪族共軛二烯，聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷這些共聚性不飽和單體可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。 作為本發(fā)明中的含羧基共聚物，優(yōu)選(cl)以(甲基)丙烯酸作為必須成 分、根據(jù)需要含有琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯和/或co-羧基聚 己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯的含羧基不飽和單體，(c2)N-位取代馬來酰亞 胺，以及(c3)選自苯乙烯、a-曱基苯乙烯、對(duì)羥基-a-甲基苯乙烯、(甲基) 丙烯酸曱酯、(甲基)丙烯酸正丁基酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯、(曱 基)丙烯酸2_羥基乙基酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸千基酯、 甘油單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸4-羥基苯基酯、對(duì)枯基苯酚的EO 改性(甲基)丙烯酸酯、聚苯乙烯大分子單體和聚甲基丙烯酸甲酯大分子 單體中的其它的共聚性不飽和單體的至少1種的共聚物(下文稱為"含羧基共聚物(C1)")。作為含羧基共聚物(C1)的優(yōu)選具體例子，可以舉出 (甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-間羥基苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基 酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-對(duì)羥基苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸芐基 酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯共 聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/a-甲基苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基 酯共聚物、.酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸2-乙基己基 酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/對(duì)羥基-a-曱基苯乙烯/(甲基)丙烯酸千基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸正丁基酯共 聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸2-乙基己基 酯共聚物、(曱基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸2-羥基己基 酯/(甲基)丙烯酸千基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸千基酯/甘油 單(曱基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-對(duì)羥基苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基 酉旨/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苯基酯/(甲基) 丙烯酸2-羥基乙基酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸苯基酯/(甲基) 丙烯酸2-羥基乙基酯/聚曱基丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、(曱基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基馬來酰 亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸千基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-對(duì)羥基苯基 馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸千基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基馬來酰 亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸烯丙基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-環(huán)己基馬來 酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-環(huán)己基馬來 酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸千基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/N-間羥基苯基馬 來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸節(jié)基酯共聚物、(曱基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/N-對(duì)羥基苯基馬 來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸千基酯共聚物、(曱基)丙烯酸/ro-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/N-苯基馬來酰亞 胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸千基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(曱基)丙烯酸/co-羧基聚己內(nèi)酯單(曱基)丙烯酸酯/N-對(duì)羥基苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(曱基)丙烯酸千基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物等。 此外，作為含羧基共聚物(C1)以外的含羧基共聚物，可以舉出例如， (曱基)丙烯酸/(曱基)丙烯酸曱酯共聚物、 (曱基)丙烯酸/(曱基)丙烯酸千基酯共聚物、(曱基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙基酯/(曱基)丙烯酸千基酯共聚物、(曱基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、 (甲基)丙烯酸/(曱基)丙烯酸曱酯/聚曱基丙烯酸曱酯大分子單體共 聚物、(甲基)丙烯酸/(曱基)丙烯酸節(jié)基酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、 (甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸節(jié)基酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體 共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥基乙基酯/(曱基)丙烯酸芐基酯/聚苯 乙烯大分子單體共聚物、(曱基)丙烯酸/(曱基)丙烯酸2-羥基乙基酯/(甲基)丙烯酸芐基酯/聚甲 基丙烯酸曱酯大分子單體共聚物等。