專利名稱：液狀體配置方法、電光學(xué)裝置及其制造方法、電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及采用了液滴噴出法的液狀體配置方法、電光學(xué)裝置及其制造方法、電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
近年來，利用液滴噴出法來形成各種各樣的功能性膜的作法備受關(guān)注，例如，專利文獻(xiàn)1中公開了一種利用了液滴噴出法的液晶顯示裝置的濾色器制造方法。具體而言，從對(duì)基板進(jìn)行掃描的液滴噴頭(下面稱作噴頭(head))的微細(xì)噴嘴噴出含有顏色材料的液狀體(液滴)，將液狀體配置(描繪)到在該基板上形成的劃分區(qū)域內(nèi)，進(jìn)而通過干燥等使所配置的液狀體固化，形成著色膜。
可是會(huì)存在下述問題由于所噴出的液狀體的量(噴出量)在噴嘴之間存在微小的偏差，所以，基于基板內(nèi)的區(qū)域和所使用的噴嘴的關(guān)系，所配置的液狀體的量會(huì)產(chǎn)生不均(描繪不均)。為了降低這樣的描繪不均，專利文獻(xiàn)1中針對(duì)在結(jié)構(gòu)上容易產(chǎn)生噴出量不均的噴嘴，禁止在描繪中使用。
而且，在專利文獻(xiàn)1中，每當(dāng)將液狀體配置到一個(gè)劃分區(qū)域內(nèi)時(shí)，都分為多次掃描，一邊按每次掃描錯(cuò)開所使用的噴嘴一邊進(jìn)行液狀體的配置。這是因?yàn)橥ㄟ^增加每一劃分區(qū)域所使用的噴嘴數(shù)，使噴嘴間的特性差以統(tǒng)計(jì)方式分散。
專利文獻(xiàn)1特開2003-159787號(hào)公報(bào)但是，增加每個(gè)劃分區(qū)域所使用的噴嘴數(shù)的方法，不利于噴嘴的有效利用，成為招致描繪時(shí)間長時(shí)間化的原因。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決上述課題而提出，其目的在于，提供一種能夠在高的噴嘴利用率下以少的不均配置液狀體的液狀體配置方法、及使用了該液狀體配置方法的電光學(xué)裝置的制造方法、和由該制造方法制造的電光學(xué)裝置、電子設(shè)備。
本發(fā)明提供一種液狀體配置方法，其在具有由多個(gè)噴嘴構(gòu)成的噴嘴組的噴頭相對(duì)于基板掃描的情況下，向控制與所述噴嘴連通的液室的壓力的壓力控制單元提供電脈沖，從該噴嘴噴出液狀體，從而將該液狀體配置到所述基板，該液狀體配置方法包括第一噴出步驟，利用第一所述電脈沖，對(duì)所述基板的一個(gè)區(qū)域內(nèi)進(jìn)行所述液狀體的噴出；和第二噴出步驟，通過與所述第一噴出步驟相同的所述掃描、相同的所述噴嘴，并利用第二所述電脈沖，對(duì)所述一個(gè)區(qū)域內(nèi)進(jìn)行所述液狀體的噴出。
而且，優(yōu)選在所述液狀體配置方法中，當(dāng)將利用所述第一電脈沖進(jìn)行噴出時(shí)的所述噴嘴組內(nèi)的噴出量的分布幅寬設(shè)為a1、將利用所述第二電脈沖進(jìn)行噴出時(shí)的所述噴嘴組內(nèi)的噴出量的分布幅寬設(shè)為a2、將利用所述第一和第二電脈沖雙方進(jìn)行噴出時(shí)的所述噴嘴組內(nèi)的總和的噴出量的分布幅寬設(shè)為b時(shí)，滿足b＜a1+a2。
根據(jù)這些發(fā)明的液狀體配置方法，基于第一電脈沖噴出的液滴(液狀體)和基于第二電脈沖噴出的液滴(液狀體)可通過同一掃描配置在基板的一個(gè)區(qū)域內(nèi)。對(duì)于和其他噴嘴相比較的特性偏差而言，這兩種液滴即使從同一噴嘴噴出，也表示出相互不同的性質(zhì)，可以看作以模擬的方式由不同的噴嘴噴出。因此，上述掃描中的噴嘴間噴出量的偏差實(shí)質(zhì)上被分散，能夠以少量的不均配置液狀體。
并且優(yōu)選在所述第一和第二電脈沖具備用于對(duì)所述液室減壓的第一子脈沖、保持所述第一子脈沖的終點(diǎn)的電位的第二子脈沖、和與所述第二子脈沖相接用于對(duì)所述液室加壓使所述液狀體從所述噴嘴噴出的第三子脈沖的所述液狀體配置方法中，至少所述第二子脈沖的時(shí)間成分在所述第一電脈沖和所述第二電脈沖中不同。
根據(jù)本發(fā)明的液狀體配置方法，由于使得對(duì)噴出量偏差分布的依賴性高的第二子脈沖在第一和第二電脈沖之間不同，所以，能夠適當(dāng)?shù)氐玫缴鲜龅男Ч?br> 具備本發(fā)明的功能性膜的電光學(xué)裝置，其中包括利用所述液狀體配置方法將所述液狀體配置于所述基板的工序；和使該被配置的液狀體固化而形成功能性膜的工序。