含羧基共聚物中，含羧基不飽和單體的共聚比率優(yōu)選為5 ~ 50重量 %、進(jìn)一步優(yōu)選為10~40重量％。此時(shí)，該共聚比率小于5重量°/。時(shí)得 到的放射線敏感性組合物在堿性顯影液中的溶解性有降低的趨勢(shì)，另一 方面，若超過50重量％則在堿性顯影液中的溶解性過大，通過堿性顯影 液進(jìn)行顯影時(shí)，存在易引起從像素的基板上脫落或像素表面的膜粗糙(膜荒n)的趨勢(shì)。本發(fā)明中，例如，通過使共聚(甲基)丙烯酸2-羥基乙基酯等具有羥 基的不飽和化合物而成的含羧基共聚物與2-(甲基)丙烯酰氧基乙基異氰 酸酯等不飽和異氰酸酯化合物反應(yīng)，可以在含羧基共聚物的側(cè)鏈上導(dǎo)入 聚合性不飽和鍵。本發(fā)明中的含羧基共聚物的通過凝膠滲透色譜(GPC，洗脫溶劑四 氫呋喃)測(cè)定的聚苯乙烯換算重均分子量(下文稱為"Mw，，)通常為1000 ~ 45000,優(yōu)選為3000 ~ 20000。此外，本發(fā)明的含羧基共聚物通過凝聚滲透色譜(GPC,洗脫溶劑 四氫呋喃)測(cè)定的聚苯乙烯換算數(shù)均分子量(下文稱為"Mn")通常為 1000 ~ 45000,優(yōu)選為3000 ~ 20000。此時(shí)，若Mw小于1000，則存在得到的涂膜的殘膜率(殘膜率)等 降低，圖案形狀、耐熱性等受損，此外電特性變差的可能性，另一方面， 若超過45000,則存在分辨率降低、圖案形狀受損，此外通過狹縫噴嘴 方式涂布時(shí)易產(chǎn)生干燥異物的可能性。含羧基共聚物例如可以通過使含羧基不飽和單體和共聚性不飽和 單體在適當(dāng)?shù)娜軇┲小⒃?,2，-偶氮二異丁腈、2,2，-偶氮二(2,4-二甲基戊 腈)、2,2M禺氮二(4-曱氧基-2，4-二甲基戊腈)等自由基聚合引發(fā)劑的存在 下聚合來制備。此外，含羧基共聚物可以在如上所述將不飽和單體自由基聚合后，將聚合后的良溶劑中的溶液根據(jù)需要通過過濾或離心分離等除去不溶 的雜質(zhì)后，注入到大量(通常為聚合物溶液體積的5-10倍量)的沉淀劑 (不良溶劑)中，通過使共聚物再沉淀來進(jìn)行純化。此時(shí)，殘留在聚合物 溶液中的雜質(zhì)中的溶于沉淀劑的雜質(zhì)殘留在液相中，與純化的共聚物 (Bl)等分離。作為該再沉淀法中使用的良溶劑/沉淀劑的組合，可以舉出例如，二 乙二醇單甲基醚乙酸酯/正己烷、甲基乙基酮/正己烷、二乙二醇單甲基醚乙酸酯/正庚烷、曱基乙基酮/正庚烷等。此外，含羧基共聚物可以如下制備使成為其構(gòu)成成分的各不飽和 化合物在2,2，-偶氮二異丁腈、2,2，-偶氮二(2,4-二曱基戊腈)、2,2，-偶氮二 (4-曱氧基-2,4-二甲基戊腈)等自由基聚合引發(fā)劑，以及吡唑-l-二硫代甲 酸氰基(二甲基)甲基酯、吡唑-l-二硫代甲酸芐基酯、二硫化四乙基秋蘭 姆、二硫化二(吡唑-l-基硫代羰基)、二硫化二(3-曱基-他唑-l-基硫代羰 基)、二硫化二(4-甲基-吡唑-l-基硫代羰基)、二硫化二(5-曱基-吡唑-l-基 硫代羰基)、二硫化二(3,4,5-三曱基-p比唑-l-基硫代羰基)、二硫化二(他咯 -1 -基硫代羰基)、二硫化二(硫代苯曱?；?、二硫化二(正辛基硫基硫代羰 基)(tf又(n—才夕于^7Jl/77二^于才力^求二^) ^TJV:7一 F ) 、 二石iU^(正十 r^M^^i^fef^J-) ( tf久(n —Bx5^i/;ui/7 7二^于才力^求二^) ";uk:7吖卜、) 等作為引發(fā)-轉(zhuǎn)移-終止劑(iniferter)發(fā)揮作用的分子量控制劑的存在下， 在惰性溶劑中，以通常為0 150。C、優(yōu)選為50~ 120。C的反應(yīng)溫度進(jìn)行 活性自由基聚合，由此制備含羧基共聚物。本發(fā)明中，堿可溶性樹脂可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。本發(fā)明中的堿可溶性樹脂的含量相對(duì)于(A)顏料100重量份，優(yōu)選為 10~ 1000重量份，更優(yōu)選為20 ~ 500重量份。此時(shí)，堿可溶性樹脂的含 量小于10重量份時(shí)，例如存在堿顯影性降低或在未曝光部的基板上或 遮光層上產(chǎn)生浮污或殘膜的可能性，另一方面若超過1000重量份則由 于顏料濃度相對(duì)地降低，作為薄膜有可能難以達(dá)成目的色濃度。-(D)多官能性單體-本發(fā)明中的多官能性單體含有上述式(l)所示的多官能性單體(下文 稱為"含羧基5官能單體")。式(1)中，作為R2所示的碳原子數(shù)為2~8的直鏈或支鏈亞烷基，可 以舉出亞乙基、亞丙基、三亞甲基(卜'」乂于1/>基)、四亞甲基 (亍卜，乂于P〉基)、五亞甲基(八〉夕乂于l/〉基)、六亞甲基(A牛廿y于i/;y基)等，但是其中優(yōu)選碳原子數(shù)為2~4的亞烷基。作為碳原子數(shù)為2~8的直鏈或支鏈的亞烯基，可以舉出乙烯基、1-曱叉基(-于u于'〉)-亞乙基(-(:(=(:112)0^2-)等。作為亞環(huán)己基的一部分為不飽 和鍵的基團(tuán)，可以舉出亞環(huán)己烯基等。此外，作為可以在亞苯基、亞環(huán) 己基、不飽和亞環(huán)己基上取代的基團(tuán)，可以舉出甲基、乙基等碳原子數(shù)為1~4的烷基，卣原子，碳原子數(shù)為1~4的烷氧基等。式(l)中，作為Rz,優(yōu)選為亞甲基或碳原子數(shù)為2~4的亞烷基，特別優(yōu)選為亞乙基。作為含羧基5官能單體的具體例子，可以舉出二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與丙二酸、琥珀酸、戊二酸、已二酸、庚二酸、辛二酸、衣康酸、對(duì)苯二甲酸、六氫鄰苯二曱酸等二元羧酸類的單酯化物等。這些含羧基5官能單體中，二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、以及二季戊四醇五丙烯酸酯與琥珀酸的單酯化物的混合物以TO-1382(東亞合成(抹)制)的商品名市售。含羧基5官能單體可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。本發(fā)明中，可以與含羧基5官能單體一起并用其它的多官能性單體。作為其它的多官能性單體，可以舉出例如，乙二醇、丙二醇等亞烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯類， 聚乙二醇、聚丙二醇等聚亞烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯類， 甘油、三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇等3元以上的多元醇的多(曱基)丙烯酸酯(求'J (乂夕)7夕'J1/—卜)類，聚酯、環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂、醇酸樹脂、珪氧烷樹脂、螺環(huán)樹脂 等的低聚(甲基)丙烯酸酯類，兩末端羥基聚-l,3-丁二烯、兩末端羥基聚異戊二烯、兩末端羥基聚己內(nèi)酯等兩末端羥基化聚合物的二(甲基)丙烯酸酯類、三[2-(曱基)丙烯 酰氧基乙基]磷酸酯等。這些其它的多官能性單體中，優(yōu)選3元以上的多元醇的多(甲基)丙 烯酸酯類，具體地說，優(yōu)選三羥曱基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三 甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊 四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四曱基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、 二季戊四醇五曱基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲 基丙烯酸酯等，三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯以及二 季戊四醇六丙烯酸酯由于著色層的強(qiáng)度高、著色層的表面平滑性優(yōu)異且 在未曝光部的基板和遮光層上難以產(chǎn)生浮污、殘膜等而特別優(yōu)選。這些其它的多官能性單體可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。本發(fā)明中的(D)含羧基5官能單體與其它的多官能性單體的總計(jì)含 量相對(duì)于(C)堿可溶性樹脂100重量份，通常為5~ 500重量份、優(yōu)選為 20- 300重量份。此時(shí)，若多官能性單體的含量過少，則著色層的強(qiáng)度 或表面平滑性有可能降低，另一方面若過多則例如存在堿顯影性降低， 在未曝光部的基板上或遮光層上易產(chǎn)生浮污、殘膜等的可能性。此外，本發(fā)明中，含羧基5官能單體的含有比率相對(duì)于含羧基5官 能單體與其它的多官能性單體的總計(jì)，通常為20~80重量％,優(yōu)選為 30~70重量％。此時(shí)，若含羧基5官能單體的含有比率過少則得不到所 需的效果，另一方面若過多則得到的著色層的表面平滑性有可能變得不 充分。-(E)光聚合引發(fā)劑-本發(fā)明中的光聚合引發(fā)劑為通過可見光線、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、電 子射線、X射線等放射線的曝光產(chǎn)生可以引發(fā)上述(D)多官能性單體的聚 合的活性種(活性種)的化合物。作為這種光聚合引發(fā)劑，可以舉出例如，苯乙酮類化合物、聯(lián)咪唑 (匕WS夕'、/一A)類化合物、三。秦類化合物、O-?；款惢衔?、像鹽類化 合物、苯偶姻類化合物、二苯曱酮類化合物、oc-二酮類化合物、多核醌 類化合物、4噸酮類化合物、重氮類化合物、酰亞胺石黃酸酯(<s K7;p本于—卜)類化合物等。這些化合物為通過曝光產(chǎn)生活性自由基、 活性酸或活性自由基與活性酸兩者的成分。本發(fā)明中，光聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用，作 為本發(fā)明中的光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選選自苯乙酮類化合物、聯(lián)咪唑類化合 物、三溱類化合物、o-?；鶎㈩惢衔镏械闹辽賗種。本發(fā)明中，光聚合引發(fā)劑的一般含量相對(duì)于(D)多官能性單體100 重量份，通常為0.01 ~ 120重量份，優(yōu)選為1~100重量份。此時(shí)，若光聚合引發(fā)劑的含量過少則通過曝光進(jìn)行的固化不充分，有可能難以得到 著色層圖案根據(jù)規(guī)定的排列配置的濾色器，另一方面，若過多則形成的 著色層在顯影時(shí)有可能易從基板脫落。本發(fā)明中的優(yōu)選光聚合引發(fā)劑中，作為苯乙酮類化合物的具體例子，可以舉出2-羥基-2-甲基-l-苯基丙烷-l-酮、2-甲基-l-[4-(甲硫基)苯 基]_2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-千基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)丁烷-1-酮、1-羥基環(huán)己基-苯基酮、2，2-二曱氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、1,2-辛烷二酮等。這些苯乙酮類化合物中，特別優(yōu)選2-甲基-l-[4-(曱硫基)苯基]-2-嗎 啉代丙烷-l-酮、2-千基-2-二曱基氨基-l-(4-嗎啉代苯基)丁烷-l-酮、1,2-辛烷二酮等。上述苯乙酮類化合物可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。 本發(fā)明中，作為光聚合引發(fā)劑使用苯乙酮類化合物時(shí)的含量相對(duì)于 (D)多官能性單體100重量份，通常為0.01 ~ 80重量份，優(yōu)選為1~70 重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為1 60重量份。此時(shí)，若苯乙酮類化合物的含量 過少則通過曝光進(jìn)行的固化不充分，有可能難以得到著色層圖案根據(jù)規(guī) 定的排列配置的濾色器，另一方面，若過多則形成的著色層在顯影時(shí)有 可能易從基板脫落。此外，作為上述聯(lián)咪唑類化合物的具體例子，可以舉出2,2，-二(2-氯苯基)-4,4，，5,5，-四(4-乙氧基羰基苯基)-l,2，-聯(lián)咪唑、2,2'-二(2-溴苯 基)_4,4，,5,5，-四(4-乙氧基羰基苯基)-1,2，-聯(lián)咪唑、2,2，- 二 (2-氯苯 基)_4,4，，5,5，-四苯基-1,2，-聯(lián)咪唑、2,2，-二(2，4-二氯苯基)-4,4，,5,5，-四苯基 國(guó)l,2，-聯(lián)咪唑、2,2，-二(2,4,6-三氯苯基)-4,4，,5,5，-四苯基-1,2，-聯(lián)咪唑、2,2，-二 (2-溴苯基)-4,4，,5,5，匿四苯基-1，2，-聯(lián)咪唑、2,2，- 二 (2,4- 二溴苯 基)_4,4，，5,5，-四苯基-1,2,-聯(lián)咪唑、2,2，-二(2,4,6-三溴苯基)-4,4,,5,5，-四苯基-l,2，-聯(lián)咪唑等。這些聯(lián)咪唑類化合物中，優(yōu)選2,2，-二(2-氯苯基)-4,4，，5,5，-四苯基 -1,2，國(guó)聯(lián)咪哇、2,2，-二(2,4畫二氯苯基)-4，4，,5,5，畫四苯基-1,2，-聯(lián)咪唑、2,2，畫 二(2,4,6-三氯苯基)-4,4，,5，5，-四苯基-l,2，-聯(lián)咪唑等，特別優(yōu)選2,2，-二(2,4誦 二氯苯基)-4,4，,5,5，-四苯基-l,2，-聯(lián)咪唑。這些聯(lián)咪唑類化合物由于在溶劑中的溶解性優(yōu)異，不會(huì)產(chǎn)生未溶解 物、析出物等異物，而且靈敏度高，通過少的能量曝光充分進(jìn)行固化反 應(yīng)的同時(shí)在未曝光部不會(huì)產(chǎn)生固化反應(yīng)，因此曝光后的涂膜明確地劃分 為對(duì)于顯影液不溶性的固化部分和對(duì)于顯影液具有高溶解性的未固化 部分，由此，可以形成無底切(7〉y-力、v卜)的著色層圖案根據(jù)規(guī)定的排 列配置的高精細(xì)的濾色器。