根據(jù)本發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法，由于利用上述的液狀體配置方法形成了電光學(xué)裝置的作為構(gòu)成要素的功能性膜，所以，可以高效地制造具備在基板上的區(qū)域之間不均較少的功能性膜的電光學(xué)裝置。
本發(fā)明提供一種電光學(xué)裝置，其在具有由多個(gè)噴嘴構(gòu)成的噴嘴組的噴頭相對(duì)于基板掃描的情況下，向控制與所述噴嘴連通的液室的壓力的壓力控制單元提供電脈沖，從該噴嘴向所述基板的一個(gè)區(qū)域噴出液狀體，將通過該被噴出的液狀體的固化而形成的功能性膜作為構(gòu)成要素，所述液狀體相對(duì)于所述一個(gè)區(qū)域內(nèi)的噴出分別利用第一和第二電脈沖而進(jìn)行，利用了所述第一電脈沖的噴出和利用了所述第二電脈沖的噴出基于同一所述掃描、同一所述噴嘴進(jìn)行。
構(gòu)成本發(fā)明的電光學(xué)裝置的功能性膜，通過將基于第一電脈沖噴出的液滴(液狀體)和基于第二電脈沖噴出的液滴(液狀體)由同一掃描配置在基板的一個(gè)區(qū)域內(nèi)而形成。對(duì)于和其他噴嘴相比較的特性偏差而言，這兩種液滴即使從同一噴嘴噴出，也表示出相互不同的性質(zhì)，可以看作以模擬的方式由不同的噴嘴噴出。因此，上述掃描中的噴嘴間噴出量的偏差實(shí)質(zhì)上被分散，能夠以少量的不均配置液狀體。即，本發(fā)明的電光學(xué)裝置由于具備膜厚不均少的功能性膜，所以具有高品質(zhì)。
本發(fā)明的電子設(shè)備，其中具備所述電光學(xué)裝置。
由于本發(fā)明的電子設(shè)備具備上述電光學(xué)裝置，所以，其優(yōu)點(diǎn)在于品質(zhì)高且制造效率高。


圖1是表示液滴噴出裝置的整體構(gòu)成的概略圖。
圖2是表示噴頭的噴出面的俯視圖。
圖3是表示噴噴頭模塊的內(nèi)部構(gòu)造的一個(gè)例子的主要部分剖視圖。
圖4是表示液滴噴出裝置的電氣構(gòu)成的框圖。
圖5是表示驅(qū)動(dòng)信號(hào)的一個(gè)例子的時(shí)序圖。
圖6(a)、(b)是表示壓力控制過程中的噴頭模塊的內(nèi)部構(gòu)造的主要部分剖視圖。
圖7是表示噴出量在噴嘴列內(nèi)的分布的一個(gè)例子的圖。
圖8是表示液晶顯示裝置的主要部分構(gòu)造的概略剖視圖。
圖9是表示便攜式信息處理裝置的概略立體圖。
圖10(a)是表示第一掃描中的噴頭模塊相對(duì)于基板的掃描位置的俯視圖。(b)是表示第二掃描中的噴頭模塊相對(duì)于基板的掃描位置的俯視圖。
圖11(a)是示意地表示第一掃描中的液狀體相對(duì)于劃分區(qū)域的配置位置的俯視圖。(b)是示意地表示第二掃描中的液狀體相對(duì)于劃分區(qū)域的配置位置的俯視圖。
圖12是表示變形例1所涉及的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的構(gòu)成的時(shí)序圖。
圖13是表示變形例2所涉及的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的構(gòu)成的時(shí)序圖。
圖中11a～11c-噴頭模塊，16a～16f-作為噴嘴組的噴嘴列，17-噴嘴，22-作為與噴嘴連通的液室的腔室，26-作為壓力控制單元的壓電元件，41R、41G、41B-作為基板的一個(gè)區(qū)域的劃分區(qū)域，100-液滴噴出裝置，101-基板，103-噴頭，250-作為電光學(xué)裝置的液晶顯示裝置，261-作為基板的濾色器(CF)基板，263-圍堰，264R、264G、264B-作為功能性膜的著色膜，265-作為功能性膜的外涂(OC)膜，266、268-作為功能性膜的電極，300-作為電子設(shè)備的便攜式信息處理裝置，L-液狀體，PS_A-第一電脈沖，PS_B-第二電脈沖，p1A、p1B-第一子脈沖，p2A、p2B-第二子脈沖，p3A、p3B-第三子脈沖。
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。
另外，由于下面敘述的實(shí)施方式是本發(fā)明的優(yōu)選具體例，所以，在技術(shù)上賦予了優(yōu)選的各種限定，但只要是在以下的說明中沒有特別限定本發(fā)明的記載，則本發(fā)明的范圍不限定于這些方式。而且，在以下的說明所參考的附圖中，為了方便圖示，有時(shí)將部件或部分的縱橫比例尺與實(shí)際不同地進(jìn)行了表示。