上述聯(lián)咪唑類化合物可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。本發(fā)明中，作為光聚合引發(fā)劑使用聯(lián)咪唑類化合物時(shí)的含量相對(duì)于 (D)多官能性單體100重量份，通常為0.01 ~ 40重量份，優(yōu)選為1~30 重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為1~20重量份。此時(shí)，若聯(lián)咪唑類化合物的含量 過少則通過曝光進(jìn)行的固化不充分，有可能難以得到著色層圖案根據(jù)規(guī) 定的排列配置的濾色器，另一方面，若過多則顯影時(shí)，有可能易產(chǎn)生形 成的著色層從基板脫落或著色層表面的膜粗糙。本發(fā)明中，作為光聚合引發(fā)劑使用聯(lián)咪唑類化合物時(shí)，并用下述氬 供體由于可以進(jìn)一步改善靈敏度而優(yōu)選。其中，"氫供體"指的是可以對(duì)通過曝光由聯(lián)咪唑類化合物產(chǎn)生的 自由基供給氫原子的化合物。作為本發(fā)明中的氫供體，優(yōu)選為下述定義的硫醇類化合物、胺類化 合物等。上述硫醇類化合物含有以苯環(huán)或雜環(huán)為母核，具有1個(gè)以上、優(yōu)選 1 ~3個(gè)、進(jìn)一步優(yōu)選1 ~2個(gè)與該母核直接4建合的巰基的化合物(下文稱 為"硫醇類氫供體")。上述胺類化合物含有以苯環(huán)或雜環(huán)為母核，具有1個(gè)以上、優(yōu)選1 ~ 3個(gè)、進(jìn)一步優(yōu)選1 ~2個(gè)與該母核直接鍵合的氨基的化合物(下文稱為 "胺類氫供體")。而且，這些氫供體也可以同時(shí)具有巰基和氨基。以下對(duì)氫供體進(jìn)行更具體的說明。^琉醇類氫供體可以分別具有1個(gè)以上的苯環(huán)或雜環(huán)，此外也可以具有苯環(huán)和雜環(huán)兩者，具有2個(gè)以上這些環(huán)時(shí)，可以形成稠環(huán)，也可以不 形成稠環(huán)。此外，硫醇類氫供體具有2個(gè)以上巰基時(shí)，只要至少l個(gè)游離巰基 殘存則其余的巰基的1個(gè)以上可以被烷基、芳烷基或芳基取代，進(jìn)一步 地只要至少1個(gè)游離巰基殘存，則可以具有2個(gè)石危原子通過亞烷基等2 價(jià)有機(jī)基團(tuán)鍵合的結(jié)構(gòu)單元或2個(gè)硫原子以二^ii化物的形式鍵合的結(jié)構(gòu) 單元。進(jìn)一步地，硫醇類氫供體可以在巰基以外的部位被羧基、烷氧基羰 基、取代烷氧基羰基、苯氧基羰基、取代苯氧基羰基、腈基等取代。作為這種硫醇類氫供體的具體例子，可以舉出2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并嗜唑、2-巰基苯并咪唑、2,5-二巰基-l,3,4-p塞二哇、2-巰基-2,5-二甲基氨基吡啶等。這些硫醇類氫供體中，優(yōu)選2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并p惡唑，特 別優(yōu)選2-巰基苯并p塞唑。此外，胺類氫供體可以分別具有1個(gè)以上的苯環(huán)或雜環(huán)，此外也可 以具有苯環(huán)和雜環(huán)兩者，具有2個(gè)以上這些環(huán)時(shí)，可以形成稠環(huán)，也可 以不形成稠環(huán)。此外，胺類氬供體中，氨基的1個(gè)以上可以;故烷基或取代烷基取代， 此外也可以在氨基以外的部位被羧基、烷氧基羰基、取代烷氧基羰基、 苯氧基羰基、取代苯氧基羰基、腈基等取代。作為這種胺類氫供體的具體例子，可以舉出4,4，-二(二甲基氨基)二 苯甲酮、4,4，-二(二乙基氨基)二苯甲酮、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二曱基 氨基苯丙酮、乙基-4-二甲基氨基苯曱酸酯、4-二曱基氨基苯曱酸、4-二甲基氨基苯甲腈等。這些胺類氫供體中，優(yōu)選4，4，-二(二曱基氨基)二苯甲酮、4，4，-二(二 乙基氨基)二苯甲酮，特別優(yōu)選4,4，-二(二乙基氨基)二苯甲酮。而且，胺類氫供體即使在聯(lián)咪唑類化合物以外的自由基引發(fā)劑的情 況下也具有作為敏化劑(増感剤)的作用。本發(fā)明中，氫供體可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用，但是l種 以上硫醇類氬供體與1種以上胺類氫供體組合使用由于形成的著色層在 顯影時(shí)不易從基板脫落、此外著色層強(qiáng)度和靈敏度也高，因而優(yōu)選。作為硫醇類氬供體與胺類氫供體的組合的具體例子，可以舉出2-巰基苯并噻唑/4，4，-二(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯并噻唑/4,4，-二(二 乙基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯并哺唑/4,4，-二(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯并喵唑/4,4，-二(二乙基氨基)二苯甲酮等，進(jìn)一步優(yōu)選的組合為2-巰基苯并噻唑/4,4，-二(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯并p惡唑/4，4，-二(二 乙基氨基)二苯甲酮，特別優(yōu)選的組合為2-巰基苯并噻唑/4,4，-二(二乙基 氨基)二苯甲酮。硫醇類氫供體與胺類氬供體的組合中的硫醇類氫供體與胺類氫供 體的重量比通常為1:1 ~ 1:4,優(yōu)選為1:1-1:3。本發(fā)明中，將氫供體與聯(lián)咪唑類化合物并用時(shí)的含量相對(duì)于(D)多 官能性單體100重量份，優(yōu)選為0.01 ~ 40重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為1 ~ 30 重量份，特別優(yōu)選為1~20重量份。此時(shí)，若氫供體的含量過少，則靈 敏度的改善效果有降低的趨勢(shì)，另一方面，若過多則形成的著色層在顯 影時(shí)有可能易從基板脫落。此外，作為上述三。秦類化合物的具體例子，可以舉出2,4,6-三(三氯 甲基)-s-三嗪、2-曱基-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(5-曱基呋喃-2-基) 乙烯基]-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙婦基]-4,6-二(三氯甲 基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙基氨基-2-曱基苯基)乙烯基]-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(3,4-二曱氧基苯基)乙烯基]-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-曱氧基苯基)-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-二(三 氯甲基)-s-三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪等具有鹵甲 基的三。