(液滴噴出裝置)首先，參照?qǐng)D1、圖2、圖3，對(duì)本發(fā)明所涉及的液滴噴出裝置的機(jī)械構(gòu)成進(jìn)行說明。
圖1是表示液滴噴出裝置的整體構(gòu)成的概略圖。圖2是表示噴頭的噴出面的俯視圖。圖3是表示噴頭模塊的內(nèi)部構(gòu)造的一個(gè)例子的主要部分剖視圖。
在圖1中，液滴噴出裝置100具備用于載置基板101的載置臺(tái)102、進(jìn)行液狀體噴出的噴噴頭103、將液狀體提供給噴噴頭103的液狀體供給單元106。噴頭103按照能夠相對(duì)于載置臺(tái)102沿X軸方向往復(fù)移動(dòng)(主掃描)的方式，經(jīng)主掃描單元104安裝于主體部(未圖示)。而且，載置臺(tái)102按照相對(duì)于噴頭103能夠沿Y軸方向往復(fù)移動(dòng)(副掃描)的方式，經(jīng)副掃描單元105安裝于主體部(未圖示)。
液狀體供給單元106構(gòu)成為能夠?qū)⒍喾N液狀體向噴頭103供給。作為所使用的液狀體，除了水、有機(jī)溶劑以及這些的溶液之外，還可以采用在液體中分散了固體微粒的液體等。
如圖2所示，在噴頭103的相對(duì)于載置臺(tái)102的對(duì)置面(噴出面)，安裝有多個(gè)噴頭模塊11a、11b、11c，在噴頭模塊11a～11c中形成有噴嘴17。該噴嘴17沿著與主掃描方向正交的方向(Y軸方向)排列成線狀，構(gòu)成作為噴嘴組的噴嘴列16a～16f。
本實(shí)施方式的噴嘴列16a～16f分別由160個(gè)噴嘴構(gòu)成。而且，雖然在噴嘴列16a～16f兩端側(cè)存在著帶有陰影而圖示的噴嘴，但這些噴嘴成為不使用的虛設(shè)噴嘴。噴嘴列16a～16f分別成為142μm的噴嘴間距構(gòu)成，在噴頭103沿著X軸方向進(jìn)行主掃描的情況下，成為相互插補(bǔ)而連續(xù)的描繪71μm間距的掃描軌跡的位置關(guān)系。
噴頭模塊11a(對(duì)于11b、11c而言也同樣)的內(nèi)部構(gòu)造如圖3所示。即，噴頭模塊11a具備與每個(gè)噴嘴17連通的作為液室的腔室22、和與各腔室22連通的作為噴嘴列16a、16b單位的公共室的貯存器23。腔室22的頂蓋部24基于可撓性膜25而可動(dòng)，基于和頂蓋部24接合的作為壓力控制單元的壓電元件26的驅(qū)動(dòng)，對(duì)腔室22內(nèi)的壓力進(jìn)行控制。
更具體而言，腔室22的壓力控制采用提供給壓電元件26的電脈沖而進(jìn)行，通過該壓力控制可以從噴嘴17噴出腔室22內(nèi)的液狀體(后面將詳細(xì)敘述)。而且，通過按每個(gè)噴嘴17進(jìn)行與噴頭103的掃描同步發(fā)送的電脈沖的供給/非供給的控制，能夠在基板101上的任意區(qū)域配置(描繪)液狀體。
除了噴頭模塊11a～11c之外，在噴頭103上還安裝有省略圖示的其他噴頭模塊。該其他噴頭模塊與種類不同于噴頭模塊11a～11c的液狀體對(duì)應(yīng)設(shè)置。
另外，液滴噴出裝置的構(gòu)成不限定于上述的方式，例如，也可以構(gòu)成為在噴頭103的固定下，載置臺(tái)102沿著XY方向往復(fù)移動(dòng)，還可以構(gòu)成為在載置臺(tái)102的固定下，噴頭103沿著XY方向往復(fù)移動(dòng)。而且，還可以構(gòu)成為對(duì)噴嘴列16a～16f的噴嘴間距進(jìn)行變更，使噴嘴列16a～16f的伸長方向相對(duì)于Y軸方向而傾斜。
接著，參照?qǐng)D4、圖5、圖6、圖7，對(duì)于液滴噴出裝置的電氣構(gòu)成和基于電脈沖的液滴噴出進(jìn)行說明。
圖4是表示液滴噴出裝置的電氣構(gòu)成的框圖。圖5是表示驅(qū)動(dòng)信號(hào)的一個(gè)例子的時(shí)序圖。圖6是表示在壓力控制過程中的噴頭模塊的內(nèi)部構(gòu)造的主要部分剖視圖。圖7是表示噴出量在噴嘴列內(nèi)的分布的一個(gè)例子的圖。
在圖4中，液滴噴出裝置100具備進(jìn)行掃描控制以及各噴嘴列16a～16f(參照?qǐng)D2)的噴出控制的控制部120?？刂撇?20經(jīng)由外部接口(I/F)121與主機(jī)107連接，而且經(jīng)由內(nèi)部I/F122與按各噴嘴列16a～16f而設(shè)置的噴頭驅(qū)動(dòng)電路131以及主掃描單元104、副掃描單元105連接。