秦類化合物。這些三溱類化合物中，特別優(yōu)選2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯 基]-4,6-二(三氯甲基)-s-三嗪。上述三嗪類化合物可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。本發(fā)明中，作為光聚合引發(fā)劑使用三嗪類化合物時(shí)的含量相對(duì)于(D) 多官能性單體100重量份，優(yōu)選為0.01~40重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為1 30重量份，特別優(yōu)選為1-20重量份。此時(shí)，若三嗪類化合物的含量過 少則通過曝光進(jìn)行的固化不充分，有可能難以得到著色層圖案根據(jù)規(guī)定 的排列配置的濾色器，另一方面，若過多則形成的著色層在顯影時(shí)有可 能易從基板脫落。此外，作為上述O-?；款惢衔锏木唧w例子，可以舉出1,2-庚烷二酮，1 -[4-(苯硫基)苯基]-,2-(0-苯曱?；?、1,2-辛烷二酮,1 -[4-(苯硫基) 苯基]-,2-(0-苯曱?；?、1,2-辛烷二酮，1 -[4-(苯甲酰基)苯基]-,2-(0-苯曱 ?；?、乙酮,l-[9-乙基-6-(2-曱基苯曱?；?-9H-葉唑-3-基]-，l-(0-乙?；?月虧)、乙酮,1 -[9-乙基-6-(3-曱基苯甲?；?-9H-呼唑-3-基]-,1 -(O-乙酰基肟)、 乙酮，l-(9-乙基-6-苯曱?；?9H-咕唑-3-基)-,l-(0-乙?；鶎?、乙酮，1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基苯曱?；?-9H-呼唑-3-基]-，l-(O-乙?；?、 乙酮，1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氳吡喃基苯曱酰基)-911-^唑-3-基]-,1-(0-乙?；?、乙酮,1 -[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氬呋喃基苯曱?；?-9H-咕唑國(guó)3國(guó) 基]-,l-(O-乙?；?、乙酮，1-[9-乙基-6-(2-曱基-5-四氫吡喃基苯曱酰 基)-9H-口卡唑-3-基]-,l-(0-乙?；?、乙酮,1-[9-乙基-6-{2-曱基-4-(2,2-二 甲基-l，3-二氧戊環(huán)基)苯甲?；?-9H-咔唑-3-基]-,l-(0-乙酰基肟)、乙 酮，1 -[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基曱氧基苯甲?；?-9H-咔唑-3-基]-,1 -(O-乙?；?、乙酮，1 -[9-乙基-6-(2-曱基-4-四氫吡喃基甲氧基苯曱 ?；?-9H-呼唑-3-基]-,l-(0-乙?；?、乙酮,l-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氫 呋喃基甲氧基苯甲?；?-9H-咔唑-3-基]-,1 -(O-乙酰基肟)、乙酮,1 -[9-乙基 -6-(2-甲基-5-四氫吡喃基甲氧基苯曱?；?-9H-咔唑-3-基]-,l-(0乙酰基 肟)、乙酮,1-[9-乙基-6-{2-曱基-4-(2,2-二曱基-1,3-二氧戊環(huán)基)甲氧基苯甲 ?；鶀 -9H-?？ㄟ?3-基]-,1 -(O-乙?；?等。這些O-?；活惢衔镏校貏e優(yōu)選1,2-辛烷二酮，l-[4-(苯硫基) 苯基]畫,2畫(0-苯甲酰基肟)、乙酮,l畫[9畫乙基-6國(guó)(2-甲基苯甲酰基)畫9H-咔唑國(guó)3畫 基]-,l-(O-乙?；?、乙酮，l-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氫呋喃基曱氧基苯甲 酰基)-9H-呻唑-3-基]-，l-(0-乙酰基肟)、乙酮,1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二曱基-l,3-二氧戊環(huán)基)曱氧基苯曱?；?-9H-咔唑-3-基]-,l-(0-乙?；? 等。上述O-酰基將類化合物可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。 本發(fā)明中，作為光聚合引發(fā)劑使用O-?；款惢衔飼r(shí)的用量相對(duì) 于(D)多官能性單體100重量份，優(yōu)選為0.01 ~ 80重量份，進(jìn)一步優(yōu)選 為1~70重量份，特別優(yōu)選為1~60重量份。此時(shí)，若O-?；款惢?物的含量過少，則通過曝光進(jìn)行的固化不充分，有可能難以得到著色層 圖案根據(jù)規(guī)定的排列配置的濾色器，另一方面，若過多則形成的著色層 在顯影時(shí)有可能易從基板脫落。 -其它的添加劑-本發(fā)明的著色層形成用放射線敏感性樹脂組合物以上述(A) ~ (E)成 分作為必須成分，但是根據(jù)需要也可以進(jìn)一步含有其它的添加劑。
作為上述其它的添加劑，可以舉出例如，玻璃、氧化鋁等填充劑， 聚乙烯醇、聚(氟烷基丙烯酸酯)類等高分子化合物，非離子類表面活性 劑、陽離子類表面活性劑、陰離子類表面活性劑等表面活性劑，乙烯基 三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-曱氧基乙氧基)硅烷、 N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二曱氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙 基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三曱氧 基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基 三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、 3-甲基丙烯酰氧基丙基三曱氧基硅烷、3-巰基丙基三甲氧基硅烷等密合 促進(jìn)劑，2，2-硫代雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)醚、2,6-二叔丁基苯酚等抗氧 化劑，2-(3-叔丁基-5-曱基-2-羥基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯曱酮 類等紫外線吸收劑，聚丙烯酸鈉等抗絮凝劑，丙二酸、已二酸、衣康酸、 檸康酸、富馬酸、中康酸等殘?jiān)纳苿┑取?br> 液態(tài)組合物的制備
本發(fā)明的著色層形成用放射線敏感性樹脂組合物通常配合溶劑制 備成液態(tài)組合物。
作為上述溶劑，只要為將構(gòu)成放射線敏感性樹脂組合物的(A) ~ (E) 成分、其它的添加劑成分分散或溶解且不與這些成分反應(yīng)、具有適當(dāng)揮 發(fā)性的溶劑，則可以適當(dāng)選擇使用。
作為這種溶劑，可以舉出例如，
丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚等丙二醇單烷基醚類， 乙二醇單甲基醚乙酸酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯、乙二醇單正丙基 醚乙酸酯、乙二醇單正丁基醚乙酸酯、二乙二醇單甲基醚乙酸酯、二乙 二醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、 二丙二醇單甲基醚乙酸酯、二丙二醇單乙基醚乙酸酯、3-甲氧基丁基乙
酸酯等(聚)亞烷基二醇單烷基醚乙酸酯類，
二乙二醇二甲基醚、二乙二醇曱基乙基醚、二乙二醇二乙基醚、二 丙二醇二曱基醚、二丙二醇甲基乙基醚、二丙二醇二乙基醚等(聚)亞烷 基二醇二醚類，
四氬呋喃等其它的醚類，曱基乙基酮、環(huán)己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮類，
二丙酮醇(即4-羥基-4-甲基戊烷-2-酮)、4-羥基-4-甲基己烷-2-酮等酮醇類，乳酸曱酯、乳酸乙酯等乳酸烷基酯類，2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸曱酯、 3-甲氧基丙酸曱酯、3-曱氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙 酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲基-3-曱氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-曱氧 基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙 酸異丁酯、甲酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正 丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸曱酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正 丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其它的酯類，甲苯、二甲苯等芳烴類，N-曱基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二曱基乙酰胺等酰胺類等。
這些溶劑中，從溶解性、顏料分散性、涂布性等方面考慮，優(yōu)選丙 二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、乙二醇單曱基醚乙酸酯、乙二醇單正 丙基醚乙酸酯、乙二醇單正丁基醚乙酸酯、二乙二醇單甲基醚乙酸酯、 二乙二醇單乙基醚乙酸酯、丙二醇單曱基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙 酸酯、二丙二醇單甲基醚乙酸酯、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇曱基乙 基醚、二丙二醇二曱基醚、環(huán)己酮、2-庚酮、3-庚酮、3-甲氧基丙酸乙 酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-曱基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、曱酸正戊酯、乙 酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸 乙酯等。
上述溶劑可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。
進(jìn)一步地，也可以與上述溶劑一起并用千基乙基醚、二正己基醚、 丙酮基丙酮、異佛爾酮、已酸、辛酸、l-辛醇、l-壬醇、苯甲醇、乙酸 千基酯、苯曱酸乙酯、草酸二乙酯、馬來酸二乙酯、"丁內(nèi)酯、碳酸亞 乙酯、碳酸亞丙酯、乙二醇單苯基醚乙酸酯等高沸點(diǎn)溶劑。
上述高沸點(diǎn)溶劑可以單獨(dú)使用或?qū)?種以上混合使用。
對(duì)溶劑的用量不特別限定，但是從得到的液態(tài)組合物的涂布性、穩(wěn) 定性等方面考慮，優(yōu)選為使該組合物的除了溶劑的各成分的總濃度為5~50重量％,特別是為10~40重量％的量。 濾色器的形成方法
接著對(duì)使用本發(fā)明的著色層形成用放射線敏感性樹脂組合物，形成 本發(fā)明的濾色器的方法進(jìn)行說明。
形成濾色器的方法通常至少含有下述(1)~(4)的步驟。
(1) 在基板上形成本發(fā)明的著色層形成用放射線敏感性樹脂組合物 的涂膜的步驟。
(2) 對(duì)該涂膜的至少一部分進(jìn)行曝光的步驟。
(3) 將曝光后的該涂膜顯影的步驟。
(4) 對(duì)顯影后的該涂膜進(jìn)行熱處理(下文稱為"后烘")的步驟。 以下依次對(duì)這些步驟進(jìn)行說明。
-(l)步驟-
首先，在基板的表面上根據(jù)需要形成遮光層以區(qū)劃形成像素的部 分，在該基板上例如涂布含有紅色顏料的著色層形成用放射線敏感性樹 脂組合物的液態(tài)組合物后，進(jìn)行前烘(7k《一夕)，使溶劑蒸發(fā)，形成涂膜。
作為在該步驟中使用的基板，例如除了玻璃、硅、聚碳酸酯、聚酯、 芳族聚酰胺、聚酰胺酰亞胺、聚酰亞胺、聚醚砜之外，還可以舉出環(huán)狀 烯烴的開環(huán)聚合物或其氫化物等。
此外，對(duì)于這些基板，可以根據(jù)需要預(yù)先實(shí)施通過硅烷偶聯(lián)劑等進(jìn) 行的化學(xué)處理、等離子體處理、離子鍍、濺射、氣相反應(yīng)法、真空蒸鍍 等適當(dāng)?shù)那疤幚怼?br> 在基板上涂布液態(tài)組合物時(shí)，可以釆用旋轉(zhuǎn)涂布(旋涂)、流延涂布、 輥涂、通過狹縫噴嘴進(jìn)行的涂布等適當(dāng)?shù)耐坎挤ǎ潜景l(fā)明中的放射 線敏感性樹脂組合物即使干燥后在洗滌溶劑中的溶解性也高，適于通過 狹縫噴嘴進(jìn)行的涂布。
前烘的條件通常為在70 ~ ll(TC下進(jìn)行2-4分鐘左右。
涂布厚度作為除去溶劑后的膜厚，通常為0.1 ~ 10pm,優(yōu)選為0.2 ~ 8.0|um，進(jìn)一步優(yōu)選為0.2 ~ 6.0|um。
-(2)步驟-
然后，對(duì)形成的涂膜的至少一部分進(jìn)行曝光。對(duì)涂膜的一部分進(jìn)行 曝光時(shí)，通常通過具有適當(dāng)圖案的光掩模進(jìn)行曝光。作為該步驟中使用的放射線，例如可以使用可見光線、紫外線、遠(yuǎn)
紫外線、電子射線、X射線等，但是優(yōu)選波長(zhǎng)為190 450nm的放射線。 放射線的曝光量通常為10 ~ 10000J/m2左右。 畫(3)步驟-
然后，對(duì)于曝光的涂膜優(yōu)選使用堿性顯影液進(jìn)行顯影，溶解除去涂 膜的未曝光部分，形成圖案。
作為上述堿性顯影液，優(yōu)選為碳酸鈉、氬氧化鈉、氫氧化鉀、氬氧 化四曱基銨、膽堿、1,8-二氮雜雙環(huán)-[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮雜雙環(huán) -[4.3.0]-5-壬烯等的水溶液。
在上述石成性顯影液中，例如也可以適當(dāng)添加甲醇、乙醇等水溶性有 機(jī)溶劑或表面活性劑等。而且，堿顯影后通常水洗。
作為顯影處理法，可以適用淋浴顯影法、噴霧顯影法、浸漬(浸漬) 顯影法、液池(液池)(A (液盛I9))顯影法等，但是本發(fā)明中的放射線 敏感性樹脂組合物在堿性顯影液中的溶解性高，適于通過淋浴顯影法進(jìn) 行的顯影。