控制部120具備CPU123；作為CPU123的工作存儲(chǔ)器或緩沖存儲(chǔ)器而發(fā)揮功能的RAM124；存儲(chǔ)各種控制信息的ROM125；生成時(shí)鐘信號(hào)(CK)的發(fā)送電路126；和驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成電路127，其生成含有電脈沖PS_A、PS_B(參照?qǐng)D5)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(COM)。而且，噴頭驅(qū)動(dòng)電路131與各噴嘴的壓電元件26對(duì)應(yīng)，具備移位寄存器132、鎖存電路133、電平移動(dòng)器(level shifter)134和開關(guān)135。
主機(jī)107將表示描繪對(duì)象面中的液滴配置的所謂位圖形式的描繪圖案數(shù)據(jù)傳送給控制部120。然后，CPU123解碼描繪圖案數(shù)據(jù)，生成每一個(gè)噴嘴的作為ON/OFF信息的噴嘴數(shù)據(jù)。噴嘴數(shù)據(jù)被串行信號(hào)(SI)化，與時(shí)鐘信號(hào)(CK)同步被傳送給各移位寄存器132。
傳送給移位寄存器132的噴嘴數(shù)據(jù)在鎖存信號(hào)(LAT(參照?qǐng)D5))被輸入到鎖存電路133的時(shí)刻被鎖存，進(jìn)而在電平移動(dòng)器134中被轉(zhuǎn)換為開關(guān)135用的門信號(hào)。這樣一來，在噴嘴信號(hào)為“ON”的情況下，開關(guān)135打開，向壓電元件26提供驅(qū)動(dòng)信號(hào)(COM(參照?qǐng)D5))，在噴嘴信號(hào)為“OFF”的情況下，開關(guān)135關(guān)閉。
如圖5所示，驅(qū)動(dòng)信號(hào)(COM)在以與主掃描同步的定時(shí)而設(shè)定的一個(gè)描繪周期內(nèi)具有以中間電位被連接的第一電脈沖PS_A和第二電脈沖PS_B。第一和第二電脈沖PS_A、PS_B被連續(xù)提供給設(shè)定為“ON”的噴嘴的壓電元件26，進(jìn)行對(duì)應(yīng)的腔室22的壓力控制。
第一電脈沖PS_A具有從中間電位開始進(jìn)行充電的第一子脈沖p1A、維持第一子脈沖的終點(diǎn)的電位的第二子脈沖p2A、從第二子脈沖的維持電位開始進(jìn)行放電的第三子脈沖p3A、維持第三子脈沖的終點(diǎn)的電位的第四子脈沖p4A、和從第四子脈沖的維持電位向中間電位進(jìn)行充電的第五子脈沖p5A。
如果第一子脈沖p1A被提供給壓電元件26，則如圖6(a)所示，腔室22的容量被擴(kuò)張，使得內(nèi)部的壓力降低(減壓過程)，液狀體L的彎月面Me被拉向噴嘴17的內(nèi)方。而且，通過第一子脈沖p1A會(huì)在包括腔室22的流路系統(tǒng)中引起亥姆霍茲(Helmholtz)諧振，在第二子脈沖p2A提供給壓電元件26的期間中，腔室22的容量以及內(nèi)壓隨著該亥姆霍茲諧振而振動(dòng)。接著，如果第三子脈沖p3A被提供給壓電元件26，則如圖6(b)所示，腔室22的容量縮小，使得內(nèi)部的壓力上升(加壓過程)，液狀體L被從噴嘴17擠出。然后，被擠出的液狀體L作為液滴飛行，配置在基板101(參照?qǐng)D1)上。
通過第三子脈沖p3A而降低的電位電平經(jīng)過第四子脈沖p4A并基于第五子脈沖p5A而回復(fù)到中間電位。第五子脈沖在電位電平回復(fù)的基礎(chǔ)上，還起到強(qiáng)制抵消由第三子脈沖p3A引起的亥姆霍茲諧振的作用。
第二子脈沖p2A的時(shí)間成分t2_A起著對(duì)由第一子脈沖p1A引起的亥姆霍茲諧振和由第三子脈沖p3A引起的亥姆霍茲諧振之間的相位差的定時(shí)(timing)進(jìn)行規(guī)定的作用。由于根據(jù)兩者諧振的相位差，通過第三子脈沖p3A而從噴嘴17擠出的液狀體的舉動(dòng)會(huì)變化，所以，該時(shí)間成分t2_A成為與液滴的量(噴出量)和速度相關(guān)的重要要素之一。
另外，由于噴出量也會(huì)因腔室22周邊的結(jié)構(gòu)上偏差和貯存器23與腔室22的位置關(guān)系等而受到影響，所以，根據(jù)與噴出相關(guān)的噴嘴17而具有偏差。圖7是針對(duì)某一噴嘴列將噴嘴17的排列方向作為橫軸，對(duì)噴出量的分布進(jìn)行表示的圖，在該實(shí)例中，與第一電脈沖PS_A對(duì)應(yīng)的噴出量以a1的分布幅寬(最小值與最大值之差)，表示了在噴嘴列的端部附近相對(duì)增多的分布。另外，圖7表示從噴嘴列內(nèi)所有的噴嘴17同時(shí)噴出液滴時(shí)的噴出量。