顯影條件優(yōu)選為常溫下進(jìn)行5 ~ 300秒左右。 -(4)步驟-
然后，通過對(duì)顯影后的涂膜進(jìn)行后烘，可以得到含有放射線敏感性 樹脂組合物的固化物的像素圖案以規(guī)定的排列配置的基板。
后烘的條件優(yōu)選為在180 ~ 230。C下進(jìn)行20 ~ 40分鐘左右。 如此形成的像素的膜厚通常為0.5~5.0|iim,優(yōu)選為1.5~3.0|am。 進(jìn)一步地，通過使用含有綠色或藍(lán)色顏料的著色層形成用放射線敏 感性樹脂組合物的各液態(tài)組合物重復(fù)上述(l) ~ (4)的步驟，在同 一基板上 形成綠色的像素圖案和藍(lán)色的像素圖案，由此可以在基板上形成紅色、 綠色和藍(lán)色三原色的像素圖案以規(guī)定的排列配置的著色層。但是，本發(fā) 明中的各顏色像素圖案的形成順序不限于上述順序。 濾色器
本發(fā)明的濾色器具有使用本發(fā)明的著色層形成用放射線敏感性樹 脂組合物形成的著色層。
本發(fā)明的濾色器例如在透過型或反射型的彩色液晶顯示裝置、彩色 攝像管元件、彩色傳感器等中是極其有用的。
彩色液晶顯示裝置本發(fā)明的彩色液晶顯示裝置具有本發(fā)明的濾色器。
本發(fā)明的彩色液晶顯示裝置可以采用適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)。例如，可以釆用
將濾色器形成在與配置有薄膜晶體管(TFT)的驅(qū)動(dòng)用基板不同的其它基 板上，驅(qū)動(dòng)用基板與形成有濾色器的基板通過液晶層對(duì)置的結(jié)構(gòu)，進(jìn)一 步地可以采用在配置有薄膜晶體管(TFT)的驅(qū)動(dòng)用基板的表面上形成濾 色器的基板與形成有ITO(摻雜錫的氧化銦)電極的基板通過液晶層對(duì)置 的結(jié)構(gòu)。后者的結(jié)構(gòu)具有可以大幅提高開口率，得到明亮的高精細(xì)的彩 色液晶顯示裝置的優(yōu)點(diǎn)。
發(fā)明不被下述實(shí)施例所限定。
下述各合成例中得到的樹脂的Mw和Mn通過下述說明的凝膠滲透 色譜(GPC)測(cè)定。
裝置GPC-101(昭和電工(抹)制)。
色譜柱結(jié)合使用GPC-KF-801、 GPC-KF-802、 GPC-KF-803和 GPC-KF曙804。
流動(dòng)相含有0.5重量％磷酸的四氫呋喃。
堿可溶性樹脂的合成
合成例1
向具有冷凝管、攪拌機(jī)的燒瓶中加入2,2，-偶氮二異丁腈3重量份、 丙二醇單曱基醚乙酸酯200重量份，接著加入甲基丙烯酸15重量份、 cD-羧基聚己內(nèi)酯單丙烯酸酯5重量份、N-苯基馬來酰亞胺22重量份、 苯乙烯13重量份、甲基丙烯酸千基酯35重量份、甘油單(甲基)丙烯酸 酯10重量份和作為分子量調(diào)節(jié)劑的a-甲基苯乙烯二聚物5重量份，用 氮?dú)庵脫Q。然后，緩慢攪拌并將反應(yīng)溶液升溫至80°C,保持該溫度保持 5小時(shí)進(jìn)行聚合，由此得到共聚物(S-1)的溶液。(Mw=10500、 Mn=5200、 固體成分濃度31.2重量％)
顯影液浸漬試-驗(yàn)
實(shí)施例1
將含有作為(A)著色劑的C丄顏料綠36與C.I.顏料黃150的 50/50(重量比)混合物40重量份、作為分散劑的Disperbyk2001(不揮發(fā)成分=46%、胺值=29)10重量份(換算成固體成分)以及作為溶劑的丙二醇單 曱基醚乙酸酯100重量份的混合液通過夕'^f \乇7卜、7 7 O ;、 A(商 品名，三菱7 f卩7VH;抹)制砂磨機(jī)(珠直徑l.Omm))混合、分散12小時(shí)， 制備顏料分散液(p-l)。
接著，將該顏料分散液(p-l)450重量份、作為(B)堿可溶性樹脂的共 聚物(S-1)90重量份(換算成固體成分)、作為(C)多官能性單體的TO-1382 60重量份、作為(D)光聚合引發(fā)劑的2-千基-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代苯 基)丁烷-l-酮15重量份和1-[9-乙基-6-(2-甲基苯曱?；?-911-口卡唑-3-基]-乙酮1-(0-乙?；鶎?5重量份以及作為溶劑的3-乙氧基丙酸乙酯800重 量份混合，制備液態(tài)組合物(r-l)。液態(tài)組合物(r-l)中，顏料的含量在全 部固體成分中為37.5%。
然后，將液態(tài)組合物(r-l)旋涂于表面上形成有防止鈉離子溶出的 Si02膜的直徑4英寸的鈉玻璃基板上后，在8(TC的潔凈烘箱內(nèi)進(jìn)行10 分鐘前烘，在基板上形成3.0ium的涂膜。
接著將該基板浸漬在用磁性攪拌器攪拌的含有0.04重量％氫氧化鉀 水溶液的顯影液1000cc中2分鐘后，涂膜完全溶解。
實(shí)施例2
除了使用Disperbykl42(不揮發(fā)成分二60。/。、胺值=43)來替代 Disperbyk2001作為分散劑之外，與實(shí)施例1同樣地操作，制備液態(tài)組合 物(r-2),在鈉玻璃基板上形成涂膜。
接著將該基板與實(shí)施例1同樣地浸漬在含有0.04重量％氫氧化鉀水 溶液的顯影液1000cc中2分鐘，結(jié)果涂膜完全溶解。
實(shí)施例3
除了使用Disperbykl45(不揮發(fā)成分400Q/。、胺值=71)來替代 Disperbyk2001作為分散劑之外，與實(shí)施例1同樣地操作，制備液態(tài)組合 物(r-3)，在鈉玻璃基板上形成涂膜。
接著，將該基板與實(shí)施例1同樣地浸漬在含有0.04重量％氫氧化鉀 水溶液的顯影液1000cc中2分鐘，結(jié)果涂膜完全溶解。
實(shí)施例4
除了使用Disperbyk2150(不揮發(fā)成分-52。/。、胺值=57)來替代 Disperbyk2001作為分散劑之外，與實(shí)施例1同樣地操作，制備液態(tài)組合 物(r-4),在鈉玻璃基板上形成涂膜。接著，將該基板與實(shí)施例1同樣地浸漬在含有0.04重量％氫氧化鉀 水溶液的顯影液1000cc中2分鐘，結(jié)果涂膜完全溶解。 比4交例1
除了使用以季戊四醇三丙烯酸酯與琥珀酸的單酯化物為主要成分 的TO-756(東亞合成(林)制)來替代TO-1382作為(C)多官能性單體之外， 與實(shí)施例l同樣地操作，制備液態(tài)組合物(r-5),在鈉玻璃基板上形成涂膜。
接著將該基板與實(shí)施例1同樣地浸漬在含有0.04重量％氫氧化鉀水 溶液的顯影液1000cc中2分鐘，結(jié)果涂膜完全溶解。 比4支例2
除了使用二季戊四醇六丙烯酸酯來替代TO-1382作為(C)多官能性 單體之外，與實(shí)施例l同樣地操作，制備液態(tài)組合物(r-6),在鈉玻璃基 一反上形成涂膜。
接著，將該基板與實(shí)施例1同樣地浸漬在含有0.04重量％氫氧化鉀 水溶液的顯影液1000cc中2分鐘，結(jié)果涂膜未完全溶解，在溶液中^L察 到大量的不溶解物的塊。
比凈支例3
除了使用二季戊四醇六丙烯酸酯來替代TO-1382作為(C)多官能性 單體之外，與實(shí)施例2同樣地操作，制備液態(tài)組合物(r-7),在鈉玻璃基 板上形成涂膜。
接著，將該基板與實(shí)施例1同樣地浸漬在含有0.04重量％氫氧化鉀 水溶液的顯影液1000cc中2分鐘，結(jié)果涂膜未完全溶解，在溶液中觀察 到大量的不溶解物的塊。
參考例1