緊接著第一電脈沖PS_A而向壓電元件26提供的第二電脈沖PS_B具有與第一電脈沖PS_A同樣的構(gòu)成。即，具有從中間電位開始進(jìn)行充電的第一子脈沖p1B、維持第一子脈沖的終點(diǎn)的電位的第二子脈沖p2B、從第二子脈沖的維持電位開始進(jìn)行放電的第三子脈沖p3B、維持第三子脈沖的終點(diǎn)的電位的第四子脈沖p4B、和從第四子脈沖的維持電位向中間電位進(jìn)行充電的第五子脈沖p5B。
子脈沖p1B～p5B的作用與第一電脈沖PS_A中的子脈沖p1A～p5A相同，但是在子脈沖p1A～p5A和子脈沖p1B～p5B中，對(duì)于電壓、時(shí)間的成分而言，局部不同。特別是第一子脈沖p2A的時(shí)間成分t2_A與第二子脈沖p2B的時(shí)間成分t2_B不同，因此，噴嘴列內(nèi)的噴出量的分布也表現(xiàn)出不同(參照?qǐng)D7)。即，在該實(shí)例中，基于第二電脈沖PS_B的噴出量以a2的分布幅寬(最小值與最大值之差)，表示了在噴嘴列的端部附近相對(duì)減少的分布。
如圖7所示，噴嘴列內(nèi)的噴出量分布的傾向，在與第一電脈沖PS_A相關(guān)的液滴和與第二電脈沖PS_B相關(guān)的液滴之間具有明顯的差別，表示了宛如不同噴嘴列那樣的性質(zhì)。因此，如果著眼于作為兩液滴總和的噴出量，則與單獨(dú)的電脈沖相關(guān)的噴嘴之間的偏差以統(tǒng)計(jì)方式被分散，從而可以認(rèn)為該偏差實(shí)質(zhì)上被縮小。由此，和單獨(dú)電脈沖相關(guān)的噴出量的分布幅寬a1、a2的單純和:a1+a2相比，與兩液滴總和相關(guān)的噴出量的分布幅寬b(最小值與最大值的幅寬)變小。
這樣，本實(shí)施方式的液滴噴出裝置100(參照?qǐng)D1)在一個(gè)描繪周期內(nèi)按對(duì)噴出基于多種電脈沖的液滴，針對(duì)噴嘴間的噴出量的偏差而言，實(shí)現(xiàn)了實(shí)質(zhì)性的降低。
噴出量的偏差分布的傾向，尤其針對(duì)第二子脈沖p2A、p2B的時(shí)間成分t2_A、t2_B具有強(qiáng)烈的依賴性。但并不是通過該成分的調(diào)整就能夠?qū)崿F(xiàn)完全自由的控制，即使在本實(shí)施方式中，也是通過以噴頭模塊單位分別實(shí)現(xiàn)t2_A、t2_B以及其他成分的恰當(dāng)化，來實(shí)現(xiàn)減小分布幅寬b的辦法。另外，當(dāng)然在子脈沖的成分最佳化中，也需要對(duì)噴嘴列內(nèi)的平均噴出量和液滴的平均速度、噴出穩(wěn)定性等進(jìn)行充分考慮。
(液晶顯示裝置)下面，參照?qǐng)D8對(duì)本發(fā)明所涉及的作為電光學(xué)裝置的一個(gè)例子的液晶顯示裝置進(jìn)行說明。
圖8是表示液晶顯示裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的概略剖視圖。
如圖8所示，作為電光學(xué)裝置的液晶顯示裝置250是無源矩陣型液晶顯示裝置，具有液晶顯示面板260，該液晶顯示面板260具備具有多個(gè)著色膜264的濾色器基板(CF基板)261、具有多個(gè)電極268的對(duì)置基板271、和夾持在CF基板261與對(duì)置基板271之間的液晶270。由于這樣的液晶顯示裝置250是受光型的顯示裝置，所以，例如在對(duì)置基板271的背面?zhèn)染邆渚哂蠰ED元件、EL、冷陰極管等光源的照明裝置(省略圖示)。另外，本實(shí)施方式的液晶顯示裝置250不限定于此，例如也可以是在對(duì)置基板271上具備TFT或TFD等開關(guān)元件的有源矩陣型液晶顯示裝置。
對(duì)置基板271例如使用了透明的樹脂或玻璃基板，在與CF基板261的對(duì)置面?zhèn)染哂杏蒊TO構(gòu)成的多個(gè)透明電極268。電極268與在對(duì)置的CF基板261上設(shè)置的由ITO構(gòu)成的透明電極266正交，沿Y方向延伸。即，液晶顯示面板260具有相互對(duì)置且正交并配置成柵格狀的電極266和電極268。并且，電極266與電極268正交而重合的部分成為顯示用的像素區(qū)域。
CF基板261例如采用了透明的樹脂或玻璃基板，具備以規(guī)定的圖案形成的遮光膜262、和形成在遮光膜262之上的圍堰263。而且，在被遮光膜262以及圍堰263劃分的劃分區(qū)域中，具備與R(紅色)、G(綠色)、B(藍(lán)色)對(duì)應(yīng)的著色膜264、和覆蓋著色膜264與圍堰263的作為平坦化層的OC(外涂)膜265。電極266形成在OC膜265上。另外，為了確保與電極266的密接性，也可以在OC膜265之上進(jìn)一步形成SiO2等的薄膜。
液晶顯示面板260隔著間隔部件272以規(guī)定的間隔對(duì)置配置這樣的CF基板261和對(duì)置基板271，并通過未圖示的密封材料在兩基板261、271之間對(duì)液晶270進(jìn)行密封。在基板261、271的液晶270的封入面?zhèn)?，設(shè)置有使液晶270的分子沿規(guī)定方向取向的取向膜267、269。
另外，在液晶顯示面板260的前面?zhèn)群捅趁鎮(zhèn)鹊谋砻?，通常設(shè)置有使入射或出射的光偏轉(zhuǎn)的偏振板、或用于改善視角等的作為光學(xué)功能性薄膜的相位差薄膜等，但這里省略了這些部件。
遮光膜262通過以Cr、Ni、Al等不透明的金屬或這些金屬的氧化物等化合物為材料，并利用氣相法和光刻法而制造在CF基板261上。
圍堰263可以通過在形成有遮光膜262的CF基板261上基于輥涂法或旋涂法形成了厚度約2μm的感光性樹脂層之后，利用光刻法實(shí)施圖案形成而得到。
作為功能性膜的著色膜264B、264G、264R可以利用上述的液滴噴出裝置，通過將含有與B、G、R對(duì)應(yīng)的三種顏色材料(有機(jī)顏料)的液狀體(著色液)分別配置到由圍堰263劃分的劃分區(qū)域內(nèi)，并通過干燥等使所配置的液狀體固化(膜化)(液滴噴出法)而形成。另外，與液狀體的配置相關(guān)的詳細(xì)工序?qū)⒃诤竺孢M(jìn)行敘述。
作為功能性膜的OC膜265除了能夠利用含有透明丙烯酸系樹脂的液狀體，并通過旋涂法、偏置印刷而形成之外，還能夠通過液滴噴出法而形成。
作為功能性膜的電極266、268除了可以采用氣相法以及光刻法形成之外，還可以采用Au、Ag、Pt等金屬微粒的分散液并通過液滴噴出法而形成。
作為功能性膜的取向膜267、269可以在利用上述的液滴噴出裝置100圖案配置含有聚酰亞胺樹脂等的液狀體而形成了樹脂膜之后，通過拋光處理賦予取向性而形成。
(電子設(shè)備)
下面參照?qǐng)D9，對(duì)本發(fā)明所涉及的作為電子設(shè)備的一個(gè)例子的便攜式信息處理裝置進(jìn)行說明。
圖9是表示便攜式信息處理裝置的概略立體圖。
如圖9所示，作為電子設(shè)備的便攜式信息處理裝置300具備具有輸入用的鍵盤301的信息處理裝置主體303、和顯示部302。顯示部302采用了上述的液晶顯示裝置250。另外，作為搭載液晶顯示裝置250的電子設(shè)備的其它實(shí)例，有移動(dòng)電話、手表等。
(液狀體配置方法)接著，參照?qǐng)D5、圖10、圖11，對(duì)本發(fā)明的液狀體配置方法舉例說明與CF基板上的著色膜的形成相關(guān)的實(shí)例。
圖10(a)、(b)分別是表示第一掃描和第二掃描中的噴頭模塊相對(duì)于基板的掃描位置的俯視圖。圖11(a)、(b)分別是示意地表示第一掃描和第二掃描中的液狀體相對(duì)于劃分區(qū)域的配置位置的俯視圖。
在圖10中，液狀體向CF基板261上的配置(描繪)通過利用液滴噴出裝置100(參照?qǐng)D1)，交替地反復(fù)進(jìn)行噴頭模塊11a～11c的主掃描和CF基板261的規(guī)定量移動(dòng)(副掃描)而進(jìn)行。例如，在第一掃描(圖10(a))中從噴頭模塊11c的噴嘴、在第二掃描(圖10(b))中從噴頭模塊11b的噴嘴對(duì)CF基板261上的區(qū)域40分別進(jìn)行液滴(液狀體)的噴出。
如圖11所示，在CF基板261上，作為由圍堰263劃分的一個(gè)區(qū)域的劃分區(qū)域41R、41G、41B沿掃描方向(XY軸方向)被規(guī)則地設(shè)置。這里，劃分區(qū)域41R、41G、41B分別是用于形成R(紅色)、G(綠色)、B(藍(lán)色)著色膜264(參照?qǐng)D8)的劃分區(qū)域，在成為液晶顯示裝置250(參照?qǐng)D8)的狀態(tài)下，構(gòu)成所謂條紋型像素排列。
液滴(液狀體)的噴出與噴嘴列的掃描位置同步地進(jìn)行，在本實(shí)施方式中，根據(jù)劃分區(qū)域41R、41G、41B的主掃描方向(X軸方向)的排列間距P，設(shè)定驅(qū)動(dòng)信號(hào)(圖5)的描繪周期。在表示與R(紅色)對(duì)應(yīng)的液滴(液狀體)的配置位置的圖11的例子中，液滴在與劃分區(qū)域41R上的掃描位置對(duì)應(yīng)的描繪周期被噴出，在與劃分區(qū)域41G、41B上的掃描位置對(duì)應(yīng)的描繪周期液滴不被噴出(非驅(qū)動(dòng))。另外，對(duì)于和圍堰263相關(guān)的位置的噴嘴而言，與描繪周期無關(guān)，不噴出液滴(非驅(qū)動(dòng))。