除了將顏料分散液(p-l)的配合量由450重量份改變?yōu)?25重量份、 將溶劑3-乙氧基丙酸乙酯的配合量由800重量份改變?yōu)?00重量份之 外，與比較例l同樣地操作，制備液態(tài)組合物(r-8)，在鈉玻璃基板上形 成涂膜。液態(tài)組合物(r-8)中顏料的含量在全部固體成分中為24.5%。
接著，將該基板與實(shí)施例1同樣地浸漬在含有0.04重量％氬氧化鉀 水溶液的顯影液1000cc中2分鐘，結(jié)果涂膜完全溶解。
顯影性的評(píng)價(jià)
實(shí)施例5將液態(tài)組合物(r-l)使用旋涂機(jī)涂布于在表面上形成有防止鈉離子溶 出的SiCb膜的直徑4英寸的鈉玻璃基板上后，在9(TC的加熱板上進(jìn)行2 分鐘前烘，形成厚2.5|um的涂膜。接著，將該基板冷卻至室溫后，使用高壓汞燈通過光掩模(狹縫寬度 90)um),對(duì)涂膜用含有365nm、 405nm以及436nm的各波長(zhǎng)的紫外線進(jìn) 行曝光。此時(shí)的曝光量為1000J/m2。然后，通過向涂膜以lkgf/cm2的顯 影壓(噴嘴直徑lmm)吐出23。C的0.04重量％氫氧化鉀水溶液1分鐘，進(jìn) 行淋浴顯影后，在22(TC下進(jìn)行30分鐘后烘，由此在基板上形成紅色的 條狀像素圖案。用光學(xué)顯微鏡觀察基板上的像素陣列后，在未曝光部的基板上未發(fā) 現(xiàn)顯影殘?jiān)以谙袼貓D案的邊緣未發(fā)現(xiàn)欠缺(欠O 。 實(shí)施例6除了使用液態(tài)組合物(r-2)來替代液態(tài)組合物(r-l)之外，與實(shí)施例5 同樣地操作，實(shí)施顯影性的評(píng)價(jià)，結(jié)果在未曝光部的基板上未發(fā)現(xiàn)顯影 殘?jiān)以谙袼貓D案的邊緣未發(fā)現(xiàn)欠缺。實(shí)施例7除了使用液態(tài)組合物(r-3)來替代液態(tài)組合物(r-l)之外，與實(shí)施例5 同樣地操作，實(shí)施顯影性的評(píng)價(jià)，結(jié)果在未曝光部的基板上未發(fā)現(xiàn)顯影 殘?jiān)以谙袼貓D案的邊緣未發(fā)現(xiàn)欠缺。實(shí)施例8除了使用液態(tài)組合物(r-4)來替代液態(tài)組合物(r-l)之外，與實(shí)施例5 同樣地操作，實(shí)施顯影性的評(píng)價(jià)，結(jié)果在未曝光部的基板上未發(fā)現(xiàn)顯影 殘?jiān)以谙袼貓D案的邊緣未發(fā)現(xiàn)欠缺。比凈交例4除了使用液態(tài)組合物(r-5)來替代液態(tài)組合物(r-l)之外，與實(shí)施例5 同樣地操作，實(shí)施顯影性的評(píng)價(jià)，結(jié)果在未曝光部的基板上未發(fā)現(xiàn)顯影 殘?jiān)以谙袼貓D案的邊緣未發(fā)現(xiàn)欠缺。比舉支例5除了使用液態(tài)組合物(r-6)來替代液態(tài)組合物(r-l)之外，與實(shí)施例5 同樣地操作，實(shí)施顯影性的評(píng)價(jià)，結(jié)果在像素圖案的邊緣未發(fā)現(xiàn)欠缺但 是在未曝光部的基板上發(fā)現(xiàn)一些(若千)顯影殘?jiān)?。?交例6除了使用液態(tài)組合物(r-7)來替代液態(tài)組合物(r-l)之外，與實(shí)施例5 同樣地操作，實(shí)施顯影性的評(píng)價(jià)，結(jié)果未曝光部在顯影液中未完全溶解， 不能形成像素圖案。參考例2除了使用液態(tài)組合物(r-8)來替代液態(tài)組合物(r-l)之外，與實(shí)施例5 同樣地操作，實(shí)施顯影性的評(píng)價(jià)，結(jié)果在未曝光部的基板上未發(fā)現(xiàn)顯影 殘?jiān)以谙袼貓D案的邊緣未發(fā)現(xiàn)欠缺。表面平滑性的評(píng)價(jià)對(duì)在上述密合性的評(píng)價(jià)中得到的各像素圖案的上部的表面粗糙度， 使用亍"夕^ OX力l/乂〉、乂社制原子間力顯微鏡進(jìn)行測(cè)定評(píng)價(jià)。通常， 表面粗糙度為60A以下時(shí)，稱為表面平滑性優(yōu)異。實(shí)施例9對(duì)由實(shí)施例5制造的圖案的表面平滑性進(jìn)行測(cè)定，結(jié)果表面粗糙度 為50A。實(shí)施例10對(duì)由實(shí)施例6制造的圖案的表面平滑性進(jìn)行測(cè)定，結(jié)果表面粗糙度 為40A。實(shí)施例11對(duì)由實(shí)施例7制造的圖案的表面平滑性進(jìn)行測(cè)定，結(jié)果表面粗糙度 為37A。實(shí)施例12對(duì)由實(shí)施例8制造的圖案的表面平滑性進(jìn)行測(cè)定，結(jié)果表面粗糙度 為44A 。比凈交例7對(duì)由比較例4制造的圖案的表面平滑性進(jìn)行測(cè)定，結(jié)果表面粗糙度 為80A。比專支例8對(duì)由比較例5制造的圖案的表面平滑性進(jìn)行測(cè)定，結(jié)果表面粗糙度 為40A。比4交例9對(duì)由比較例6制造的圖案的表面平滑性進(jìn)行測(cè)定，結(jié)果表面粗糙度 為35A。參考例3對(duì)由參考例2制造的圖案的表面平滑性進(jìn)行測(cè)定，結(jié)果表面粗糙度為50A。
權(quán)利要求
1.著色層形成用放射線敏感性樹脂組合物，其含有(A)選自紅色顏料、綠色顏料和藍(lán)色顏料中的至少1種顏料、(B)分散劑、(C)堿可溶性樹脂、(D)下式(1)所示的多官能性單體以及(E)光聚合引發(fā)劑，其特征在于，(A)顏料的含量在全部固體成分中為30～60重量％，[化1]式中，R1表示氫原子或甲基，R2表示選自亞甲基、碳原子數(shù)為2～8的直鏈或支鏈的亞烷基、直鏈或支鏈的亞烯基、可以具有取代基的亞苯基、可以具有取代基的亞環(huán)己基和可以具有取代基的亞環(huán)己基的一部分為不飽和鍵的基團(tuán)中的基團(tuán)。
2. 如權(quán)利要求1所述的放射線敏感性組合物，其中，(B)分散劑的胺 值(單位mgKOH/g)為70 ~ 400。
3. 濾色器，其由權(quán)利要求1或2所述的放射線敏感性組合物形成。
4. 彩色液晶顯示裝置，其具有權(quán)利要求3所述的濾色器。
全文摘要
本發(fā)明提供即使顏料濃度高也可以以高制品收率形成不產(chǎn)生殘?jiān)蚋∥鄣臑V色器，此外可以形成具有充分表面平滑性的圖案的著色層形成用放射線敏感性樹脂組合物等。本發(fā)明涉及著色層形成用放射線敏感性樹脂組合物和由該組合物形成的濾色器，所述著色層形成用放射線敏感性樹脂組合物含有(A)選自紅色顏料、綠色顏料和藍(lán)色顏料中的至少1種顏料、(B)分散劑、(C)堿可溶性樹脂、(D)上式(1)所示的多官能性單體以及(E)光聚合引發(fā)劑，其特征在于，(A)顏料的含量在全部固體成分中為30～60重量％。(式中，R₁表示氫原子或甲基，R₂表示選自亞甲基、碳原子數(shù)為2～8的直鏈或支鏈亞烷基、直鏈或支鏈亞烯基、可以具有取代基的亞苯基、可以具有取代基的亞環(huán)己基和可以具有取代基的亞環(huán)己基的一部分為不飽和鍵的基團(tuán)中的基團(tuán)。)
文檔編號(hào)G02F1/13GK101403858SQ200810161968
公開日2009年4月8日 申請(qǐng)日期2008年10月6日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月5日
發(fā)明者大喜多健三, 槙平勇, 神井英行, 長(zhǎng)塚富雄 申請(qǐng)人:Jsr株式會(huì)社