在第一掃描(圖11(a))中，對(duì)一個(gè)劃分區(qū)域41R，通過相互鄰接的兩個(gè)噴嘴，首先進(jìn)行基于第一電脈沖PS_A(圖5)的液滴(由A表示)的噴出(第一噴出步驟)，接著，進(jìn)行基于第二電脈沖PS_B(圖5)的液滴(由B表示)的噴出(第二噴出步驟)。進(jìn)而，在第二掃描(圖11(b))中，對(duì)上述一個(gè)劃分區(qū)域41R，通過與第一掃描不同的兩個(gè)噴嘴，首先進(jìn)行基于第一電脈沖PS_A(圖5)的液滴(由A表示)的噴出(第一噴出步驟)，接著，進(jìn)行基于第二電脈沖PS_B(圖5)的液滴(由B表示)的噴出(第二噴出步驟)。
預(yù)先對(duì)CF基板261的表面實(shí)施基于O2等離子處理等的親液化處理，使得第一掃描和第二掃描中所噴出(配置)的液滴在劃分區(qū)域41R、41G、41B內(nèi)潤濕擴(kuò)展。此時(shí)，基于第一掃描的液滴的配置位置和基于第二掃描的液滴的配置位置沿Y軸方向僅偏移噴嘴掃描間距的大約一半距離，以使液滴在劃分區(qū)域41R、41G、41B內(nèi)均勻地潤濕擴(kuò)展。
如上所述，基于第一電脈沖PS_A(圖5)而噴出的液滴(由A表示)和基于第二電脈沖PS_B(圖5)而噴出的液滴(由B表示)，通過同一掃描而被配置在一個(gè)劃分區(qū)域內(nèi)。對(duì)于和其他噴嘴相比較的噴出量的偏差而言，這兩種液滴(由A、B表示)即使從同一噴嘴噴出，也表示出相互不同的性質(zhì)(參照?qǐng)D7)，可以看作以模擬的方式由不同的噴嘴噴出。因此，噴嘴間噴出量的偏差實(shí)質(zhì)上被分散，能夠以少量的不均配置液狀體。
而且，由于在第一掃描和第二掃描中利用相互不同的噴嘴向一個(gè)劃分區(qū)域噴出液滴，所以，噴嘴間噴出量的偏差被進(jìn)一步分散，能夠以更少的不均配置液狀體。
這樣一來，具備經(jīng)過這樣的過程而形成的著色膜264R、264G、264B(參照?qǐng)D8)的液晶顯示裝置、以及具備該液晶顯示裝置的便攜式信息處理裝置具有高品質(zhì)。
(變形例1)接著，以和先前的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心，參照?qǐng)D12對(duì)實(shí)施方式的變形例1進(jìn)行說明。
圖12是表示變形例1的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的構(gòu)成的時(shí)序圖。
在該變形例1的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(COM)中，第一電脈沖PS_A和第二電脈沖PS_B被設(shè)定為不同的描繪周期，相互交替排列配置。這樣，第一電脈沖PS_A和第二電脈沖PS_B可以不必設(shè)定為同一描繪周期。另外，當(dāng)利用該驅(qū)動(dòng)信號(hào)(COM)向CF基板上配置液狀體時(shí)，由于對(duì)一個(gè)劃分區(qū)域噴出兩個(gè)描繪周期份的液滴，所以，需要準(zhǔn)備與之對(duì)應(yīng)的描繪圖案數(shù)據(jù)。
(變形例2)接著，以和先前的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心，參照?qǐng)D13對(duì)實(shí)施方式的變形例2進(jìn)行說明。
圖13是表示變形例2的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的構(gòu)成的時(shí)序圖。
該變形例2的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(COM)在一個(gè)描繪周期內(nèi)包括連續(xù)的兩個(gè)第一電脈沖PS_A、PS_A和連續(xù)的兩個(gè)第二電脈沖PS_B、PS_B。這樣，第一電脈沖PS_A和第二電脈沖PS_B也可以不交替排列配置。另外，當(dāng)利用該驅(qū)動(dòng)信號(hào)(COM)向CF基板上進(jìn)行液狀體的配置時(shí)，由于每個(gè)噴嘴向一個(gè)劃分區(qū)域噴出四個(gè)液滴(一個(gè)描繪周期份)，所以，通過一次掃描可以完成向該一個(gè)劃分區(qū)域內(nèi)的液狀體配置。
本發(fā)明不限定于上述的實(shí)施方式。
例如，作為利用上述的描繪方法而形成的功能性膜的其他實(shí)例，例如可舉出有機(jī)EL顯示裝置中的發(fā)光膜、等離子顯示裝置中的熒光膜、或在電路部分利用的導(dǎo)電膜(導(dǎo)電布線)與高電阻膜(電阻元件)等。
而且，在上述實(shí)施方式中將通過兩種電脈沖而噴出的液滴配置到CF基板上的劃分區(qū)域內(nèi)，但也可以采用對(duì)更多種類的電脈沖進(jìn)行組合的方式。
另外，各實(shí)施方式的各種構(gòu)成可以通過對(duì)它們進(jìn)行適當(dāng)組合或省略、或者與未圖示的其他構(gòu)成組合而形成。
權(quán)利要求
1.一種液狀體配置方法，在具有由多個(gè)噴嘴構(gòu)成的噴嘴組的噴頭相對(duì)于基板掃描的情況下，向控制與所述噴嘴連通的液室的壓力的壓力控制單元提供電脈沖，從該噴嘴噴出液狀體，從而將該液狀體配置到所述基板，該液狀體配置方法包括第一噴出步驟，利用第一所述電脈沖，對(duì)所述基板的一個(gè)區(qū)域內(nèi)進(jìn)行所述液狀體的噴出；和第二噴出步驟，通過與所述第一噴出步驟相同的所述掃描、相同的所述噴嘴，并利用第二所述電脈沖，對(duì)所述一個(gè)區(qū)域內(nèi)進(jìn)行所述液狀體的噴出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液狀體配置方法，其特征在于，當(dāng)將利用所述第一電脈沖進(jìn)行噴出時(shí)的所述噴嘴組內(nèi)的噴出量的分布幅寬設(shè)為a1、將利用所述第二電脈沖進(jìn)行噴出時(shí)的所述噴嘴組內(nèi)的噴出量的分布幅寬設(shè)為a2、將利用所述第一和第二電脈沖雙方進(jìn)行噴出時(shí)的所述噴嘴組內(nèi)的總和的噴出量的分布幅寬設(shè)為b時(shí)，滿足b＜a1+a2。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液狀體配置方法，其特征在于，所述第一和第二電脈沖具有用于對(duì)所述液室減壓的第一子脈沖、保持所述第一子脈沖的終點(diǎn)的電位的第二子脈沖、和與所述第二子脈沖相接用于對(duì)所述液室加壓使所述液狀體從所述噴嘴噴出的第三子脈沖，至少所述第二子脈沖的時(shí)間成分在所述第一電脈沖和所述第二電脈沖中不同。
4.一種電光學(xué)裝置的制造方法，其中包括利用權(quán)利要求1～3中任意一項(xiàng)所述的液狀體配置方法將所述液狀體配置到所述基板的工序；和使該被配置的液狀體固化而形成功能性膜的工序，該電光學(xué)裝置將所述功能性膜作為構(gòu)成要素。
5.一種電光學(xué)裝置，其在具有由多個(gè)噴嘴構(gòu)成的噴嘴組的噴頭相對(duì)于基板掃描的情況下，向控制與所述噴嘴連通的液室的壓力的壓力控制單元提供電脈沖，從該噴嘴向所述基板的一個(gè)區(qū)域噴出液狀體，將通過該被噴出的液狀體的固化而形成的功能性膜作為構(gòu)成要素，所述液狀體相對(duì)于所述一個(gè)區(qū)域內(nèi)的噴出分別利用第一和第二電脈沖進(jìn)行，利用了所述第一電脈沖的噴出和利用了所述第二電脈沖的噴出，基于同一所述掃描、同一所述噴嘴進(jìn)行。
6.一種電子設(shè)備，其中具備權(quán)利要求5所述的電光學(xué)裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠在高的噴嘴利用率下以少的不均配置液狀體的液狀體配置方法、及使用了該液狀體配置方法的電光學(xué)裝置的制造方法、和由該制造方法制造的電光學(xué)裝置、電子設(shè)備。在各掃描中，對(duì)一個(gè)劃分區(qū)域(41R)，首先通過相互鄰接的兩個(gè)噴嘴進(jìn)行基于第一電脈沖的液滴(由A表示)的噴出，接著，進(jìn)行基于第二電脈沖的液滴(由B表示)的噴出。對(duì)于和其他噴嘴相比較的噴出量的偏差而言，由于這兩種液滴即使從同一噴嘴噴出，也表示出相互不同的性質(zhì)，因此，可以看作以模擬的方式由不同的噴嘴噴出。
文檔編號(hào)G02F1/133GK101037041SQ20071008574
公開日2007年9月19日 申請(qǐng)日期2007年3月8日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月15日
發(fā)明者加藤剛, 北原強(qiáng) 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社